KR200341071Y1 - 리드 프레임 검사 시스템 - Google Patents

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KR200341071Y1
KR200341071Y1 KR20-2003-0030831U KR20030030831U KR200341071Y1 KR 200341071 Y1 KR200341071 Y1 KR 200341071Y1 KR 20030030831 U KR20030030831 U KR 20030030831U KR 200341071 Y1 KR200341071 Y1 KR 200341071Y1
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cassette
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lead screw
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정명채
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에이티아이 주식회사
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Abstract

다량의 리드 프레임을 신속하고 정확하게 검사하기 위한 리드 프레임 검사 시스템이 개시된다. 이 시스템의 리드 프레임 로딩장치는 다수의 리드 프레임과 각각의 리드 프레임의 사이에 끼워진 간지를 담은 카세트를 대기시키고, 리드 프레임은 검사위치로 이동시키며, 간지 및 카세트는 배출시킨다. 리드 프레임 등속이동장치는 리드 프레임을 등속으로 이동시키고, 리드 프레임 영상획득장치는 리드 프레임의 영상을 촬영하며, 영상판별장치는 리드 프레임의 영상을 분석하여 리드 프레임의 제조상태에 대한 양 및 불량을 판별한다. 양품 리드 프레임 언로딩장치는 영상판별장치의 판단결과 양품으로 판정된 리드 프레임을 리드 프레임을 픽업하여 카세트에 담고, 불량품 리드 프레임 언로딩장치는 불량품으로 판정된 리드 프레임을 리드 프레임을 픽업하여 불량 상태별로 적재한다. 제어부는 리드 프레임 로딩장치, 리드 프레임 등속이동장치, 리드 프레임 영상획득장치, 양품 리드 프레임 언로딩장치, 불량품 리드 프레임 언로딩장치의 동작을 각각 제어한다.

Description

리드 프레임 검사 시스템{DEFECT INSPECTION SYSTEM FOR LEAD FRAME}
본 고안은 리드 프레임을 자동으로 검사하기 위한 리드 프레임 검사 시스템과, 이 시스템에 적용되는 리드 프레임 로딩장치, 리드 프레임 등속이동장치, 리드 프레임 영상획득장치, 리드 프레임 영상판별장치, 리드 프레임 언로딩장치에 관한 것이다.
리드 프레임은 반도체 칩과 함께 반도체 팩키지를 구성하는 것으로서, 반도체 칩을 지지하는 동시에 칩과 외부회로를 전기적으로 연결해주는 역할을 한다. 이 리드 프레임은 스탬핑 또는 에칭에 의해 일정한 회로패턴이 형성된 금속기판으로 되어 있다.
이러한 리드 프레임은 단위 리드 프레임이 복수개 형성된 스트립(strip) 형태로 적재되고 출하된다. 이는 단위 리드 프레임의 회로 패턴이 복열로 형성된 금속기판을 릴(reel) 형태로 감은 후 이를 절단 프레스로 복수의 단위 리드 프레임으로 절단하여 제조한 것이다.
이러한 리드 프레임은 제조 과정이나 절단하고 적재하는 과정에서 스크래치나 변형이 발생하여 반도체 칩과 결합시 정상적인 기능을 수행할 수 없는 경우가 있다.
따라서 출하되는 모든 리드 프레임은 출하 직전 양품과 불량품을 판별하는 검사를 거쳐야 한다.
본 고안은 상기와 같은 점에 착안하여 안출한 것으로, 본 고안의 목적은 다량의 리드 프레임을 신속하고 정확하게 검사하기 위한 것이다.
도 1은 본 고안의 일 실시예인 리드 프레임 검사 시스템의 평면도,
도 2는 도 1의 정면도,
도 3 및 도 4는 도 1의 측면도,
도 5는 도 1에 도시한 리드 프레임 로딩장치를 구성하는 리드 프레임 공급장치의 평면도,
도 6은 도 1에 도시한 리드 프레임 로딩장치를 구성하는 제 1카세트 엘리베이터의 정면도,
도 7은 도 5의 정면도,
도 8은 도 1에 도시한 리드 프레임 로딩장치를 구성하는 리드 프레임 배출장치의 평면도,
도 9는 도 8의 정면도,
도 10은 도 1에 도시한 리드 프레임 로딩장치를 구성하는 간지 및 카세트 배출장치 평면도,
도 11은 도 10의 정면도,
도 12는 도 1에 도시한 리드 프레임 등속이동장치의 평면도,
도 13은 도 12의 정면도,
도 14는 도 12의 측면도,
도 15는 도 1에 도시한 리드 프레임 영상획득장치의 정면도,
도 16은 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 1리드 프레임 픽업장치의 평면도,
도 17은 도 16의 정면도,
도 18은 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2카세트 엘리베이터의 평면도,
도 19는 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 1카세트 정열 매거진의 평면도,
도 20은 도 19의 정면도,
도 21은 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 1간지 엘리베이터의 평면도,
도 22는 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 1간지 정열 매거진의 평면도,
도 23은 도 22의 정면도,
도 24는 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2컨베이어벨트의 평면도,
도 25는 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 카세트 공급장치의 평면도,
도 26은 도 25의 정면도,
도 27은 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 간지 공급장치의 평면도,
도 28은 도 27의 측면도,
도 29는 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2리드 프레임 픽업장치의 평면도,
도 30은 도 29의 정면도,
도 31은 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2간지 엘리베이터의 정면도,
도 32는 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2간지 정열 매거진의 평면도,
도 33은 도 32의 측면도,
도 34는 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 3카세트 엘리베이터의 정면도,
도 35는 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2카세트 정열 매거진의 평면도,
도 36은 도 35의 측면도,
도 37은 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 4카세트 엘리베이터의 정면도,
도 38은 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 3카세트 정열 매거진의 평면도,
도 39는 도 38의 측면도이다.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
200: 리드 프레임 로딩장치
210: 리드 프레임 공급장치 212: 제 1정역회전모터
214: 제 1컨베이어벨트 220: 제 1카세트 엘리베이터
222: 제 2정역회전모터 224: 제 1리드스크류
226: 제 1승강유닛 228: 제 1적재판
230: 감지장치 232:제 1포토센서
234: 제 2포토센서 236: 제 3포토센서
238: 제 4포토센서 240: 리드 프레임 배출장치
242: 제 1가이드레일 244: 제 1구동유닛
246: 제 1에어실린더 248: 제 1진공홀더
250: 간지 및 카세트 배출장치 252: 제 2가이드레일
254: 제 2구동유닛 256: 제 3가이드레일
258: 제 3구동유닛 260: 제 2진공홀더
300: 리드 프레임 등속이동장치
310: 베이스부 312: 제 1서보모터
314: 제 2리드스크류 316: 제 1수평이동유닛
320: 제 5포토센서 322: 제 1리미트 스위치
350: 보트장치 352: 제 1베이스판
354: 제 3리드스크류 356: 제 1레버
358: 슬라이드판 360: 그리퍼
362: 제 2에어실린더 364: 가이드축
400: 리드 프레임 영상획득장치
410: 제 4가이드레일 412: 제 4구동유닛
420: 라인 스캔 카메라
500: 리드 프레임 언로딩장치
