KR20040009059A - 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR20040009059A
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Abstract

본 발명은 교류자기장에 의해 진동하는 자왜(磁歪, Magnetostriction) 센서의 배열을 활성화함에 의해, 동위원소나 효소 및 형광염료 등과 같은 표식을 사용하지 않고서도 유전물질의 분석과, DNA 교잡 과정과 같은 동적정보를 간단하면서 빠르게 실시간으로 관찰하는 것이 가능한 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서 및 그 제조방법을 제공한다.
이를 위해 본 발명은 실리콘 박막의 밑면에 실리콘 질화막이 증착되고, 그 상면에 스퍼터링 기법을 이용하여 텅스텐 박막이 증착되는 단계와, 상기 텅스텐 박막 상에 자왜 센서재료를 위한 자성층이 증착되는 단계, 상기 자성층이 광리소그라피 방식을 이용하여 패턴화되는 단계, 상기 자성층의 상면에 스퍼터링 기법을 이용하여 DNA의 고정을 위한 금층을 증착시키는 단계, 스퍼터링 기법을 이용하여 텅스텐의 캡핑층(Capping Layer)이 증착되는 단계, 상기 증착된 텅스텐 박막이 패턴화되는 단계, 상기 실리콘 기판을 수용액으로 식각처리시키는 단계 및, 상기 텅스텐의 캡핑층을 제거하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서 및 그 제조방법{Micro-magnetoelastic biosensor arry for detection of DNA hybridization and fabricating method thereof}
본 발명은 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 동/식물의 유전물질 분석을 신속하고 정확하게 수행할 수 있는 미세한 자왜 바이오센서를 제조하기 위한 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.
주지된 바와 같이, 동/식물의 구성성분을 관찰하고 연구하기 위한 분자생물학 분야에서는 개개의 단백질이나 복합 생물학적 분자들의 특성 및 정량에 대한 분석에 의거하여, 일정한 단백질의 존재나 농도에 따라 질병의 예방이나 진단, 병원균의 존재검출 등과 같이 광범위한 의학분야에 적용하고 있는 추세이다.
한편, DNA, RNA, 단백질, 바이러스, 박테리아 및 효소 등과 같은 다양한 목표 바이오 재료를 검출하기 위해서는 특정한 DNA와 목표 탐침의 결합에 의한 핵산 교잡(Nucleic Acid Hybridization)을 자주 이용하는 바, 통상적으로 DNA 교잡의 검출에는 방사성 표식이 이루어진 올리고뉴클레오티드(Oligonucleotide) 탐침을 사용한다.
또한, 다른 DNA 검출 방식으로는 직접 검출방법으로서 DNA 탐침이 광화학 반응을 이용하는 방법(PCT 특허 공개번호 WO 9942813호 A1 19990826 참조)이나, 리소그라피 방식(J. Photopolym. Sci. Technol, 13(4), 551-558 (2000년) 참조)(Science 251, 767-773 (1991년) 참조) 또는 표면개선과 직접 화학흡착(Analytical Biochemistry 247, 96-101 (1997년) 참조)(Biophysical Journal 71, 1079-1086 (1996년) 참조) 등과 같은 여러 가지 다양한 방법에 의해 물질 표면에 고정될 수 있도록 하고 있다.
그러나, 상기한 종래의 방사성 표식에 의한 DNA 검출방식의 경우에는 교잡을 생성시키는데 장시간이 소요되고, 교잡 이후에 반응시간이 짧기 때문에 방사선 사진의 분석을 단시간 내에 수행해야 한다는 불리함이 있다.
또한, 광화학 반응에 의한 광화학물 또는 형광염료를 사용하는 방식의 경우에는 실험에 장시간이 소요되는 것은 물론, 이를 다루기 위해서는 숙련된 기술자가 필요하다는 단점이 있다.
