JPH0851126A - ワイヤボンド装置及びワイヤボンディング方法 - Google Patents
ワイヤボンド装置及びワイヤボンディング方法Info
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- JPH0851126A JPH0851126A JP6187217A JP18721794A JPH0851126A JP H0851126 A JPH0851126 A JP H0851126A JP 6187217 A JP6187217 A JP 6187217A JP 18721794 A JP18721794 A JP 18721794A JP H0851126 A JPH0851126 A JP H0851126A
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- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高速でループ形成制御機能を向上し安定した
ワイヤボンディングをすることができるワイヤボンド装
置を得ることを目的とする。 【構成】 ボンディングツールの垂直移動及びＸＹテー
ブルの水平移動における駆動制御を行うための速度パタ
ーン発生回路１７Ａに、Ｄ／Ａコンバータ２６より出力
される基本速度パターンを拡大あるいは縮小させるため
の乗算回路を設けると共に、その基本速度パターンの出
力時間を拡大あるいは縮小させるためのレートジェネレ
ータ３０を設けたものである。 【効果】 各駆動部の加速及び減速指令のスムーズな速
度パターン化とボンディングツールの軌跡制御を可能と
して、振動の発生を抑制し高速で高精度なループ形成制
御が可能となるワイヤボンド装置を得る効果がある。
ワイヤボンディングをすることができるワイヤボンド装
置を得ることを目的とする。 【構成】 ボンディングツールの垂直移動及びＸＹテー
ブルの水平移動における駆動制御を行うための速度パタ
ーン発生回路１７Ａに、Ｄ／Ａコンバータ２６より出力
される基本速度パターンを拡大あるいは縮小させるため
の乗算回路を設けると共に、その基本速度パターンの出
力時間を拡大あるいは縮小させるためのレートジェネレ
ータ３０を設けたものである。 【効果】 各駆動部の加速及び減速指令のスムーズな速
度パターン化とボンディングツールの軌跡制御を可能と
して、振動の発生を抑制し高速で高精度なループ形成制
御が可能となるワイヤボンド装置を得る効果がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、高速ワイヤリング、
低振動化を図ったワイヤボンド装置及びワイヤボンディ
ング方法に関するものである。特に、ワイヤボンド装置
の速度パターン発生回路の改良とボンディングヘッドの
駆動方法に関するものである。
低振動化を図ったワイヤボンド装置及びワイヤボンディ
ング方法に関するものである。特に、ワイヤボンド装置
の速度パターン発生回路の改良とボンディングヘッドの
駆動方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のワイヤボンド装置の構成について
図８及び図９を参照しながら説明する。図８は、従来の
ワイヤボンド装置のボンディングヘッド駆動部の構成を
示す図である。また、図９は、従来のワイヤボンド装置
のＸ方向の速度パターン発生回路の構成を示すブロック
図である。
図８及び図９を参照しながら説明する。図８は、従来の
ワイヤボンド装置のボンディングヘッド駆動部の構成を
示す図である。また、図９は、従来のワイヤボンド装置
のＸ方向の速度パターン発生回路の構成を示すブロック
図である。
【０００３】図８において、１はＸＹテーブルであっ
て、例えば積層配置したＸテーブル２とＹテーブル３と
で構成され、各テーブル２，３に装着されたＸモータ
４、Ｙモータ５により水平のＸＹ方向に移動できる。ま
た、６はＸＹテーブル１上に搭載したボンディングヘッ
ドであって、ボンディングツール８を保持した上下揺動
可能なボンディングアーム７を有する。ボンディングツ
ール８はＺモータ９により垂直のＺ方向に移動できる。
ボンディングツール８は、その先端がボンディングステ
ージ１０上に載置したリードフレーム１１と半導体チッ
プ１２に対してＺ方向に垂直移動し、かつＸＹテーブル
１がＸＹ方向に水平移動することにより、半導体チップ
１２とリードフレーム１１間にワイヤ１３を接続する。
て、例えば積層配置したＸテーブル２とＹテーブル３と
で構成され、各テーブル２，３に装着されたＸモータ
４、Ｙモータ５により水平のＸＹ方向に移動できる。ま
た、６はＸＹテーブル１上に搭載したボンディングヘッ
ドであって、ボンディングツール８を保持した上下揺動
可能なボンディングアーム７を有する。ボンディングツ
ール８はＺモータ９により垂直のＺ方向に移動できる。
ボンディングツール８は、その先端がボンディングステ
ージ１０上に載置したリードフレーム１１と半導体チッ
プ１２に対してＺ方向に垂直移動し、かつＸＹテーブル
１がＸＹ方向に水平移動することにより、半導体チップ
１２とリードフレーム１１間にワイヤ１３を接続する。
【０００４】また、図８において、これらＸ，Ｙ，Ｚモ
ータ４，５，９は、同一構成を有する駆動装置１４，１
５，１６、同じく同一構成を有する速度パターン発生回
路１７，１８，１９、及びＣＰＵ２０によって制御され
る。
ータ４，５，９は、同一構成を有する駆動装置１４，１
５，１６、同じく同一構成を有する速度パターン発生回
路１７，１８，１９、及びＣＰＵ２０によって制御され
る。
【０００５】図９において、２１はＣＰＵ２０に接続さ
れたインターフェース回路、２２はＸモータ４の駆動装
置１４へ出力する指令パルスをカウントしてＸ方向の移
動量が単位距離λになる毎に計数カウンタ２３に信号を
送る移動量制御カウンタである。この計数カウンタ２３
は、移動量制御カウンタ２２の信号を受けて速度パター
ンメモリ２４のアドレスを切り替える。また、速度パタ
ーンメモリ２４は、パルス列によりＸテーブル２の位置
制御を行うための位置の最小分解能である単位距離λ毎
の速度データが格納されている。
れたインターフェース回路、２２はＸモータ４の駆動装
置１４へ出力する指令パルスをカウントしてＸ方向の移
動量が単位距離λになる毎に計数カウンタ２３に信号を
送る移動量制御カウンタである。この計数カウンタ２３
は、移動量制御カウンタ２２の信号を受けて速度パター
ンメモリ２４のアドレスを切り替える。また、速度パタ
ーンメモリ２４は、パルス列によりＸテーブル２の位置
制御を行うための位置の最小分解能である単位距離λ毎
の速度データが格納されている。
【０００６】また、図９において、２５は前記基本速度
パターンデータに対し拡大・縮小率を与えるためにＤ／
Ａコンバータ２６の基準電圧を設定するＤ／Ａコンバー
タである。このＤ／Ａコンバータ２６は、速度パターン
メモリ２４から出力される速度データを電圧に変換す
る。また、２７は電圧入力の変化に対して比例的に可変
した周波数のパルス列を出力するＶ／Ｆコンバータであ
る。このＶ／Ｆコンバータ２７のパルス列が移動量制御
カウンタ２２に入力される。さらに、２８はＸモータ４
に接続されたエンコーダによってフィードバックされる
パルスをカウントして位置を管理するための絶対位置カ
ウンタである。そして、インターフェース回路２１は、
移動量制御カウンタ２２への移動データやＤ／Ａコンバ
ータ２５への拡大・縮小率を与え駆動制御を行うＣＰＵ
２０と接続されている。
パターンデータに対し拡大・縮小率を与えるためにＤ／
Ａコンバータ２６の基準電圧を設定するＤ／Ａコンバー
タである。このＤ／Ａコンバータ２６は、速度パターン
メモリ２４から出力される速度データを電圧に変換す
る。また、２７は電圧入力の変化に対して比例的に可変
した周波数のパルス列を出力するＶ／Ｆコンバータであ
る。このＶ／Ｆコンバータ２７のパルス列が移動量制御
カウンタ２２に入力される。さらに、２８はＸモータ４
に接続されたエンコーダによってフィードバックされる
パルスをカウントして位置を管理するための絶対位置カ
ウンタである。そして、インターフェース回路２１は、
移動量制御カウンタ２２への移動データやＤ／Ａコンバ
ータ２５への拡大・縮小率を与え駆動制御を行うＣＰＵ
２０と接続されている。
【０００７】つぎに、従来のワイヤボンド装置の動作に
ついて図１０を参照しながら説明する。図１０は、従来
のワイヤボンド装置において、半導体チップ１２とリー
ドフレーム１１間にワイヤ１３を接続する場合の動作を
示すタイミングチャートである。同図（ａ）はボンディ
ングツール８の先端の垂直Ｚ軸方向の時間に対する高さ
の変化を示す図であり、同図（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は
それぞれＺ軸、Ｘ軸、Ｙ軸方向の時間に対する速度の変
化を示す図である。
ついて図１０を参照しながら説明する。図１０は、従来
のワイヤボンド装置において、半導体チップ１２とリー
ドフレーム１１間にワイヤ１３を接続する場合の動作を
示すタイミングチャートである。同図（ａ）はボンディ
ングツール８の先端の垂直Ｚ軸方向の時間に対する高さ
の変化を示す図であり、同図（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は
それぞれＺ軸、Ｘ軸、Ｙ軸方向の時間に対する速度の変
化を示す図である。
【０００８】ボンディングツール８は、区間ＡでＺ軸が
半導体チップ１２のボンディング点に向かって下降し、
区間Ｂでワイヤ１３の一端の接続を行う。次に、区間Ｃ
でＺ軸が上昇し、区間Ｄでは上昇と共にリードフレーム