510: 제 1리드 프레임 픽업장치 512: 제 5가이드레일
514: 제 5구동유닛 516: 제 6가이드레일
518: 제 6구동유닛 520: 제 3진공홀더
530: 제 2카세트 엘리베이터 532: 제 3정역회전모터
534: 제 4리드스크류 536: 제 2승강유닛
538: 제 2적재판 540: 제 6포토센서
542: 제 7포토센서 550: 제 1카세트 정열 매거진
552: 제 2베이스판 554: 제 5리드스크류
556: 제 3수평이동유닛 558: 제 2레버
560: 제 1측방가이드 562: 제 2측방가이드
570: 제 1간지 엘리베이터 572: 제 4정역회전모터
574: 제 6리드스크류 576: 제 3승강유닛
578: 제 3적재판 580: 제 8포토센서
582: 제 9포토센서 590: 제 1간지 정열 매거진
592: 제 3베이스판 594: 제 7리드스크류
596: 제 4수평이동유닛 598: 제 3레버
600: 제 3측방가이드 602: 제 4측방가이드
610: 카세트 이송장치 612: 제 5정역회전모터
614: 제 2컨베이어벨트 620: 카세트 공급장치
622: 제 7가이드레일 624: 제 7구동유닛
626: 제 1회전유닛 628: 제 4진공홀더
630: 간지 공급장치 632: 제 8가이드레일
634: 제 8구동유닛 636: 제 2회전유닛
638: 제 5진공홀더
700: 리드 프레임 언로딩장치
702: 이송장치 710: 제 2리드 프레임 픽업장치
712: 제 9가이드레일 714: 제 9구동유닛
716: 제 3에어실린더 718: 제 6진공홀더
720: 제 7진공홀더 730: 제 2간지 엘리베이터
732: 제 6정역회전모터 734: 제 8리드스크류
736: 제 4승강유닛 738: 제 4적재판
740: 제 10포토센서 750: 제 2간지 정열 매거진
752: 제 4베이스판 754: 제 9리드스크류
756: 제 5수평이동유닛 758: 제 4레버
760: 제 5측방가이드 762: 제 6측방가이드
770: 제 3카세트 엘리베이터 772: 제 7정역회전모터
774: 제 10리드스크류 776: 제 5승강유닛
778: 제 5적재판 780: 제 11포토센서
790: 제 2카세트 정열 매거진 792: 제 5베이스판
794: 제 11리드스크류 796: 제 6수평이동유닛
798: 제 5레버 800: 제 7측방가이드
802: 제 8측방가이드 810: 제 4카세트 엘리베이터
812: 제 8정역회전모터 814: 제 12리드스크류
816: 제 6승강유닛 818: 제 6적재판
820: 제 12포토센서 830: 제 3카세트 정열 매거진
832: 제 6베이스판 834: 제 13리드스크류
836: 제 7수평이동유닛 838: 제 6레버
840: 제 9측방가이드 842: 제 10측방가이드
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 다수의 리드 프레임과 각각의 상기 리드 프레임의 사이에 끼워진 간지를 담은 카세트를 대기시키고, 상기 리드 프레임은 검사위치로 이동시키며, 상기 간지 및 상기 카세트는 배출시키는 리드 프레임 로딩장치; 상기 리드 프레임 로딩장치에 의해 이동한 상기 리드 프레임을 등속으로 이동시키는 리드 프레임 등속이동장치; 상기 리드 프레임이 상기 등속이동장치에서 등속으로 이동하는 상기 리드 프레임의 영상을 촬영하는 리드 프레임 영상획득장치; 상기 영상획득장치로부터 촬영된 상기 리드 프레임의 영상을 전송 받고, 상기 영상을 분석하여 상기 리드 프레임의 제조상태에 대한 양 및 불량을 판별하는 영상판별장치; 상기 영상판별장치의 판단결과 양품으로 판정된 상기 리드 프레임을 상기 리드 프레임 등속이동장치에서 픽업하여 상기 카세트에 담는 양품 리드 프레임 언로딩장치; 상기 영상판별장치의 판단결과 불량품으로 판정된 상기 리드 프레임을 상기 리드 프레임 등속이동장치에서 픽업하여 불량 상태별로 적재하는 불량품 리드 프레임 언로딩장치; 및 상기 리드 프레임 로딩장치, 상기 리드 프레임 등속이동장치, 상기 리드 프레임 영상획득장치, 상기 양품 리드 프레임 언로딩장치, 상기 불량품 리드 프레임 언로딩장치의 동작을 각각 제어하는 제어부;를 포함하는 리드 프레임 검사 시스템을 제공한다.
상기 리드 프레임 로딩장치는, 다수의 리드 프레임과 각각의 상기 리드 프레임의 사이에 끼워진 간지를 담은 카세트를 이동시키는 리드 프레임 공급장치; 상기 리드 프레임 공급장치에 의해 이동한 상기 카세트의 저면을 지지하며, 상기 리드 프레임 및 상기 간지의 감소분만큼 상기 카세트를 상승시키는 제 1카세트 엘리베이터; 상기 카세트가 상기 제 1카세트 엘리베이터에 안착된 상태와, 상기 카세트에 담긴 상기 리드 프레임 및 상기 간지 중 우선 배출되는 물체를 감지하여 제어부에 전달하는 감지장치; 상기 제 1카세트 엘리베이터에 놓인 상기 리드 프레임을 검사 위치로 이동시키는 리드 프레임 배출장치; 및 상기 제 1카세트 엘리베이터에 놓인 상기 간지 및 상기 카세트를 배출시키는 간지 및 카세트 배출장치;를 포함하여 이루어진다.
상기 리드 프레임 등속이동장치는, 베이스부; 상기 베이스부에 설치되고, 제어부에 의해 구동되는 제 1서보모터; 상기 베이스부에 회전 가능하게 지지되고, 상기 제 1서보모터에 의해 회전되는 제 2리드스크류; 상기 제 2리드스크류에 의해 수평 이동하는 제 1수평이동유닛; 상기 제 1수평이동유닛에 장착되고, 상기 리드 프레임을 그립하는 보트장치; 상기 베이스부에 설치되어 상기 보트장치에 그립되는 상기 리드 프레임의 존재 유무를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 제 5포토센서; 및 상기 베이스부에 설치되어 상기 보트장치의 양측 방향 이동 한계치를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 한 쌍의 제 1리미트 스위치;를 포함하여 이루어진다.
상기 리드 프레임 영상획득장치는, 리드 프레임이 지나는 경로의 상방 및 하방에 수직방향으로 설치된 2이상의 제 4가이드레일; 제어부에 의해 동작되고, 상기 각 제 4가이드레일에 승강되도록 설치된 2이상의 제 4구동유닛; 상기 각 제 4구동유닛에 설치되고, 상기 등속이동장치에 놓여진 상기 리드 프레임의 표면을 촬영하여 영상판별장치에 전달하는 2이상의 라인스캔 카메라;를 포함하여 이루어진다.
상기 리드 프레임 영상판별장치는, 영상획득장치로부터 전송된 리드 프레임의 영상의 밝기 값과 미리 입력된 마스터 리드 프레임의 영상의 밝기 값을 비교하여, 상기 리드 프레임의 표면의 리드 스페이스, 쇼트에 대한 양 및 불량을 판정을 하고, 상기 영상의 전체적인 선명도의 불균일성을 검사하여 상기 리드 프레임의 표면의 벤트에 대한 양 및 불량을 판정을 한다.상기 박판형 반도체 리드 프레임 언로딩장치는, 리드 프레임을 픽업하는 제 1리드 프레임 픽업장치; 내용물이 담기지 않은 상기 카세트를 적층하여 두고, 상기 카세트의 배출시 감소된 높이 만큼 보상하여 상승시키는 제 2카세트 엘리베이터; 상기 제 2카세트 엘리베이터에 놓인 상기 카세트를 수직 방향으로 정열시키는 카세트 매거진; 상기 간지를 적층하여 두고, 상기 간지의 배출시 감소된 높이 만큼 보상하여 상승시키는 제 1간지 엘리베이터; 상기 제 1간지 엘리베이터에 놓인 상기 간지를 수직 방향으로 정열시키는 제 1간지 정열 매거진; 상기 제 1리드 프레임 픽업장치로부터 이송되는 상기 리드 프레임이 담겨지도록 상기 카세트가 놓여지고, 상기 카세트에 상기 리드 프레임 및 상기 간지가 완충되었을 때 상기 카세트를 배출시키는 카세트 이송장치; 상기 제 2카세트 엘리베이터에 놓인 상기 카세트를 상기 카세트 이송장치로 이동시키는 카세트 공급장치; 및 상기 제 1간지 엘리베이터에 놓인 상기 간지를 상기 카세트 이송장치에 놓인 상기 카세트의 내부에 투입하는 간지공급장치;를 포함하여 이루어진다.
상기 리드 프레임 언로딩장치는, 이송장치에 놓여 이송된 리드 프레임을 픽업하는 제 2리드 프레임 픽업장치; 간지를 적층하여 두며, 상기 간지의 배출시 감소된 높이 만큼 상승시키는 제 2간지 엘리베이터; 상기 제 2간지 엘리베이터에 놓인 상기 간지를 수직 방향으로 정열시키는 제 2간지 정열매거진; 상기 카세트를 적층하여 두고, 상기 카세트의 적층시 증가된 높이 만큼 하강시키는 제 3카세트 엘리베이터; 상기 제 3카세트 엘리베이터에 놓인 상기 카세트를 수직방향으로 정열시키는 제 2카세트 정열 매거진; 상기 카세트를 적층하여 두고, 상기 카세트의 적층시 증가된 높이 만큼 하강시키는 제 4카세트 엘리베이터; 및 상기 제 4카세트 엘리베이터에 놓인 상기 카세트를 수직방향으로 정열시키는 제 3카세트 정열 매거진;을 포함하여 이루어진다.