더욱이, 광리소그라피 기술을 위한 DNA 검출방식에서는 미소 올리고뉴클리티드 탐침의 배열을 포함하는 DNA칩(Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A., 91(11), 5022-5026 (1994년) 참조)이 이용되어 병렬 염기쌍 교잡을 동시에 관찰할 수 있도록 되어 있지만, 상대적으로 고가의 장비를 구비하여야 하고, 형광 염료로 탐침을 표시해야 한다는 단점이 있다. 또한, 최근에는 CMOS 바이오칩(Sensors & Actuators B61, 154-162 (1999년) 참조)이 개발되고 있지만, 교잡된 DNA 탐침을 검출하기 위해서는 정교한 온-보드 레이저(On-Board Razor)를 이용해야 한다는 불리함이 있다.
따라서, 본 발명은 상기한 종래의 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은 교류자기장에 의해 진동하는 자왜센서의 배열을 활성화함에 의해, 동위원소나 효소 및 형광염료 등과 같은 표식을 사용하지 않고서도 유전물질의 분석과, DNA교잡 과정과 같은 동적정보를 간단하면서 빠르게 실시간으로 관찰하는 것이 가능한 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 자왜 바이오센서의 구성을 나타낸 도면,
도 2는 본 발명에 따른 자왜 바이오센서에 대한 공명주파수의 측정에 의해 DNA 교잡을 검출하기 위한 장치의 구성을 나타낸 도면,
도 3a 내지 도 3g는 본 발명에 따른 자왜 바이오센서의 제조방법의 제조공정을 나타낸 도면,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 하나의 배열에 다수개의 바이오센서를 패터닝하여 형성한 상태를 예시적으로 나타낸 도면,
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 다중 배열에 다수개의 바이오센서를 패터닝하여 형성한 상태를 예시적으로 나타낸 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
2:자왜 센서부, 4:DNA 탐침,
6:교잡 DNA 탐침, 10:자왜센서 어레이,
15:미세 센서코일, 20:임피던스 분석기,
25:컴퓨터장치.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따르면, 외부로부터의 교류자기장이 길이방향을 따라 인가되는 자왜 센서부와, 상기 자왜 센서부와 결합된 플랫폼에 고정 배치되고서, 목표 DNA 연속체와 교잡되어 자왜 센서부로부터 인가되는 교류자기장에 대한 공명 주파수의 변화가 발생되는 DNA 탐침으로 구성된 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서를 제공한다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 제조방법에 따르면, 실리콘 박막의 밑면에 실리콘 질화막이 증착되고, 그 상면에 스퍼터링 기법을 이용하여 텅스텐 박막이 증착되는 단계와, 상기 텅스텐 박막 상에 자왜 센서재료를 위한 자성층이 증착되는 단계, 상기 자성층이 광리소그라피 방식을 이용하여 패턴화되는 단계, 상기 자성층의 상면에 스퍼터링 기법을 이용하여 DNA의 고정을 위한 금층을 증착시키는 단계, 스퍼터링 기법을 이용하여 텅스텐의 캡핑층(Capping Layer)이 증착되는 단계, 상기 증착된 텅스텐 박막이 패턴화되는 단계, 상기 실리콘 기판을 수용액으로 식각처리시키는 단계 및, 상기 텅스텐의 캡핑층을 제거하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서의 제조방법을 제공한다.
이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
즉, 도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 자왜 바이오센서의 구성을 나타낸 도면이다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일예에 따른 자왜 바이오센서는 복수의 DNA 탐침(4)이 각각 고정되어 있는 자왜 센서부(2)가 배열되어 있는 구조로 이루어져 있는 바, 각 자왜 센서부(2)는 하나의 조화공명 주파수에 대해서 하나의 센서부가 반응하도록 각기 다른 기하학적 배치를 갖도록 되어 있고, 자왜 박막은 DNA 탐침(4)을 고정하는 플랫폼으로 사용된다.
상기 DNA 탐침(4)의 교잡은 탐침 플랫폼의 물리적인 성질 변화(예컨대 공명 진동수와 굴절률 등)에 의해 관찰될 수 있는 바, 이는 유전물질의 분석을 쉽게 수행할 수 있고 DNA 고정과 교잡과정 등과 같은 동적 정보의 실시간 관찰이 가능하게 된다.
