KR20040002500A - 구동장치, 노광장치 및 디바이스제조방법 - Google Patents

구동장치, 노광장치 및 디바이스제조방법 Download PDF

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KR20040002500A
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Abstract

본 발명의 목적은, 물체를 구동할 때에 발생한 모멘트 반작용력을 상쇄하고 그 영향을 경감하도록 하는데 있다. 본 발명의 구동장치는, 물체(X-Y 슬라이더)를 X방향으로 구동하는 제 1선형모터와, 물체를 Y방향으로 구동하는 제 2선형모터와, 상기 제 1 및 제 2선형모터를 제어하는 제어부를 포함한다. 제 1 및 제 2선형모터는, 물체를 구동할 때에 발생한 반작용력을 받아 이동하는, 제 1 및 제 2반작용력 카운터를 각각 가진다. A점에 정지하고 있는 물체를 B점으로 이동시켜 상기 물체를 정지시킬 때, 제어부는, A점과 B점을 연결한 직선상에 물체가 이동하도록, 제 1 및 제 2선형모터를 제어한다.

Description

구동장치, 노광장치 및 디바이스제조방법{DRIVING APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD}
본 발명은, 구동장치, 노광장치 및 디바이스제조방법에 관한 것이고, 예를 들면, 물체를 가이드면을 따라 X와 Y방향으로 이동시키는 구동장치, 상기 구동장치를 일체화한 노광장치, 및 상기 노광장치를 이용한 디바이스제조방법에 관한 것이다.
반도체 디바이스 등의 디바이스 제조에 이용되는 전형적인 노광장치는, 기판(예를 들면, 웨이퍼나 유리기판)을 스태핑하면서, 복수의 노광영역에 마스터(레티클 또는 마스크)의 패턴을 투영광학계를 개재하여 투영하여, 상기 복수의 노광영역에 상기 패턴을 순차적으로 전사하는 스텝 앤드 리피트형 노광장치("스테퍼"로도 칭함)와, 스텝이동과 주사노광을 반복하여, 기판상의 복수의 노광영역에 마스터의 패턴을 순차적으로 전사하는 스텝 앤드 스캔 노광장치("스캐너"로도 칭함)를 포함한다. 이들 노광장치 중에서, 상기 스텝 앤드 스캔 노광장치는, 슬릿을 통해 노광광을 제한함으로써, 투영광학계의 광학축에 비교적 근접한, 노광광의 광성분만을 사용한다. 따라서, 스캐너는, 더욱 큰 필드 각으로 미세패턴의 고정밀도 노광을 가능하게 한다.
이들 노광장치는, 웨이퍼와 레티클을 고속으로 이동하여 위치결정하는 스테이지 장치 또는 구동장치(웨이퍼 스테이지 또는 레티클 스테이지)를 가지고 있다. 그러한 노광장치에 있어서 스테이지를 구동하면, 스테이지의 가감 속도는, 관성력의 반작용력의 생성을 수반한다. 스테이지정반에 대한 반작용력의 전달은, 상기 스테이지정반의 진동을 일으킨다. 이러한 진동은, 노광장치의 매커니즘에 있어서 고유 진동을 야기하여, 고주파진동을 발생시킨다. 이것은 고속, 고정밀의 위치결정을 방해할 수 있다.
반작용력에 관한 상기 설명한 문제를 해결하기 위하여, 몇 개의 제안이 이루어지고 있다. 예를 들면, 일본국 특개평 5-77126호공보에 기재된 장치에서는, 스테이지를 구동하기 위한 선형모터의 고정자를, 스테이지정반과 독립하여 마루에서 지지함으로써, 반작용력에 기인한 스테이지 정반의 진동을 방지하는 시스템을 채용하고 있다. 일본국 특개평 5-121294호공보에 기재된 장치는, 웨이퍼 스테이지 및 투영렌즈를 지지하는 머신 프레임에 대하여, 수평방향으로 발생하는 힘에 대해, 스테이지를 구동할 때에 발생한 반작용력과 동등한 보상력을 액추에이터가 부여함으로써, 반작용력에 기인한 장치의 진동을 경감하는 시스템을 채용하고 있다.
상기 종래의 어떤 장치에 있어서도, 스테이지 장치 자체의 흔들림은 경감할 수 있고, 스테이지를 구동할 때에 발생한 반작용력은, 마루에 직접 전달되거나, 마루를 대략 일체화한 부재를 개재하여 전달된다. 이것은 마루를 진동하고, 노광장치의 주변에 위치된 디바이스에 진동을 주어 악영향을 미칠 수 있다. 일반적으로, 노광장치가 위치된 마루는, 20 내지 40Hz의 고유 주파수를 가진다. 고유 진동이 노광장치의 동작으로서 야기되면, 주변 디바이스에 대한 악영향이 증가한다.
요즈음, 처리속도(throughput)의 향상에 수반하여 스테이지 가속도가 증가하고 있다. 예를 들면, 스텝 앤드 스캔 노광장치에서는, 스테이지의 최대 가속도는, 레티클 스테이지에서는 4G, 웨이퍼 스테이지에서는 1G에 달한다. 이 때문에, <이동부재의 질량>x<가속도>로 정의되는 구동력이 매우 커져, 그 반작용력도 상당히 커지게 된다. 그러한 반작용력이 증가함에 따라, 반작용력에 기인한 설치마루의 진동은 무시할 수 없게 된다.
또한, 장치의 사이즈가 현저하게 증가하고, 수많은 제조장치가 설치되는 제조공장에서의 점유설치면적의 증대는, 문제로서 명백해지고 있다. 더욱 상세하게는, 어떤 장치로부터 마루로 전달된 진동이 강한 경우, 상기 진동에 의해 영향을 받는 것으로부터 다른 장치를 방지하도록 하기 위해, 장치간의 거리를 증가시킬 필요가 있다. 따라서, 장치에 의해 사실상 점유되는 면적이 증가하게 된다.
상기 설명한 배경을 고려하여, 본 출원인은, 가동자와 고정자로 이루어지는 전자 액추에이터에 의해 가동부를 구동하는 구동장치에 있어서는, 가동부로부터의 구동 반작용력을 받는 반작용력 카운터로서 고정자를 이용하는 방법이 유효하다고 생각하고 있다.
도 1은, 본 발명의 바람직한 실시예의 구동장치에 있어서의 가동부의 구동법을 도시한 X-Y평면 좌표도.
도 2a와 도 2b는, 본 발명의 바람직한 실시예의 구동장치에 있어서의 X액추에이터와 Y액추에이터의 구동 프로파일을 도시한 그래프.