이하에서는 본 고안의 일실시예를 설명하여 본 고안을 구체화한다.
도 1은 본 실시예인 리드 프레임 검사 시스템의 평면도이고, 도 2는 도 1의 정면도이며, 도 3 및 도 4는 도 1의 측면도이다.
이 도면에 도시된 리드 프레임 검사 시스템은, 다수의 리드 프레임과 각각의 리드 프레임의 사이에 끼워진 간지를 담은 카세트를 대기시키고, 리드 프레임은 검사위치로 이동시키며, 간지 및 카세트는 배출시키는 리드 프레임 로딩장치(200); 리드 프레임 로딩장치(200)에 의해 이동한 리드 프레임을 등속으로 이동시키는 리드 프레임 등속이동장치(300); 리드 프레임이 등속이동장치(300)에서 등속으로 이동하는 리드 프레임의 영상을 촬영하는 리드 프레임 영상획득장치(400); 영상획득장치(400)로부터 촬영된 리드 프레임의 영상을 전송 받고, 영상을 분석하여 리드 프레임의 제조상태에 대한 양 및 불량을 판별하는 영상판별장치; 영상판별장치의 판단결과 양품으로 판정된 리드 프레임을 리드 프레임 등속이동장치(300)에서 픽업하여 카세트에 담는 양품 리드 프레임 언로딩장치(500); 영상판별장치의 판단결과 불량품으로 판정된 리드 프레임을 리드 프레임 등속이동장치(300)에서 픽업하여 불량 상태별로 적재하는 불량품 리드 프레임 언로딩장치(700); 및 리드 프레임 로딩장치(200), 리드 프레임 등속이동장치(300), 리드 프레임 영상획득장치(400), 양품 리드 프레임 언로딩장치(500), 불량품 리드 프레임 언로딩장치(700)의 동작을 각각 제어하는 제어부;로 이루어진다.
카세트는 다수의 리드 프레임과 리드 프레임을 보호하기 위하여 각 리드 프레임의 사이에 삽입되는 간지를 담아서 보관 및 이동시키기 위한 것이다. 이러한 카세트는 상방이 개방된 박스형이며, 내부의 내용물을 감지하기 위한 센서의 광선투시를 가능하게 하기 위해서 측면에도 개방홈이 형성되어 있다.
이하에서는 리드 프레임 검사 시스템을 구성하는 각 장치의 구성을 설명한다.
먼저, 리드 프레임 로딩장치(200)를 설명한다.
리드 프레임 로딩장치(200)는 검사하고자 하는 다수의 리드 프레임과 간지가 담긴 카세트에서 리드 프레임 만을 골라 내고, 이 리드 프레임을 리드 프레임 등속이동장치(300)에 공급하는 역할을 한다.
도 5는 도 1에 도시한 리드 프레임 로딩장치를 구성하는 리드 프레임 공급장치의 평면도이고, 도 6은 도 1에 도시한 리드 프레임 로딩장치를 구성하는 제 1카세트 엘리베이터의 정면도이며, 도 7은 도 5의 정면도이다.
도 8은 도 1에 도시한 리드 프레임 로딩장치를 구성하는 리드 프레임 배출장치의 평면도이고, 도 9는 도 8의 정면도이다.
도 10은 도 1에 도시한 리드 프레임 로딩장치를 구성하는 간지 및 카세트 배출장치 평면도이고, 도 11은 도 10의 정면도이다.
이 도면에 도시된 리드 프레임 로딩장치(200)는; 다수의 리드 프레임과 각각의 리드 프레임의 사이에 끼워진 간지를 담은 카세트를 이동시키는 리드 프레임 공급장치(210); 리드 프레임 공급장치(210)에 의해 이동한 카세트의 저면을 지지하며, 리드 프레임 및 간지의 감소분만큼 카세트를 상승시키는 제 1카세트 엘리베이터(220); 카세트가 제 1카세트 엘리베이터(220)에 안착된 상태와, 카세트에 담긴 리드 프레임 및 간지 중 우선 배출되는 물체를 감지하여 제어부에 전달하는 감지장치(230); 제 1카세트 엘리베이터(220)에 놓인 리드 프레임을 리드 프레임 등속이동장치(300)로 이동시키는 리드 프레임 배출장치(240); 및 제 1카세트 엘리베이터(220)에 놓인 간지 및 카세트를 배출시키는 간지 및 카세트 배출장치(250);로 이루어진다.
리드 프레임 공급장치(210)는; 제어부에 의해 동작되며 양방향 회전이 가능한 제 1정역회전모터(212); 및 제 1정역회전모터(212)의 회전에 의해 회전하여 카세트를 제 1카세트 엘리베이터(220)로 이송시키는 제 1컨베이어벨트(214);로 이루어진다.
제 1카세트 엘리베이터(220)는, 제어부에 의해 동작되며 양방향 회전이 가능한 제 2정역회전모터(222); 제 2정역회전모터(222)에 의해 회전하며 수직 방향으로 설치된 제 1리드스크류(224); 제 1리드스크류(224)의 회전에 의해 승강되는 제 1승강유닛(226); 및 제 1승강유닛(226)에 결합되며, 리드 프레임 공급장치(210)로부터 이동한 카세트가 안착되는 제 1적재판(228);으로 이루어진다.
감지장치(230)는, 제 1카세트 엘리베이터(220)에 카세트가 존재하는 지의 유무를 감지하여 제어부에 전달하는 제 1포토센서(232); 카세트에 담긴 내용물중 가장 상방에 놓인 내용물이 리드 프레임인지 간지인지를 감지하여 제어부에 전달하는 제 2포토센서(234); 카세트에 놓인 내용물이 바닥났는지를 감지하여 제어부에 전달하는 제 3포토센서(236); 및 카세트에 담긴 내용물의 높이를 감지하여 제어부에 전달하는 제 4포토센서(238);로 이루어진다.
리드 프레임 배출장치(240)는; 제 1카세트 엘리베이터(220)로부터 리드 프레임의 검사위치로 수평 방향으로 설치된 제 1가이드레일(242); 제어부에 의해 제어되고, 제 1가이드레일(242)을 따라 이동하는 제 1구동유닛(244); 제어부에 의해 동작되고, 제 1구동유닛(244)에 설치되어 수직 방향으로 동작되는 제 1에어실린더(246); 및 제 1에어실린더(246)에 설치되고, 제어부에 의해 동작되며, 카세트에 놓인 리드 프레임을 흡착하는 제 1진공홀더(248);로 이루어진다.
간지 및 카세트 배출장치(250)는, 제 1카세트 엘리베이터(220)로부터 간지및 카세트의 배출위치로 수평 방향으로 설치된 제 2가이드레일(252); 제어부에 의해 동작되고, 제 2가이드레일(252)을 따라 이동하는 제 2구동유닛(254); 제 2구동유닛(254)상에 수직으로 설치된 제 3가이드레일(256); 제어부에 의해 동작되고 제어되고, 제 3가이드레일(256)을 따라 이동하는 제 3구동유닛(258); 및 제 3구동유닛(258)에 설치되고, 제어부에 의해 동작되며, 간지 및 카세트를 흡착하는 제 2진공홀더(260);로 이루어진다.
다음은, 리드 프레임 등속이동장치(300)를 설명한다.
리드 프레임 등속이동장치(300)는 리드 프레임 로딩장치(200)로부터 낱장으로 공급되는 리드 프레임을 등속도로 이동시켜 리드 프레임 영상획득장치(400)에서 리드 프레임의 영상을 촬영할 수 있도록 하는 장치이다.
도 12는 도 1에 도시한 리드 프레임 등속이동장치의 평면도이고, 도 13은 도 12의 정면도이며, 도 14는 도 12의 측면도이다.