１１に向かってＸＹ軸が水平方向の動作を行う。更に、
この区間ＤではＺ軸が必要な高さまで上昇した後、リー
ドフレーム１１のボンディング点に向かって下降する。
そして、区間Ｅでワイヤ１３のもう一端の接続を行う。
区間ＦではＺ軸が上昇して、ここでは図示していないワ
イヤ１３のクランプツールが動作してワイヤ１３の切断
を行い、ＸＹ軸が動作して次のワイヤボンディング点へ
移動する。区間Ｃ及びＤがワイヤ１３のループ形成を行
う部分であり、ＸＹＺ軸の駆動速度パターン及び駆動タ
イミングによるボンディングツール８の軌跡制御により
ループ形状が変わる。
半導体チップ１２のボンディング点に向かって下降し、
区間Ｂでワイヤ１３の一端の接続を行う。次に、区間Ｃ
でＺ軸が上昇し、区間Ｄでは上昇と共にリードフレーム
１１に向かってＸＹ軸が水平方向の動作を行う。更に、
この区間ＤではＺ軸が必要な高さまで上昇した後、リー
ドフレーム１１のボンディング点に向かって下降する。
そして、区間Ｅでワイヤ１３のもう一端の接続を行う。
区間ＦではＺ軸が上昇して、ここでは図示していないワ
イヤ１３のクランプツールが動作してワイヤ１３の切断
を行い、ＸＹ軸が動作して次のワイヤボンディング点へ
移動する。区間Ｃ及びＤがワイヤ１３のループ形成を行
う部分であり、ＸＹＺ軸の駆動速度パターン及び駆動タ
イミングによるボンディングツール８の軌跡制御により
ループ形状が変わる。
【０００９】各軸毎の速度パターンの発生は、図８に示
す速度パターン発生回路１７、１８及び１９により行っ
ていた。
す速度パターン発生回路１７、１８及び１９により行っ
ていた。
【００１０】つづいて、従来の速度パターン発生回路の
動作について図１１及び図１２を参照しながら説明す
る。図１１は、従来の速度パターン発生回路の速度パタ
ーンメモリに格納された速度データを示す図である。ま
た、図１２は、従来の速度データの距離及び時間に対す
る速度の関係を示す図である。
動作について図１１及び図１２を参照しながら説明す
る。図１１は、従来の速度パターン発生回路の速度パタ
ーンメモリに格納された速度データを示す図である。ま
た、図１２は、従来の速度データの距離及び時間に対す
る速度の関係を示す図である。
【００１１】Ｖ／Ｆコンバータ２７から出力されるパル
スはＸモータ４の駆動装置１４に入力され、Ｘテーブル
２を移動させる。速度パターンメモリ２４は、このパル
スを計数カウンタ２３で規定量カウントすることにより
得られる単位距離λ毎に、図１１に示すように、アドレ
スｄｋと速度データｖｋ（ｋ＝０，１，・・・，ｎ）が
設定されている。
スはＸモータ４の駆動装置１４に入力され、Ｘテーブル
２を移動させる。速度パターンメモリ２４は、このパル
スを計数カウンタ２３で規定量カウントすることにより
得られる単位距離λ毎に、図１１に示すように、アドレ
スｄｋと速度データｖｋ（ｋ＝０，１，・・・，ｎ）が
設定されている。
【００１２】速度パターンメモリ２４に格納された速度
データｖｋは、次式で示すように、図１２（ａ）のｄＶ
１に示すような移動距離すなわち計数カウンタ２３のカ
ウンタ内容に対し平方根の関数になるもので、図１２
（ｂ）のＴＶ１に示すように時間に対する加減速カーブ
を直線にする等加速度の速度パターンである。 ｖ＝√（２ａ・ｄ）＝ａｔ
データｖｋは、次式で示すように、図１２（ａ）のｄＶ
１に示すような移動距離すなわち計数カウンタ２３のカ
ウンタ内容に対し平方根の関数になるもので、図１２
（ｂ）のＴＶ１に示すように時間に対する加減速カーブ
を直線にする等加速度の速度パターンである。 ｖ＝√（２ａ・ｄ）＝ａｔ
【００１３】図１１（ａ）に単位距離λと速度ｖの関
係、同図（ｂ）にその単位距離λ毎にメモリに格納され
るアドレスｄｋと速度データｖｋ（ｋ＝０，１，・・
・，ｎ）の状態を示す。ここでλ＝ｄｋ+1−ｄｋで、ｄ
ｎと移動距離Ｄの関係は、ｄｎ＝Ｄ／２で、Ｄ／２の前
後でデータを共有している。
係、同図（ｂ）にその単位距離λ毎にメモリに格納され
るアドレスｄｋと速度データｖｋ（ｋ＝０，１，・・
・，ｎ）の状態を示す。ここでλ＝ｄｋ+1−ｄｋで、ｄ
ｎと移動距離Ｄの関係は、ｄｎ＝Ｄ／２で、Ｄ／２の前
後でデータを共有している。
【００１４】ＣＰＵ２０は、加速区間（０→Ｄ／２）で
は計数カウンタ２３を増加方向にカウントすなわちアド
レスｄｋを増加させて加速特性とし、減速区間（Ｄ／２
→Ｄ）では計数カウンタ２３を減少方向にカウントすな
わちアドレスｄｋを減少させて減速特性とすることがで
きる。
は計数カウンタ２３を増加方向にカウントすなわちアド
レスｄｋを増加させて加速特性とし、減速区間（Ｄ／２
→Ｄ）では計数カウンタ２３を減少方向にカウントすな
わちアドレスｄｋを減少させて減速特性とすることがで
きる。
【００１５】つづいて、速度パターン発生回路の動作に
ついて図１３を参照しながら説明する。図１３は、従来
の速度パターン発生回路の動作を示すフローチャートで
ある。
ついて図１３を参照しながら説明する。図１３は、従来
の速度パターン発生回路の動作を示すフローチャートで
ある。
【００１６】ＣＰＵ２０は、まず、移動量により加速区
間移動量（０→Ｄ／２）、減速区間移動量（Ｄ／２→
Ｄ）、加速度ａ及び速度の拡大・縮小率αを計算する
（ステップ３１）。次に、インターフェース回路２１を
通じて、移動量制御カウンタ２２を０にして、計数カウ
ンタ２３に加速区間移動すなわちアップカウンタとして
動作するように設定する（ステップ３２）。次に、Ｄ／
Ａコンバータ２５に速度の拡大・縮小率αをセットし
（ステップ３３）、スタート指令を与える（ステップ３
４）。
間移動量（０→Ｄ／２）、減速区間移動量（Ｄ／２→
Ｄ）、加速度ａ及び速度の拡大・縮小率αを計算する
（ステップ３１）。次に、インターフェース回路２１を
通じて、移動量制御カウンタ２２を０にして、計数カウ
ンタ２３に加速区間移動すなわちアップカウンタとして
動作するように設定する（ステップ３２）。次に、Ｄ／
Ａコンバータ２５に速度の拡大・縮小率αをセットし
（ステップ３３）、スタート指令を与える（ステップ３
４）。
【００１７】図９に示す速度パターン発生回路１７は、
速度パターンメモリ２４からアドレスｄｋの速度データ
ｖｋ（ｋ＝０，１，・・・，ｎ）を出力する（ステップ
３５）。次に、Ｄ／Ａコンバータ２６で速度データｖｋ
とＤ／Ａコンバータ２５の速度の拡大・縮小率αとが乗
算され速度の拡大・縮小（加速度の傾き制御）を行う
（ステップ３６）。
速度パターンメモリ２４からアドレスｄｋの速度データ
ｖｋ（ｋ＝０，１，・・・，ｎ）を出力する（ステップ
３５）。次に、Ｄ／Ａコンバータ２６で速度データｖｋ
とＤ／Ａコンバータ２５の速度の拡大・縮小率αとが乗
算され速度の拡大・縮小（加速度の傾き制御）を行う
（ステップ３６）。
【００１８】次に、Ｖ／Ｆコンバータ２７から周波数ｆ
ｎのパルスが出力される（ステップ３７）。そのＶ／Ｆ
コンバータ２７のパルスが移動量制御カウンタ２２に入
力され、移動量制御カウンタ２２が単位距離λになる毎
に計数カウンタ２３に信号を送り速度パターンメモリ２
４のアドレスを更新する（ステップ３８）。即ち、移動
距離ｄ≦Ｄ／２ではｄｋ（ｋ＝０，１，・・・，ｎ）、
ｄ＞Ｄ／２ではｄｋ（ｋ＝ｎ，ｎ−１，・・・，１，
０）である。この時、移動量制御カウンタ２２で目的位
置に達したか検査する（ステップ３９、４０）。
ｎのパルスが出力される（ステップ３７）。そのＶ／Ｆ
コンバータ２７のパルスが移動量制御カウンタ２２に入
力され、移動量制御カウンタ２２が単位距離λになる毎
に計数カウンタ２３に信号を送り速度パターンメモリ２
４のアドレスを更新する（ステップ３８）。即ち、移動
距離ｄ≦Ｄ／２ではｄｋ（ｋ＝０，１，・・・，ｎ）、
ｄ＞Ｄ／２ではｄｋ（ｋ＝ｎ，ｎ−１，・・・，１，
０）である。この時、移動量制御カウンタ２２で目的位
置に達したか検査する（ステップ３９、４０）。
【００１９】目的位置でなければステップ３５へ戻り、
同様の処理を繰り返す。目的位置であれば加速区間完了
か否かを検査し（ステップ４１）、加速区間完了であれ
ば移動量制御カウンタ２２をＤ／２に設定して計数カウ
ンタ２３をダウンカウンタとして動作するように設定し
てステップ３５に戻る（ステップ４２）。次に、減速区
間完了（ｖ＝０）であるかをチェックし（ステップ４
３）、完了でなければステップ３５へ戻り、完了であれ
ば処理を終了する。
同様の処理を繰り返す。目的位置であれば加速区間完了
か否かを検査し（ステップ４１）、加速区間完了であれ
ば移動量制御カウンタ２２をＤ／２に設定して計数カウ
ンタ２３をダウンカウンタとして動作するように設定し
てステップ３５に戻る（ステップ４２）。次に、減速区
間完了（ｖ＝０）であるかをチェックし（ステップ４
３）、完了でなければステップ３５へ戻り、完了であれ
ば処理を終了する。
【００２０】つづいて、速度パターンの拡大・縮小につ
いて図１２及び図１４を参照しながら説明する。図１４
は、従来のＸＹ軸駆動制御を示す図である。
いて図１２及び図１４を参照しながら説明する。図１４
は、従来のＸＹ軸駆動制御を示す図である。
【００２１】等加速度の速度パターンは、図１２（ａ）
のｄＶ１に示すような速度パターンの形状を持つ。この
速度パターンにおいて２つの駆動パターンの変位ｄ、速
度ｖの関係は、以下のようになる。 ｖ１＝√（２ａ１・ｄ１）＝√（２ａ１）・√（ｄ１）＝Ｋ１・√（ｄ１） Ｋ１＝√（２ａ１） ｖ２＝√（２ａ２・ｄ２）＝√（２ａ２）・√（ｄ２）＝Ｋ２・√（ｄ２） Ｋ２＝√（２ａ２）
のｄＶ１に示すような速度パターンの形状を持つ。この
速度パターンにおいて２つの駆動パターンの変位ｄ、速
度ｖの関係は、以下のようになる。 ｖ１＝√（２ａ１・ｄ１）＝√（２ａ１）・√（ｄ１）＝Ｋ１・√（ｄ１） Ｋ１＝√（２ａ１） ｖ２＝√（２ａ２・ｄ２）＝√（２ａ２）・√（ｄ２）＝Ｋ２・√（ｄ２） Ｋ２＝√（２ａ２）