도 3a 내지 도 3d는, 본 발명의 바람직한 실시예의 구동장치에 있어서의 모멘트 반작용력을 받아 이동하는 반작용력 카운터의 구동력(F(t)), 구동속도(V(t)), 모멘트 반작용력((t)), 및 이동속도(Vr(t))를 도시한 그래프.
도 4a와 도 4b는, 본 발명의 바람직한 실시예의 구동장치(스테이지 장치)를 도시한 도면.
도 5는, 일반적인 가동부의 이동방법에 있어서의 문제점을 설명하기 위한 X-Y평면 좌표도.
도 6a 내지 도 6f는, 구동장치에 있어서의 X액추에이터와 Y액추에이터의 일반적인 구동 프로파일을 도시한 그래프.
도 7은, 구동장치의 모멘트 반작용력을 설명하기 위한 도면.
도 8은, 본 발명의 바람직한 실시예의 구동장치를 기판 스테이지로서 일체화된 노광장치의 개략적 배열을 도시한 도면.
도 9는, 반도체 디바이스의 전체적인 제조프로세스의 흐름을 도시한 순서도.
도 10은, 반도체 디바이스의 전제적인 제조프로세스의 흐름을 도시한 순서도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
4 : 기준 구조체 28 : X가이드 바
29 : Y가이드 바 30 : 상부판
31 : 웨이퍼 척 35a,35b : 에어 베어링
38 : X-Y슬라이더 50,51 : 바 미러
100 : 제어부 210 : 조명광학계
220 : 마스터 스테이지 221 : 마스터
230 : 투영광학계 240 : 기판 스테이지
32,132,33,133 : 선형모터 고정자 제어용 선형모터
본 발명은, 상기 설명한 문제에 의거하고, 본 발명의 목적은, 예를 들면, 물체를 구동할 때에 발생한 구동 반작용력을 상쇄하고, 그 영향을 경감하는데 있다.
본 발명의 제 1측면에 의하면, 물체를 가이드면을 따라서 X와 Y방향으로 구동하는 구동장치를 제공한다. 상기 구동장치는, 상기 물체를 X방향으로 구동하는 제 1액추에이터와, 물체를 Y방향으로 구동하는 제 2액추에이터와, 제 1 및 제 2액추에이터를 제어하는 제어부를 포함한다. 제 1 및 제 2액추에이터는, 상기 물체를 구동할 때에 발생한 반작용력을 받아 이동하는 반작용력 카운터를 각각 가진다. 더욱 바람직하게는, 제 1위치에 정지하고 있는 물체를 제 2위치로 이동시켜 상기 물체를 정지시킬 때, 상기 제어부는, 제 1위치와 제 2위치에 연결된 직선상에서 물체가 이동하도록, 제 1 및 제 2액추에이터를 제어한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 반작용력 카운터는, 상기 제 1액추에이터의 고정자로서 기능하는 제 1반작용력 카운터와, 제 2액추에이터의 고정자로서 기능하는 제 2반작용력 카운터를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 제어부는, 예를 들면, 상기 제 1액추에이터가 물체를 가속하는 동안의 가속주기와, 제 2액추에이터가 물체를 가속하는 동안의 가속주기가, 서로 일치하고, 또한 상기 제 1액추에이터가 물체를 감속하는 동안의 감속주기와, 상기 제 2액추에이터가 물체를 감속하는 동안의 감속주기가, 서로 일치하도록, 상기 제 1 및 제 2액추에이터를 제어하는 것이 바람직하다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 구동장치는, 예를 들면, 상기 제 1반작용력 카운터를 구동하는 제 3액추에이터와, 상기 제 2반작용력 카운터를 구동하는 제 4액추에이터를, 부가하여 구비하는 것이 바람직하다. 상기 제어부는, 물체를 구동할 때에 발생한 반작용력을 상쇄하거나, 또는 상기 반작용력의 영향을 경감하도록, 상기 제 3 및 제 4액추에이터를 제어하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제어부는, 물체를 구동할 때에 발생한 모멘트 반작용력을 상쇄하거나, 또는 상기 모멘트 반작용력의 영향을 경감하도록, 상기 제 3 및 제 4액추에이터를 제어하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 상기 제어부는, 상기 제 1 및 제 2액추에이터가 물체를 가속하는 동안의 가속기간과, 상기 제 3 및 제 4액추에이터가 제 1 및 제 2반작용력 카운터를 가속하는 동안의 가속기간이, 서로 일치하고, 상기 제 1 및 제 2액추에이터가 물체를 감속하는 동안의 감속기간과, 상기 제 3 및 제 4액추에이터가 제 1 및 제 2반작용력 카운터를 감속하는 동안의 감속기간이, 서로 일치하도록,상기 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4액추에이터를 제어하는 것이 바람직하다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 예를 들면, 상기 제 1액추에이터는, 물체의 -Y방향측과 +Y방향측의 각각에 배치되고, 상기 제 2액추에이터는, 물체의 -X방향측과 +X방향측의 각각에 배치되는 것이 바람직하다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 예를 들면, 상기 제 1액추에이터는, 물체의 -Y방향측과 +Y방향측의 각각에 배치되고, 상기 제 2액추에이터는, 물체의 -X방향측과 +X방향측의 각각에 배치되는 구동장치로서, 상기 1쌍의 제 1액추에이터의 제 1반작용력 카운터를 구동하는 1쌍의 제 3액추에이터와, 상기 1쌍의 제 1액추에이터의 제 1반작용력 카운터를 구동하는 1쌍의 제 4액추에이터를 각각 부가하여 구비하는 것이 바람직하다. 상기 제어부는, 물체를 구동할 때에 발생한 반작용력을 상쇄하거나, 또는 상기 반작용력의 영향을 경감하도록, 상기 쌍의 제 3액추에이터와 상기 쌍의 제 4액추에이터를 제어하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제어부는, 물체를 구동할 때에 발생한 모멘트 반작용력을 상쇄하거나, 또는 상기 모멘트 반작용력의 영향을 경감하도록, 상기 쌍의 제 3액추에이터와 상기 쌍의 제 4액추에이터를 제어하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제 2측면에 의하면, 가이드면을 따라 물체를 X와 Y방향으로 구동하는 구동장치로서, 물체를 X방향으로 구동하는 제 1액추에이터와, 물체를 Y방향으로 구동하는 제 2액추에이터와, 상기 제 1 및 제 2액추에이터를 제어하는 제어부를 포함한다. 상기 제 1액추에이터는, 물체를 구동할 때에 발생한 반작용력을 받아 이동하는 제 1반작용력 카운터를 가지고, 상기 제 2액추에이터는, 물체를 구동할때에 발생한 반작용력을 받아 이동하는 제 2반작용력 카운터를 가진다. 제 1위치에서 정지하고 있는 물체를 제 2위치로 이동시켜 상기 물체를 정지시킬 때, 상기 제어부는, 상기 제 1 및 제 2액추에이터가 물체를 구동하는 구동력과, 제 1위치의 좌표와 제 2위치의 좌표에 의해 유일하게 정해진 모멘트 반작용력이 발생하도록, 제 1 및 제 2액추에이터를 제어한다.