이 도면에 도시된 리드 프레임 등속이동장치(300)는; 베이스부(310); 베이스부(310)에 설치되고, 제어부에 의해 구동되는 제 1서보모터(312); 베이스부(310)에 회전 가능하게 지지되고, 제 1서보모터(312)에 의해 회전되는 제 2리드스크류(314); 제 2리드스크류(314)에 의해 수평 이동하는 제 1수평이동유닛(316); 제 1수평이동유닛(316)에 장착되고, 리드 프레임을 그립하는 보트장치(350); 베이스부(310)에 설치되어 보트장치(350)에 그립되는 리드 프레임의 존재 유무를 감지하여 제어부에 전달하는 제 5포토센서(320); 및 베이스부(310)에 설치되어 보트장치(350)의 양측 방향 이동 한계치를 감지하여 제어부에 전달하는 한 쌍의 제 1리미트 스위치(322);로 이루어진다.
보트장치(350)는; 제 1수평이동유닛(316)에 장착되는 제 1베이스판(352); 제 1베이스판(352)에 회전 가능하게 지지되고, 중심영역을 기준으로 양측에 서로 대응되는 방향의 나사골이 형성된 제 3리드스크류(354); 제 3리드스크류(354)에 결합된 제 1레버(356); 제 3리드스크류(354)의 양측에 각각 결합되어 수평 이동되는 한 쌍의 제 2수평이동유닛; 제 2수평이동유닛과 결합됨과 동시에, 서로 가까워지거나 멀어지는 방향으로 슬라이드 되도록 제 1베이스판(352)에 가이드축(364)에 의해 수평이동 가능하게 설치되는 한 쌍의 슬라이드판(358); 리드 프레임을 그립할 수 있도록 각 슬라이드판(358)에 설치된 한 쌍의 그리퍼(360); 및 제어부의 제어에 의해 구동되며, 그리퍼(360)를 구동시키도록 제 1베이스판(352)에 설치되는 제 2에어실린더(362);로 이루어진다.
다음은, 리드 프레임 영상획득장치(400)를 설명한다.
도 15는 도 1에 도시한 리드 프레임 영상획득장치(400)의 정면도이다.
이 도면에 도시된 리드 프레임 영상획득장치(400)는, 리드 프레임이 지나는 경로의 상방 및 하방에 수직방향으로 설치된 2이상의 제 4가이드레일(410); 제어부에 의해 동작되고, 각 제 4가이드레일(410)에 승강되도록 설치된 2이상의 제 4구동유닛(412); 각 제 4구동유닛(412)에 설치되고, 등속이동장치(300)에 놓여진 리드 프레임의 표면을 촬영하여 영상판별장치에 전달하는 2이상의 라인 스캔 카메라(420);로 이루어진다.
라인 스캔 카메라(420)는, 리드 프레임의 표면에 대한 리드 스페이스, 쇼트,벤트를 검사하기 위한 3차원 촬영이 가능한 라인 스캔 카메라이다.
다음은, 리드 프레임 영상판별장치를 설명한다.
리드 프레임 영상판별장치는 영상을 인식할 수 있는 프로그램에 의해 리드 프레임의 영상을 판별하는 작업을 수행하는 컴퓨터이다.
리드 프레임 영상판별장치는, 영상획득장치(400)로부터 전송된 리드 프레임의 영상의 밝기 값과 미리 입력된 마스터 리드 프레임의 영상의 밝기 값을 비교하여, 리드 프레임의 표면의 리드 스페이스, 쇼트에 대한 양 및 불량을 판정을 한다.
그리고 영상의 전체적인 선명도의 불균일성을 검사하여 리드 프레임의 표면의 벤트에 대한 양 및 불량을 판정을 한다.
다음은 양품 리드 프레임 언로딩장치(500)를 설명한다.
양품 리드 프레임 언로딩장치(500)는 리드 프레임 영상판별장치의 판별 결과 양품으로 판정된 리드 프레임을 리드 프레임 등속이동장치(300)로부터 픽업하여 카세트에 간지와 함께 담는 장치이다.
도 16은 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 1리드 프레임 픽업장치의 평면도이고, 도 17은 도 16의 정면도이다.
도 18은 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2카세트 엘리베이터의 평면도이고, 도 19는 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 1카세트 정열 매거진의 평면도이며, 도 20은 도 19의 정면도이다.
도 21은 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 1간지 엘리베이터의 평면도이고, 도 22는 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를구성하는 제 1간지 정열 매거진의 평면도이며, 도 23은 도 22의 정면도이다.
도 24는 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2컨베이어벨트의 평면도이고, 도 25는 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 카세트 공급장치의 평면도이며, 도 26은 도 25의 정면도이다.
도 27은 도 1에 도시한 양품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 간지 공급장치의 평면도이고, 도 28은 도 27의 측면도이다.
이 도면에 도시된 리드 프레임 언로딩장치(500)는; 리드 프레임을 픽업하는 제 1리드 프레임 픽업장치(510); 내용물이 담기지 않은 카세트를 적층하여 두고, 카세트의 배출시 감소된 높이 만큼 보상하여 상승시키는 제 2카세트 엘리베이터(530); 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓인 카세트를 수직 방향으로 정열시키는 제 1카세트 정열 매거진(550); 간지를 적층하여 두고, 간지의 배출시 감소된 높이 만큼 보상하여 상승시키는 제 1간지 엘리베이터(570); 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓인 간지를 수직 방향으로 정열시키는 제 1간지 정열 매거진(590); 제 1리드 프레임 픽업장치(510)로부터 이송되는 리드 프레임이 담겨지도록 카세트가 놓여지고, 카세트에 리드 프레임 및 간지가 완충되었을 때 카세트를 배출시키는 카세트 이송장치(610); 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓인 카세트를 카세트 이송장치(610)로 이동시키는 카세트 공급장치(620); 및 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓인 간지를 카세트 이송장치(610)에 놓인 카세트의 내부에 투입하는 간지 공급장치(630);로 이루어진다.
제 1리드 프레임 픽업장치(510)는; 등속이동장치(300)로부터 카세트 이송장치(610)에 걸쳐 설치된 제 5가이드레일(512); 제어부에 의해 동작되고, 제 5가이드레일(512)을 따라 이동 가능하게 설치된 제 5구동유닛(514); 제 5구동유닛(514)에 제 5가이드레일(512)과 수직 방향으로 설치된 제 6가이드레일(516); 제어부에 의해 동작되고, 제 6가이드레일(516)을 따라 이동 가능하게 설치된 제 6구동유닛(518); 및 제 6구동유닛(518)에 설치되고, 제어부에 의해 작동되어 리드 프레임을 흡착하는 제 3진공홀더(520);로 이루어진다.
제 2카세트 엘리베이터(530)는; 제어부에 의해 동작되어 제 3정역회전모터(532); 제 3정역회전모터(532)에 의해 회전되는 제 4리드스크류(534); 제 4리드스크류(534)에 결합되어 수직 방향으로 승강되는 제 2승강유닛(536); 제 2승강유닛(536)에 결합되어 승강되고, 카세트가 놓여지는 제 2적재판(538); 제 2승강유닛(536)의 승강 한계치를 감지하여 제어부에 전달하는 한 쌍의 제 6포토센서(540); 및 제 1카세트 정열 매거진(550)에 설치되어 제 2적재판(538)에 놓인 카세트의 높이를 감지하여 제어부에 전달하는 제 7포토센서(542);로 이루어진다.
제 1카세트 정열 매거진(550)은; 수평으로 설치된 제 2베이스판(552); 중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 제 2베이스판(552)상에 회전 가능하게 설치된 제 5리드스크류(554); 제 5리드스크류(554)의 양측에 각각 결합되어 제 5리드스크류(554)의 회전에 의해 대칭 방향으로 수평 이동되는 한 쌍의 제 3수평이동유닛(556); 제 5리드스크류(554)에 결합된 제 2레버(558); 한 쌍의 제 3수평이동유닛(556)에 의해 수평방향으로 이동하여 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓인 카세트의 제 1측방향을 가이드하는 제 1측방가이드(560); 및 제 2베이스판(552)에 제 1측방가이드(560)와 직교되는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 카세트의 제 2측방향을 가이드하는 제 2측방가이드(562);로 이루어진다.