【００２２】この係数Ｋ１、Ｋ２が速度パターンの形状
を定める。係数の比Ｋ１／Ｋ２が速度の拡大・縮小率α
を与えるもので以下のようになる。 α＝Ｋ１／Ｋ２＝（ｖ１／ｖ２）／√（ｄ１／ｄ２）
を定める。係数の比Ｋ１／Ｋ２が速度の拡大・縮小率α
を与えるもので以下のようになる。 α＝Ｋ１／Ｋ２＝（ｖ１／ｖ２）／√（ｄ１／ｄ２）
【００２３】２つの等加速度移動の比較において、 ｄ１＝１／２・ａ１・ｔ１2 ｄ２＝１／２・ａ２・ｔ２2 ｖ１＝ａ１・ｔ１ ｖ２＝ａ２・ｔ２ のとき同時に移動が完了する。
【００２４】すなわち、ｔ１＝ｔ２のとき、ｄ１／ｄ２
＝ｖ１／ｖ２＝ａ１／ａ２が成立ち、これを係数の比の
式に代入すると、Ｋ１／Ｋ２＝√（ｄ１／ｄ２）とな
り、異なる移動量で同時到着を行うときには速度パター
ンの形状を定める係数Ｋ１、Ｋ２の比は移動量の比の平
方根に等しくなる。
＝ｖ１／ｖ２＝ａ１／ａ２が成立ち、これを係数の比の
式に代入すると、Ｋ１／Ｋ２＝√（ｄ１／ｄ２）とな
り、異なる移動量で同時到着を行うときには速度パター
ンの形状を定める係数Ｋ１、Ｋ２の比は移動量の比の平
方根に等しくなる。
【００２５】加速度一定の場合の移動量の違いによる速
度パターンデータの出力を図１２（ａ）のｄＶ２、同図
（ｂ）のＴＶ２に示す。また、同一移動距離に対し加速
度を可変した速度パターンの出力を図１２（ａ）のｄＶ
３、同図（ｂ）のＴＶ３に示す。
度パターンデータの出力を図１２（ａ）のｄＶ２、同図
（ｂ）のＴＶ２に示す。また、同一移動距離に対し加速
度を可変した速度パターンの出力を図１２（ａ）のｄＶ
３、同図（ｂ）のＴＶ３に示す。
【００２６】例えば、図１４に示すように、水平の任意
の方向に対して直線移動を行う場合、Ｘ方向及びＹ方向
の移動距離に比例して指令カーブの拡大・縮小を行な
い、同一の時間に対するパルス分配比率を変化させる。
の方向に対して直線移動を行う場合、Ｘ方向及びＹ方向
の移動距離に比例して指令カーブの拡大・縮小を行な
い、同一の時間に対するパルス分配比率を変化させる。
【００２７】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
ワイヤボンド装置では、速度パターンメモリ２４に格納
する基本速度パターンが距離の関数で表せるもので、か
つ任意の移動量、加速度に対して基本速度パターンと相
似なパターンを発生させるためには速度パターンメモリ
２４に格納する速度パターンは時間に対する加減速指令
カーブを直線にするもの、すなわち等加速度の速度パタ
ーンしか使用することができず、等加速度の制御では、
図１５に示すように、加速度が急激に変化するため、ボ
ンディングヘッド６がその変化時に衝撃を受け振動する
原因となり、またそのために高速化を図ることができな
いという問題点があった。
ワイヤボンド装置では、速度パターンメモリ２４に格納
する基本速度パターンが距離の関数で表せるもので、か
つ任意の移動量、加速度に対して基本速度パターンと相
似なパターンを発生させるためには速度パターンメモリ
２４に格納する速度パターンは時間に対する加減速指令
カーブを直線にするもの、すなわち等加速度の速度パタ
ーンしか使用することができず、等加速度の制御では、
図１５に示すように、加速度が急激に変化するため、ボ
ンディングヘッド６がその変化時に衝撃を受け振動する
原因となり、またそのために高速化を図ることができな
いという問題点があった。
【００２８】また、速度パターンが等加速度パターンの
みで単一なため、各駆動部の速度パターン制御によるボ
ンディングツール８の軌跡制御にも自由度がなかった。
これらにより、接合不良・ループ形成不良をおこし安定
したワイヤボンディングが行えない恐れがあるという問
題点があった。
みで単一なため、各駆動部の速度パターン制御によるボ
ンディングツール８の軌跡制御にも自由度がなかった。
これらにより、接合不良・ループ形成不良をおこし安定
したワイヤボンディングが行えない恐れがあるという問
題点があった。
【００２９】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、高速でループ形成制御機能を
向上し安定したワイヤボンディングをすることができる
ワイヤボンド装置及びワイヤボンディング方法を得るこ
とを目的とする。
るためになされたもので、高速でループ形成制御機能を
向上し安定したワイヤボンディングをすることができる
ワイヤボンド装置及びワイヤボンディング方法を得るこ
とを目的とする。
【００３０】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るワイヤボンド装置は、ボンディングツールを保持する
ボンディングアームを垂直駆動し、前記ボンディングア
ームが搭載されたテーブルを水平駆動するモータと、前
記モータを制御するための加速特性及び減速特性の各指
令信号を発生する速度パターン発生回路とを備えたワイ
ヤボンド装置において、前記速度パターン発生回路が、
前記各指令信号の出力時間を変化するものである。
るワイヤボンド装置は、ボンディングツールを保持する
ボンディングアームを垂直駆動し、前記ボンディングア
ームが搭載されたテーブルを水平駆動するモータと、前
記モータを制御するための加速特性及び減速特性の各指
令信号を発生する速度パターン発生回路とを備えたワイ
ヤボンド装置において、前記速度パターン発生回路が、
前記各指令信号の出力時間を変化するものである。
【００３１】この発明の請求項２に係るワイヤボンド装
置は、前記速度パターン発生回路が、時間の関数である
速度データを記憶する速度パターンメモリを有し、前記
速度パターンメモリから前記時間の関数である速度デー
タを出力するアドレス歩進の歩進周期を変化させること
により前記各指令信号の出力時間を変化するようにした
ものである。
置は、前記速度パターン発生回路が、時間の関数である
速度データを記憶する速度パターンメモリを有し、前記
速度パターンメモリから前記時間の関数である速度デー
タを出力するアドレス歩進の歩進周期を変化させること
により前記各指令信号の出力時間を変化するようにした
ものである。
【００３２】この発明の請求項３に係るワイヤボンド装
置は、前記速度パターン発生回路が一定周期の基準クロ
ックを発生する基準発振器と、前記基準クロックを単位
時間レートだけカウントし単位時間毎にクロックを出力
するレートジェネレータと、前記レートジェネレータか
らのクロックをカウントしそのカウント内容が前記速度
パターンメモリのアドレスを与える計数カウンタとをさ
らに有し、前記単位時間レートを変化させることにより
前記レートジェネレータから出力されるクロックの周期
を変化させて前記速度パターンメモリのアドレス歩進の
歩進周期を変化するようにしたものである。
置は、前記速度パターン発生回路が一定周期の基準クロ
ックを発生する基準発振器と、前記基準クロックを単位
時間レートだけカウントし単位時間毎にクロックを出力
するレートジェネレータと、前記レートジェネレータか
らのクロックをカウントしそのカウント内容が前記速度
パターンメモリのアドレスを与える計数カウンタとをさ
らに有し、前記単位時間レートを変化させることにより
前記レートジェネレータから出力されるクロックの周期
を変化させて前記速度パターンメモリのアドレス歩進の
歩進周期を変化するようにしたものである。
【００３３】この発明の請求項４に係るワイヤボンド装
置は、前記速度データを、移動時間に対する速度の変化
曲線がサイクロイドカム曲線としたものである。
置は、前記速度データを、移動時間に対する速度の変化
曲線がサイクロイドカム曲線としたものである。
【００３４】この発明の請求項５に係るワイヤボンド装
置は、前記速度パターン発生回路が、前記テーブルを互
いに直交するＸ軸駆動及びＹ軸駆動により水平移動する
際に、前記Ｘ軸駆動と前記Ｙ軸駆動を同じ時間で駆動す
るものである。
置は、前記速度パターン発生回路が、前記テーブルを互
いに直交するＸ軸駆動及びＹ軸駆動により水平移動する
際に、前記Ｘ軸駆動と前記Ｙ軸駆動を同じ時間で駆動す
るものである。
【００３５】この発明の請求項６に係るワイヤボンド装
置は、前記速度パターンメモリが、前記加速特性と前記
減速特性が左右対象の場合、一方の特性区間のみの速度
データを記憶し、前記特性に応じて前記速度パターンメ
モリのアドレス歩進の方向を切り換えるものである。
置は、前記速度パターンメモリが、前記加速特性と前記
減速特性が左右対象の場合、一方の特性区間のみの速度
データを記憶し、前記特性に応じて前記速度パターンメ
モリのアドレス歩進の方向を切り換えるものである。
【００３６】この発明の請求項７に係るワイヤボンディ
ング方法は、ボンディングツールの移動量と移動方向に
より移動時間、単位時間、加速度及び速度の拡大・縮小
率を計算するステップと、一定周期の基準クロックを前
記計算された移動時間に対する単位時間レートだけカウ
ントし単位時間毎にクロックを出力するステップと、前
記クロックをカウントしそのカウント内容に対応する速
度パターンメモリの時間の関数である基本速度データを
出力するステップと、前記時間の関数である基本速度デ
ータと前記計算された速度の拡大・縮小率とを乗算し基
本速度の拡大・縮小を行うステップと、前記拡大・縮小
された速度データに基づいて前記ボンディングツールを
駆動するステップとを含むものである。
ング方法は、ボンディングツールの移動量と移動方向に
より移動時間、単位時間、加速度及び速度の拡大・縮小
率を計算するステップと、一定周期の基準クロックを前
記計算された移動時間に対する単位時間レートだけカウ
ントし単位時間毎にクロックを出力するステップと、前