본 발명의 제 3측면에 의하면, 기판을 유지하는 척을 포함한 구조체를 구동하는 기판 스테이지로서 구성된, 상기 설명한 구동장치를 포함하는 노광장치로서, 투영광학계를 개재하여 기판에 패턴을 투영하여, 기판을 노광한다.
본 발명의 제 4측면에 의하면, 반도체 디바이스 등의 디바이스 제조방법으로서, 기판에 감광제를 도포하는 공정과, 상기 설명한 노광장치를 사용하여 상기 기판을 노광하는 공정과, 상기 기판을 현상하는 공정을 포함한다.
본 발명의 기타 특징과 이점은, 첨부도면과 함께 취한 다음의 설명으로부터 자명해지고, 도면 전체에서 동일한 참조기호는, 동일하거나 마찬가지의 부분을 표시한다.
명세서의 일부분을 일체화하여 구성한 첨부도면은, 설명과 함께, 발명의 실시예를 예시하고, 발명의 원리를 설명하는 기능을 한다.
본 발명의 바람직한 실시예는, 첨부도면을 참조하여 아래 설명한다.
도 4a와 도 4b는, 액추에이터의 고정자를, 가동자의 구동 반작용력을 받는데 반작용력 카운터로서 사용하는 본 발명의 바람직한 실시예로서, 노광장치의 웨이퍼 스테이지를 도시한 평면도와 단면도이다.
도 4a와 도 4b에 있어서, 웨이퍼 척(31), 위치측정용의 바 미러(50),(51)는, 상부판(30)상에 설치된다. 상기 웨이퍼 척(31)은, 물체로서 기능하는 웨이퍼를 진공 흡착해 유지하여, 위치결정된다. 상기 바 미러(50),(51)는, 레이저 간섭계(도시하지 않음)로부터 측정광을 반사한다. 상부판(30)은, X-Y슬라이더(38)에 대해서, 자석을 사용한 광량 보상기(도시하지 않음)에 의해 비접촉으로 부상하고, 6개의 축방향으로 6개의 자유도를 가진다. 상부판(30)은, 상기 상부판(30)과 X-Y슬라이더(38)간의 구동력을 발생하는 액추에이터에 의해, 6개의 축방향(X, Y, Z방향과 그 회전방향)으로 미세하게 구동된다. X방향으로 2개의 선형모터, Y방향으로 1개의 선형모터, 그리고 Z방향으로 3개의 선형모터는, 6개의 축방향으로의 미동용의 액추에이터로서 설치된다. 상기 2개의 X방향 미동 선형모터가 역방향으로 구동하는 경우, Z축(θ방향)에 대해 상부판(30)을 구동할 수 있다. 3개의 Z방향 미동 선형모터의 구동력을 조정함으로써, X축(ωX방향)과 Y축(ωY방향)에 대해 상부판(30)을 구동할 수 있다. 미동용 선형모터의 고정자로서 기능하는 코일은, X-Y슬라이더(38)측에 설치되고, 미동용 선형모터의 가동자로서 기능하는 영구자석은, 상부판(30)측에 설치된다.
X-Y슬라이더(38)는, 에어 베어링(정압 베어링)(35a)을 개재하여, X가이드 바(28)와 Y가이드 바(29)에 의해 가이드된다. X-Y슬라이더(38)는, 에어 베어링(정압 베어링)(35b)에 의해 기준 구조체(4)의 상측 표면에 Z축방향으로 가이드된다.
X가이드 바(28)의 양단과 Y가이드 바(29)의 양단 부근에, 선형모터의 가동자(자석)(26),(126),(27),(127)가 장착된다. 제어부(100)의 제어 아래에서,2개의 X선형모터 고정자와 2개의 Y선형모터 고정자(코일)(24),(124),(25),(125)를 개재하여 전류를 흘림으로써 로렌츠력이 발생되고, 이에 의해 Y방향으로의 X가이드 바(28)와 X방향으로의 Y가이드 바(29)가 구동한다. 2개의 X선형모터 고정자와 2개의 Y선형모터 고정자(코일)(24),(124),(25),(125)는, 에어 베어링(정압 베어링)(34)에 의해 기준구조체(4)의 상측 표면에 Z방향으로 가이드되고, X와 Y방향(평면 방향)으로 자유도를 가진다.
액추에이터 이외에 반작용력 카운터로서 기능하는 선형모터 고정자(24),(124),(25),(125)를, 각각 YR, YL, XB, XF로 이하 칭한다.
선형모터 고정자(24),(124)는, 제어부(100)의 제어 아래에서, 선형모터 고정자 제어용 선형모터(32),(132)에 의해 Y방향으로 구동된다. 마찬가지로, 선형모터 고정자(25),(125)는, 제어부(100)의 제어 아래에서, 선형모터 고정자 제어용 선형모터(33),(133)에 의해 X방향으로 구동된다.
본 발명의 배경을 도 4a와 도 4b를 참조하여 설명한다. X-Y슬라이더(38)가 0의 Y좌표에서 X방향으로만 이동하는 경우를 설명한다. Y가이드 바(29)가 로렌츠력에 의해 X방향으로 구동하면, 정압 베어링(35a)을 개재하여 X-Y슬라이더(38)에 X방향으로 힘이 인가된다. X-Y슬라이더(38)와 Y가이드 바(29)의 조합을 이하 X가동부로서 칭한다. X가동부를 가감속시키면, 가감속으로 인하여 발생한 반작용력이 X선형모터 고정자(25),(125)에 작용한다.
X선형모터 고정자(25),(125)는, 정압 베어링(34)에 의해 X와 Y방향으로 이동가능하게 지지되고 있기 때문에, 반작용력은 X선형모터 고정자(25),(125)를 X방향으로 이동시킨다. 이동시의 가속도와 속도는, X선형모터 고정자(25),(125)의 질량과 X가동부의 질량간의 비율에 좌우된다. 예를 들면, X선형모터 고정자(25),(125)의 질량이 200kg/개, X가동부의 질량이 40kg이라고 가정한다. 이 경우, 질량비는 10:1이고, 따라서 X선형모터 고정자(25)의 가속도와 속도는, X가동부의 것의 1/10이 된다. 이러한 방식으로 X선형모터 고정자(25),(125)가 X방향으로 이동하면, X선형모터 고정자(25)에 인가된 X방향으로의 반작용력은, 기준 구조체(4)에 전달되지 않는다. X-Y슬라이더(38)가 0의 X좌표에서 Y방향으로만 구동하는 경우에도 동일하게 적용된다.