제 1간지 엘리베이터(570)는; 제어부에 의해 동작되는 제 4정역회전모터(572); 제 4정역회전모터(572)에 의해 회전되는 제 6리드스크류(574); 제 6리드스크류(574)에 결합되어 수직 방향으로 승강되는 제 3승강유닛(576); 제 3승강유닛(576)에 결합되어 승강되고, 간지가 놓여지는 제 3적재판(578); 제 3승강유닛(576)의 승강한계치를 감지하여 제어부에 전달하는 한 쌍의 제 8포토센서(580); 및 제 1간지 정열 매거진(590)에 설치되어 제 3적재판(578)에 놓인 간지의 높이를 감지하여 제어부에 전달하는 제 9포토센서(582);로 이루어진다.
제 1간지 정열 매거진(590)은; 제 3베이스판(592); 중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 제 3베이스판(592)상에 회전 가능하게 설치된 제 7리드스크류(594); 제 7리드스크류(594)의 양측에 각각 결합되어 제 7리드스크류(594)의 회전에 의해 대칭 방향으로 수평 이동되는 한 쌍의 제 4수평이동유닛(596); 제 7리드스크류(594)에 결합된 제 3레버(598); 한 쌍의 제 4수평이동유닛(596)에 의해 수평방향으로 이동하여 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓인 간지의 제 1측방향을 가이드하는 제 3측방가이드(600); 및 제 3베이스판(592)에 제 3측방가이드(600)와 직교되는 방향으로 이동 가능하게설치되어 간지의 제 2측방향을 가이드하는 제 4측방가이드(602);로 이루어진다.
카세트 이송장치(610)는; 제어부에 의해 동작되는 제 5정역회전모터(612); 및 제 5정역회전모터(612)의 회전에 의해 회전하여 카세트를 이동시키는 제 2컨베이어벨트(614);로 이루어진다.
카세트 공급장치(620)는; 수직 방향으로 설치된 제 7가이드레일(622); 제어부에 의해 동작되고, 제 7가이드레일(622)을 따라 이동 가능하게 설치된 제 7구동유닛(624); 제 7구동유닛(624)에 설치되고, 제어부의 제어에 의해 수평 방향으로 회전하는 제 1회전유닛(626); 및 제 7구동유닛(624)에 설치되고, 제어부에 의해 작동되어 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓여진 카세트를 흡착하는 제 4진공홀더(628);로 이루어진다.
간지 공급장치(630)는; 수직 방향으로 설치된 제 8가이드레일(632); 제어부에 의해 동작되고, 제 8가이드레일(632)을 따라 이동 가능하게 설치된 제 8구동유닛(634); 제 8구동유닛(634)에 설치되고, 제어부의 제어에 의해 수평 방향으로 회전하는 제 2회전유닛(636); 및 제 8구동유닛(634)에 설치되고, 제어부에 의해 작동되어 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓여진 간지를 흡착하는 제 5진공홀더(638);로 이루어진다.
다음은, 불량품 리드 프레임 언로딩장치(700)를 설명한다.
불량품 리드 프레임 언로딩장치(700)는 리드 프레임 영상판별장치의 판별 결과 불량품으로 판별된 리드 프레임을 리드 프레임 등속이동장치(400)로부터 픽업하여 재생이 가능한 리드 프레임은 간지와 함께 카세트에 담고, 재생이 불가능한 리드 프레임은 간지의 투입 없이 카세트에 담는 장치이다.
도 29는 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2리드 프레임 픽업장치의 평면도이고, 도 30은 도 29의 정면도이다.
도 31은 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2간지 엘리베이터의 정면도이고, 도 32는 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2간지 정열 매거진의 평면도이며, 도 33은 도 32의 측면도이다.
도 34는 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 3카세트 엘리베이터의 정면도이다.
도 35는 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 2카세트 정열 매거진의 평면도이며, 도 36은 도 35의 측면도이다.
도 37은 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 4카세트 엘리베이터의 정면도이다.
도 38은 도 1에 도시한 불량품 리드 프레임 언로딩장치를 구성하는 제 3카세트 정열 매거진의 평면도이며, 도 39는 도 38의 측면도이다.
이 도면에 도시된 불량품 리드 프레임 언로딩장치(700)는; 이송장치(702)에 놓여 이송된 리드 프레임을 픽업하는 제 2리드 프레임 픽업장치(710); 간지를 적층하여 두며, 간지의 배출시 감소된 높이 만큼 상승시키는 제 2간지 엘리베이터(730); 제 2간지 엘리베이터(730)에 놓인 간지를 수직 방향으로 정열시키는 제 2간지 정열매거진; 카세트를 적층하여 두고, 카세트의 적층시 증가된 높이 만큼 하강시키는 제 3카세트 엘리베이터(770); 제 3카세트 엘리베이터(770)에 놓인카세트를 수직방향으로 정열시키는 제 2카세트 정열 매거진(790); 카세트를 적층하여 두고, 카세트의 적층시 증가된 높이 만큼 하강시키는 제 4카세트 엘리베이터(810); 및 제 4카세트 엘리베이터(810)에 놓인 카세트를 수직방향으로 정열시키는 제 3카세트 정열 매거진(830);으로 이루어진다.
제 2리드 프레임 픽업장치(710)는; 일단이 제 2간지 엘리베이터(730)와 제 3카세트 엘리베이터(770) 및 제 4카세트 엘리베이터(810)의 근방으로 설치된 된 제 9가이드레일(712); 제어부에 의해 동작되고, 제 9가이드레일(712)을 따라 이동 가능하게 설치된 제 9구동유닛(714); 제어부에 의해 동작되고, 제 9구동유닛(714)에 제 9가이드레일(712)과 수직 방향으로 동작되도록 설치된 제 3에어실린더(716); 제 3에어실린더(716)에 설치되고, 제어부에 의해 작동되어 등속이동장치(300)에 놓여진 리드 프레임을 흡착하는 제 6진공홀더(718); 및 제 3에어실린더(716)에 설치되고, 제어부에 의해 작동되어 제 2간지 엘리베이터(730)에 놓인 간지를 흡착하는 제 7진공홀더(720);로 이루어진다.
제 2간지 엘리베이터(730)는; 제어부에 의해 제어되어 동작되는 제 6정역회전모터(732); 제 6정역회전모터(732)에 의해 회전되는 제 8리드스크류(734); 제 8리드스크류(734)에 결합되어 수직 방향으로 승강되는 제 4승강유닛(736); 제 4승강유닛(736)에 결합되어 승강되고, 간지가 놓여지는 제 4적재판(738); 및 제 4승강유닛(736)의 승강한계치를 감지하여 제어부에 전달하는 제 10포토센서(740);로 이루어진다.
제 2간지 정열 매거진(750)은; 제 4베이스판(752); 중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 제 4베이스판(752)상에 회전 가능하게 설치된 제 9리드스크류(754); 제 9리드스크류(754)의 양측에 각각 결합되어 제 9리드스크류(754)의 회전에 의해 대칭 방향으로 수평 이동되는 한 쌍의 제 5수평이동유닛(756); 제 9리드스크류(754)에 결합된 제 4레버(758); 한 쌍의 제 5수평이동유닛(756)에 의해 수평방향으로 이동하여 제 2간지 엘리베이터(730)에 놓인 간지의 제 1측방향을 가이드하는 제 5측방가이드(760); 및 제 4베이스판(752)에 제 5측방가이드(760)와 직교되는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 간지의 제 2측방향을 가이드하는 제 6측방가이드(762);로 이루어진다.
제 3카세트 엘리베이터(770)는; 제어부에 의해 제어되어 동작되는 제 7정역회전모터(772); 제 7정역회전모터(772)에 의해 회전되는 제 10리드스크류(774); 제 10리드스크류(774)에 결합되어 수직 방향으로 승강되는 제 5승강유닛(776); 제 5승강유닛(776)에 결합되어 승강되고, 카세트가 놓여지는 제 5적재판(778); 및 제 5승강유닛(776)의 승강한계치를 감지하여 제어부에 전달하는 제 11포토센서(780);로 이루어진다.
이 카세트에는 제 6진공홀더(718)에 의해 이송되는 불량품 리드 프레임 중 다시 재생할 수 없는 완전 불량품 리드 프레임이 담기게 된다.
