KR20040022213A - 광 기록 매체, 광 기록 매체의 제조 방법, 광 기록 매체의광 기록 방법과 광 재생 방법 - Google Patents

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KR20040022213A
KR20040022213A KR10-2003-7013752A KR20037013752A KR20040022213A KR 20040022213 A KR20040022213 A KR 20040022213A KR 20037013752 A KR20037013752 A KR 20037013752A KR 20040022213 A KR20040022213 A KR 20040022213A
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후지타고로
사카모토데쓰히로
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소니 가부시끼 가이샤
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Abstract

DWDD(Domain Wall Displacement Ditection)에 의한 랜드·그루브 기록의 광 기록 매체에 있어서, 광자기 기록 매체의 그루브(3)의 깊이 d(nm)를
3λ/8n〈d〈1λ/2n … (1)
또는
1λ/2n〈d〈3λ/4n … (2)
으로 선정함으로써, 랜드와 그루브 특성의 밸런스화를 도모한다.

Description

광 기록 매체, 광 기록 매체의 제조 방법, 광 기록 매체의 광 기록 방법과 광 재생 방법 {OPTICAL RECORDING MEDIUM, PRODUCTION METHOD OF OPTICAL RECORDING MEDIUM, OPTICAL RECORDING METHOD AND OPTICAL REPRODUCING METHOD FOR OPTICAL RECORDING MEDIUM}
요즈음, 대기록 용량화에 따른 고밀도화를 위해, 광 기록 매체에서, 그 예를 들면 트래킹 서보용으로 형성된 그루브 내와 이들 인접하는 그루브 사이의 랜드 쌍방에 데이터를 기록하는 이른바 랜드·그루브 기록의 실용화가 도모되고 있다.
도 1은 이 랜드·그루브 기록 형태에 의한 광 기록 매체(11)의 요부(要部)를 나타내는 모식적 사시도이며, 이 광 기록 매체(11)는 이 광 기록 매체를 구성하는 광 기록 매체 기판(1)의 기록 정보 형성면에, 예를 들면 트래킹 서보 신호를 얻기 위한 그루브(3)가 형성되어 이루어진다. 이 광 기록 매체에서는, 그루브의 측면(도시한 예에서는, 한 측면)(2)이 어드레스 정보를 도출하는 워블링 측면으로 된 구성을 가진다.
그리고 이 광 기록 매체(11)에 대하여, 예를 들면 데이터 정보 기록에 의한 기록 마크(4)가 그루브(3) 내와, 그루브(3) 사이의 랜드(5) 쌍방에 기록된 각각의 그루브 기록부(13)와 랜드 기록부(15)를 가지고, 고기록 밀도화가 도모된다.
도 1의 예에서는, 기록 마크(4)가, 자계 변조 기록에 의한 경우가 나타나고 있으며, 이 경우 기록 마크(4)는 일부가 오버랩하여 기록되어 있다.
도 2는 광 기록 매체에서의 그루브(3)에 의해 도출되는 트래킹 서보 신호의 진폭, 즉 푸시풀 진폭과, 그루브(3)의 위상 깊이 nd/λ[단, n은 광 기록 매체 기판(1)의 굴절률, d는 그루브의 깊이(nm), λ는 재생광의 파장(nm)]와의 관계를 나타낸다. 이 경우, 푸시풀 진폭의 피크는 이산적 피크, 즉 (2m+1)/8[m은 0과 플러스의 정수(整數)]의 깊이에서 피크를 나타낸다.
그리고 종래 이 종류의 광 기록 매체에서는, 얕은 쪽으로부터의 진폭 피크, 즉 제1 최적점, 제2 최적점, 제3 최적점… 중, 가장 얕은 1/8을 중심으로 하는 최적점을 중심으로 하는 소요 범위 z로 선정된다.
종래, 이 그루브 깊이의 선정은 광 기록 매체 기판(1)의 제작, 예를 들면 사출 성형법, 또는 2P법(Photopolymerization법)에 의한 제작에 있어서, 그루브(3)나 랜드(5)의 성형이 용이해지는 가장 얕은 최적 깊이의 제1 최적점을 중심으로 하는 범위 z로 하고 있는 것이다.
한편, DWDD에 의한 재생은 기록 마크의 재생에 있어서 자벽 이동을 발생하게 하여 기록 마크의 확대를 도모하고, 이 확대된 기록 마크를 판독한다고 하는 것이며, 이와 같이 함으로써, 기록 마크를 재생광의 스폿 직경에 의한 한계 이하로 미소화할 수 있도록 하여, 고기록 밀도화를 도모하고 있는 것이다.
이 DWDD 방식에 의한 광 기록 매체, 즉 광자기 기록 매체는 도 3에 그 일례의 개략 단면도를 나타내는 바와 같이, 광 기록 매체 기판(1) 상에 비자성의 유전체층(6)과, 각각 자성층에 의한 자벽 항자력(抗磁力)이 작은 특성의 이동층(7), 낮은 퀴리 온도 Ts를 가지는 절단층(8), 자벽 항자력이 큰 특성의 기록층(9) 적층막에 의한 정보 기록층(20)과, 또한 비자성의 보호층(10)이 차례로 적층되어 이루어진다.
이 광 기록 매체(11)는 통상 상태에서는, 기록층(9)과 이동층(7)이 절단층(8)을 통해 자기(磁氣) 교환 결합된 상태에 있으며, 기록층(9)에 기록된 기록 마크(4)가 이동층(7)에 전사되어 있다.
그리고, 재생 시에는 레이저 광 L이, 예를 들면 광 기록 매체 기판(1)의 배면측으로부터 조사된다.
도 4는 이동층(7)과 절단층(8)과 기록층(9)에 의한 정보 기록층(20)에서의 레이저 광 조사에 의한 DWDD의 재생 동작 설명도이며, 이 경우, 도 4 (A)는 그 요부의 모식적 평면도이며, 도 4 (B)는 도 4 (A)의 자성 영역(7A)에 대응하는 모식적 단면도이며, 그 자화 상태를 화살표로서 나타내고 있다.
이동층(7)은 도 4 (A)에 나타내는 바와 같이, DWDD 동작 즉 자벽 이동이 이루어지는 트랙 부분은 자성 영역(7A)이 되지만, 그 트랙 폭 방향의 양측이 비자성 또는 자기 특성이 상이한 영역(7B)으로 되어 있다.
또 도 4 (C)는 레이저 광 L의 조사에 의한 광 기록 매체(11)에서의 온도 분포 곡선을 나타낸다.
도 4에서, 광 기록 매체는 레이저 광 스폿 SP에 대하여서 화살표 a로 나타내는 바와 같이, 도 4 에서 우측으로부터 좌측 방향으로 이행하는 경우를 나타내고 있다.
이 경우, 레이저 조사에 의한 온도의 피크 Tp를 나타내는 위치는 스폿 SP의 후방측으로 치우친 위치 b로 되고, 또 절단층(9)의 퀴리 온도 Ts로 되는 등온선(等溫線)은 도 4 (A) 중 파선 c로 나타내는 바와 같이, 스폿 SP로부터 후방측으로 넓어지고, 이 파선 c로 둘러싸인 온도 Ts 이상의 영역에서는, 도 4 (B)에서 사선을 붙여 나타내는 바와 같이, 절단층(8)의 자성이 소실된 자성 소실 영역(19)으로 된다.