상기 DNA 탐침(4)은 자왜 센서부(2)의 길이 방향을 따라 인가되는 교류 자기장에 의해 공명주파수에서 진동을 수행하게 되고, 각 자왜 센서 고유의 조화공명 주파수에서 DNA 탐침(4)과 교잡이 촉진되는 동시에, 샘플의 여기를 증진시키기 위해 시간에 따라 변동되는 자기장의 적용으로 자왜센서의 배열이 활성화된다.
상기 DNA 탐침(4)의 교잡을 이용하면 탐침 플랫폼의 물리적인 성질 변화(예컨대 공명 진동수와 굴절률 등)에 의해 관찰될 수 있는 바, 일반적인 DNA의 직접 검출 방법의 장점인 쉬운 유전물질의 분석과 DNA 고정, 교잡 과정 등을 실시간 관찰할 수 있어서 매우 많은 동적 정보를 얻을 수 있다.
상기 자왜센서의 배열은 픽업 코일(Pick-up Coil)을 사용하여 DNA 탐침(4)의교잡을 검출하기 위해 고자기 변형률의 Co-Fe 비정질 합금(Metall. Mater. Trans, 27A, 3203-3213 (1996년) 참조)(미국특허 6,057,766호 참조)을 기본으로 하여 외부 자기장 자극에 의한 기계적 진동을 이용하게 되는 바, 이러한 공명 진동수는 온도, 압력, 유랭속력과 하중 등과 같은 외부 환경 변수에 반응하여 변화되도록 이루어진다(Smart Mater. Struct., 10(2), 347-353 (2001년) 참조).상기한 성질을 이용하여 박막 자왜센서는 온도와 압력을 원격으로 탐지할 수 있게 된다(Smart Mater. Struct., 8(5), 639-646(1999년) 참조).
도 1b에 도시된 바와 같이, 상기 자왜 센서부(2)에는 목표 바이오물질과 교잡이 이루어진 DNA 탐침(6)이 고정적으로 배열되는 바, 각 자왜 센서 배열의 공명주파수는 목표 바이오물질과 교잡된 DNA 탐침(6)이 플랫폼의 질량 및 방향의 미소 변화로 인한 자왜 센서의 공명주파수 변화를 검출함에 의해 측정할 수 있도록 되어 있다. 즉, 고유한 교잡 주파수의 변화는 목표 DNA 연속체와 결합한 교잡 DNA 탐침(6)에서 측정할 수 있게 되는 것이다.
다음에, 도 2는 본 발명에 따른 자왜 바이오센서에 대한 공명주파수의 측정에 의해 DNA 교잡을 검출하기 위한 장치의 구성을 나타낸 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 자왜 바이오센서가 적용되는 장치는 자왜센서 어레이(10)와, 센서코일(15), 임피던스 분석기(20) 및, 컴퓨터장치(25)로 구성된다.
상기 자왜센서 어레이(10)는 다수의 자왜 센서부(2)가 어레이 형태로 배열되고서, DNA 탐침의 공명 주파수에 따른 특정 영역에서의 교류 자기장 주파수 변화에따라 임피던스 변화를 나타내게 된다.
상기 센서코일(15)은 상기 자왜센서 어레이(10)의 공명 주파수 변화에 따른 임피던스 변화를 감지하여 임피던스값을 발생한다.
상기 임피던스 분석기(20)는 상기 자왜센서 어레이(10)의 공명 주파수에 대해 설정된 1MHz∼500MHz의 주파수 영역에서 각 주파수의 증가에 따른 임피던스값을 측정하되, 그 공명 주파수는 측정된 임피던스의 최대값으로 관찰된다.
여기서, 상기 자왜센서 어레이(10) 내에서는 DNA 탐침의 염기쌍이 여기되는 동안에 각각 목표 DNA 연속체와 교잡되고, 이러한 교잡에 의해 공명 주파수의 측정과 주파수 영역의 주사를 반복적으로 검출할 수 있게 된다.