그러나, X-Y슬라이더(38)가 X와 Y방향으로, 즉, 2차원으로 구동하는 경우, 모멘트 성분(이하 "모멘트 반작용력"으로 칭함)으로부터 구동 반작용력이 발생한다. 이 때문에, 상기 설명한 바와 같이, 반작용력은 간단한 방식으로 흡수될 수 없다. 일례와 같이, X-Y슬라이더(38)가 2차원으로, 즉, X-Y방향으로 구동할 때, X방향의 제어계와 Y방향의 제어계는 서로 독립적이고, 처리속도에 높은 우선권을 부여하기 위하여, X방향 구동 프로파일과 Y방향 구동 프로파일 모두는, 항상 최고 가속도와 최고 속도를 나타내도록 하는 제어방법을 고려한다.
이러한 제어방법에서는, 도 5에 도시한 X-Y평면에 있어서 A점으로부터 B점으로 X-Y슬라이더(38)를 구동할 때, 도 6a와 도 6b에 도시한 바와 같이, X구동 프로파일과 Y구동 프로파일은, X-Y슬라이더(38)를 구동하는데 사용된다. 스테이지 장치 또는 구동장치의 최고 가속도는 1G이고, 최고 속도가 1m/s이면, 도 6a와 도 6b의 구동 프로파일은, X축과 Y축 모두에 대하여, 각각 1G의 최고 가속도와 1m/s의최고 속도를 나타내도록 X-Y슬라이더(38)가 구동된다.
도 6a와 도 6b에 도시한 바와 같이, 구동 프로파일을 이용하여 X-Y슬라이더(38)를 구동하는 경우, X-Y슬라이더(38)는 도 5에 도시한 바와 같이 궤적을 그려 이동한다. 이렇게 이동하는 동안, X-Y슬라이더(38)가 A점, B점 및 C점 부근에 있을 때, 구동력이 발생한다.
이 때, 반작용력 카운터로서 선형모터 고정자(24)(YR),(25)(XB),(124)(YL),(125)(XF)가 구동력을 상쇄하도록 이동한다. X-Y슬라이더(38)의 위치에 좌우하여, 반작용력 카운터는 다른 반작용력 성분을 받는다. 즉, Y방향 구동의 반작용력을 받아 전달하는 X가이드 바(28)에 인가된 모멘트 반작용력은, X-Y슬라이더(38)의 X좌표에 따라서 변경되기 때문에, 반작용력 카운터(YL)(124)에 의해 받는 반작용력 성분과 반작용력 카운터(YR)(24)에 의해 받는 반작용력 성분간에 차이가 발생한다. 마찬가지로, X방향 구동의 반작용력을 받아 전달하는 Y가이드 바(29)에 인가된 모멘트 반작용력은, X-Y슬라이더(38)의 Y좌표에 따라서 변경되기 때문에, 반작용력 카운터(XF)(125)에 의해 받은 반작용력 성분과 반작용력 카운터(XB)(25)에 의해 받은 반작용력 성분간에 차이가 발생한다.
더욱 상세하게는, 도 5에 있어서, X-Y슬라이더(38)의 구동 개시위치는, 원점의 +X와 +Y방향으로 있기 때문에, 반작용력 카운터(YR)(24)는 반작용력 카운터(YL)(124)보다 큰 반작용력 성분을 받고, 반작용력 카운터(XB)(25)는 반작용력 카운터(XF)(125)보다 큰 반작용력 성분을 받는다.
도 5에 도시한 바와 같이, X-Y슬라이더(38)가 궤적을 그리면서 이동하면, X가이드 바(28)와 Y가이드 바(29)에 의해 받은 모멘트 반작용력은, X-Y슬라이더(38)의 위치에 따라 변경된다. 따라서, 도 5에 도시한 바와 같이 궤적을 그리면서 X-Y슬라이더(38)가 구동될 때 발생한 모멘트 반작용력에 대하여, X-Y슬라이더(38)가 X구동/Y구동에서의 임의의 위치에서 X-Y슬라이더(38)가 가감속되기 때문에, 가속시에 발생한 모멘트 반작용력과 감속시에 발생한 모멘트 반작용력의 합은 0이 되지 않는다.
가속시에 발생한 모멘트 반작용력과 감속시에 발생한 모멘트 반작용력의 합이 0이 되지 않는다는 것은, 모멘트 성분을 포함한 구동 반작용력을 완전하게 상쇄하도록 반작용력 카운터(XB),(XF),(YL),(YR)를 이동시키는 경우, 도 6c 내지 도 6f에 도시한 바와 같이, 반작용력 카운터(XB),(XF),(YL),(YR)의 이동 속도가 되어, 상기 반작용력 카운터(XB),(XF),(YL),(YR)가 정지할 수 없다는 것을 의미한다. 바꾸어 말하면, 반작용력 카운터는 필연적으로 유효한 스트로크를 가지고, 이에 의해 모멘트 반작용력을 완전하게 상쇄하는 것이 곤란하다.
본 발명의 바람직한 실시예를 다음에 설명한다. 도 4에 있어서 X-Y슬라이더(38)는, 도 1에 도시한 바와 같은 좌표계에 있어서, 임의의 A점(x1,y1)으로부터 B점(x2,y2)로 이동하는 경우를 고려한다. 이 좌표계의 원점(0,0)은, 반작용력 카운터(YR, YL, XB, XF)(24),(124),(25),(125)에 대하여 모멘트 반작용력이 발생하지 않는 점으로 정한다. 도 4에 도시한 구동장치에서는, X-Y슬라이더(38)가 정지하고 있는 점이 원점(0,0)이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, X방향으로 X-Y슬라이더(38)를 구동하기 위한 선형모터((25),(27),(125),(127))의 구동 프로파일에 있어서의 가속기간과, Y방향으로 X-Y슬라이더(38)를 구동하기 위한 선형모터((24),(26),(124),(126))의 구동 프로파일에 있어서의 가속기간을, 서로 동일하게 하고(즉, 동기시킴), X방향 구동용의 선형모터((25),(27),(125),(127))의 구동 프로파일에 있어서의 감속기간과, Y방향 구동용의 선형모터((24),(26),(124),(126))의 구동 프로파일에 있어서의 감속기간을, 서로 동일하게 한다(즉, 동기시킴). 제어부(100)는, 각각의 선형모터를 구동하도록 제어하기 위한 구동 프로파일에 의거하여, X방향의 구동용의 선형모터((25),(27),(125),(127))와, Y방향의 구동용의 선형모터((24),(26),(124),(126))를 제어한다.