이 때, 통상 상태에 있는, 즉 전술한 자성 소실 영역(19) 이외의 영역 상에서는, 기록층(9)의 기록 마크(4)가 이 기록층(9)과 절단층(8)을 통해 교환 결합되는 이동층(7)에 전사되어 있으며, 이 기록 마크(4), 즉 자구(磁區)를 구성하는 자벽(14)은 기록층(9)과 이동층(7)에서 대략 일치된 위치에 있다.
그러나, 전술한 절단층(8)의 자성이 소실된 영역(19) 상에서는, 기록층(9)과 이동층(7)의 교환 결합이 끊어지기 때문에 이동층(7)에서의 자벽(14)은 이동하기 쉬운 상태로 되며, 도 4 (D)에 나타내는 바와 같이, 온도의 피크 Tp측의 자벽(14D)은 자벽 구동력 F(x)=-δσ/δx(σ는 자벽 에너지)가 제로로 되는 온도 피크 Tp를 나타내는 파선 b의 위치로 넓어진다(광 스폿의 선단측을 +x로 하면, 구동력은 마이너스이며 광 중심측으로 움직인다).
즉, 이 영역(19) 상에서의 이동층(7)에서의 마크(4)는 기록층(9)에서의 기록 마크(4)로부터 확대된 확대 마크(4D)가 된다.
따라서, 이 DWDD에 의한 광자기 기록 매체에서는, 그 기록 마크(4)를 이동층(7)에서의 확대된 마크(4D)로 하여 광자기 광학계를 사용한 검출법에 의해 재생함으로써, 본래, 광학계의 분해능(分解能)으로 규제되는 분해능 이상의 분해능에 의한 재생, 즉, 고밀도 재생이 가능해진다.
그리고, 이 확대 재생 동작은 ISOM 1992 Digest p47에 보고되어 있는 바와 같이, 랜드와 그루브 중 어느 하나에 정보를 기록하고, 또한 재생할 수 있지만, 이동층에서, 도 4 (A)에서 나타낸 바와 같이, 그 랜드 또는 그루브 중 어느 한쪽을 자성 영역(7A)으로 하고, 다른 쪽의 그루브 또는 랜드를, 높은 레이저 파워를 주사함으로써 비자성 또는 자기 특성이 다른 영역(7B)으로 한다.
이와 같이 함으로써, 자벽의 이동을 트랙 폭 방향에 관해 제한하는 것이며, 이에 따라 자벽 면적의 트랙 폭 방향의 확대에 의한 에너지 증가를 억제할 수 있어 자벽의 트랙 길이 방향의 이동을 원활하게 할 수 있다. 또 이와 같이, 트랙 폭 방향에 관한 자기적 불연속성의 형성에 의해, 인접 트랙 사이의 데이터 이동 동작의 혼재(混在)를 피할 수 있다고 하는 효과가 생긴다.
이에 대하여, 랜드와 그루브 쌍방에 관해 기록하는 랜드·그루브 기록 방식을 적용하는 DWDD 방식에 의한 경우에는, 트랙 사이의 자기적 분단은 이들 랜드와 그루브의 경계에서의 슬로프 즉 측벽면에서 실행하지 않으면 안된다.
예를 들면 ISOM 1992 Digest p75에서는, 660nm 파장의 광학계에서 그루브 깊이를 160nm와, m=2의 주기에 상당하는 깊이로 설정한다고 하는 조건 하에서, 전술한 바와 같은 열적 처리를 실행하지 않고, 랜드와 그루브에 대하여, 각각 DWDD 재생 동작을 얻을 수 있다고 하는 보고가 이루어지고 있다.
그런데, 이와 같은 조건에서는, 랜드에서의 기록 파워 마진에 대하여 충분한 특성을 얻기 어렵다. 또 랜드의 보텀 지터 특성도 그루브의 그것에 비해 뒤떨어져, 실용 레벨에서의 랜드·그루브 기록의 밸런스에 문제가 있다.
본 발명은 랜드(land)·그루브(groove) 기록 형태에서의 자벽(磁壁) 이동 검출 방식 이른바 DWDD 방식에 의한 광 기록 매체, 광 기록 매체의 제조 방법, 광 기록 매체의 기록 방법과 광 재생 방법에 관한 것이며, 랜드와 그루브 특성의 밸런스화를 도모한다.
도 1은 랜드·그루브 기록 형태에 의한 광 기록 매체 요부의 모식적 사시도이다.
도 2는 광 기록 매체에서의 그루브의 위상 깊이와 푸시풀 진폭과의 관계를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명에서 대상으로 하는 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 매체의 일례의 개략 단면도이다.
도 4는 자벽 이동 검출 방식에 의한 재생 동작 설명도이다.
도 4 (A)는 요부의 모식적 평면도, 도 4 (B)는 도 4 (A)에 대응하는 모식적 단면도, 도 4 (C)는 온도 분포 곡선, 도 4 (D)는 자벽 구동력을 나타내는 곡선도이다.
도 5는 본 발명의 광 재생 방법을 실시하는 광 기록 재생 장치의 일례의 구성도이다.
도 6은 지터의 그루브 깊이의 의존성을 나타내는 측정 곡선이다.
도 7은 지터의 랜드 폭 의존성을 나타내는 측정 곡선이다.
도 8은 지터의 그루브 폭 의존성을 나타내는 측정 곡선이다.
도 9는 그루브 깊이 190nm에서의 비트 에러 레이트와 기록 파워와의 관계의 측정 곡선도이다.
도 10은 그루브 깊이 165nm에서의 비트 에러 레이트와 기록 파워와의 관계의측정 곡선도이다.
도 11은 그루브 깊이를 변화시킨 경우의 파워 마진과 트랙 피치와의 관계의 측정 곡선도이다.
도 12는 기록 레이저의 편광면을 그루브 폭 방향으로 했을 때의 C/N과 기록 파워와의 관계의 측정 곡선도이다.
도 13은 기록 레이저의 편광면을 그루브 길이 방향으로 했을 때의 C/N과 기록 파워와의 관계의 측정 곡선도이다.
도 14는 랜드·그루브 기록의 자벽 이동의 설명도이다.
도 14 (A)는 그 랜드·그루브의 단면도, 도 14 (B)는 그 자벽 이동도를 나타내는 도면, 도 14 (C)는 기록 마크의 자벽 이동 설명도이다.
도 15는 랜드·그루브 기록의 크로스 라이트의 설명도이다.
도 15 (A)는 그 랜드·그루브의 단면도, 도 15 (B)는 그 자벽 이동도와 크로스 라이트의 관계를 나타내는 도면, 도 15 (C1) 및 (C2)는 기록 마크의 자벽 이동 설명도이다.
도 16은 랜드·그루브의 지터 특성을 나타내는 도면이다.
