KR200360121Y1 - 초음파세정장치의 진동판 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 초음파세정장치의 진동판에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자 및 부품의 가공 공정 중 대상물을 세정하도록 된 초음파세정장치의 구성요소인 진동판의 내마모성ㆍ내부식성ㆍ내열성을 향상시켜 진동자에서 발생되는 초음파에 의해 침식(Erosion) 또는 부식(Corrosion) 되는 것을 최대한 억제함으로써 수명을 연장시키는 한편, 진동판의 표면경도 및 표면조도를 높여 초음파의 진동효과 및 진동전달 효율을 높여 초음파 진동력을 향상시킴으로써 세정력을 향상시키도록 된 초음파세정장치의 진동판에 관한 것이다.
이를 위한 본 고안은 반도체 소자 및 부품의 가공 공정 중 대상물을 세정하도록 된 초음파세정장치의 진동판에 있어서, 소정의 두께를 갖으며 표면에 미세한 요철이 형성된 진동판 본체와, 본체 표면에 형성되는 밀착성 강화 코팅층과, 밀착성 강화코팅층 표면에 코팅되는 텅스텐합금 코팅층으로 이루어짐을 특징으로 한다.
Description
본 고안은 초음파세정장치의 진동판에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자 및 부품의 가공 공정 중 대상물을 세정하도록 된 초음파세정장치의 구성요소인 진동판의 내마모성ㆍ내부식성ㆍ내열성을 향상시켜 진동자에서 발생되는 초음파에 의해 침식(Erosion) 또는 부식(Corrosion) 되는 것을 방지함으로써 수명을 연장시키는 한편, 진동판의 표면경도 및 표면조도를 높여 초음파의 진동효과 및 진동전달 효율을 높여 초음파 진동력을 향상시킴으로써 세정력을 향상시키도록 된 초음파세정장치의 진동판에 관한 것이다.
일반적으로, 초음파세정장치 수조형의 본체 내부 저면에 초음파 진동부가 안착된 구조로서, 초음파 진동부의 상면에 매개물인 세정액 일정량을 저장한 뒤, 세정액에 세정을 원하는 세정 대상물을 침수시킨 상태에서 초음파 진동부의 진동력을 발생시키면, 초음파 진동부에서 발생된 진동 에너지가 물에 도파되면서 그 진동력에 의해 세정액 분자들의 물리적 운동이 촉발되어 침수된 세정 대상물에 부착된 이물질을 제거하도록 된 것이다.
이와 같은 종래 초음파세정장치의 초음파 진동부는 전술한 바와 같이 세정액을 수용하는 수조형 본체의 저면에 안착되며, 스테인레스 스틸제의 하판 위에 다수의 초음파 진동자를 설치하고, 그 상면을 스테인레스 스틸제 커버를 씌우거나 또는 진동판을 고정 설치하여서 구성된 것이다.
이러한 구성의 초음파 진동부에서 진동판은 진동자에서 발생하는 초음파로 인해 진공현상 및 진동이 전달되어 세정액으로 그 진동을 전달하게 된다.
그러나, 상기와 같은 종래의 진동판은 일반적인 금속 재질로 이루어져 있어 내마모성과 부식성 및 내열성이 약해 초음파로 인해 발생되는 케비테이션 및 진동에 의해 침식 또는 부식이 발생되어 수명이 짧은 문제점이 있으며, 이로 인해 일정기간이 경과하면 교체하여야 하는 교체 작업상의 번거로움과 유지 보수에 따른 잦은 비용 투입 등의 문제점이 파생되는 것이었다.
또한, 표면 경도가 낮아 초음파의 진동 효과가 낮아 어느 정도의 초초음파진동력을 얻어내려면 많은 진동자를 필요로 하며, 표면조도의 수치가 떨어져 음파전달 효율이 낮은 문제점이 있는 것이었다.
상기와 같은 문제점과 요구사항을 고려하여 안출한 본 고안은 반도체 소자 및 부품의 가공 공정 중 대상물을 세정하도록 된 초음파세정장치의 구성요소인 진동판의 내마모성ㆍ내부식성ㆍ내열성을 향상시켜 진동자에서 발생되는 초음파에 의해 침식(Erosion) 또는 부식(Corrosion) 되는 것을 최대한 억제함으로써 수명을 연장시키는 한편, 진동판의 표면경도 및 표면조도를 높여 초음파의 진동효과 및 진동전달 효율을 높여 초음파 진동력을 향상시킴으로써 세정력을 향상시키도록 된 초음파세정장치의 진동판을 제공함을 기술적 과제로 삼는다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 고안은 반도체 소자 및 부품의 가공 공정 중 대상물을 세정하도록 된 초음파세정장치의 진동판에 있어서, 소정의 두께를 갖으며 표면에 미세한 요철이 형성된 진동판 본체와, 본체 표면에 형성되는 밀착성 강화 코팅층과, 밀착성 강화코팅층 표면에 코팅되는 텅스텐합금 코팅층으로 이루어짐을 특징으로 한다.