제 2카세트 정열 매거진(790)은, 제 5베이스판(792); 중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 제 5베이스판(792)상에 회전 가능하게 설치된 제 11리드스크류(794); 제 11리드스크류(794)의 양측에 각각 결합되어 제 11리드스크류(794)의 회전에 의해 대칭 방향으로 수평이동되는 한 쌍의 제 6수평이동유닛(796); 제 11리드스크류(794)에 결합된 제 5레버(798); 한 쌍의 제 6수평이동유닛(796)에 의해 수평방향으로 이동하여 상기 제 3카세트 엘리베이터(770)에 놓인 상기 카세트의 제 1측방향을 가이드하는 제 7측방가이드(800); 및 제 5베이스판(792)에 제 7측방가이드(800)와 직교되는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 카세트의 제 2측방향을 가이드하는 제 8측방가이드(802);로 이루어진다.
제 4카세트 엘리베이터(810)는; 제어부에 의해 제어되어 동작되는 제 8정역회전모터(812); 제 8정역회전모터(812)에 의해 회전되는 제 12리드스크류(814); 제 12리드스크류(814)에 결합되어 수직 방향으로 승강되는 제 6승강유닛(816); 제 6승강유닛(816)에 결합되어 승강되고, 카세트가 놓여지는 제 6적재판(818); 및 제 6승강유닛(816)의 승강한계치를 감지하여 제어부에 전달하는 제 12포토센서(820);로 이루어진다.
이 카세트에는 제 6진공홀더(718)에 의해 이송되는 불량품 리드 프레임 중 다시 재생할 수 있는 리드 프레임과 제 7진공홀더(720)에 의해 이송되는 간지가 담기게 된다.
제 3카세트 정열 매거진(830)은; 제 6베이스판(832); 중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 제 6베이스판(832)상에 회전 가능하게 설치된 제 13리드스크류(834); 제 13리드스크류(834)의 양측에 각각 결합되어 제 13리드스크류(834)의 회전에 의해 대칭 방향으로 수평 이동되는 한 쌍의 제 7수평이동유닛(836); 제 13리드스크류(834)에 결합된 제 6레버(838); 한 쌍의 제 7수평이동유닛(836)에 의해 수평방향으로 이동하여 제 4카세트 엘리베이터(810)에 놓인 카세트의 제 1측방향을 가이드하는 제 9측방가이드(840); 및 제 6베이스판(832)에 제 9측방가이드(840)와 직교되는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 카세트의 제 2측방향을 가이드하는 제 10측방가이드(842);로 이루어진다.
제어부는 리드 프레임 로딩장치(200), 리드 프레임 등속이동장치(300), 리드 프레임 영상획득장치(400), 양품 리드 프레임 언로딩장치(500), 불량품 리드 프레임 언로딩장치(700)의 각종 센서로부터 감지 신호를 전달 받고, 각 장치를 제어하는 시그날 및 전원을 공급하는 컴퓨터이다.
이하에서는 본 실시예의 작용을 설명한다.
먼저, 리드 프레임 로딩장치(200)의의 작용을 설명한다.
리드 프레임과 각 리드 프레임의 사이에 삽입된 간지를 카세트에 담고, 이러한 다수의 카세트를 리드 프레임 공급장치(210)의 제 1컨베이어벨트(214)에 올려놓는다.
제 1정역회전모터(212)는 제어부에 의해 동작되어 제 1컨베이어 벨트를 회전시켜 카세트를 1개씩 제 1카세트 엘리베이터(220)의 제 1적재판(228)위로 이송시킨다.
제 1카세트 엘리베이터(220)의 제 2정역회전모터(222)는 제어부에 의해 동작되어, 제 1리드스크류(224)를 회전시켜 제 1승강유닛(226)을 상승시킴으로써, 리드 프레임 공급장치(210)로부터 이동한 카세트를 상승시킨다. 이러한 제 1카세트 엘리베이터(220)는 리드 프레임 및 간지의 감소분만큼 카세트를 상승시킨다.
감지장치(230)의 제 1포토센서(232)는, 제 1카세트 엘리베이터(220)에 카세트가 존재하는 지의 유무를 감지하여 제어부에 전달하고, 제어부는 카세트가 제 1카세트 엘리베이터(220)의 제 1적재판(228)에 놓이면 제 1정역회전모터(212)의 회전을 정지시킨다.
제 2포토센서(234)는 카세트에 담긴 내용물중 가장 상방에 놓인 내용물이 리드 프레임인지 간지인지를 감지하여 제어부에 전달하고, 제어부는 상방에 놓인 내용물이 리드 프레임일 때 리드 프레임 배출장치(240)를 동작시켜 리드 프레임을 배출시킨다.
리드 프레임 배출장치(240)의 제 1에어실린더(246)는 제 1진공홀더(248)를 하강시키고, 제 1진공홀더(248)가 카세트에 놓인 리드 프레임을 흡착하면 다시 제 1진공홀더(248)를 상승시킨다.
제 1구동유닛(244)은 제 1가이드레일(242)을 따라 이동하여 제 1에어실린더(246)와 제 1진공홀더(248)를 리드 프레임 등속이동장치(300)로 이동시키고, 제 1진공홀더(248)는 리드 프레임을 리드 프레임 등속이동장치(300)에 놓는다.
한편, 카세트의 상방에 놓인 내용물이 간지일 때 제어부는 간지 및 카세트 배출장치(250)를 동작시켜 간지를 배출시킨다.
간지 및 카세트 배출장치(250)의 제 3구동유닛(258)은 제 3가이드레일(256)을 따라 하강하여 제 2진공홀더(260)를 하강시키고, 제 2진공홀더(260)가 간지를흡착하면 다시 제 2진공홀더(260)를 상승시킨다.
그리고 제 2구동유닛(254)은 제 2가이드레일(252)을 따라 제 3구동유닛(258) 및 제 2진공홀더(260)를 간지의 배출위치로 이동시키고, 제 2진공홀더(260)는 간지를 배출위치에 놓는다.
제 3포토센서(236)는 카세트에 놓인 내용물이 바닥났는지를 감지하여 제어부에 전달하고, 제어부는 카세트 배출장치를 동작시켜 카세트를 배출시킨다.
간지 및 카세트 배출장치(250)의 제 3구동유닛(258)은 제 3가이드레일(256)을 따라 하강하여 제 2진공홀더(260)를 하강시키고, 제 2진공홀더(260)가 카세트를 흡착하면 다시 제 2진공홀더(260)를 상승시킨다.
그리고 제 2구동유닛(254)은 제 2가이드레일(252)을 따라 제 3구동유닛(258) 및 제 2진공홀더(260)를 카세트의 배출위치로 이동시키고, 제 2진공홀더(260)는 카세트를 배출위치에 놓는다.
그리고 제 4포토센서(238)는 카세트에 담긴 내용물의 높이를 감지하여 제어부에 전달하고, 제어부는 내용물의 감소분만큼 제 1카세트 엘리베이터(220)의 제 2정역회전모터(222)를 동작시켜 제 1적재판(228)을 상승시킨다.
다음은, 리드 프레임 등속이동장치(300)의 작용을 설명한다.
먼저, 보트장치(350)에서 리드 프레임이 올려지는 슬라이드판(358)의 폭을 조절한다. 이를 위하여 제 1레버(356)를 회전시키면, 제 3리드스크류(354)가 회전하여 제 2수평이동유닛을 이동시킴으로써 한 쌍의 슬라이드판(358)의 폭이 조절된다.
리드 프레임 로딩장치(200)로부터 이송된 리드 프레임은 보트장치(350)에 올려진다.
리드 프레임은 한 쌍의 슬라이드판(358) 위에 걸쳐 올려지고, 제 5포토센서(320)는 리드 프레임이 안착된 상태를 감지하여 제어부에 전달한다. 제어부는 한 쌍의 제 2에어실린더(362)를 구동시켜 한 쌍의 그리퍼(360)가 리드 프레임의 양측단부를 그립하게 한다.
그리퍼(360)가 리드 프레임을 그립하면, 제어부에서 제 1서보모터(312)를 회전시켜 제 2리드스크류(314)를 회전시킴으로써 제 1수평이동유닛(316)을 이동시켜 보트장치(350)를 이동시킨다.
다음은, 리드 프레임 영상획득장치(400)의 작용을 설명한다.
리드 프레임이 보트장치(350)에 그립되어 이동하는 동안 라인 스캔 카메라(420)에서 리드 프레임의 표면의 영상을 촬영하여 영상판별장치에 전달한다.