상기 제어의 일례를 설명한다. 제어부(100)는, 도 2a와 도 2b에 도시한 바와 같은 X방향과 Y방향의 구동 프로파일에 따라서, X방향의 구동용의 선형모터((25),(27),(125),(127))와, Y방향의 구동용의 선형모터((24),(26),(124),(126))를 제어하고, 이에 의해 X-Y슬라이더(38)를 구동한다. 도 2a와 도 2b를 참조하여, 0으로부터 1까지의 기간은 가속기간이다. 제어부(100)는, X방향의 구동용의 선형모터((25),(27),(125),(127))와, Y방향의 구동용의 선형모터((24),(26),(124),(126))를, 서로 동기시켜서, t0으로부터 t1까지의 기간동안 X-Y슬라이더(38)를 가속시킨다. 이 때, X방향의 구동용의 선형모터에 의한 가속력과, Y방향의 구동용의 선형모터에 의한 가속력의 벡터는, A점으로부터 B점을 향하는 벡터 ABvec의 것과 항상 동일한 방향을 가진다. 이 명세서에서는, VEC은 첨자로서 벡터에 첨부되는 것에 유의해야 한다.
도 2a와 도 2b에 있어서, t1으로부터 t2까지의 기간은 일정속도 기간이다. 제어부(100)는, X-Y슬라이더(38)가 일정속도로 A와 B 사이를 이동하도록, X방향의 구동용 선형모터와 Y방향의 구동용 선형모터를 일정속도로 동작시킨다.
도 2a와 도 2b에 있어서, t2로부터 t3까지의 기간은 감속기간이다. 제어부(100)는, X방향의 구동용 선형모터와 Y방향의 구동용 선형모터 양쪽 모두를 서로 동기시켜서, X-Y슬라이더(38)가 t2로부터 t3까지의 기간동안 감속시켜 정지시킨다. 이 때, X방향의 구동용 선형모터에 의한 감속력과, Y방향의 구동용 선형모터에 의한 감속력의 합력의 벡터는, 항상 벡터 BAvec이고, 즉, 가속시에 벡터 ABvec의 역방향과 동일한 방향을 가진다.
상기 설명한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, X방향의 구동용의 선형모터의 구동 프로파일에 있어서의 가속기간과, Y방향의 구동용의 선형모터의 구동 프로파일에 있어서의 가속기간을, 서로 동일하게 하고(즉, 동기시킴), X방향의 구동용의 선형모터의 구동 프로파일에 있어서의 감속기간과, Y방향의 구동용의 선형모터의 구동 프로파일에 있어서의 감속기간을, 서로 동일하게 하고(즉, 동기시킴), 이에 의해 도 1에 도시한 바와 같이, 직선의 궤도에서 A점으로부터 B점으로 X-Y슬라이더(38)를 구동한다.
이러한 구동조건 아래에서, 도 2a와 도 2b의 구동 프로파일에 따라서, A점으로부터 B점으로 X-Y슬라이더(38)를 이동시킬 때 발생한 구동력 Fvec(t)을, 벡터시간함수로서 식(1)에 의해 나타내어진다.
더욱 상세하게는, X-Y슬라이더(38)에 인가된 구동력 Fvec(t)은, A점으로부터 B점을 향하는 방향을 가지는 단위벡터를, 도 3a에 도시한 바와 같은 스칼라 함수 F(t)로 곱함으로써 얻어진다.
이 때 발생한 모멘트 반작용력을 고려한다. Y가이드 바(29)에 인가된 모멘트 반작용력( y(t))은, 식(2)에 의해 나타내어진다.
X가이드 바(28)에 인가된 모멘트 반작용력( X(t))은, 식(3)에 의해 나타내어진다.
이들 모멘트 반작용력의 합력((t))은, 식(4)에 의해 나타내어진다.
여기서,
식(5)를 식(4)로 치환하면 식(6)이 산출된다.
y(t)가 점(x1,y1)을 통과하기 때문에, b는 식(7)에 의해 산출된다.
식(7)을 식(6)에 치환하면 식(8)이 산출된다.
식(8)의 sinθ와 cosθ를 (x1,y1)과 (x2,y2)로 표현하면, 식(9)가 산출된다.
따라서, 모멘트 반작용력은 식(10)에 의해 표현된다.
본 발명의 바람직한 실시예의 구동방법에 의하면, 모멘트 반작용력((t))은, 구동력(F(t))의 정수배가 되고, 상기 정수는, 구동 개시위치 A와 정지위치 B의 좌표에 의해 유일하게 정해진다.
F(t)는, A점에서 X-Y슬라이더(38)를 개시하여, B점에서 정지시키기 위한 구동력이다. 이 때, X-Y슬라이더(38)의 벡터 ABvec상에서의 스칼라벡터는 도 3b에 도시한 바와 같다.
따라서, F(t)의 정수배인 모멘트 반작용력((t))은, 도 3c에 도시한 바와 같은 시간함수에 의해 나타내고, 모멘트 반작용력을 받아 이동하는 반작용력 카운터의 이동속도는, 도 3d에 도시한 바와 같은 것으로 기대된다. 도 3d에 도시한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예의 구동방법에 의하면, 반작용력 카운터의 속도는 최종적으로 0이 되어, 상기 반작용력 카운터를 항상 정지시킬 수 있다.
또한, 모멘트 반작용력((t))을 반작용력 카운터에 분배하여, X-Y슬라이더(38)의 구동력을 완전하게 상쇄하는 방법을 아래 설명한다.
도 4의 구동장치에 있어서, 선형모터의 고정자로 이루어지는 반작용력 카운터로서, 4개로 분리된 반작용력 카운터 XB(25), XF(125), YR(24) 및 YL(124)를 이용한다.
먼저, X방향의 구동 반작용력 성분은, 반작용력 카운터 (XB)(25)와 (XF)(125)에 의해 상쇄될 수 있다. X-Y슬라이더(38)의 구동력(Fvec(t))의 X방향 성분을 F(t)로 하면, F(t)는, 2개의 X선형모터의 구동력(한 쌍의 고정자(25)와 가동자(27), 한쌍의 고정자(125)와 가동자(127))이고, 그 반작용력은 -Fx(t)이다. X선형모터의 고정자를 이루어지는 반작용력 카운터(XB)(25)와 (XF)(125)는, 반작용력(-Fx(t))을 X방향으로 받는다. 반작용력 카운터(XF)(125)에 인가된 힘을FXF(t), 반작용력 카운터(XB)(25)에 인가된 힘을 FXB(t)라고 한다. 다음의 식(11)이 성립되는 경우, X방향의 반작용력 카운터는 상쇄될 수 있다.