전술한 바와 같이, 랜드·그루브 기록 형태에서의 DWDD 방식에 있어서는, 랜드에서의 보텀 특성 및 기록 파워 마진이 그루브의 그것에 비해 뒤떨어져, 실용 레벨에서의 랜드·그루브 사이의 밸런스에 과제가 있다.
본 발명자는 예의 연구 고찰한 결과, 이와 같은 과제의 해결을 도모한 광 기록 매체와 그 제조 방법 및 광 기록 재생 방법을 발견하기에 이른 것이다.
즉, 전술한 랜드·그루브 기록에서의 언밸런스의 발생 원인은 다음과 같이 설명할 수 있다.
그루브가 형성된 광 기록 매체 기판면에 대하여, 전술한 자성층의 적층에 의한 정보 기록층(20)을 성막 하는 방법은 통상 진공 중에서의 스퍼터링 등에 의한 방법이 채택된다. 이 성막은 도 14 (A)에 그 랜드(5)와 이것에 인접하는 그루브(3)에서의 단면도를 나타내는 바와 같이, 성막 재료의 비상(飛翔) 입자(21)가 광 기록 매체 기판(1)의 표면에 피착(被着) 퇴적하여 형성된다.
이 경우, 그 비상 입자(21)가 돌아서 들어감으로써, 랜드(5)에 대해서는 그 트랙 폭 방향의 단면 형상이 버섯의 우산 단면 형상과 같은 퇴적 성막이 이루어진다. 즉, 랜드(5)에 관해서는, 그 양측면의 슬로프(35)를 포함하여 정보 기록층(20)이 성막된다. 그리고, 그루브(3)에 있어서는, 그루브 저면(底面)에 도래한 비상 입자(21)의 퇴적에 의해 성막이 이루어지기 때문에, 슬로프(35)와 그루브(3)의 맞대기 굴곡부에서의 이들 성막의 제거 내지는 얇은 두께의 분리 홈(22)이 발생한다.
따라서, 정보 기록층(20)의 이동층(7)에서의 자벽 이동도(즉, 1/자벽 항자력)는 도 14 (B)에 나타내는 바와 같이, 분리 홈(22)에서, 예를 들면 가장 낮은 값을 나타내어 자기적으로 랜드(5)와 그루브(3)가 분리되며, 이들 랜드(5)와 그루브(3)에 대하여 각각 이동층(7)에 전사된 기록 마크(4)는 도 4에서 설명한 재생 동작에서, 각각 도 14 (C)에 파선으로 나타내는 바와 같이 자벽 이동을 발생한다.
이 자벽 이동은 이 자기 분리에 의해 각각 재생 대상 트랙의 기록 마크에 따른 이동이 실행되지만, 그 분리가 불충분하면 인접 트랙의 마크 영향을 받아 신속하게 자벽 이동을 할 수 없다.
또 이 경우, 랜드(5)의 양측에서는, 슬로프(35)의 존재에 의해, 완만하게 자벽 이동도가 저하되기 때문에, 이 슬로프(35)의 자성층 특성에 이끌려, 그루브(3)에서보다 자벽의 이동량 또는 속도가 작다. 이 때문에, 랜드·그루브 기록에 있어서, 랜드(5)에서의 기록 마크는 그루브(3)에 비해 재생 출력 진폭이 낮고, 이 랜드에서는 충분한 보텀 지터 특성이 취해지지 않아, 랜드와 그루브의 특성이 언밸런스로 된다.
즉, 이상적으로는 충분한 자기 분리와 슬로프를 포함하는 랜드의 자벽 이동도가 높은 것이 밸런스가 우수한 DWDD 동작을 가져오는 것이다.
다음에, 기록 파워 마진의 언밸런스에 대하여 도 15를 참조하여 고찰한다.
도 15 (A) 및 (B)는 도 14 (A) 및 (B)와 동일하게, 랜드(5) 및 그루브(3)의 단면도와 자벽 이동도의 관계를 나타낸 것이며, 도 15에서, 도 14와 대응하는 부분에는 동일 부호를 붙여 중복 설명을 생략한다.
지금, 도 15 (C1)에 나타내는 바와 같이, 그루브(3)에 기록이 이루어진 경우에 대하여 고찰하면, 높은 기록 파워에 있어서, 분리 홈(22)을 넘어 슬로프(35)에 진입한 자구는 도 15 (B) 에 나타내는 바와 같이, 슬로프(35)에서의 자벽 이동도가 완만하게 변화되기 때문에, 이 진입한 자구에 의한 랜드(5)에서의 기록 마크의 재생에 주는 영향은 작다.
이것에 비해, 도 15 (C2) 에 나타내는 바와 같이, 랜드(5)에 기록이 이루어진 경우에 대하여 고찰하면, 높은 기록 파워에 있어서, 분리 홈(22)을 넘은 자구는 자벽 이동도가 급격하게 변화하기 때문에, 이 진입한 자구에 의한 그루브(3)에서의 기록 마크의 재생에 주는 영향은 크다. 도 15 (B)에서의 실선 화살표와 파선 화살표는 랜드와 그루브 상호의 크로스 라이트(cross write)의 대소를 각 화살표의 길이로서 모식적으로 나타낸 것이다.
이와 같이, 랜드(5)에의 기록에 의한 그루브(3)에의 크로스 라이트는그루브(3)에의 기록에 의한 랜드(5)에의 크로스 라이트보다 발생하기 쉽다. 즉, 랜드(5)에 대한 기록 파워 마진은 좁아져, 파워 마진의 언밸런스가 생긴다.
도 16은 지터 또는 비트 에러 레이트 특성을 나타내며, 곡선 51G는 그루브에서의 특성, 곡선 51L은 랜드에서의 특성을 나타낸다. 이들 곡선 51G 및 곡선 51L은 각각 그루브 및 랜드의, 전술한 자벽 이동도에 의존하는 특성 곡선 51GA 및 51LA 각각과 전술한 크로스 라이트에 의존하는 특성 곡선 51GB 및 51LB의 각각과의 합성 곡선이 된다.
도 16에서, 곡선 51은 말하자면 본래 나타내는 특성이다.
도 16에 의해 명백한 바와 같이, 랜드에서는 곡선 51L 에 나타내는 바와 같이, 보텀 지터에 뒤떨어지며, 또 기록 파워 마진이 작아지고 있다.
본 발명은 전술한 DWDD에 의한 랜드·그루브 기록의 광 기록 매체와 그 제조 방법 및 광 기록 재생 방법에 있어서, 그 랜드에서의 지터 특성의 개선, 기록 파워 마진의 개선을 도모하여 랜드와 그루브 특성의 밸런스 개선을 도모할 수 있도록 한다.
즉, 본 발명에 의한 광 기록 매체는 랜드·그루브 기록 형태에 의한 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 매체, 즉 광자기 기록 매체이며, 그 그루브의 깊이 d(nm)를
3λ/8n〈d〈1λ/2n … (1)
또는
1λ/2n〈d〈3λ/4n … (2)
[단, λ는 조사광의 파장(nm), n은 굴절률]
으로 선정하는 구성으로 한다.