제어부는 라인 스캔 카메라(420)의 높이를 조절할 경우에는, 제어부에서 제 4구동유닛(412)을 동작시켜 제 4가이드레일(410)을 따라 이동시킴으로써 라인 스캔 카메라(420)의 높이가 조절된다.
라인 스캔 카메라(420)는, 리드 프레임의 표면에 대한 리드 스페이스, 쇼트, 벤트를 검사하기 위한 3차원 영상을 촬영한다.
다음은, 리드 프레임 영상판별장치의 작용을 설명한다.
리드 프레임 영상판별장치는, 영상획득장치(400)로부터 전송된 리드 프레임의 영상의 밝기 값과 미리 입력된 마스터 리드 프레임의 영상의 밝기 값을 비교하여, 리드 프레임의 표면의 리드 스페이스, 쇼트에 대한 양 및 불량을 판정을 한다.
그리고 영상의 전체적인 선명도의 불균일성을 검사하여 리드 프레임의 표면의 벤트에 대한 양 및 불량을 판정을 한다.
다음은 양품 리드 프레임 언로딩장치(500)의 작용을 설명한다.
리드 프레임 영상판별장치의 판단 결과 해당 리드 프레임이 양품으로 판별되면, 리드 프레임 언로딩장치(500)의 제 1리드 프레임 픽업장치(510)가 해당 리드 프레임을 픽업하여 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓여진 카세트에 담는다.
만일 리드 프레임 영상판별장치의 판단 결과 해당 리드 프레임이 불량품으로 판별되면, 제 1리드 프레임 픽업장치(510)가 해당 리드 프레임을 불량품 리드 프레임 언로딩장치(700)의 이송장치(702)에 올려놓는다.
제 1리드 프레임 픽업장치(510)의 제 6구동유닛(518)이 제 6가이드레일(516)을 따라 하강하여 제 3진공홀더(520)를 하강시킨 동안 제 3진공홀더(520)는 리드 프레임을 픽업하고, 다시 제 6구동유닛(518)이 상승한 후, 제 5구동유닛(514)이 제 5가이드레일(512)을 따라 이동하여 제 6구동유닛(518) 및 제 3진공홀더(520)를 제 2컨베이어벨트(614)의 위로 이동시킨다. 제 3진공홀더(520)는 픽업하였던 리드 프레임을 제 2컨베이어벨트(614)의 위에 놓인 카세트에 담는다.
한편, 제 2카세트 엘리베이터(530)는, 내용물이 담기지 않은 카세트를 적층하여 두고, 카세트의 배출시 감소된 높이 만큼 보상하여 상승시킨다.
제 7포토센서(542)는 제 1카세트 정열 매거진(550)에 설치되어 제 2적재판(538)에 놓인 카세트의 높이를 감지하여 제어부에 전달하고, 제어부는 제 2카세트 엘리베이터(530)의 제 3정역회전모터(532)를 회전시켜 제 4리드스크류(534)를 회전시킴으로써, 제 2승강유닛(536)을 상승시켜 제 2적재판(538) 및 이에 놓인 리드 프레임을 상승시킨다. 제 6포토센서(540)는 제 2승강유닛(536)의 승강 한계치를 감지하여 제어부에 전달하여 제 2승강유닛(536)의 승강의 한계치를 벗어나지 않도록 한다.
제 1카세트 정열 매거진(550)은, 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓인 카세트를 수직 방향으로 정열 시킨다.
제 1카세트 정열 매거진(550)의 제 2레버(558)를 회전시키면, 제 5리드스크류(554)가 회전하여 제 3수평이동유닛(556)을 수평으로 이동시키고, 제 3수평이동유닛(556)에 의해 한 쌍의 제 1측방가이드(560)의 폭이 조절된다. 그리고 제 2측방가이드(562)를 이동시켜 제 2측방가이드(562)의 위치를 조절한다.
제 1측방가이드(560)는 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓인 카세트의 제 1측방향을 가이드하고, 제 2측방가이드(562)가 카세트의 제 2측방향을 가이드한다.
제 1간지 엘리베이터(570)는, 간지를 적층하여 두고, 간지의 배출시 감소된 높이 만큼 보상하여 상승시킨다.
제 1간지 엘리베이터(570)의 제 9포토센서(582)는 제 1간지 정열 매거진(590)에 설치되어 제 3적재판(578)에 놓인 간지의 높이를 감지하여 제어부에 전달한다. 제어부는 제 4정역회전모터(572)를 동작시켜 제 6리드스크류(574)를 회전시킴으로써, 제 3승강유닛(576)을 상승시켜 간지가 놓인 제 3적재판(578)을 상승시킨다. 제 8포토센서(580)는 제 3승강유닛(576)의 승강한계치를 감지하여 제어부에 전달하고, 제어부는 제 3승강유닛(576)이 한계치를 넘어서 상승하지 않도록 제 4정역회전모터(572)를 제어한다.
제 1간지 정열 매거진(590)은, 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓인 간지를 수직 방향으로 정열 시킨다.
제 1간지 정열 매거진(590)의 제 3레버(598)를 회전시키면, 제 7리드스크류(594)가 회전하여 한 쌍의 제 4수평이동유닛(596)을 이동시켜 제 3측방가이드(600)의 폭을 조절한다. 그리고 제 4측방가이드(602)를 이동시켜 위치를 조절한다.
제 3측방가이드(600)는 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓인 간지의 제 1측방향을 가이드하고, 제 4측방가이드(602)는 제 3측방가이드(600)와 직교되는 방향에서 간지의 제 2측방향을 가이드한다.
카세트 이송장치(610)는 제 1리드 프레임 픽업장치(510)로부터 이송되는 리드 프레임이 담겨지도록 카세트가 놓여지고, 카세트에 리드 프레임 및 간지가 완충되었을 때 카세트를 배출시킨다.
카세트 이송장치(610)의 제 5정역회전모터(612)는 제어부에 의해 동작되어 제 2컨베이어벨트(614)를 회전시켜 카세트를 이동시킴으로써, 새로운 카세트를 제 1리드 프레임 픽업장치(510)의 하방에 준비할 수 있도록 한다.
카세트 공급장치(620)는, 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓인 카세트를 카세트 이송장치(610)로 이동시킨다.
제어부는 카세트 공급장치(620)의 제 7구동유닛(624)을 구동시켜 제 7가이드레일(622)을 따라 하강시키고, 제 4진공홀더(628)를 작동시켜 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓여진 카세트를 흡착한다. 제 4진공홀더(628)가 카세트를 흡착하면 제어부는 다시 제 7구동유닛(624)을 상승시킨 다음, 제 1회전유닛(626)을 구동시켜 제 4진공홀더(628)를 제 2컨베이어벨트(614)의 상방으로 이동시킨다.
이어서 제어부는 제 7구동유닛(624)과 제 4진공홀더(628)를 하강시키고, 제 4진공홀더(628)를 동작시켜 카세트를 제 2컨베이어벨트(614)의 위에 올려놓는다.
간지 공급장치(630)는 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓인 간지를 카세트 이송장치(610)에 놓인 카세트의 내부에 투입한다.
제어부는 제 8구동유닛(634)을 동작시켜 제 8가이드레일(632)을 따라 하강시키고, 제 5진공홀더(638)를 동작시켜 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓인 간지를 흡착한다.
제어부는 다시 제8구동유닛을 상승시킨 다음, 제 2회전유닛(636)을 구동시켜 제 5진공홀더(638)를 제 2컨베이어벨트(614)의 위로 이동시킨다.
제어부는 다시 제 8구동유닛(634)을 동작시켜 제 8가이드레일(632)을 따라 하강시키고, 제 5진공홀더(638)를 동작시켜 간지를 제 2컨베이어벨트(614)에 놓인 카세트에 담는다. 이러한 간지 공급장치(630)는 카세트에 담기는 리드 프레임의 사이에 끼워지도록 리드 프레임이 투입된 다음 간지를 투입한다.
다음은, 불량품 리드 프레임 언로딩장치(700)의 작용을 설명한다.
불량품 리드 프레임 언로딩장치(700)의 제 2리드 프레임 픽업장치(710)는, 불량품으로 판별되어 이송장치(702)에 놓여 이송된 리드 프레임을 픽업한다.