상기 컴퓨터장치(25)는 상기 임피던스 분석기(20)에서 측정되어 분석되는 공명 주파수에 따른 임피던스 최대값에 의해, 교잡과 목표 DNA 연속체와의 교잡과정을 조회가 가능하게 가시적으로 표시한다.
이어, 상기한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따른 자왜 바이오센서의 제조공정을 도 3a 내지 도 3g를 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 도 3a에 도시된 바와 같이 실리콘 기판(30)의 하면에는 ECR-플라즈마 CVD를 이용한 에칭공정에 대한 소자의 보호를 위해서 500∼2000nm 두께로 실리콘 질화막(SiNx)(32)을 증착하는 한편, 그 실리콘 기판(30)의 상면에는 고주파 마그네트론 스퍼터링 시스템(RF Magnetron Sputtering System)을 이용하여 10∼1000nm 두께로 텅스텐 박막(Tungsten(W) Film)(34)을 증착한다(텅스텐 400, 아르곤(Ar) 6mtorr).
그 상태에서, 도 3b에 도시된 바와 같이 상기 실리콘 기판(30) 상면에 증착된 텅스텐 막(34) 상에 고주파 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 자왜센서의 재료를 구성하는 CoxFe80-x(BSi)20 (20 < x < 60)(코발트-철 비결정 금속박막)의 자성층(36)을 증착하게 되는 바, 그 자왜센서의 층두께는 50∼2000nm 이다.
다음에, 도 3c에 도시된 바와 같이 자왜센서로서 실리콘 기판(30) 상에 증착되는 자성층(36)은 표준 광리소그라피 방식을 이용하여 패턴화 되는 바, 자성층(36)에 대해 3%-HNO3(식각속도가 20 nm/sec)으로 식각하게 된다.
또한, 자왜센서의 패턴화가 이루어지게 되면, 도 3d에 도시된 바와 같이 패턴화된 자성층(36)의 주변을 따라 DNA의 고정을 위한 금층(Gold Film)(38)이 접촉 금속 마스크를 이용하여 자성층(36)의 윗면으로 증착되는 바, 이는 고주파 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 10∼100 nm의 층두께로 증착된다.
한편, 상기한 바와 같이 금층(38)의 증착이 이루어진 이후에, 도 3e에 도시된 바와 같이 고주파 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 텅스텐(W)의 캡핑층(Capping Layer)(40)을 층 두께가 10∼1000 nm로 증착시키게 된다.
그 다음에, 캡핑층(40)의 증착이 이루어지면, 도 3f에 도시된 바와 같이 20℃의 온도에서 과산화수소(H2O2)를 이용하여 30nm/sec의 식각속도로 증착된 텅스텐 박막(34)을 패턴하게 된다.
그 상태에서, 도 3g에 도시된 바와 같이 외팔보(Cantilever) 형의 보를 형성하기 위해서는 80℃의 온도 조건에서 30%-KOH 용액으로 2㎛/sec의 식각속도로 실리콘 기판(30)을 식각처리하게 된다.
외팔보 형태의 식각처리가 이루어지면, 도 3h에 도시된 바와 같이 최종적으로 텅스텐 캡핑층을 20℃의 온도 조건 하에서 과산화수소(H2O2)로 제거하게 된다.
상기한 바와 같은 자왜센서의 형성공정에 있어서, DNA 탐침을 고정하기 위해서는 5′-cag agg ttg agt cct ttg-3′과 18-mer single-stranded oligonucleotide를 실험에 사용하고서, 5′-인산염 끝에 Dithioethoxy 그룹을 결합시켜서 18-mer single-stranded oligonucleotide 탐침을 제작하도록 한다.
이 때, 5′-인산염의 끝에 이황화 그룹을 결합시키기 위해 수용성의 Carbodimide를 적용하였고, 금의 표면은 고정 공정 이전에 에탄올과 물로 헹궈주게 된다. DNA 탐침은 금 표면과 화학결합을 하는 이황화물 그룹과 18-mer oligonucleotide 탐침을 적용하여 직접 금표면에 고정시키게 되고, 센서는 10㎍/㎖의 이황화물 그룹과 DNA 탐침을 포함하는 0.3몰(M)의 염화나트륨(NaCl) 수용액에 1시간동안 담근 이후에 헹궈주게 된다.