또 본 발명에 의한 광 기록 매체는 랜드·그루브 기록 형태에 의한 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 매체에 있어서, 랜드와 그루브의 경계가 경사면을 포함하며, 랜드의 평탄부의 폭 WL(nm)과, 그루브의 평탄부의 폭 WG(nm)를
350(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WL〈550(λ/N.A.)/(650/0.52) … (3)
400(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WG〈600(λ/N.A.)/(650/0.52) … (4)
[단, λ는 조사광의 파장(nm), N.A.는 대물 렌즈의 개구수]
로 선정하는 구성으로 한다.
또 본 발명의 제조 방법은 전술한 각 광 기록 매체의 제조 방법으로서, 이들 광 기록 매체를 구성하는 광 기록 매체 기판의 적어도 한쪽 면에 그루브를 형성하는 공정과, 이 그루브를 형성하는 면에 적어도 기록층과 절단층과 이동층의 적층막을 가지는, 정보의 기록이 이루어지는 정보 기록층을 형성하는 공정을 가지고, 전술한 적어도 상기 식 (1) 또는 (2), 또는/및 상기 식 (3) 및 (4)의 조건에 따른 구성으로 한다.
또 본 발명에 의한 광 기록 매체의 기록 방법은 랜드·그루브 기록 형태에 의한 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 재생 방법으로서, 전술한 본 발명에 의한 광 기록 매체를 사용하고, 이 광 기록 매체에 대하여 그루브의 대략 폭 방향을 전장 벡터 방향으로 하는 레이저 광에 의한 광 변조 기록, 또는 동일한 레이저 광을 조사하고 자계 변조 기록에 의해 상기 정보 기록층에 정보를 기록한다.
또한 본 발명에 의한 광 기록 매체의 광 재생 방법은 랜드·그루브 기록 형태에 의한 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 재생 방법으로서, 전술한 본 발명에 의한 광 기록 매체를 사용하고, 재생 레이저 광 조사에 의해 정보 기록층의 이동층에서의 자벽 이동을 발생하게 하여 정보를 판독한다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 있어서는, 그루브의 깊이 d를, 상기 (1) 및 (2)의, 도 2에서 설명한 종전에서의 얕은 제1 최적점 근방의 범위 z로부터, 깊은 범위 I 및 II로 선정한 것에 특징을 가지는 것이며, 이와 같이 함으로써, 랜드에 관한 지터 특성의 개선, 기록 파워 마진의 개선이 도모되며, 랜드와 그루브의 밸런스 개선이 도모되었다.
이 개선의 이유는 그 한 요인으로서 그루브의 깊이를 종래보다 깊게 한 것에 의한 재생광 조사에 의한 열 크로스토크가 저감되어, 예를 들면 크로스 라이트의 개선이 도모되었다고 생각된다. 또 본 발명에 의해 지터의 보텀 특성 개선도 도모되었다.
이것은 정보 기록층의 그루브 양측, 즉 인접하는 랜드 사이에 정보 기록층의 구성막에, 그 막질 내지는 두께가 변화되는 것에 의한 열전도성이 저하되어, 불연속부가 현저하게 생기는 것으로 생각된다. 이 불연속성에 의해 자기적인 분리가 강해지고, 특히 랜드의 자벽 이동이 신속하게 되어, 기록 파워가 작은 마크에서의 지터의 저하에 의한 파워 마진 하한값의 저하와 크로스 라이트에서의 인접 트랙에의 진입이 억제되는 것에 의한 파워 마진 상한값의 증가가 일어난다고 생각된다.
또한 전술한 상기 식 (3) 및 (4)의 선정에 의해 후술하는 바와 같이, 크로스라이트, 지터의 개선이 도모되었다.
본 발명에 의한 광 기록 매체는, 전술한 바와 같이, 랜드·그루브 기록 형태에 의한 DWDD 방식에 의한 재생 방법이 채택되는 광 기록 매체, 즉 광자기 기록 매체의 구성으로 한다. 그 한 실시예는 도 1 및 도 3에 나타낸 구성으로 할 수 있다.
그러나, 본 발명에 의한 광 기록 매체는 말할 것도 없이, 이 구성에 한정되는 것은 아니다.
이 예에서는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 폴리카보네이트(PC), 또는 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 등의 수지 또는 유리 기판 등에 의한 광 기록 매체 기판(1)의 예를 들면 한 주면(主面)에, 예를 들면 다중 스파이럴 또는 예를 들면 동심원형 등으로 평행 배열된 복수의 그루브(3)가 형성되고, 인접하는 그루브 사이에 랜드(5)가 형성된 구성으로 한다.
또 이 예에서는, 랜드(5)의 한쪽 측면(2)이, 예를 들면 어드레스 신호를 도출할 수 있는 워블링 측면으로 되어 있다.
그루브(3)의 깊이 d는 도 2에서 나타낸 종래에 있어서의 얕은 영역에서의 범위 z로 설정하는 것이 아니고, 전술한 바와 같이, 특히, 이것보다 깊은 특정된 범위 I 또는 범위 II, 즉 상기 (1) 또는 (2)에서 나타낸 범위로 선정하는 것이다.
또 랜드(5)와 그루브(3)의 경계가 경사면을 포함하고, 랜드(2) 평탄부의 폭 WL(nm)과, 그루브(3) 평탄부의 폭 WG(nm)가 재생 광학계의 파장을 λ(nm), 대물 렌즈의 개구수를 N.A.로 할 때,
350(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WL〈550(λ/N.A.)/(650/0.52) … (3)
400(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WG〈600(λ/N.A.)/(650/0.52) … (4)
로 선정한다.
또 그루브의 피치 GP(㎛)를
1.0(λ/N.A.)/(650/0.52)〈GP〈1.3(λ/N.A.)/(650/0.52) … (5)
로 한다.
그리고, 광 기록 매체 기판(1)의 랜드 및 그루브가 형성된 면에는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 비자성의 유전체층(6)과 각각 자성층에 의한 자벽 항자력이 작은 특성의 이동층(7), 낮은 퀴리 온도 Ts를 가지는 절단층(8), 자벽 항자력이 큰 특성의 기록층(9) 적층막에 의한 정보 기록층(20)과, 또한 비자성의 보호층(10)이 차례로 적층된다.
이 광 기록 매체(11)는 도 4에서 설명한 바와 같이, 레이저 광 L의 조사에 의한 온도 분포[도 4 (C)]에 의해, 도 4 (B)에서 사선을 붙여 나타내는 바와 같이, 절단층(8)의 자성이 소실된 영역(19)을 형성하고, 이 영역(19) 상에서, 기록층(9)과 이동층(7)과의 교환 결합이 끊어짐으로써, 이동층(7)에서의 자벽(14)은 이동하기 쉬운 상태로 되고, 그 온도의 피크 Tp측의 자벽(14D)은 온도 피크를 나타내는 쇄선 b로 나타내는 위치로 넓어져 이동층(7)에서 기록 마크(4)로부터 확대된 확대 마크(4D)로 된다.