記クロックをカウントしそのカウント内容に対応する速
度パターンメモリの時間の関数である基本速度データを
出力するステップと、前記時間の関数である基本速度デ
ータと前記計算された速度の拡大・縮小率とを乗算し基
本速度の拡大・縮小を行うステップと、前記拡大・縮小
された速度データに基づいて前記ボンディングツールを
駆動するステップとを含むものである。
【００３７】
【作用】この発明の請求項１に係るワイヤボンド装置に
おいては、ボンディングツールを保持するボンディング
アームを垂直駆動し、前記ボンディングアームが搭載さ
れたテーブルを水平駆動するモータと、前記モータを制
御するための加速特性及び減速特性の各指令信号を発生
する速度パターン発生回路とを備えたワイヤボンド装置
において、前記速度パターン発生回路が、前記各指令信
号の出力時間を変化するので、高速でループ形成制御機
能を向上し安定したワイヤボンディングをすることがで
きる。
おいては、ボンディングツールを保持するボンディング
アームを垂直駆動し、前記ボンディングアームが搭載さ
れたテーブルを水平駆動するモータと、前記モータを制
御するための加速特性及び減速特性の各指令信号を発生
する速度パターン発生回路とを備えたワイヤボンド装置
において、前記速度パターン発生回路が、前記各指令信
号の出力時間を変化するので、高速でループ形成制御機
能を向上し安定したワイヤボンディングをすることがで
きる。
【００３８】この発明の請求項２に係るワイヤボンド装
置においては、前記速度パターン発生回路が、時間の関
数である速度データを記憶する速度パターンメモリを有
し、前記速度パターンメモリから前記時間の関数である
速度データを出力するアドレス歩進の歩進周期を変化さ
せることにより前記各指令信号の出力時間を変化するよ
うにしたので、基本速度パターンに任意の速度パターン
を採用でき、各駆動部の加減速指令のスムージングな速
度パターンによる加速度変化特性の緩和を可能とし、ボ
ンディングツールの軌跡制御を容易にする。
置においては、前記速度パターン発生回路が、時間の関
数である速度データを記憶する速度パターンメモリを有
し、前記速度パターンメモリから前記時間の関数である
速度データを出力するアドレス歩進の歩進周期を変化さ
せることにより前記各指令信号の出力時間を変化するよ
うにしたので、基本速度パターンに任意の速度パターン
を採用でき、各駆動部の加減速指令のスムージングな速
度パターンによる加速度変化特性の緩和を可能とし、ボ
ンディングツールの軌跡制御を容易にする。
【００３９】この発明の請求項３に係るワイヤボンド装
置においては、前記速度パターン発生回路が一定周期の
基準クロックを発生する基準発振器と、前記基準クロッ
クを単位時間レートだけカウントし単位時間毎にクロッ
クを出力するレートジェネレータと、前記レートジェネ
レータからのクロックをカウントしそのカウント内容が
前記速度パターンメモリのアドレスを与える計数カウン
タとをさらに有し、前記単位時間レートを変化させるこ
とにより前記レートジェネレータから出力されるクロッ
クの周期を変化させて前記速度パターンメモリのアドレ
ス歩進の歩進周期を変化するようにしたので、任意の基
本速度パターンに対し、速度パターンの拡大・縮小率、
出力時間も必要最小限の計算を行うだけでよく、ＣＰＵ
に負担をかけずに各駆動部の加速及び減速指令のスムー
ジングな速度パターン化とボンディングツールの軌跡制
御を可能として、振動の発生を抑制し、高速で高精度な
ループ形成制御が可能となり、接合不良や異常ループ形
状の発生を防止でき、信頼性の高いワイヤボンディング
を行うことができる。
置においては、前記速度パターン発生回路が一定周期の
基準クロックを発生する基準発振器と、前記基準クロッ
クを単位時間レートだけカウントし単位時間毎にクロッ
クを出力するレートジェネレータと、前記レートジェネ
レータからのクロックをカウントしそのカウント内容が
前記速度パターンメモリのアドレスを与える計数カウン
タとをさらに有し、前記単位時間レートを変化させるこ
とにより前記レートジェネレータから出力されるクロッ
クの周期を変化させて前記速度パターンメモリのアドレ
ス歩進の歩進周期を変化するようにしたので、任意の基
本速度パターンに対し、速度パターンの拡大・縮小率、
出力時間も必要最小限の計算を行うだけでよく、ＣＰＵ
に負担をかけずに各駆動部の加速及び減速指令のスムー
ジングな速度パターン化とボンディングツールの軌跡制
御を可能として、振動の発生を抑制し、高速で高精度な
ループ形成制御が可能となり、接合不良や異常ループ形
状の発生を防止でき、信頼性の高いワイヤボンディング
を行うことができる。
【００４０】この発明の請求項４に係るワイヤボンド装
置においては、前記速度データを、移動時間に対する速
度の変化曲線がサイクロイドカム曲線としたので、各駆
動部の加速及び減速指令のスムージングな速度パターン
化とボンディングツールの軌跡制御を可能として、振動
の発生を抑制し、高速で高精度なループ形成制御が可能
となる。
置においては、前記速度データを、移動時間に対する速
度の変化曲線がサイクロイドカム曲線としたので、各駆
動部の加速及び減速指令のスムージングな速度パターン
化とボンディングツールの軌跡制御を可能として、振動
の発生を抑制し、高速で高精度なループ形成制御が可能
となる。
【００４１】この発明の請求項５に係るワイヤボンド装
置においては、前記速度パターン発生回路が、前記テー
ブルを互いに直交するＸ軸駆動及びＹ軸駆動により水平
移動する際に、前記Ｘ軸駆動と前記Ｙ軸駆動を同じ時間
で駆動するので、各駆動部の加速及び減速指令のスムー
ジングな速度パターン化とボンディングツールの軌跡制
御を可能として、振動の発生を抑制し、高速で高精度な
ループ形成制御が可能となる。
置においては、前記速度パターン発生回路が、前記テー
ブルを互いに直交するＸ軸駆動及びＹ軸駆動により水平
移動する際に、前記Ｘ軸駆動と前記Ｙ軸駆動を同じ時間
で駆動するので、各駆動部の加速及び減速指令のスムー
ジングな速度パターン化とボンディングツールの軌跡制
御を可能として、振動の発生を抑制し、高速で高精度な
ループ形成制御が可能となる。
【００４２】この発明の請求項６に係るワイヤボンド装
置においては、前記速度パターンメモリが、前記加速特
性と前記減速特性が左右対象の場合、一方の特性区間の
みの速度データを記憶し、前記特性に応じて前記速度パ
ターンメモリのアドレス歩進の方向を切り換えるので、
速度パターンメモリの容量を節約できる。
置においては、前記速度パターンメモリが、前記加速特
性と前記減速特性が左右対象の場合、一方の特性区間の
みの速度データを記憶し、前記特性に応じて前記速度パ
ターンメモリのアドレス歩進の方向を切り換えるので、
速度パターンメモリの容量を節約できる。
【００４３】この発明の請求項７に係るワイヤボンディ
ング方法においては、ボンディングツールの移動量と移
動方向により移動時間、単位時間、加速度及び速度の拡
大・縮小率を計算するステップと、一定周期の基準クロ
ックを前記計算された移動時間に対する単位時間レート
だけカウントし単位時間毎にクロックを出力するステッ
プと、前記クロックをカウントしそのカウント内容に対
応する速度パターンメモリの時間の関数である基本速度
データを出力するステップと、前記時間の関数である基
本速度データと前記計算された速度の拡大・縮小率とを
乗算し基本速度の拡大・縮小を行うステップと、前記拡
大・縮小された速度データに基づいて前記ボンディング
ツールを駆動するステップとを含むので、振動の発生を
抑制し、高速で高精度なループ形成制御が可能となり、
接合不良や異常ループ形状の発生を防止でき、信頼性の
高いワイヤボンディングを行うことができる。
ング方法においては、ボンディングツールの移動量と移
動方向により移動時間、単位時間、加速度及び速度の拡
大・縮小率を計算するステップと、一定周期の基準クロ
ックを前記計算された移動時間に対する単位時間レート
だけカウントし単位時間毎にクロックを出力するステッ
プと、前記クロックをカウントしそのカウント内容に対
応する速度パターンメモリの時間の関数である基本速度
データを出力するステップと、前記時間の関数である基
本速度データと前記計算された速度の拡大・縮小率とを
乗算し基本速度の拡大・縮小を行うステップと、前記拡
大・縮小された速度データに基づいて前記ボンディング
ツールを駆動するステップとを含むので、振動の発生を
抑制し、高速で高精度なループ形成制御が可能となり、
接合不良や異常ループ形状の発生を防止でき、信頼性の
高いワイヤボンディングを行うことができる。
【００４４】
実施例１．以下、この発明の一実施例の構成について図
１を参照しながら説明する。図１は、この発明の実施例
１に係るワイヤボンド装置の速度パターン発生回路の構
成を示す図であり、インターフェース回路２１〜絶対位
置カウンタ２８は従来回路のものと同様である。なお、
速度パターン発生回路以外の他の構成は従来のワイヤボ
ンド装置と同様であり、各図中、同一符号は同一又は相
当部分を示す。
１を参照しながら説明する。図１は、この発明の実施例
１に係るワイヤボンド装置の速度パターン発生回路の構
成を示す図であり、インターフェース回路２１〜絶対位
置カウンタ２８は従来回路のものと同様である。なお、
速度パターン発生回路以外の他の構成は従来のワイヤボ
ンド装置と同様であり、各図中、同一符号は同一又は相
当部分を示す。
【００４５】図１において、２４は所定の速度パターン
をＭ分割し、その１／Ｍ毎の速度データが格納されてい
る速度パターンメモリ、２９は一定周期の基準クロック
を発生させる基準発振器、３０は基準発振器２９からの
クロックをＣＰＵ２０によりセットされた分周比Ｎだけ