마찬가지로, Y방향의 구동 반작용력 성분은, 반작용력 카운터(YL)(124)와 (YR)(24)에 의해 상쇄될 수 있다. X-Y슬라이더(38)의 구동력(Fvec(t))의 Y방향 성분을 Fy(t)로 하면, Fy(t)는, Y선형모터(26),(126)의 구동력이고, 그 반작용력은 -Fy(t)이다. Y선형모터의 고정자로 이루어지는 반작용력 카운터(YL)(126)과 (YR)(26)은, 반작용력(-Fy(t))을 Y방향으로 받는다. 반작용력 카운터(YL)(126)에 인가된 힘을 FYL(t), 반작용력 카운터(YR)(26)에 인가된 힘을 FYR(t)라고 한다. 다음의 식(12)이 성립하는 경우, Y방향의 반작용력 성분은 상쇄될 수 있다.
또한, 모멘트 방향의 반작용력을 고려한다. 도 7은, 모멘트 방향의 반작용력을 도시한다. 도 7에 도시한 바와 같이, X가이드 바(28)에 인가된 모멘트 반작용력을 x(t), X가이트 바(28)의 길이를 2Lx, Y가이드 바(29)에 인가된 모멘트 반작용력을 y(t), Y가이드 바(29)의 길이를 2Ly라고 하면, x(t)와 y(t)는식(13)에 의해 나타내진다.
모멘트 반작용력((t))은, X가이드 바(28)에 인가된 모멘트( x(t))와 Y가이드 바(29)에 인가된 모멘트( y(t))의 합이고, 다음의 식(14)이 성립하는 경우, 모멘트 반작용력은 상쇄될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, X-Y슬라이더(38)를 구동하는 동시에, 제어부(100)는, 도 4에 도시한 선형모터 고정자 제어용 선형모터(133),(33),(132),(32)를 제어하고, 이에 의해 식(15)에 의해 주어지는 힘으로, 선형모터의 고정자로 이루어지는 반작용력 카운터(XF)(125),(XB)(25),(YL)(124),(YR)(24)를 구동한다. 식(15)에 의하면, X방향의 구동용의 선형모터((25),(27),(125),(127))의 구동 프로파일에 있어서의 가속기간과, Y방향의 구동용의 선형모터((24),(26),(124),(126))의 구동 프로파일의 가속기간이, 서로 일치하고, X방향의 구동용의 선형모터((25),(27),(125),(127))의 구동 프로파일에 있어서의 감속기간과, Y방향의 구동용의선형모터((24),(26),(124),(126))의 구동 프로파일의 감속기간이, 서로 일치한다.
반작용력 카운터(XF)(125),(XB)(25),(YL)(124),(YR)(24)는, 선형모터(133),(33),(132),(32)에 의해 구동되고, 식(15)을 만족하며, X방향으로 인가된 힘은 식(16)에 의해 나타내어진다.
즉, 식(11)이 성립하기 때문에, X방향의 반작용력 성분은 완전하게 상쇄될 수 있다. 마찬가지로, X방향으로 인가된 힘은 식(17)에 의해 나타내어진다.
즉, 식(12)이 성립하기 때문에, Y방향의 반작용력 성분은 완전하게 상쇄될 수 있다. 또한, 모멘트 반작용력은 식(18)에 의해 나타내어진다.
·와 ,가, 식(19)를 만족하도록 선택되는 경우, 식(14)이 성립되어, 모멘트 반작용력을 완전하게 상쇄할 수 있다. 예를 들면, 식(20)에 의해 나타낸 바와 같이 α와 β를 선택하는 경우, 모멘트 반작용력은, 반작용력 카운터(YL)(124)와 반작용력 카운터(YR)(24)사이에서만 분배될 수 있다.
식(21)에 의해 나타낸 바와 같이 α와 β를 선택하는 경우, 모멘트 반작용력은, 반작용력 카운터(XF)(125)와 반작용력 카운터(XB)(25)사이에서만 분배될 수 있다.
식(22)에 의해 나타낸 바와 같이 α와 β를 선택하는 경우, 모멘트 반작용력은, 4개의 반작용력 카운터(XF)(125),(XB)(25),(YL)(124),(YR)(24) 중에서 분배될 수 있다.
선형모터 고정자로 이루어지는 반작용력 카운터(XF),(XB),(YL),(YR)의 구동 스트로크는, 반작용력 카운터(XF),(XB),(YL),(YR)의 중량과, X-Y가동부로서 기능하는 X-Y슬라이더(38), 상기 X-Y슬라이더(38)의 상부판(30), 웨이퍼 척(31), 바 미러(50),(51), X가이드 바(28) 및 Y가이드 바(29)의 중량간의 비율에 좌우한다. 따라서, 반작용력 카운터의 스트로크를 짧게 하기 위해서, 반작용력 카운터의 중량을 가능한 한 무겁게 하는 것이 바람직하다.
상기 설명한 바와 같이, 상기 실시예에 의하면, X-Y슬라이더(38)를 구동할때에 발생한 반작용력은, 모멘트 성분의 반작용력을 포함하여, 구동장치 내에서 완전하게 상쇄할 수 있다.
더욱 상세하게는, 본 발명의 바람직한 실시예의 구동장치에 의하면, 가이드면을 따라서 X와 Y방향으로, 즉, 2차원적으로, 이동가능한 물체(X-Y슬라이더, 상부판, 웨이퍼 척 등을 포함한 구조체)를 이동시킬 때, 상기 물체를 X방향으로 구동하는 X방향용 액추에이터의 가속기간과, 상기 물체를 Y방향으로 구동하는 Y방향용 액추에이터의 가속기간을, 서로 동일하게 하고(즉, 동기시킴), X방향용 액추에이터의 감속기간과, Y방향용 액추에이터의 감속기간을, 서로 동일하게 한다(즉, 동기시킴). 이것은, 양쪽의 액추에이터를 동시에 가감속도의 힘을 발생시켜서, 구동 개시 위치로부터 정지 위치까지 상기 물체를 직선적으로 이동시킬 수 있다. 이 때문에, 가속시에 발생한 구동 반작용력의 모멘트 성분과, 감속시에 발생한 구동 반작용력의 모멘트 성분이 서로 동일해져, 모멘트 성분을 포함한 구동 반작용력을 완전하게 상쇄하도록 반작용력 카운터를 이동하여도, 반작용력 카운터는 유효 스트로크 내에서 정지할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 구동장치에 있어서 좌표(x1,y1)로부터 좌표(x2,y2)로 물체를 이동시킬 때 발생한 구동력을 F로 한다. 복수의 반작용력 카운터의 일부 중에서 하기 식:
에 의해 나타내어지는, 모멘트 반작용력()을 회전방향으로 분배함으로써,상기 모멘트 반작용력을 완전하게 상쇄하거나 그 영향을 경감할 수 있다.