한편, 본 발명에 의한 광 기록 매체의 제조 방법은 광 기록 매체 기판(1)을, 예를 들면 전술한 PC 또는 PMMA에 의한 수지를 사용한 사출 성형에 의해 형성하고, 이 성형을 하는 금형의 캐비티 내에, 필요한 요철 패턴을 가지는 스탬퍼를 배치함으로써, 기판(1)의 성형과 동시에, 그 예를 들면 한 주면에 스탬퍼의 요철 패턴의 전사에 의해 전술한 그루브(3) 및 랜드(5)를 형성한다.
또는 평탄면을 가지는 예를 들면 유리 기판, 또는 PC나 PMMA 등에 의한 수지 기판의 표면에, 예를 들면 자외선 경화 수지를 도포하고, 이것에 필요한 요철 패턴을 가지는 스탬퍼를 가압함으로써, 전술한 그루브(3) 및 랜드(5)를 전사 형성하는 이른바 2P법(Photopolymerization법)에 의해 형성한다.
이와 같이 하여 형성된 광 기록 매체 기판(1)의 랜드 및 그루브가 형성된 면에 차례로 예를 들면 마그네트론 스퍼터링에 의해, 도 3에서 나타낸 이동층(7), 절단층(8), 기록층(9)에 의한 정보 기록층(20)을 형성하고, 그 위에 보호층(10)을, 예를 들면 자외선 수지를 회전 도포법에 의해 형성한다.
본 발명에 의한 광 재생 방법을, 도 5에서 나타내는 기록 재생 장치의 일례의 구성도를 참조하여 그 기록 방법과 함께 설명한다.
이 기록 재생 장치는 종래 주지의 구성을 사용할 수 있다. 즉 광 기록 매체(11)의 예에서는, 광 디스크의 구동 장치, 즉 광 디스크를 회전 구동하는 스핀들 모터(61)를 가지며, 광 디스크(11)를 사이에 두고 그 한쪽에 배치되는 기록 자기 헤드(62)와 광 디스크(11)의 다른 쪽에 배치되는 광학 픽업 장치(63)와 자기 헤드(62) 및 광학 픽업 장치(63)의 구동 제어나 기록 및 재생 동작을 위한 회로부(64)를 가지고 이루어진다.
기록 자기 헤드(62) 및 광학 픽업 장치(63)는 광 디스크(11)의 반경 방향으로 이동하는 구성이 된다.
광학 픽업 장치(63)는 광원, 예를 들면 반도체 레이저(65), 콜리메이트 렌즈(66), 빔 스플리터(67), 대물 렌즈(68), 이 대물 렌즈(68)의 광 디스크(11)에 대한 포커스 위치 및 트래킹 위치를 제어하는 2축 액츄에이터(69)를 가진다.
또 편광 빔 스플리터(70)와 이것에 의해 분기되는 2개의 광로에 각각 콜리메이트 렌즈(71 및 72)와 광검출 소자(73 및 74), 예를 들면 4분할 다이오드를 가지고 이루어진다.
또 회로부(64)는 기록 신호의 입력 단자(75), 자기 헤드 구동 회로(76), 레이저(65)의 구동 회로(77), 전류-전압 변환 회로(78), 매트릭스 회로(79), 위상 보상 회로(80), 2축 구동 회로(81), 섹터 검출 회로(82), 타이밍 발생 회로(83), 진폭 검출 회로(84), 재생 신호 출력 단자(85), 파워 설정 회로(86) 등을 가지고 이루어진다.
이 예에서는, 광 디스크 즉 광 기록 매체(11)에 대한 기록을 자계 변조 방법에 의해 실행하는 경우이며, 이 경우 레이저(65)로부터 발생시킨 레이저 광을 콜리메이트 렌즈(66), 빔 스플리터(67), 대물 렌즈(68)에 의해, 광 디스크(11)의 전술한 그루브(3), 랜드(5)의 기록 위치에 필요한 기록 파워로서 조사하고 레이저 조사에 의해 가열한다. 한편, 이 레이저 광 조사 위치에, 기록 신호 입력 단자(75)로부터의 기록 신호에 의해 제어한 자기 헤드 구동 회로(76)에 의한 자기 헤드(62)로부터의 기록 신호 자계를 인가(印加)하고, 광 기록 매체(11)의 정보 기록층에 도 1에서 나타낸 기록 자구, 즉 기록 마크(4)를 형성한다.
또 이 기록에 있어서, 레이저 광의 복귀광을 빔 스플리터(67) 및 편광 빔 스플리터(70), 콜리메이트 렌즈(71 및 72)에 의해 광검출 소자(73 및 74)에 도입하고 이들 광검출 소자(73 및 74)를 구성하는 각 4 분할 다이오드(1A~1D, 2A~2D)에 의해 얻은 출력 전류를 전류 전압 변환 회로(78)에 의해 전압 신호로 변환하여 매트릭스 회로(79)에 입력 하고, 이것에 따른 연산에 의해 포커스 에러 신호 FE, 트래킹 에러 신호 TE, 합(合)신호 RF를 얻으며, 신호 FE 및 TE를 위상 보상 회로(80)에 도입하고, 2축 구동 회로(81)를 제어하여 대물 렌즈(68)의 2축 액추에이터(69)를 동작시켜 포커싱 및 트래킹 제어가 이루어진다.
한편, 합신호 RF는 섹터 검출 회로(82)에 입력되어 얻어진 섹터 검출에 의해 타이밍 발생 회로(83)에 의해 타이밍 신호에 의해 파워 설정 회로(86)가 제어되고, 레이저 구동 회로(77)에 의해 광 기록 매체의 소정 랜드·그루브에 레이저 조사가 이루어져 전술한 기록 자기 헤드(62)에 의한 기록이 이루어진다.
광 기록 매체(11)로부터의 기록 마크의 판독, 즉 광 재생은 동일한 레이저(65)로부터의 레이저 광을 광 기록 매체(11)에 조사하고, 전술한 이동층(7)에서의 자벽 이동에 의해 확대된 확대 마크(4D)에서의 광자기 상호 작용, 즉 카 효과에 의해 편광면의 회전에 따른 편광 빔 스플리터(70)에 의해, 분기되어 광검출 소자(74)에 도입된 광에 의한 전류 신호를 전류 전압 변환 회로(78), 매트릭스 회로(79)에 의해 기록 정보 신호 MO를 얻고 전술한 타이밍 발생 회로(83)에 의한 타이밍 신호에 의해 타이밍 제어된 진폭 검출 회로(84)에 진폭 검출을 실행하여 재생 신호 출력을 단자(85)로부터 꺼낸다.
전술한 각 신호 RF, FE, TE 및 MO는 통상에서와 동일하게, 매트릭스 회로(79)에 의해, 다음의 연산이 이루어짐으로써 얻는다.
즉, 전술한 광검출 소자(73 및 74)의 각 분할 다이오드 소자의 각 출력을, 도 5에 나타내는 바와 같이, 1A~1D, 2A~2D로 할 때,
RF=1A+1B+1C+1D+2A+2B+2C+2D
FE=(1A+1C)-(1B+1D)
+(2A+2C)-(2B+2D)
TE=(1A+1B)-(1D+1C)
+(2A+2B)-(2D+2C)
MO=(1A+1B+1C+1D)
-(2A+2B+2C+2D)
에 의해 얻어진다.