カウントする毎に分周比に比例した所定の周期のクロッ
クを発生させるレートジェネレータである。
をＭ分割し、その１／Ｍ毎の速度データが格納されてい
る速度パターンメモリ、２９は一定周期の基準クロック
を発生させる基準発振器、３０は基準発振器２９からの
クロックをＣＰＵ２０によりセットされた分周比Ｎだけ
カウントする毎に分周比に比例した所定の周期のクロッ
クを発生させるレートジェネレータである。
【００４６】このレートジェネレータ３０の出力クロッ
クが計数カウンタ２３に入力され、計数カウンタ２３の
カウント内容が速度パターンメモリ２４のアドレスを与
え歩進する。Ｍパルス入力されることによって全速度デ
ータが出力される。
クが計数カウンタ２３に入力され、計数カウンタ２３の
カウント内容が速度パターンメモリ２４のアドレスを与
え歩進する。Ｍパルス入力されることによって全速度デ
ータが出力される。
【００４７】つぎに、この実施例１に係るワイヤボンド
装置の速度パターン発生回路１７Ａの動作について図２
を参照しながら説明する。図２は、この発明の実施例１
に係るワイヤボンド装置の速度パターン発生回路の速度
パターンメモリに格納される速度データを示す図であ
る。
装置の速度パターン発生回路１７Ａの動作について図２
を参照しながら説明する。図２は、この発明の実施例１
に係るワイヤボンド装置の速度パターン発生回路の速度
パターンメモリに格納される速度データを示す図であ
る。
【００４８】速度パターンメモリ２４のアドレスの更新
は、レートジェネレータ３０から出力されるパルスを計
数カウンタ２３がカウントすることによって行う。レー
トジェネレータ３０から出力されるパルスの出力周期τ
は、基準発振器２９の基準クロック周期をｔｃとし、レ
ートジェネレータ３０の分周比をＮとすると次式のよう
になる。 τ＝ｔｃ・Ｎ 式１
は、レートジェネレータ３０から出力されるパルスを計
数カウンタ２３がカウントすることによって行う。レー
トジェネレータ３０から出力されるパルスの出力周期τ
は、基準発振器２９の基準クロック周期をｔｃとし、レ
ートジェネレータ３０の分周比をＮとすると次式のよう
になる。 τ＝ｔｃ・Ｎ 式１
【００４９】ここで、τは速度パターンメモリ２４のア
ドレス更新時間を決める最小分解能であり、以後単位時
間と呼ぶことにする。分周比Ｎを変えることにより単位
時間τ、すなわち速度パターンメモリ２４のアドレス歩
進周期を変えることができる。Ｎを以後単位時間レート
と呼ぶことにする。
ドレス更新時間を決める最小分解能であり、以後単位時
間と呼ぶことにする。分周比Ｎを変えることにより単位
時間τ、すなわち速度パターンメモリ２４のアドレス歩
進周期を変えることができる。Ｎを以後単位時間レート
と呼ぶことにする。
【００５０】速度パターンメモリ２４に格納される基本
速度データは、例えば時間軸に対し図２（ａ）に示すよ
うな形状を持つパターンをＭ分割し、その１／Ｍ毎にア
ドレスｔｋと速度データｖｋ（ｋ＝０，１，・・・，
ｍ：ｍ＝Ｍ−１）が設定されている。図２（ｂ）にメモ
リに格納されている状態を示す。
速度データは、例えば時間軸に対し図２（ａ）に示すよ
うな形状を持つパターンをＭ分割し、その１／Ｍ毎にア
ドレスｔｋと速度データｖｋ（ｋ＝０，１，・・・，
ｍ：ｍ＝Ｍ−１）が設定されている。図２（ｂ）にメモ
リに格納されている状態を示す。
【００５１】速度パターンメモリ２４のアドレス歩進周
期は前記単位時間τであるから、図２（ａ）に示すよう
な時間Ｔで加減速の全移動を行う場合、 Ｔ＝τ・Ｍ ＝ｔｃ・Ｎ・Ｍ 式２ であり、単位時間τ、すなわち単位時間レートＮを設定
することにより目的とする時間Ｔの速度パターンを発生
させることができる。なお、速度の拡大・縮小は従来の
技術と同様にＤ／Ａコンバータ２５に速度の拡大・縮小
率αを設定することにより行う。
期は前記単位時間τであるから、図２（ａ）に示すよう
な時間Ｔで加減速の全移動を行う場合、 Ｔ＝τ・Ｍ ＝ｔｃ・Ｎ・Ｍ 式２ であり、単位時間τ、すなわち単位時間レートＮを設定
することにより目的とする時間Ｔの速度パターンを発生
させることができる。なお、速度の拡大・縮小は従来の
技術と同様にＤ／Ａコンバータ２５に速度の拡大・縮小
率αを設定することにより行う。
【００５２】つづいて、この実施例１に係る速度パター
ン発生回路１７Ａの動作について図３を参照しながら説
明する。図３は、この発明の実施例１に係るワイヤボン
ド装置の速度パターン発生回路の動作を示すフローチャ
ートである。
ン発生回路１７Ａの動作について図３を参照しながら説
明する。図３は、この発明の実施例１に係るワイヤボン
ド装置の速度パターン発生回路の動作を示すフローチャ
ートである。
【００５３】ＣＰＵ２０は、まず、目的の移動量及び移
動方向により移動時間Ｔ、単位時間τ、加速度ａ及び速
度の拡大・縮小率αを計算する（ステップ５１）。次
に、ＣＰＵ２０は、インターフェース回路２１を介して
レートジェネレータ３０に移動時間Ｔに対する単位時間
レートＮをセットし（ステップ５２）、移動量制御カウ
ンタ２２を０にして計数カウンタ２３をアップカウンタ
として動作するように設定する（ステップ５３）。次
に、Ｄ／Ａコンバータ２５に速度の拡大・縮小率αをセ
ットして（ステップ５４）、スタート指令を与える（ス
テップ５５）。
動方向により移動時間Ｔ、単位時間τ、加速度ａ及び速
度の拡大・縮小率αを計算する（ステップ５１）。次
に、ＣＰＵ２０は、インターフェース回路２１を介して
レートジェネレータ３０に移動時間Ｔに対する単位時間
レートＮをセットし（ステップ５２）、移動量制御カウ
ンタ２２を０にして計数カウンタ２３をアップカウンタ
として動作するように設定する（ステップ５３）。次
に、Ｄ／Ａコンバータ２５に速度の拡大・縮小率αをセ
ットして（ステップ５４）、スタート指令を与える（ス
テップ５５）。
【００５４】図１の速度パターン発生回路１７Ａは、速
度パターンメモリ２４のアドレスｔｋの速度データｖｋ
を出力する（ステップ５６）。次に、Ｄ／Ａコンバータ
２６で基本速度データｖｋとＤ／Ａコンバータ２５の速
度の拡大・縮小率αとが乗算され速度の拡大・縮小（加
速度の傾き制御）を行う（ステップ５７）。次に、Ｖ／
Ｆコンバータ２７からは周波数ｆｎのパルスが出力され
る（ステップ５８）。
度パターンメモリ２４のアドレスｔｋの速度データｖｋ
を出力する（ステップ５６）。次に、Ｄ／Ａコンバータ
２６で基本速度データｖｋとＤ／Ａコンバータ２５の速
度の拡大・縮小率αとが乗算され速度の拡大・縮小（加
速度の傾き制御）を行う（ステップ５７）。次に、Ｖ／
Ｆコンバータ２７からは周波数ｆｎのパルスが出力され
る（ステップ５８）。
【００５５】レートジェネレータ３０からは単位時間τ
毎にパルスが出力され、計数カウンタ２３にそのパルス
が入力され、速度パターンメモリ２４のアドレスを更新
（ｔｋ＝ｔｋ＋１）する（ステップ５９）。なお、ステ
ップ５８はフローチャートの便宜上図３に示すような位
置に図示したが、Ｖ／Ｆコンバータ２７のパルスの周期
１／ｆｎと単位時間τの関係は１／ｆｎ≠τでありＶ／
Ｆコンバータ２７からのパルスの出力と速度パターンメ
モリ２４のアドレスの更新は非同期に行われる。そし
て、計数カウンタ２３がＭ回のカウントを行い全データ
を出力するまで行われる（ステップ６０）。
毎にパルスが出力され、計数カウンタ２３にそのパルス
が入力され、速度パターンメモリ２４のアドレスを更新
（ｔｋ＝ｔｋ＋１）する（ステップ５９）。なお、ステ
ップ５８はフローチャートの便宜上図３に示すような位
置に図示したが、Ｖ／Ｆコンバータ２７のパルスの周期
１／ｆｎと単位時間τの関係は１／ｆｎ≠τでありＶ／
Ｆコンバータ２７からのパルスの出力と速度パターンメ
モリ２４のアドレスの更新は非同期に行われる。そし
て、計数カウンタ２３がＭ回のカウントを行い全データ
を出力するまで行われる（ステップ６０）。
【００５６】次に、速度パターンの具体的な例について
図４を参照しながら説明する。速度パターンメモリ２４
に格納される速度パターンデータは移動開始点から移動
終了点までの移動速度パターンを与えるもので、例えば
図４に示す移動時間に対する速度が次式に示すようなサ
イクロイドカム曲線になるようにする。 ｖ＝Ａ（１／ω）（１−cosωｔ） 式３ ω＝２π／Ｔ 式４
図４を参照しながら説明する。速度パターンメモリ２４
に格納される速度パターンデータは移動開始点から移動
終了点までの移動速度パターンを与えるもので、例えば
図４に示す移動時間に対する速度が次式に示すようなサ
イクロイドカム曲線になるようにする。 ｖ＝Ａ（１／ω）（１−cosωｔ） 式３ ω＝２π／Ｔ 式４
【００５７】ここで、ｖは時間ｔにおける速度、Ａは最
大加速度、Ｔは移動開始から移動終了までの時間であ
る。速度パターンメモリ２４の速度データは全移動時間
ＴをＭ分割した時間ｔの関数で与えられる。
大加速度、Ｔは移動開始から移動終了までの時間であ
る。速度パターンメモリ２４の速度データは全移動時間
ＴをＭ分割した時間ｔの関数で与えられる。
【００５８】このとき、移動区間の加速度ａと変位ｓ
は、 ａ＝Ａ・sinωｔ 式５ ｓ＝Ａ（１／ω)ｔ−Ａ(１／ω2)sinωｔ 式６ で表すことができ、全移動距離Ｓは式６よりｔ＝Ｔであ
るから Ｓ＝Ａ（１／２π）Ｔ 式７ で表せる。よって、移動距離Ｓが与えられれば移動時間
Ｔが決まる。
は、 ａ＝Ａ・sinωｔ 式５ ｓ＝Ａ（１／ω)ｔ−Ａ(１／ω2)sinωｔ 式６ で表すことができ、全移動距離Ｓは式６よりｔ＝Ｔであ
るから Ｓ＝Ａ（１／２π）Ｔ 式７ で表せる。よって、移動距離Ｓが与えられれば移動時間
Ｔが決まる。
【００５９】ＣＰＵ２０が移動距離Ｓにより移動時間Ｔ
を決定し、レートジェネレータ３０に式２で定まる単位