도 1은 본 고안의 사시도
도 2는 본 고안의 구성을 보인 측 단면도
도 3은 본 고안의 설치 상태를 보인 사시도
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>
10 : 진동판 11 : 진동판 본체
12 : 요철면 13 : 밀착성강화 코팅층
14 : 텅스텐합금 코팅층 15 : 진동자
1 : 초음파세정장치
본 고안의 설명에 참고가 되는 첨부 도면 도 1은 본 고안의 사시도이고, 도 2는 본 고안의 구성을 보인 측 단면도이며, 도 3은 본 고안의 설치 상태를 보인 사시도로서, 이중 도면 부호 10은 본 고안인 진동판을 나타낸 것이다.
본 고안은 첨부 도면 도 1 내지 도 4에서 보는 바와 같이, 반도체 소자 및부품의 가공 공정 중 대상물을 세정하도록 된 초음파세정장치의 진동판(10)에 있어서, 소정의 두께를 갖으며 표면에 미세한 요철(12)이 형성된 진동판 본체(11)와, 진동판 본체(11) 표면에 형성되는 밀착성강화 코팅층(13)과, 밀착성강화 코팅층(13) 표면에 코팅되는 텅스텐합금 코팅층(14)으로 이루어진 것이다.
상기, 텅스텐합금 코팅층(14)은 팔라듐(Pd) + 크롬(cr) + 텅스텐(W)이다.
이와 같이 구성된 본 고안은 진동판 본체(11) 표면에 텅스텐함금 코팅층(14)이 형성되어 있어 내마모성과 부식성 및 내열성이 우수하여 진동판(10)이 진동자(15)에서 발생되는 초음파에 의해 침식 또는 부식되는 것을 최대한 억제하여 수명을 연장시키게 된다.
또한, 텅스텐합금 코팅층(14)으로 인해 진동판(10)의 표면경도가 높아져 진동효과가 향상되며, 표면조도가 향상되어 음파전달 효율이 증대된다.
상기, 표면경도는 단단한 정도를 나타내는 것으로, 초음파는 단단한 매질에서 진동효과가 우수하므로, 표면경도가 높은 텅스텐합금이 코팅된 본 고안은 진동효과가 향상되게 되며, 또한, 표면조도는 표면의 매끄러운 정도를 나타내는 것으로, 초음파는 매질의 표면이 매끄러워 고유한 원래의 파장이 간섭 없이 정확히 전달되게 되므로, 표면조도가 우수한 텅스텐합금이 코팅된 본 고안은 초음파전달 효율이 증대되어 초음파에 의한 세정력을 향상시키게 된다.
이와 같이 되는 본 고안은 첨부 도면 도 3에서 보는 바와 같이, 초음파세정장치(1)의 내측 하부면에 설치되어 세정 대상물을 세정하여 이물질을 제거하게 된다.
이와 같이 되는 본 고안은 반도체 소자 및 부품의 가공 공정 중 대상물을 세정하도록 된 초음파세정장치의 구성요소인 진동판의 내마모성ㆍ내부식성ㆍ내열성을 향상시켜 진동자에서 발생되는 초음파에 의해 침식(Erosion) 또는 부식(Corrosion) 되는 것을 최대한 억제함으로써 수명을 연장시키는 한편, 진동판의 표면경도 및 표면조도를 높여 초음파의 진동효과 및 진동전달 효율을 높여 초음파 진동력을 향상시킴으로써 세정력을 향상시키는 효과를 갖는다.
Claims (1)
- 반도체 소자 및 부품의 가공 공정 중 대상물을 세정하도록 된 초음파세정장치의 진동판(10)에 있어서, 소정의 두께를 갖으며 표면에 미세한 요철(12)이 형성된 진동판 본체(11)와, 진동판 본체(11) 표면에 형성되는 밀착성강화 코팅층(13)과, 밀착성강화 코팅층(13) 표면에 코팅되는 텅스텐합금 코팅층(14)으로 이루어짐을 특징으로 하는 초음파세정장치의 진동판.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20-2004-0014202U KR200360121Y1 (ko) | 2004-05-21 | 2004-05-21 | 초음파세정장치의 진동판 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20-2004-0014202U KR200360121Y1 (ko) | 2004-05-21 | 2004-05-21 | 초음파세정장치의 진동판 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR200360121Y1 true KR200360121Y1 (ko) | 2004-08-31 |
Family
ID=49436217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR20-2004-0014202U KR200360121Y1 (ko) | 2004-05-21 | 2004-05-21 | 초음파세정장치의 진동판 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200360121Y1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100954566B1 (ko) | 2007-12-26 | 2010-04-22 | 세메스 주식회사 | 트랜스미터 및 이를 포함하는 기판 세정 장치 |
| KR102085509B1 (ko) * | 2019-07-09 | 2020-03-05 | 김춘원 | 김발 세척 선박 |
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2004
- 2004-05-21 KR KR20-2004-0014202U patent/KR200360121Y1/ko not_active IP Right Cessation
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