이와 같이 하여, 기록 마크(4)의 기록 및 재생을 실행할 수 있지만, 이 기록, 재생에서 기록 및 재생 레이저 광을, 그 편광면을 그루브의 대략 폭 방향을 전장 벡터 방향으로 하도록 조사한다.
다음에, 본 발명에 의한 광 기록 매체와 그 제조 방법 및 광 재생 방법의 구체예를 들어 설명한다.
광 기록 매체로서 광 디스크를 구성했다. 이 광 디스크는 도 1에서 나타낸 한 주면에 랜드(5)와 측면(2)이 어드레스 신호 도출의 워블링 측면으로 한 그루브(3)가 형성된 광 기록 매체 기판(1)을 사출 성형에 의해 형성했다.
이 랜드(5) 및 그루브(3)를 가지는 기판(1)의 주면 상에 차례로 마그네트론 스퍼터링에 의해 두께 35nm의 질화 규소층에 의한 광 투과성의 유전체층(6)을 형성하고, 이 위에 정보 기록층(20)으로서 두께 30nm의 GdFeCoA1에 의한 이동층(7), 두께 15nm의 TbFeCoA1에 의한 절단층(8), 두께 55nm의 TbFeCo에 의한 기록층(9)을 차례로 성막 했다. 그리고, 다시 이 위에, 두께 1O㎛의 자외선 경화 수지에 의한 보호층을 회전 도포법에 따라 도포하고, 자외선 조사에 의해 경화했다.
이 구성에 의한 광 기록 매체에 있어서, 그루브(3)의 깊이 d를 각각 165nm로 한 다수의 시료(1)와 깊이 190nm의 시료(2)를 각각 제작했다.
또 비교를 위한 시료(3)로서 그루브(3)의 깊이 d를 145nm로 한 동일한 구성에 의한 다수의 시료(3)를 제작했다.
이들 시료(1~3)를 도 5로 나타낸 기록 재생 장치에 의해, 기록 및 재생을 실행했다. 광학계의 구성은 MD-DATA2에 이용되는 N.A.=0.52, λ=650nm이며 입사 편광 방향은 그루브에 대하여 수직 방향으로 배치하는 조건을 사용했다. 선속도 1.8 m/s로 펄스 스트로브 자계 변조 기록에 의해 기록층(9)에 기록하고, 재생은 DWDD의 동작이 가능해지는 광 조사 파워 1.4mW~2.0mW로 설정하고, 이동층(7)의 자벽 이동에 의한 광자기 차동 신호의 변화를 전자(電磁) 변환하여 신호 검출했다. 기록 데이터는 (1.7) RLL 변조 랜덤 신호를 사용하여 18MHz의 채널 클록으로 기록했다. 선밀도는 0.15㎛/bit에 상당한다.
전술한 각 시료(1~3)에 있어서, 그 랜드와 그루브 폭의 비율을 변화한 각 시료를 복수 준비하고, 각각에 대하여 지터를 측정하여 지터의 그루브 깊이의 의존성을 측정했다.
그 결과를 도 6에 플롯했다. 이에 따라 랜드 기록부에서의 지터의 그루브 깊이 의존성은 곡선 100L이 되고, 그루브 기록부에서의 지터의 그루브 깊이 의존성은 곡선 100G가 되었다.
이것으부터 명백한 바와 같이, 본 발명에 의한 상기 (1) 및 (2)로부터 그루브의 깊이가 작은 140nm로 한 경우, 랜드 기록부에서의 지터는 매우 커지지만, 3λ/8에 상당하는 165nm를 변곡점(變曲點)으로 하여, 그 이상의 깊이에서 지터가 125% 이하의 양호한 특성이 얻어진다.
이와 같이, 그루브의 깊이를 크게 함으로써, 보텀 지터의 개선이 도모된다. 이것은 랜드에서의 전술한 슬로프에서의 자벽의 이동도가 그루브의 깊이를 크게 함으로써 변화되는 것에 의한다고 생각된다.
이들 결과로부터, 본 발명에서는 도 2에서 나타낸 바와 같이, 푸시풀 진폭, 즉 트랙 신호가 얻어지는 범위에서, 상기 (1)식 및 (2)식으로 나타내는 그루브의 깊이를 종래에 비해 깊은 범위 I 및 II로 선정하는 까닭이 있다.
또 도 7 및 도 8은 각각 시료 1 및 2에 따른 SEM(주사 전자 현미경) 관찰에 의해 확인한 랜드 및 그루브의 각 평탄부의 WL 및 WG와 보텀 지터 특성의 상관 결과를 나타내는 도면이다. 도 7 중, 흑 삼각 표시가 시료 1 즉 그루브 깊이 d=165nm의 경우, 흑 사각 표시가 시료 2 즉 그루브 깊이 d=190nm의 경우이다. 또 도 8 중, 백 삼각 표시가 시료 1 즉 그루브 깊이 d=165nm의 경우, 백 사각 표시가 시료 2 즉 그루브 깊이 d=190nm의 경우이다.
이들 도 7 및 도 8에 의하면, 랜드 폭 WL 및 그루브 폭 WG는 이들이 너무 커져도 지터가 커지는 것을 알 수 있다.
즉, DWDD에서는, 그루브 폭 WL은 상기 (3)식에 의한 0.35㎛~0.50㎛, 바람직하게는 0.37㎛~0.50㎛로 한다.
또 그루브 폭 WL은 (4)식에 의한 0.40㎛~0.60㎛, 바람직하게는 0.41㎛~0.58㎛로 선정한다.
도 9 및 도 10은 각각 전술한 기록 방법에 의한 기록을 실행하고, 재생한 경우의, 비트 에러 레이트(신호 에러율)의 기록 레이저 파워 Pw의 의존성 측정 결과를 나타내고, 도 9는 그루브의 깊이를 190nm로 한 경우, 도 10은 그루브의 깊이를 165nm로 한 경우이다. 도 9 및 도 10에서, 흑 사각 표시는 랜드에만 기록한 경우의 기록 파워 Pw와 재생 시의 비트 에러 레이트와의 관계의 측정 결과를 플롯한 것이다. 또 도 9 및 도 10에서, 백 사각 표시는 랜드에의 기록에 앞서 이 랜드와 인접하는 그루브에만 동일한 기록을 하고, 그 후 랜드에의 기록을 한 경우, 즉 그루브 기록에 의한 크로스 라이트의 영향을 가지는 경우의 동일한 기록 파워 Pw와 재생 시의 비트 에러 레이트와의 관계의 측정 결과를 플롯한 것이다.
또 도 9 및 도 10에서, 흑 동그라미 표시는 그루브에만 기록한 경우의 기록 파워 Pw와 재생 시의 비트 에러 레이트와의 관계의 측정 결과를 플롯한 것이며, 백 동그라미 표시는 그루브에의 기록에 앞서 먼저 이 그루브와 인접하는 랜드에만 동일한 기록을 하고, 그 후 그루브에의 기록을 한 경우, 즉 랜드 기록에 의한 크로스 라이트의 영향을 가지는 경우의 동일한 기록 파워 Pw와 재생 시의 비트 에러 레이트와의 관계의 측정 결과를 플롯한 것이다.