時間レートＮをセットし、レートジェネレータ３０から
の出力クロックによって計数カウンタ２３のカウント内
容をアップさせると速度パターンメモリ２４のアドレス
を式１で示す単位時間の周期で歩進し、速度パターンの
加速及び減速特性のデータがＴの時間で出力される。こ
の様子を図５のｔＶ１、ｔＶ２に示す。
を決定し、レートジェネレータ３０に式２で定まる単位
時間レートＮをセットし、レートジェネレータ３０から
の出力クロックによって計数カウンタ２３のカウント内
容をアップさせると速度パターンメモリ２４のアドレス
を式１で示す単位時間の周期で歩進し、速度パターンの
加速及び減速特性のデータがＴの時間で出力される。こ
の様子を図５のｔＶ１、ｔＶ２に示す。
【００６０】ここで、速度パターンデータｖｋの出力に
対するＶ／Ｆコンバータ２７の出力パルスの周波数ｆｋ
との間にはＸを電圧／周波数変換係数として、以下の関
係がある。 ｖｋ＝Ｘ・ｆｋ ｋ＝０〜ｍ（ｍ＝Ｍ−１） 式８
対するＶ／Ｆコンバータ２７の出力パルスの周波数ｆｋ
との間にはＸを電圧／周波数変換係数として、以下の関
係がある。 ｖｋ＝Ｘ・ｆｋ ｋ＝０〜ｍ（ｍ＝Ｍ−１） 式８
【００６１】また、移動距離ｓにおいては、 ｖｓ＝Ｘ・ｆｓ ｓ＝０〜Ｓ−１ 式９ であり、 ｆｓ＝１／τｓ τｓ：周期 式１０ すなわちｖｋ＝ｖｓにおける出力パルスの周波数はｆｓ
となり、出力周期はτｓとなってτｓ後に次のパルスが
出力される。
となり、出力周期はτｓとなってτｓ後に次のパルスが
出力される。
【００６２】全移動時間において、 Ｔ＝Στｓ 式１１ ［ｓ＝０〜ｓ］ である。
【００６３】また、同一の移動距離において速度を可変
する場合は、Ｄ／Ａコンバータ２５に速度の拡大・縮小
率αを与えると共に、レートジェネレータ３０に移動時
間Ｔになる単位時間レートＮを与える。移動距離が変わ
った場合に最大加速度を同じにする場合は、 Ｔ１＝√（２π・Ｓ１／Ａ） 式１２ Ｖ１max＝Ａ(１／π）Ｔ１ 式１３ より、 Ｋ１＝Ｖ１max／Ｖmax 式１４ となる拡大・縮小率Ｋ１をＤ／Ａコンバータ２５にセッ
トし、 Ｎ１＝Ｔ１／（ｔｃ・Ｍ） 式１５ をレートジェネレータ３０にセットして速度パターンを
出力する。この様子を図５のｔＶ３に示す。
する場合は、Ｄ／Ａコンバータ２５に速度の拡大・縮小
率αを与えると共に、レートジェネレータ３０に移動時
間Ｔになる単位時間レートＮを与える。移動距離が変わ
った場合に最大加速度を同じにする場合は、 Ｔ１＝√（２π・Ｓ１／Ａ） 式１２ Ｖ１max＝Ａ(１／π）Ｔ１ 式１３ より、 Ｋ１＝Ｖ１max／Ｖmax 式１４ となる拡大・縮小率Ｋ１をＤ／Ａコンバータ２５にセッ
トし、 Ｎ１＝Ｔ１／（ｔｃ・Ｍ） 式１５ をレートジェネレータ３０にセットして速度パターンを
出力する。この様子を図５のｔＶ３に示す。
【００６４】次に、図６に示すように、互いに直交する
Ｘテーブル２及びＹテーブル３からなり、水平移動する
ＸＹテーブル１を制御して、各軸の移動距離に比例して
基本速度パターンの拡大・縮小を行い同一の時間に対す
るパルス分配比率を変化させ任意の方向に対して直線移
動軌跡を実現する。Ｘ軸及びＹ軸の合成移動距離をＳＲ
とすると次式のように表される。なお、移動時間ＴＲは
式１２により求まる。 ＳＲ＝√（Ｘ2＋Ｙ2） 式１６
Ｘテーブル２及びＹテーブル３からなり、水平移動する
ＸＹテーブル１を制御して、各軸の移動距離に比例して
基本速度パターンの拡大・縮小を行い同一の時間に対す
るパルス分配比率を変化させ任意の方向に対して直線移
動軌跡を実現する。Ｘ軸及びＹ軸の合成移動距離をＳＲ
とすると次式のように表される。なお、移動時間ＴＲは
式１２により求まる。 ＳＲ＝√（Ｘ2＋Ｙ2） 式１６
【００６５】各軸の最大加速度ＡＸ、ＡＹ及び最大速度
ＶＸmax、ＶＹmaxは、ＴＲ＝ＴＸ＝ＴＹとおいて、 ＡＸ＝２π・ｘ(１／ＴＸ2）、ＡＹ＝２π・ｙ(１／ＴＹ2） 式１７ ＶＸmax＝Ａｘ(１／π）ＴＸ、ＶＹmax＝ＡＹ(１／π）ＴＹ 式１８ より、各軸の拡大・縮小率は、以下のようにする。 ＫＸ＝ＶＸmax／Ｖmax、 ＫＹ＝ＶＹmax／Ｖmax 式１９
ＶＸmax、ＶＹmaxは、ＴＲ＝ＴＸ＝ＴＹとおいて、 ＡＸ＝２π・ｘ(１／ＴＸ2）、ＡＹ＝２π・ｙ(１／ＴＹ2） 式１７ ＶＸmax＝Ａｘ(１／π）ＴＸ、ＶＹmax＝ＡＹ(１／π）ＴＹ 式１８ より、各軸の拡大・縮小率は、以下のようにする。 ＫＸ＝ＶＸmax／Ｖmax、 ＫＹ＝ＶＹmax／Ｖmax 式１９
【００６６】更に、図７（ａ）に示すように、水平移動
するＸＹテーブル１に搭載されたＺ軸駆動によるボンデ
ィングアーム７に保持されたボンディングツール８の垂
直移動距離Ｚを、Ｘ軸及びＹ軸の合成からなるＸＹテー
ブル１の水平移動距離Ｒと同じ距離だけ移動させる際
（ＰＱ間）、ＸＹテーブル１の位置ｒに対するＺ軸の位
置ｚが、同図（ｂ）に示すように、 ｚ＝１−ｒ・tan（cos-1ｒ） 式２０ となる基本速度パターンを用い、水平移動距離に比例し
て基本速度パターンの拡大・縮小を行い、同一の時間に
対するパルス分配比率を変化させれば、ボンディングツ
ール８の軌跡がほぼ円弧となるように駆動することがで
きる。
するＸＹテーブル１に搭載されたＺ軸駆動によるボンデ
ィングアーム７に保持されたボンディングツール８の垂
直移動距離Ｚを、Ｘ軸及びＹ軸の合成からなるＸＹテー
ブル１の水平移動距離Ｒと同じ距離だけ移動させる際
（ＰＱ間）、ＸＹテーブル１の位置ｒに対するＺ軸の位
置ｚが、同図（ｂ）に示すように、 ｚ＝１−ｒ・tan（cos-1ｒ） 式２０ となる基本速度パターンを用い、水平移動距離に比例し
て基本速度パターンの拡大・縮小を行い、同一の時間に
対するパルス分配比率を変化させれば、ボンディングツ
ール８の軌跡がほぼ円弧となるように駆動することがで
きる。
【００６７】この実施例１に係るワイヤボンド装置は、
ボンディングツール８の垂直移動及びＸＹテーブル１の
水平移動における駆動制御を行うための速度パターン発
生回路１７Ａ、１８Ａ、１９Ａに基本速度パターンの出
力時間を拡大あるいは縮小させるためのレートジェネレ
ータ３０を設けたものである。速度パターンメモリ２４
のアドレス歩進を行う計数カウンタ２３の入力をこのレ
ートジェネレータ３０の出力パルスとし、速度パターン
メモリ２４の全データの出力時間を任意に可変できるよ
うにして移動開始点と移動終了点間の基本速度パターン
に相似の速度パターンを発生できるようにし、各軸の駆
動部の速度パターンを制御してボンディングツール８の
軌跡を制御できるようにしたものである。
ボンディングツール８の垂直移動及びＸＹテーブル１の
水平移動における駆動制御を行うための速度パターン発
生回路１７Ａ、１８Ａ、１９Ａに基本速度パターンの出
力時間を拡大あるいは縮小させるためのレートジェネレ
ータ３０を設けたものである。速度パターンメモリ２４
のアドレス歩進を行う計数カウンタ２３の入力をこのレ
ートジェネレータ３０の出力パルスとし、速度パターン
メモリ２４の全データの出力時間を任意に可変できるよ
うにして移動開始点と移動終了点間の基本速度パターン
に相似の速度パターンを発生できるようにし、各軸の駆
動部の速度パターンを制御してボンディングツール８の
軌跡を制御できるようにしたものである。
【００６８】つまり、速度パターンメモリ２４に格納す
る基本速度パターンが時間の関数で表せるもので、基本
速度パターンに任意の速度パターンを採用でき、各駆動
部の加減速指令のスムージングな速度パターンによる加
速度変化特性の緩和を可能とし、ボンディングツール８
の軌跡制御を容易にする。
る基本速度パターンが時間の関数で表せるもので、基本
速度パターンに任意の速度パターンを採用でき、各駆動
部の加減速指令のスムージングな速度パターンによる加
速度変化特性の緩和を可能とし、ボンディングツール８
の軌跡制御を容易にする。
【００６９】この実施例１によれば、ワイヤボンド装置
のボンディングヘッド６の制御において、基本速度パタ
ーンの出力時間を拡大・縮小して任意の速度パターンを
発生させる速度パターン発生回路１７Ａ、１８Ａ、１９
Ａを構成したので、任意の基本速度パターンに対し、Ｃ
ＰＵ２０は速度パターンの拡大・縮小率、出力時間も必
要最小限の計算を行うだけでよく、ＣＰＵ２０に負担を
かけずに各駆動部の加速及び減速指令のスムージングな
速度パターン化とボンディングツールの軌跡制御を可能
として、振動の発生を抑制し、高速で高精度なループ形
成制御が可能となり、接合不良や異常ループ形状の発生
を防止でき、信頼性の高いワイヤボンディングを行うこ
とができるワイヤボンド装置を得ることができる。
のボンディングヘッド６の制御において、基本速度パタ
ーンの出力時間を拡大・縮小して任意の速度パターンを
発生させる速度パターン発生回路１７Ａ、１８Ａ、１９
Ａを構成したので、任意の基本速度パターンに対し、Ｃ
ＰＵ２０は速度パターンの拡大・縮小率、出力時間も必
要最小限の計算を行うだけでよく、ＣＰＵ２０に負担を
かけずに各駆動部の加速及び減速指令のスムージングな
速度パターン化とボンディングツールの軌跡制御を可能
として、振動の発生を抑制し、高速で高精度なループ形
成制御が可能となり、接合不良や異常ループ形状の発生
を防止でき、信頼性の高いワイヤボンディングを行うこ
とができるワイヤボンド装置を得ることができる。
【００７０】実施例２．なお、上記実施例１では、基本
速度パターンデータを移動開始点から移動終了点までの
全区間分格納するようにしたが、式３で表せるように加
速特性と減速特性が左右対称となるような速度パターン
では、半分の加速区間のみの速度パターンを速度パター
ンメモリ２４に格納し、加速区間ではメモリのアドレス
がアップし減速区間ではダウンするように計数カウンタ