또한, 예를 들면, 도 4a와 도 4b에 도시한 바와 같이 4개의 반작용력 카운터 (XF)(125),(XB)(25),(YL)(124),(YR)(24)를 가지는 구동장치에 있어서, 좌표(x1,y1)으로부터 좌표(x2,y2)로 물체를 이동할 때, X방향용의 액추에이터의 가속기간과 Y방향용의 액추에이터의 가속기간이 서로 동일하게 하고(즉, 동기시킴), X방향용의 액추에이터의 감속기간과, Y방향용의 액추에이터의 감속기간을 서로 동일하게 한다(즉, 동기시킴). 이것은 양쪽의 액추에이터가 물체를 동시에 가감속하게 한다. 이 때 상기 물체의 구동력을 F라 하면, 회전방향의 모멘트 반작용력()은, 하기 식:
에 의해 나타내진다. 반작용력 카운터(XF)의 구동력을 FXF, 반작용력 카운터(XB)의 구동력을 FXB, 반작용력 카운터(YR)의 구동력을 FYR, 반작용력 카운터(YL)의 구동력을 FYL, 스테이지의 구동력(F)의 X방향 반작용력 성분을 Fx, Y방향 반작용력 성분을 FY라고 한다. 를체를 이동시킬 때 발생한, X와 Y방향의 반작용력 성분과 모멘트 반작용력 성분은, 하기의 힘:
(식중, α와 β는 정수임)에 상당하는 명령값에 따라서, 선형모터 고정자 제어용 선형모터(133),(33),(132),(32)를 각각 사용하여, 반작용력 카운터(XF)(125),(XB)(25),(YL)(124),(YR)(24)를 구동함으로써, 외부에 누설하는 일없이 구동장치내에서 완전하게 상쇄될 수 있다.
도 8은, 상기 설명한 구동장치를 기판 스테이지로서 일체화한 노광장치의 개략적 배치를 도시한 도면이다. 노광장치는, 마스터 스테이지(220)에 의해 유지된 마스터(레티클 또는 마스크)(221)를 조명광학계(210)가 조명하고, 기판 스테이지(웨이퍼 스테이지)(240)상의 기판(웨이퍼)(241)에 마스터(221)의 패턴을, 투영광학계(230)를 개재하여 투영하고, 이로 인해 상기 기판(241)을 노광한다. 기판 스테이지(240)로서, 도 4에 도시한 구동장치를 이용한다.
상기 설명한 바와 같이, 본 발명의 구동장치를 일체화한 노광장치에 의하면, 먼저, 마스터 스테이지가 이동할 때 발생하는 진동의 감소는, 오버레이 정밀도, 선폭 정밀도 등의 정밀도와 처리속도를 증가시킬 수 있다. 또한, 스테이지의 가감속할 때 발생한 반작용력의 마루에 대한 영향의 감소는, 동일한 마루에 위치한 다른 장치에 대한 영향을 감소할 수 있고, 동시에 다른 장치와의 간격을 감소시킬 수 있다. 이 때문에, 복수의 장치가 위치될 때, 1개의 장치마다 필요한 마루면적을 감소시킬 수 있다.
상기 설명한 노광장치를 이용한 반도체 디바이스의 제조 프로세스를 다음에설명한다. 도 9는, 반도체 디바이스의 전체적인 제조 프로세스의 흐름을 도시한 도면이다. 공정 1(회로설계)에서는, 반도체 디바이스 회로를 설계한다. 공정 2(마스크 제작)에서는, 설계한 회로패턴을 가지는 마스크를 제작한다. 공정 3(웨이퍼 제조)에서는, 실리콘 등의 재료를 이용함으로써 웨이퍼를 제조한다. 전공정으로 칭하는 공정 4(웨이퍼 프로세스)는, 준비된 마스크와 웨이퍼를 이용하여, 리소그래피 기술에 의해 웨이퍼 위에 실제의 회로를 형성한다. 후공정으로 칭하는 공정 5(조립)는, 공정 4에서 형성된 웨이퍼를 이용함으로써 반도체 칩을 형성하는 공정이고, 조립공정(다이싱과 본딩)과 패키징 공정(칩 봉입)을 포함한다. 공정 6(검사)에서는, 공정 5에서 제작된 반도체 디바이스는, 동작확인 테스트와 내구성 테스트 등의 검사를 행한다. 이들 공정 후, 반도체 디바이스는 완성되어 출하된다(공정 7).
도 10은, 상기 언급한 웨이퍼 프로세스의 상세한 흐름을 도시한 도면이다. 공정 11(산화)에서는, 웨이퍼 표면을 산화시킨다. 공정 12(CVD)에서는, 웨이퍼 표면 위에 절연막을 형성한다. 공정 13(전극 형성)에서는, 웨이퍼 위에 전극을 증착에 의해 형성한다. 공정 14(이온 주입)에서는, 웨이퍼에 이온을 주입한다. 공정 15(레지스트 처리)에서는, 웨이퍼에 감광제를 도포한다. 공정 16(노광)에서는, 상기 언급한 노광장치를 이용하여 회로패턴을 웨이퍼에 전사한다. 공정 17(현상)에서는, 노광된 웨이퍼를 현상한다. 공정 18(에칭)에서는, 현상된 레지스트 화상을 제외한 레지스트를 에칭한다. 공정 19(레지스트 박리)에서는, 에칭 후 불필요한 레지스트를 제거한다. 이들 공정을 반복하여, 웨이퍼 위에 다중의 회로패턴을 형성한다.
상기 설명한 본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 독립적으로 이동가능한 4개의 반작용력 카운터(XF)(125),(XB)(25),(YL)(124),(YR)(24)가 설치된다. 그러나, 4개의 반작용력 카운터의 단부를 서로 연결하여, 1개의 반작용력 카운터를 구성할 수 있다. 이 경우, 모멘트 성분의 반작용력을 제어하는데 다소 곤란하게 되지만, 반작용력 카운터와 가동부간의 질량비는 증가한다. 따라서, 물체를 구동할 때에 발생한 반작용력을 상쇄하고 그 영향이 감소할 때, 반작용력 카운터의 이동량은 감소될 수 있다.
본 발명에 의하면, 예를 들면, 물체를 구동시킬 때 발생하는 반작용력을 상쇄하고, 그 영향을 감소시키는 것이 가능하다.