즉, 랜드·그루브 기록에서, 랜드 기록과 그루브 기록 상호의 크로스 라이트의 영향을 고려함으로써, 랜드 및 그루브 기록에 관한 비트 에러 레이트는 그루브의 깊이를 190nm로 한 경우에는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 랜드 기록 및 그루브 기록에 관해서는 실선 곡선 101L 및 101G이며, 그루브 깊이 165nm로 한 경우에는,도 10에 나타내는 바와 같이, 실선 곡선 102L 및 102G로 된다.
즉, 예를 들면 비트 에러 레이트의 임계값을 5×10-4로 하면, 랜드·그루브 기록에서, 그 랜드만의 기록 및 그루브만의 기록에서의 비트 에러 레이트가 5×10-4이하로 되는 최소 기록 파워가 기록 파워 마진의 하한을 결정하고, 크로스 라이트에 의한 특성에서, 비트 에러 레이트가 5×1O-4이하로 되는 최대 기록 파워가 기록 파워 마진의 상한을 결정한다.
예를 들면 그루브의 깊이가 190nm인 경우, 전술한 바와 같이, 비트 에러 레이트의 임계값을 5×1O-4로 하면, 그루브의 깊이가 190nm인 경우에는, 도 9의 실선 곡선 101G에 의해 그루브에서의 기록 파워의 하한은 약 4.6mW이며, 상한은 약 7.2mW가 되고, 파워 마진은 약 2.6mW로 되는 데 비해, 랜드에서의 기록 파워의 하한은 약 5.1mW이며, 상한은 약 6.9mW가 되고, 파워 마진은 약 1.8mW가 되어, 그루브 기록에 비해 기록 파워 마진이 작다.
도 11은 그루브의 깊이를 190nm, 165nm로 한 경우의 각각의 파워 마진의 트랙 피치 Tp 의존성의 측정 결과를 나타낸 것이다. 흑 사각 표시 및 흑 동그라미 표시는 각각 그루브 깊이를 190nm로 한 경우의 랜드 및 그루브 기록에서의 트랙 피치 Tp를 변화시켰을 때의 파워 마진을 플롯한 것이며, 백 사각 표시 및 백 동그라미 표시는 각각 그루브 깊이를 165nm로 한 경우의 랜드 및 그루브 기록에서의 트랙 피치 Tp를 변화시켰을 때의 파워 마진을 플롯한 것이다.
이에 따르면, 그루브의 깊이를 크게 할수록 파워 마진이 커지는 것을 알 수 있다.
예를 들면 Tp=1.0㎛이며, 또한 그루브 깊이 165nm 이상에서 실용 상 필요한 ±10% 이상의 마진이 확보된다.
또 본 발명에서는, 기록 재생에서의 레이저 광의 편광면을, 그루브(3)의 폭 방향으로 대략 전장 벡터가 향하는 방향으로 하고 광 기록 매체(11)에 조사하여, 도 5에서 설명한 기록 및 재생을 실행한다.
도 12 및 도 13은 도 5에서 설명한 기록 방법에 있어서, 기록 파워와 C/N(캐리어/노이즈)의 관계를 측정한 결과를 나타내며, 도 12는 본 발명에 의해 실행하는 편광 방향 즉 전장의 벡터 방향을 그루브와 수직 방향 즉 그루브의 폭 방향으로 한 경우, 도 13은 편광 방향 즉 전장의 벡터 방향을 그루브와 평행 방향 즉 그루브의 길이 방향으로 한 경우이다. 도 12 및 도 13에서, 흑 사각 표시와 흑 동그라미 표시는 각각 랜드(5)와 그루브(3)에 각각 2T 마크, 즉 2 펄스로 1 마크를 기록한 경우이며, 백 사각 표시와 백 동그라미 표시는 각각 랜드(5)와 그루브(3)에 각각 8T 마크, 즉 8 펄스로 1 마크를 기록한 경우이다.
도 12와 도 13을 비교하여 명백한 바와 같이, 편광면의 선정에 의해 C/N의 증가가 도모된다. 이것은 ODS 2000 Proceedings of SPIE p74에서 보고되어 있는 바와 같이 편광 방향에 의해 실효적 빔 프로파일이 랜드·그루브 상에서 변형되는 것에 의한다고 생각된다. 특히 그루브 깊이의 위상 깊이를 3/8 이상으로 설정할 때, 그 차이가 현저하게 된다고 생각된다.
전술한 바로부터 명백한 바와 같이, 본 발명에 의한 광 기록 매체에서는, 그루브의 깊이를, 종래에 비해 큰 특정 범위 I 및 II로 선정함으로써 랜드·그루브 기록에 의한 DWDD 재생 형태에서, 현격히 랜드부와 그루브부에서의 보텀 특성과 파워 마진의 개선이 도모되기 때문에, 랜드와 그루브의 밸런스에 우수한 광 기록, 재생을 실행할 수 있는 것이다.
이것은 그루브의 깊이를 크게 함으로써, 도 14에서 설명한 광 기록 매체의 정보 기록층(20)의 성막에 있어서 전술한 버섯의 우산 모양의 퇴적에 있어서, 그루브의 측면과 그루브의 저면 경계에 퇴적되는 입자가 감소되어, 열적 분리, 자기적 분리가 양호하게 실행되는 것에 의한다고 생각된다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 의한 광 기록 매체는 또 본 발명에 의한 기록 방법 및 재생 방법에 의하면, 랜드·그루브 기록에 의한 DWDD 재생 형태에 있어서, 현격히 랜드부와 그루브부에서의 보텀 특성과 파워 마진의 개선이 도모되기 때문에, 랜드와 그루브의 밸런스에 우수한 광 기록, 재생을 실행할 수 있는 것이다.