２３のカウント方向のアップダウンを切り換えるように
移動量制御カウンタ２２で制御するようにできる。移動
量制御カウンタ２２は、Ｖ／Ｆコンバータ２７から出力
されるパルスをカウントすることにより、実移動距離の
１／２の点で上記アップダウンの切り換えを行う。従っ
て、速度パターンメモリ２４の容量を半減できる。
速度パターンデータを移動開始点から移動終了点までの
全区間分格納するようにしたが、式３で表せるように加
速特性と減速特性が左右対称となるような速度パターン
では、半分の加速区間のみの速度パターンを速度パター
ンメモリ２４に格納し、加速区間ではメモリのアドレス
がアップし減速区間ではダウンするように計数カウンタ
２３のカウント方向のアップダウンを切り換えるように
移動量制御カウンタ２２で制御するようにできる。移動
量制御カウンタ２２は、Ｖ／Ｆコンバータ２７から出力
されるパルスをカウントすることにより、実移動距離の
１／２の点で上記アップダウンの切り換えを行う。従っ
て、速度パターンメモリ２４の容量を半減できる。
【００７１】さらに、長距離移動の場合は、移動量制御
カウンタ２２により加速区間が終り移動距離が最大速度
Ｖmaxに達したとき計数カウンタ２３のカウントを停止
させ、残移動距離が減速停止可能な加速区間距離と同じ
距離になったときに計数カウンタ２３のカウントをダウ
ンさせる。
カウンタ２２により加速区間が終り移動距離が最大速度
Ｖmaxに達したとき計数カウンタ２３のカウントを停止
させ、残移動距離が減速停止可能な加速区間距離と同じ
距離になったときに計数カウンタ２３のカウントをダウ
ンさせる。
【００７２】実施例３．また、上記実施例１では、水平
移動するＸＹテーブル１の速度パターンにサイクロイド
カム曲線を用いたが、垂直駆動の速度パターンのように
任意の速度パターンを用いてもよく、移動距離に比例し
て基本速度パターンの拡大・縮小を行えば基本速度パタ
ーンと相似の速度パターンによる駆動軸の制御ができ
る。
移動するＸＹテーブル１の速度パターンにサイクロイド
カム曲線を用いたが、垂直駆動の速度パターンのように
任意の速度パターンを用いてもよく、移動距離に比例し
て基本速度パターンの拡大・縮小を行えば基本速度パタ
ーンと相似の速度パターンによる駆動軸の制御ができ
る。
【００７３】
【発明の効果】この発明の請求項１に係るワイヤボンド
装置は、以上説明したとおり、ボンディングツールを保
持するボンディングアームを垂直駆動し、前記ボンディ
ングアームが搭載されたテーブルを水平駆動するモータ
と、前記モータを制御するための加速特性及び減速特性
の各指令信号を発生する速度パターン発生回路とを備え
たワイヤボンド装置において、前記速度パターン発生回
路が、前記各指令信号の出力時間を変化するので、高速
でループ形成制御機能を向上し安定したワイヤボンディ
ングをすることができるという効果を奏する。
装置は、以上説明したとおり、ボンディングツールを保
持するボンディングアームを垂直駆動し、前記ボンディ
ングアームが搭載されたテーブルを水平駆動するモータ
と、前記モータを制御するための加速特性及び減速特性
の各指令信号を発生する速度パターン発生回路とを備え
たワイヤボンド装置において、前記速度パターン発生回
路が、前記各指令信号の出力時間を変化するので、高速
でループ形成制御機能を向上し安定したワイヤボンディ
ングをすることができるという効果を奏する。
【００７４】この発明の請求項２に係るワイヤボンド装
置は、以上説明したとおり、前記速度パターン発生回路
が、時間の関数である速度データを記憶する速度パター
ンメモリを有し、前記速度パターンメモリから前記時間
の関数である速度データを出力するアドレス歩進の歩進
周期を変化させることにより前記各指令信号の出力時間
を変化するようにしたので、基本速度パターンに任意の
速度パターンを採用でき、各駆動部の加減速指令のスム
ージングな速度パターンによる加速度変化特性の緩和を
可能とし、ボンディングツールの軌跡制御を容易にでき
るという効果を奏する。
置は、以上説明したとおり、前記速度パターン発生回路
が、時間の関数である速度データを記憶する速度パター
ンメモリを有し、前記速度パターンメモリから前記時間
の関数である速度データを出力するアドレス歩進の歩進
周期を変化させることにより前記各指令信号の出力時間
を変化するようにしたので、基本速度パターンに任意の
速度パターンを採用でき、各駆動部の加減速指令のスム
ージングな速度パターンによる加速度変化特性の緩和を
可能とし、ボンディングツールの軌跡制御を容易にでき
るという効果を奏する。
【００７５】この発明の請求項３に係るワイヤボンド装
置は、以上説明したとおり、前記速度パターン発生回路
が一定周期の基準クロックを発生する基準発振器と、前
記基準クロックを単位時間レートだけカウントし単位時
間毎にクロックを出力するレートジェネレータと、前記
レートジェネレータからのクロックをカウントしそのカ
ウント内容が前記速度パターンメモリのアドレスを与え
る計数カウンタとをさらに有し、前記単位時間レートを
変化させることにより前記レートジェネレータから出力
されるクロックの周期を変化させて前記速度パターンメ
モリのアドレス歩進の歩進周期を変化するようにしたの
で、任意の基本速度パターンに対し、速度パターンの拡
大・縮小率、出力時間も必要最小限の計算を行うだけで
よく、ＣＰＵに負担をかけずに各駆動部の加速及び減速
指令のスムージングな速度パターン化とボンディングツ
ールの軌跡制御を可能として、振動の発生を抑制し、高
速で高精度なループ形成制御が可能となり、接合不良や
異常ループ形状の発生を防止でき、信頼性の高いワイヤ
ボンディングを行うことができるという効果を奏する。
置は、以上説明したとおり、前記速度パターン発生回路
が一定周期の基準クロックを発生する基準発振器と、前
記基準クロックを単位時間レートだけカウントし単位時
間毎にクロックを出力するレートジェネレータと、前記
レートジェネレータからのクロックをカウントしそのカ
ウント内容が前記速度パターンメモリのアドレスを与え
る計数カウンタとをさらに有し、前記単位時間レートを
変化させることにより前記レートジェネレータから出力
されるクロックの周期を変化させて前記速度パターンメ
モリのアドレス歩進の歩進周期を変化するようにしたの
で、任意の基本速度パターンに対し、速度パターンの拡
大・縮小率、出力時間も必要最小限の計算を行うだけで
よく、ＣＰＵに負担をかけずに各駆動部の加速及び減速
指令のスムージングな速度パターン化とボンディングツ
ールの軌跡制御を可能として、振動の発生を抑制し、高
速で高精度なループ形成制御が可能となり、接合不良や
異常ループ形状の発生を防止でき、信頼性の高いワイヤ
ボンディングを行うことができるという効果を奏する。
【００７６】この発明の請求項４に係るワイヤボンド装
置は、以上説明したとおり、前記速度データを、移動時
間に対する速度の変化曲線がサイクロイドカム曲線とし
たので、各駆動部の加速及び減速指令のスムージングな
速度パターン化とボンディングツールの軌跡制御を可能
として、振動の発生を抑制し、高速で高精度なループ形
成制御が可能となるという効果を奏する。
置は、以上説明したとおり、前記速度データを、移動時
間に対する速度の変化曲線がサイクロイドカム曲線とし
たので、各駆動部の加速及び減速指令のスムージングな
速度パターン化とボンディングツールの軌跡制御を可能
として、振動の発生を抑制し、高速で高精度なループ形
成制御が可能となるという効果を奏する。
【００７７】この発明の請求項５に係るワイヤボンド装
置は、以上説明したとおり、前記速度パターン発生回路
が、前記テーブルを互いに直交するＸ軸駆動及びＹ軸駆
動により水平移動する際に、前記Ｘ軸駆動と前記Ｙ軸駆
動を同じ時間で駆動するので、各駆動部の加速及び減速
指令のスムージングな速度パターン化とボンディングツ
ールの軌跡制御を可能として、振動の発生を抑制し、高
速で高精度なループ形成制御が可能となるという効果を
奏する。
置は、以上説明したとおり、前記速度パターン発生回路
が、前記テーブルを互いに直交するＸ軸駆動及びＹ軸駆
動により水平移動する際に、前記Ｘ軸駆動と前記Ｙ軸駆
動を同じ時間で駆動するので、各駆動部の加速及び減速
指令のスムージングな速度パターン化とボンディングツ
ールの軌跡制御を可能として、振動の発生を抑制し、高
速で高精度なループ形成制御が可能となるという効果を
奏する。
【００７８】この発明の請求項６に係るワイヤボンド装
置は、以上説明したとおり、前記速度パターンメモリ
が、前記加速特性と前記減速特性が左右対象の場合、一
方の特性区間のみの速度データを記憶し、前記特性に応
じて前記速度パターンメモリのアドレス歩進の方向を切
り換えるので、速度パターンメモリの容量を節約できる
という効果を奏する。
置は、以上説明したとおり、前記速度パターンメモリ
が、前記加速特性と前記減速特性が左右対象の場合、一
方の特性区間のみの速度データを記憶し、前記特性に応
じて前記速度パターンメモリのアドレス歩進の方向を切
り換えるので、速度パターンメモリの容量を節約できる
という効果を奏する。
【００７９】この発明の請求項７に係るワイヤボンディ
ング方法は、以上説明したとおり、ボンディングツール
の移動量と移動方向により移動時間、単位時間、加速度
及び速度の拡大・縮小率を計算するステップと、一定周
期の基準クロックを前記計算された移動時間に対する単
位時間レートだけカウントし単位時間毎にクロックを出
力するステップと、前記クロックをカウントしそのカウ
ント内容に対応する速度パターンメモリの時間の関数で
ある基本速度データを出力するステップと、前記時間の
関数である基本速度データと前記計算された速度の拡大