다음에, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 하나의 배열에 다수개의 바이오센서를 패터닝하여 형성한 상태를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 자왜센서는 센서코일로부터 충분한 신호가 발생되도록 하기 위해, 하나의 배열에 예컨대 40개와 같은 다수개의 바이오센서를 리소그라피 공정으로 제작하게 되고, 마스크는 다수의 외팔보를 패턴하도록 수정하게 된다.
한편, 상기 자왜센서의 소자는 직경이 3∼10mm 이고, 50∼500번으로 권취된미세한 센서코일에 삽입할 수 있도록 하고, 상기 센서코일과 연결되어 있는 임피던스 분석기(20)는 1MHz∼500MHz 사이에서 코일의 여기 주파수가 변화하는 동안에 임피던스의 최대값을 검출하게 된다.
상기 자왜 바이오센서의 교잡을 위한 센서의 활성화에 있어서, 목표 DNA 연속체는 0.05 M 4-(2-hydroxyethyl)-1-piper-azine-ethanesulfonic acid와 PH 7.5의 0.2M 염화나트륨(NaCl)을 완충용액으로 하여, 그 완충용액을 DNA 탐침에 적용하게 되고, 공명 주파수에 대해서는 용액의 감쇠효과를 상충하기 위해 재계산할 수 있도록 하고, 목표 DNA를 포함하는 1∼100㎕의 수용액을 적용하게 된다.
목표 DNA 용액의 적용 이후에는, 센서를 교잡 과정의 향상을 위해 30분과 같은 설정시간 동안 공명 주파수에서 활성화시키게 되고, 30분의 설정시간이 경과된 이후에는 목표 용액을 씻어내고 DNA 탐침의 교잡을 검출하기 위해서 공명 주파수의 측정을 반복하게 된다. 이 측정값은 교잡 테스트를 예컨대 10번과 같이 복수회로 진행하는 동안의 공명 주파수 변화에 대한 검출 가능한 값을 나타낸다. 반면에, 교잡 과정을 거치지 않고서도 0.1% 내에서 공명 주파수를 재생하여 바이오센서를 테스트할 수 있도록 한다.
그 다음에, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 다중 배열에 다수개의 바이오센서를 패터닝하여 형성한 상태를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 5에 도시된 바에 따르면, 본 발명의 자왜 바이오센서를 각각 다른 DNA 탐침을 포함하는 다중 구획을 갖는 센서로서 확장할 수 있도록 되어 있는 바, 각 구획은 리소그라피를 통해서 다른 길이와 폭을 갖는 빔(Beam) 또는 다른 방향의 모양을 갖고서 각각 다른 공명 주파수로 작동하는 바이오센서의 세트(Set)를 포함한다. 바이오센서는 DNA 탐침을 고정하는 동안 용액의 혼합을 막기 위하여 구획 장벽에 의해 분할되어 있다.
상기 공명 주파수는 외팔보의 길이에 역비례하도록 되어 있어서 각각 다른 길이로 분할되어 있는 외팔보에 의해서 각기 다른 공명 주파수가 발생된다. 상기 다중 구획을 갖는 센서는 임피던스 분석기의 측정 한계 내에서 공명 주파수가 나뉘어져 있기 때문에, 구획을 많은 수로 증가시킬 수 있고 각 DNA 탐침과 고정되어 각각의 특정한 공명 주파수가 표시될 수 있다.
상기한 실시예를 갖는 본 발명은 그 실시양태에 구애받지 않고 그 기술적 요지를 벗어나지 않는 한도 내에서 얼마든지 다양하게 변형하여 실시할 수 있도록 되어 있는 바, 본 발명의 실시예에 적용되는 자왜센서가 외팔보 형태로 이루어져 있지만 그에 국한되지 않고 센서의 적용형태 및 기기의 특성에 따라 천공된 상태의 외팔보나, 접이식 또는 코일 형상으로 제조할 수 있도록 하는 것도 얼마든지 가능함은 물론이다.