본 발명의 매우 자명하고 폭넓은 상이한 실시예는, 그 정신과 범위로부터 일탈함이 없이 이루어질 수 있고, 본 발명은, 청구항에 정의된 것을 제외하고, 특정한 실시예에 제한되지 않는다는 것을 이해하여야 한다.

Claims (17)

  1. 가이드면을 따라 물체를 X와 Y방향으로 구동하는 구동장치로서,
    물체를 X방향으로 구동하는 제 1액추에이터와;
    물체를 Y방향으로 구동하는 제 2액추에이터와;
    상기 제 1 및 제 2액추에이터를 제어하는 제어부와;
    를 포함하는 구동장치에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2액추에이터는, 물체를 구동할 때에 발생한 반작용력을 받아 이동하는 반작용력 카운터를 각각 가지고,
    제 1위치에서 정지하고 있는 물체를 제 2위치로 이동시켜 물체를 정지시킬 때, 상기 제어부는, 제 1위치와 제 2위치를 연결한 직선상에서 물체가 이동하도록, 상기 제 1 및 제 2액추에이터를 제어하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제 1액추에이터가 물체를 가속하는 동안의 가속주기와, 제 2액추에이터가 물체를 가속하는 동안의 가속주기가, 서로 일치하고, 또한 상기 제 1액추에이터가 물체를 감속하는 동안의 감속주기와, 상기 제 2액추에이터가 물체를 감속하는 동안의 감속주기가, 서로 일치하도록, 상기 제 1 및 제 2액추에이터를 제어하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  3. 제 1항에 있어서, 반작용력카운터는, 상기 제 1액추에이터의 고정자로서 기능하는 제 1반작용력 카운터와, 상기 제 2액추에이터의 고정자로서 기능하는 제 2반작용력 카운터를 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    제 1반작용력카운터를 구동하는 제 3액추에이터와;
    제 2반작용력카운터를 구동하는 제 4액추에이터와;
    를 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  5. 제 4항에 있어서, 회전방향의 모멘트 반작용력()은,
    (식중, F는, 스테이지가 좌표(x1,y1)으로부터 좌표(x2,y2)로 이동할 때 발생하는 구동력임)의 식에 의해 산출되고,
    상기 모멘트 반작용력()은, 반작용력 카운터 중의 어느 하나에 분배되어 상쇄 또는 경감되는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 제어부는, 물체를 구동할 때에 발생한 반작용력을 상쇄하거나, 또는 상기 반작용력의 영향을 경감하도록, 상기 제 3 및 제 4액추에이터를 제어하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  7. 제 4항에 있어서, 상기 제어부는, 물체를 구동할 때에 발생한 모멘트 반작용력을 상쇄하거나, 또는 상기 모멘트 반작용력의 영향을 경감하도록, 상기 제 3 및 제 4액추에이터를 제어하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  8. 제 4항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제 1 및 제 2액추에이터가 물체를 가속하는 동안의 가속기간과, 상기 제 3 및 제 4액추에이터가 제 1 및 제 2반작용력 카운터를 가속하는 동안의 가속기간이, 서로 일치하고, 상기 제 1 및 제 2액추에이터가 물체를 감속하는 동안의 감속기간과, 상기 제 3 및 제 4액추에이터가 제 1 및 제 2반작용력 카운터를 감속하는 동안의 감속기간이, 서로 일치하도록, 상기 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4액추에이터를 제어하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 제 1액추에이터는, 물체의 -Y방향측과 +Y방향측의 각각에 배치되고,
    상기 제 2액추에이터는, 물체의 -X방향측과 +X방향측의 각각에 배치되는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  10. 제 3항에 있어서,
    상기 제 1액추에이터는, 물체의 -Y방향측과 +Y방향측의 각각에 배치되고,
    상기 제 2액추에이터는, 물체의 -X방향측과 +X방향측의 각각에 배치되는 구동장치로서,
    상기 1쌍의 제 1액추에이터의 제 1반작용력 카운터를 구동하는 1쌍의 제 3액추에이터와;
    상기 1쌍의 제 1액추에이터의 제 1반작용력 카운터를 구동하는 1쌍의 제 4액추에이터와;
    를 각각 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 제어부는, 물체를 구동할 때에 발생한 반작용력을 상쇄하거나, 또는 상기 반작용력의 영향을 경감하도록, 상기 쌍의 제 3액추에이터와 상기 쌍의 제 4액추에이터를 제어하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  12. 제 10항에 있어서, 상기 제어부는, 물체를 구동할 때에 발생한 모멘트 반작용력을 상쇄하거나, 또는 상기 모멘트 반작용력의 영향을 경감하도록, 상기 쌍의 제 3액추에이터와 상기 쌍의 제 4액추에이터를 제어하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  13. 가이드면을 따라 물체를 X와 Y방향으로 구동하는 구동장치로서,
    물체를 X방향으로 구동하는 제 1액추에이터와;
    물체를 Y방향으로 구동하는 제 2액추에이터와;
    상기 제 1 및 제 2액추에이터를 제어하는 제어부와;
    를 포함하는 구동장치에 있어서,
    상기 제 1액추에이터는, 물체를 구동할 때에 발생한 반작용력을 받아 이동하는 제 1반작용력 카운터를 가지고, 상기 제 2액추에이터는, 물체를 구동할 때에 발생한 반작용력을 받아 이동하는 제 2반작용력 카운터를 가지고,
    제 1위치에서 정지하고 있는 물체를 제 2위치로 이동시켜 상기 물체를 정지시킬 때, 상기 제어부는, 상기 제 1 및 제 2액추에이터가 물체를 구동하는 구동력과, 제 1위치의 좌표와 제 2위치의 좌표에 의해 유일하게 정해진 모멘트 반작용력을 발생하도록, 제 1 및 제 2 액추에이터를 제어하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  14. 제 13항에 있어서, 구동장치는, 모멘트 반작용력을 상쇄하거나, 또는 상기 모멘트 반작용력의 영향을 경감하도록, 제 1 및 제 2반작용력 카운터 중의 적어도 한쪽을 구동하는 제 3액추에이터를 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
  15. 기판을 유지하는 척을 포함한 구조체를 구동하는 기판 스테이지로서 구성된, 제 1항에 기재된 구동장치와;
    패턴을 기판에 투영하는 투영광학계와;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  16. 노광장치는, 제 1항에 기재된 구동장치를 가지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  17. 기판에 감광제를 도포하는 공정과;
    제 15항에 기재된 노광장치를 사용하여 상기 기판을 노광하는 공정과;
    상기 기판을 현상하는 공정과;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 디바이스제조방법.
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