・縮小率とを乗算し基本速度の拡大・縮小を行うステッ
プと、前記拡大・縮小された速度データに基づいて前記
ボンディングツールを駆動するステップとを含むので、
振動の発生を抑制し、高速で高精度なループ形成制御が
可能となり、接合不良や異常ループ形状の発生を防止で
き、信頼性の高いワイヤボンディングを行うことができ
るという効果を奏する。
ング方法は、以上説明したとおり、ボンディングツール
の移動量と移動方向により移動時間、単位時間、加速度
及び速度の拡大・縮小率を計算するステップと、一定周
期の基準クロックを前記計算された移動時間に対する単
位時間レートだけカウントし単位時間毎にクロックを出
力するステップと、前記クロックをカウントしそのカウ
ント内容に対応する速度パターンメモリの時間の関数で
ある基本速度データを出力するステップと、前記時間の
関数である基本速度データと前記計算された速度の拡大
・縮小率とを乗算し基本速度の拡大・縮小を行うステッ
プと、前記拡大・縮小された速度データに基づいて前記
ボンディングツールを駆動するステップとを含むので、
振動の発生を抑制し、高速で高精度なループ形成制御が
可能となり、接合不良や異常ループ形状の発生を防止で
き、信頼性の高いワイヤボンディングを行うことができ
るという効果を奏する。
【図１】 この発明の実施例１に係るワイヤボンド装置
の速度パターン発生回路の構成を示すブロック図であ
る。
の速度パターン発生回路の構成を示すブロック図であ
る。
【図２】 図１の速度パターン発生回路の速度パターン
メモリに格納される速度データを示す図である。
メモリに格納される速度データを示す図である。
【図３】 図１の速度パターン発生回路の動作を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図４】 図１の速度パターン発生回路の時間に対する
加速度と速度の関係を示す図である。
加速度と速度の関係を示す図である。
【図５】 図１の速度パターン発生回路の速度パターン
を示す図である。
を示す図である。
【図６】 この発明の実施例１に係るワイヤボンド装置
のＸＹ軸駆動制御を示す図である。
のＸＹ軸駆動制御を示す図である。
【図７】 この発明の実施例１に係るワイヤボンド装置
のＸＹＺ軸駆動制御を示す図である。
のＸＹＺ軸駆動制御を示す図である。
【図８】 従来のワイヤボンド装置のボンディングヘッ
ド駆動部の構成を示す図である。
ド駆動部の構成を示す図である。
【図９】 従来のワイヤボンド装置の速度パターン発生
回路の構成を示すブロック図である。
回路の構成を示すブロック図である。
【図１０】 従来のワイヤボンド装置の動作を示すタイ
ミングチャートである。
ミングチャートである。
【図１１】 従来の速度パターン発生回路の速度パター
ンメモリに格納された速度データを示す図である。
ンメモリに格納された速度データを示す図である。
【図１２】 従来の速度パターン発生回路の速度パター
ンを示す図である。
ンを示す図である。
【図１３】 従来の速度パターン発生回路の動作を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図１４】 従来のワイヤボンド装置のＸＹ軸駆動制御
を示す図である。
を示す図である。
【図１５】 従来の速度パターン発生回路の時間に対す
る加速度と速度の関係を示す図である。
る加速度と速度の関係を示す図である。
１ ＸＹテーブル、６ ボンディングヘッド、７ ボン
ディングアーム、８ボンディングツール、１０ ボンデ
ィングステージ、１１ リードフレーム、１２ 半導体
チップ、１３ ワイヤ、１４、１５、１６ 駆動装置、
１７Ａ、１８Ａ、１９Ａ 速度パターン発生回路、２０
ＣＰＵ、２１ インターフェース回路、２２ 移動量
制御カウンタ、２３ 計数カウンタ、２４ 速度パター
ンメモリ、２５ Ｄ／Ａコンバータ、２６ Ｄ／Ａコン
バータ、２７ Ｖ／Ｆコンバータ、２８ 絶対位置カウ
ンタ、２９ 基準発振器、３０ レートジェネレータ。
ディングアーム、８ボンディングツール、１０ ボンデ
ィングステージ、１１ リードフレーム、１２ 半導体
チップ、１３ ワイヤ、１４、１５、１６ 駆動装置、
１７Ａ、１８Ａ、１９Ａ 速度パターン発生回路、２０
ＣＰＵ、２１ インターフェース回路、２２ 移動量
制御カウンタ、２３ 計数カウンタ、２４ 速度パター
ンメモリ、２５ Ｄ／Ａコンバータ、２６ Ｄ／Ａコン
バータ、２７ Ｖ／Ｆコンバータ、２８ 絶対位置カウ
ンタ、２９ 基準発振器、３０ レートジェネレータ。
Claims (7)
- 【請求項１】 ボンディングツールを保持するボンディ
ングアームを垂直駆動し、前記ボンディングアームが搭
載されたテーブルを水平駆動するモータ、並びに前記モ
ータを制御するための加速特性及び減速特性の各指令信
号を発生する速度パターン発生回路を備えたワイヤボン
ド装置において、前記速度パターン発生回路は、前記各
指令信号の出力時間を変化することを特徴とするワイヤ
ボンド装置。 - 【請求項２】 前記速度パターン発生回路は、時間の関
数である速度データを記憶する速度パターンメモリを有
し、前記速度パターンメモリから前記時間の関数である
速度データを出力するアドレス歩進の歩進周期を変化さ
せることにより前記各指令信号の出力時間を変化するよ
うにしたことを特徴とする請求項１記載のワイヤボンド
装置。 - 【請求項３】 前記速度パターン発生回路は、一定周期
の基準クロックを発生する基準発振器、前記基準クロッ
クを単位時間レートだけカウントし単位時間毎にクロッ
クを出力するレートジェネレータ、及び前記レートジェ
ネレータからのクロックをカウントしそのカウント内容
が前記速度パターンメモリのアドレスを与える計数カウ
ンタをさらに有し、前記単位時間レートを変化させるこ
とにより前記レートジェネレータから出力されるクロッ
クの周期を変化させて前記速度パターンメモリのアドレ
ス歩進の歩進周期を変化するようにしたことを特徴とす
る請求項２記載のワイヤボンド装置。 - 【請求項４】 前記速度データは、移動時間に対する速
度の変化曲線がサイクロイドカム曲線であることを特徴
とする請求項２又は３記載のワイヤボンド装置。 - 【請求項５】 前記速度パターン発生回路は、前記テー
ブルを互いに直交するＸ軸駆動及びＹ軸駆動により水平
移動する際に、前記Ｘ軸駆動と前記Ｙ軸駆動を同じ時間
で駆動することを特徴とする請求項１〜請求項４のいず
れかに記載のワイヤボンド装置。 - 【請求項６】 前記速度パターンメモリは、前記加速特
性と前記減速特性が左右対象の場合、一方の特性区間の
みの速度データを記憶し、前記特性に応じて前記速度パ
ターンメモリのアドレス歩進の方向を切り換えることを
特徴とする請求項２〜請求項５のいずれかに記載のワイ
ヤボンド装置。 - 【請求項７】 ボンディングツールの移動量と移動方向
により移動時間、単位時間、加速度及び速度の拡大・縮
小率を計算するステップ、一定周期の基準クロックを前
記計算された移動時間に対する単位時間レートだけカウ
ントし単位時間毎にクロックを出力するステップ、前記
クロックをカウントしそのカウント内容に対応する速度
パターンメモリの時間の関数である基本速度データを出
力するステップ、前記時間の関数である基本速度データ
と前記計算された速度の拡大・縮小率とを乗算し基本速
度の拡大・縮小を行うステップ、並びに前記拡大・縮小
された速度データに基づいて前記ボンディングツールを
駆動するステップを含むことを特徴とするワイヤボンデ
ィング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6187217A JPH0851126A (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | ワイヤボンド装置及びワイヤボンディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6187217A JPH0851126A (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | ワイヤボンド装置及びワイヤボンディング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0851126A true JPH0851126A (ja) | 1996-02-20 |
Family
ID=16202126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6187217A Pending JPH0851126A (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | ワイヤボンド装置及びワイヤボンディング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0851126A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003318082A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-07 | Canon Inc | 駆動装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
-
1994
- 1994-08-09 JP JP6187217A patent/JPH0851126A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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