Claims (15)

  1. 랜드(land)ㆍ그루브(groove) 기록 형태에 의한 자벽(磁壁) 이동 검출 방식에 의한 광 기록 매체에 있어서,
    상기 그루브의 깊이 d(nm)를
    3λ/8n〈d〈1λ/2n … (1)
    또는
    1λ/2n〈d〈3λ/4n … (2)
    [단, λ는 조사광(照射光)의 파장(nm), n은 굴절률]
    으로 선정하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  2. 랜드ㆍ그루브 기록 형태에 의한 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 매체에 있어서,
    상기 랜드와 그루브의 경계가 경사면을 포함하며,
    상기 랜드의 평탄부의 폭 WL(nm)과, 상기 그루브의 평탄부의 폭 WG(nm)를
    350(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WL〈550(λ/N.A.)/(650/0.52) … (3)
    400(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WG〈650(λ/N.A.)/(650/0.52) … (4)
    [단, λ는 조사광의 파장(nm), N.A.는 대물 렌즈의 개구수]
    로 선정하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 그루브의 피치 GP(㎛)를
    1.0(λ/N.A.)/(650/0.52)〈GP〈1.3(λ/N.A.)/(650/0.52) … (5)
    [단, λ는 조사광의 파장(nm), N.A.는 대물 렌즈의 개구수]
    로 선정하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    정보의 기록이 이루어지는 정보 기록층이 상기 랜드 및 그루브에 걸쳐 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  5. 랜드·그루브 기록 형태에 의한 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 매체의 제조 방법에 있어서,
    상기 광 기록 매체를 구성하는 광 기록 매체 기판의 적어도 한쪽 면에 그루브를 형성하는 공정과,
    상기 그루브를 형성하는 면에 적어도 기록층과 절단층과 이동층의 적층막을 가지는, 정보의 기록이 이루어지는 정보 기록층을 형성하는 공정
    을 가지며,
    상기 그루브의 깊이 d(nm)를
    3λ/8n〈d〈1λ/2n … (1)
    또는
    1λ/2n〈d〈3λ/4n … (2)
    [단, λ는 조사광의 파장(nm), n은 굴절률]
    으로 선정하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  6. 랜드·그루브 기록 형태에 의한 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 매체의 제조 방법에 있어서,
    상기 광 기록 매체를 구성하는 광 기록 매체 기판의 적어도 한쪽 면에 그루브를 형성하는 공정과,
    상기 그루브를 형성하는 면에 적어도 기록층과 절단층과 이동층의 적층막을 가지는, 정보의 기록이 이루어지는 정보 기록층을 형성하는 공정
    을 가지며,
    상기 랜드와 그루브의 경계가 경사면을 포함하며,
    상기 랜드의 평탄부의 WL(nm)과 그루브의 평탄부의 폭 WG(nm)를
    350(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WL〈550(λ/N.A.)/(650/0.52) … (3)
    400(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WG〈600(λ/N.A.)/(650/0.52) … (4)
    [단, λ는 조사광의 파장(nm), N.A.는 대물 렌즈의 개구수]
    로 선정하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 그루브의 피치 GP(㎛)를
    1.0(λ/N.A.)/(650/0.52)〈GP〈1.3(λ/N.A.)/(650/0.52) … (5)
    [단, λ는 조사광의 파장(nm), N.A.는 대물 렌즈의 개구수]
    로 선정하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광 기록 매체의 정보 기록층을 상기 랜드 및 그루브에 걸쳐 형성하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  9. 랜드·그루브 기록 형태에 의한 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 매체의 광 기록 방법에 있어서,
    상기 랜드 및 그루브에 걸쳐 적어도 기록층과 절단층과 이동층의 각 자성층의 적층에 의한 정보 기록층을 가지며,
    상기 그루브의 깊이 d(nm)가
    3λ/8n〈d〈1λ/2n … (1)
    또는
    1λ/2n〈d〈3λ/4n … (2)
    [단, λ는 조사광의 파장(nm), n은 굴절률]
    으로 선정된 광 기록 매체에 대하여 광 기록이 이루어지고,
    상기 그루브에 대한 광 기록을, 상기 그루브의 대략적인 폭 방향을 전장(電場) 벡터 방향으로 하는 레이저 광에 의한 광 변조(變調) 기록에 의해, 또는 상기그루브의 대략적인 폭 방향을 전장 벡터 방향으로 하는 레이저 광을 조사하고 자계 변조 기록에 의해 상기 정보 기록층에 정보를 기록하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 광 기록 방법.
  10. 랜드·그루브 기록 형태에 의한 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 매체의 광 기록 방법에 있어서,
    상기 랜드 및 그루브에 걸쳐 적어도 기록층과 절단층과 이동층의 각 자성층의 적층에 의한 정보 기록층을 가지며,
    상기 광 기록 매체에서, 상기 랜드와 그루브의 경계가 경사면을 포함하며,
    상기 랜드의 평탄부의 폭 WL(nm)과, 상기 그루브의 평탄부의 폭 WG(nm)가
    350(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WL〈550(λ/N.A.)/(650/0.52) … (3)
    400(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WG〈600(λ/N.A.)/(650/0.52) … (4)
    [단, λ는 조사광의 파장(nm), N.A.는 대물 렌즈의 개구수]
    로 선정된 광 기록 매체에 대하여 광 기록이 이루어지고,
    상기 그루브에 대한 광 기록을, 상기 그루브의 대략적인 폭 방향을 전장 벡터 방향으로 하는 레이저 광에 의한 광 변조 기록에 의해, 또는 상기 그루브의 대략적인 폭 방향을 전장 벡터 방향으로 하는 레이저 광을 조사하고 자계 변조 기록에 의해 상기 정보 기록층에 정보를 기록하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 광 기록 방법.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 광 기록 매체의 상기 그루브의 피치 GP(㎛)를
    1.0(λ/N.A.)/(650/0.52)〈GP〈1.3(λ/N.A.)/(650/0.52) … (5)
    [단, λ는 조사광의 파장(nm), N.A.는 대물 렌즈의 개구수]
    로 선정하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 광 기록 방법.
  12. 랜드·그루브 기록 형태에 의한 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 매체의 광 재생 방법에 있어서,
    상기 랜드 및 그루브에 걸쳐 적어도 기록층과 절단층과 이동층의 각 자성층의 적층에 의한 정보 기록층을 가지며,
    상기 그루브의 깊이 d(nm)를
    3λ/8n〈d〈1λ/2n … (1)
    또는
    1λ/2n〈d〈3λ/4n … (2)
    [단, λ는 조사광의 파장(nm), n은 굴절률]
    으로 선정한 광 기록 매체를 사용하여, 재생 레이저 광의 조사에 의해 상기 정보 기록층의 이동층에서의 자벽 이동을 발생하게 하여 정보를 판독하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 광 재생 방법.
  13. 랜드·그루브 기록 형태에 의한 자벽 이동 검출 방식에 의한 광 기록 매체의광 재생 방법에 있어서,
    상기 광 기록 매체가 상기 랜드 및 그루브에 걸쳐 적어도 기록층과 절단층과 이동층의 각 자성층의 적층에 의한 정보 기록층을 가지며,
    상기 랜드와 그루브의 경계가 경사면을 포함하며,
    상기 랜드의 평탄부의 폭 WL(nm)과, 상기 그루브의 평탄부의 폭 WG(nm)를
    350(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WL〈550(λ/N.A.)/(650/0.52) … (3)
    400(λ/N.A.)/(650/0.52)〈WG〈600(λ/N.A.)/(650/0.52) … (4)
    [단, λ는 조사광의 파장(nm), N.A.는 대물 렌즈의 개구수]
    로 선정하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 광 재생 방법.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    상기 그루브의 피치 GP(㎛)를
    1.0(λ/N.A.)/(650/0.52)〈GP〈1.3(λ/N.A.)/(650/0.52) … (5)
    [단, λ는 조사광의 파장(nm), N.A.는 대물 렌즈의 개구수]
    로 선정하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 광 재생 방법.
  15. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그루브에 대한 상기 재생 레이저 광의 전장 벡터 방향을 상기 그루브의 대략적인 폭 방향으로 선정하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 광 재생 방법.
KR10-2003-7013752A 2001-04-24 2002-04-23 광 기록 매체, 광 기록 매체의 제조 방법, 광 기록 매체의광 기록 방법과 광 재생 방법 KR20040022213A (ko)

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