이상과 같이 본 발명에 따르면, 자기 기계적으로 결합된 비정질 금속성 박막 상에 다양한 DNA 탐침이 고정되어 있는 바이오센서를 이용하여 센서의 조화공명 주파수를 측정함에 의해 DNA 교잡을 검출할 수 있도록 함에 따라, 어떠한 공명주파수 변화도 생성하지 않는 미결합 탐침을 제거하기 위한 불필요한 시간을 없애는 것이 가능할 뿐만 아니라, 목표시료를 형광염료 등으로 표시하기 위한 결합작업이 불필요하게 되면서, DNA 교잡과 그 검출과정이 저가의 비용지출에 의해서도 신속하고 정확하게 이루어질 수 있다는 효과를 갖게 된다.

Claims (12)

  1. 외부로부터의 교류자기장이 길이방향을 따라 인가되는 자왜 센서부와,
    상기 자왜 센서부와 결합된 플랫폼에 고정 배치되고서, 목표 DNA 연속체와 교잡되어 자왜 센서부로부터 인가되는 교류자기장에 대한 공명 주파수의 변화가 발생되는 DNA 탐침으로 구성된 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 DNA 탐침의 교잡에 의한 공명 주파수 변화는 센서코일에 의해 임피던스의 변화 형태로 감지하게 되고, 센서코일에서 감지된 임피던스에 대해 임피던스 분석기에서 설정영역의 주파수에서의 임피던스 최대값을 측정할 수 있도록 이루어진 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 자왜 센서소자가 상기 센서코일에 삽입되도록 구성된 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 DNA 탐침이 배치된 자왜 센서부는 하나의 배열에 다수개가 배치되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 DNA 탐침이 배치된 자왜 센서부는 각각 다른 공명주파수를 갖고 다른 길이/폭을 갖는 DNA 탐침이 다중 구획에 의해 분할되어 배치되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서.
  6. 실리콘 박막의 밑면에 실리콘 질화막이 증착되고, 그 상면에 스퍼터링 기법을 이용하여 텅스텐 박막이 증착되는 단계와,
    상기 텅스텐 박막 상에 자왜 센서재료를 위한 자성층이 증착되는 단계,
    상기 자성층이 광리소그라피 방식을 이용하여 패턴화되는 단계,
    상기 자성층의 상면에 스퍼터링 기법을 이용하여 DNA의 고정을 위한 금층을 증착시키는 단계,
    스퍼터링 기법을 이용하여 텅스텐의 캡핑층(Capping Layer)이 증착되는 단계,
    상기 증착된 텅스텐 박막이 패턴화되는 단계,
    상기 실리콘 기판을 수용액으로 식각처리시키는 단계 및,
    상기 텅스텐의 캡핑층을 제거하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서의 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 자성층이 증착되는 단계에서,
    상기 자성층은 코발트-철 비결정 금속박막(CoxFe80-x(BSi)20 (20 < x < 60))으로 이루어진 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서의 제조방법.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 자성층이 패턴화되는 단계에서,
    상기 자성층은 3-HNO3의 용액으로 식각처리되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서의 제조방법.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 증착된 텅스텐 박막이 패턴화되는 단계는,
    20℃의 온도조건에서 과산화수소(H2O2)를 이용하여 텅스텐 박막이 패턴화되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서의 제조방법.
  10. 제 6 항에 있어서, 상기 실리콘 기판을 수용액으로 식각처리시키는 단계는,
    80℃의 온도조건에서 30%-KOH 용액으로 식각처리되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서의 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 실리콘 기판을 수용액으로 식각처리시키는 단계는,
    센서의 형상이 외팔보 형태로 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서의 제조방법.
  12. 제 6 항에 있어서, 상기 텅스텐의 캡핑층을 제거시키는 단계는,
    20℃의 온도조건에서 과산화수소로 제거하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 디앤에이 교잡 검출을 위한 자왜 바이오센서의 제조방법.
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