제어부는 제 2리드 프레임 픽업장치(710)의 제 9구동유닛(714)을 동작시켜 제 9가이드레일(712)을 따라 이동하여 제 3에어실린더(716)를 리드 프레임의 상방에 위치시킨다. 그리고 제어부는 제 3에어실린더(716)를 하강시키고, 제 6진공홀더(718)를 동작시켜 리드 프레임을 흡착한다.
또한 제어부는 제 7진공홀더(720)를 동작시켜 제 2간지 엘리베이터(730)에 놓인 간지를 흡착한다.
한편, 제 2간지 엘리베이터(730)는, 간지를 적층하여 두며, 간지의 배출시 감소된 높이 만큼 상승시킨다.
제어부는 제 2간지 엘리베이터(730)의 제 6정역회전모터(732)를 회전시켜 제 8리드스크류(734)를 회전시킴으로써, 제 4승강유닛(736)을 상승시켜 제 4승강유닛(736)에 결합된 제 4적재판(738)을 상승시킨다. 제 10포토센서(740)는 제 4승강유닛(736)의 승강한계치를 감지하여 제어부에 전달하고, 제어부는 제 4승강유닛(736)이 상승 한계치를 벗어나지 않도록 제 6정역회전모터(732)를 제어한다.
제 2간지 정열매거진은, 제 2간지 엘리베이터(730)에 놓인 간지를 수직 방향으로 정열 시킨다.
제 2간지 정열 매거진(750)의 제 4레버(758)를 회전시키면, 제 9리드스크류(754)가 회전하여 제 5수평이동유닛(756)을 이동시킴으로써, 한 쌍의 제 5측방가이드(760)의 폭을 조절한다. 그리고 제 6측방가이드(762)를 이동시켜 위치를 조절한다. 제 5측방가이드(760) 제 2간지 엘리베이터(730)에 놓인 간지의 제 1측방향을 가이드 하고, 제 6측방가이드(762)는 제 5측방가이드(760)와 직교되는방향에서 간지의 제 2측방향을 가이드한다.
제 3카세트 엘리베이터(770)는, 카세트를 적층하여 두고, 카세트의 적층시 증가된 높이 만큼 하강시킨다. 이 카세트에는 불량품 리드 프레임 중 다시 재생할 수 없는 완전 불량품 리드 프레임이 담기게 된다.
제어부는 제 3카세트 엘리베이터(770)의 제 7정역회전모터(772)를 회전시켜 제 10리드스크류(774)를 회전시킴으로써, 제 5승강유닛(776)을 하강시켜 카세트가 놓인 제 5적재판(778)을 하강시킨다. 제 11포토센서(780)는 제 5승강유닛(776)의 하강한계치를 감지하여 제어부에 전달하고 제어부는 제 5승강유닛(776)이 하강한계치를 벗어나지 않도록 제 7정역회전모터(772)를 제어한다.
제 2카세트 정열 매거진(790)은, 제 3카세트 엘리베이터(770)에 놓인 카세트를 수직방향으로 정열 시킨다.
제 2카세트 정열 매거진(790)의 제 5레버(798)를 회전시키면, 제 11리드스크류(794)가 회전하여 한 쌍의 제 6수평이동유닛(796)을 수평 이동시킴으로써 한 쌍의 제 7측방가이드(800)의 폭을 조절한다. 그리고 제 8측방가이드(802)를 이동시켜 위치를 조절한다.
제 7측방가이드(800)는 제 3카세트 엘리베이터(770)에 놓인 상기 카세트의 제 1측방향을 가이드하고, 제 8측방가이드(802)는 제 7측방가이드(800)와 직교되는 방향에서 카세트의 제 2측방향을 가이드한다.
제 4카세트 엘리베이터(810)는, 카세트를 적층하여 두고, 카세트의 적층시 증가된 높이 만큼 하강시킨다. 이 카세트에는 불량품 리드 프레임 중 다시 재생할수 있는 리드 프레임과 간지가 차례로 담기게 된다.
제어부는 제 4카세트 엘리베이터(810)의 제 8정역회전모터(812)를 회전시켜 제 12리드스크류(814)를 회전시킴으로써, 제 6승강유닛(816)을 하강시켜 카세트가 놓인 제 6적재판(818)을 하강시킨다. 제 12포토센서(820)는 제 6승강유닛(816)의 하강한계치를 감지하여 제어부에 전달하고 제어부는 제 6승강유닛(816)이 하강한계치를 벗어나지 않도록 제 8정역회전모터(812)를 제어한다.
제 3카세트 정열 매거진(830)은, 제 4카세트 엘리베이터(810)에 놓인 카세트를 수직방향으로 정열 시킨다.
제 3카세트 정열 매거진(830)의 제 6레버(838)를 회전시키면, 제 13리드스크류(834)가 회전하여 한 쌍의 제 7수평이동유닛(836)을 수평 이동시킴으로써 한 쌍의 제 9측방가이드(840)의 폭을 조절한다. 그리고 제 10측방가이드(842)를 이동시켜 위치를 조절한다.
제 9측방가이드(840)는 제 4카세트 엘리베이터(810)에 놓인 상기 카세트의 제 1측방향을 가이드하고, 제 10측방가이드(842)는 제 9측방가이드(840)와 직교되는 방향에서 카세트의 제 2측방향을 가이드한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 고안은, 다량의 리드 프레임을 연속적으로 신속하고 정확하게 검사할 수 있는 효과가 있다. 특히 3차원 촬영이 가능한 라인 스캔 카메라(420)를 사용함으로써 리드 프레임의 벤트를 정확하게 검사할 수 있는 효과가 있다.
이상에서는 본 고안을 하나의 실시예로써 설명하였으나, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 실용신안등록청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형이 가능할 것이다.

Claims (29)

  1. 다수의 리드 프레임과 각각의 상기 리드 프레임의 사이에 끼워진 간지를 담은 카세트를 대기시키고, 상기 리드 프레임은 검사위치로 이동시키며, 상기 간지 및 상기 카세트는 배출시키는 리드 프레임 로딩장치(200);
    상기 리드 프레임 로딩장치(200)에 의해 이동한 상기 리드 프레임을 등속으로 이동시키는 리드 프레임 등속이동장치(300);
    상기 리드 프레임이 상기 등속이동장치(300)에서 등속으로 이동하는 상기 리드 프레임의 영상을 촬영하는 리드 프레임 영상획득장치(400);
    상기 영상획득장치(400)로부터 촬영된 상기 리드 프레임의 영상을 전송 받고, 상기 영상을 분석하여 상기 리드 프레임의 제조상태에 대한 양 및 불량을 판별하는 영상판별장치;
    상기 영상판별장치의 판단결과 양품으로 판정된 상기 리드 프레임을 상기 리드 프레임 등속이동장치(300)에서 픽업하여 상기 카세트에 담는 양품 리드 프레임 언로딩장치(500);
    상기 영상판별장치의 판단결과 불량품으로 판정된 상기 리드 프레임을 상기 리드 프레임 등속이동장치(300)에서 픽업하여 불량 상태별로 적재하는 불량품 리드 프레임 언로딩장치(700); 및
    상기 리드 프레임 로딩장치(200), 상기 리드 프레임 등속이동장치(300), 상기 리드 프레임 영상획득장치(400), 상기 양품 리드 프레임 언로딩장치(500), 상기불량품 리드 프레임 언로딩장치(700)의 동작을 각각 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 리드 프레임 로딩장치(200)는,
    다수의 리드 프레임과 각각의 상기 리드 프레임의 사이에 끼워진 간지를 담은 카세트를 이동시키는 리드 프레임 공급장치(210);
    상기 리드 프레임 공급장치(210)에 의해 이동한 상기 카세트의 저면을 지지하며, 상기 리드 프레임 및 상기 간지의 감소분만큼 상기 카세트를 상승시키는 제 1카세트 엘리베이터(220);
    상기 카세트가 상기 제 1카세트 엘리베이터(220)에 안착된 상태와, 상기 카세트에 담긴 상기 리드 프레임 및 상기 간지 중 우선 배출되는 물체를 감지하여 제어부에 전달하는 감지장치(230);
    상기 제 1카세트 엘리베이터(220)에 놓인 상기 리드 프레임을 검사 위치로 이동시키는 리드 프레임 배출장치(240); 및
    상기 제 1카세트 엘리베이터(220)에 놓인 상기 간지 및 상기 카세트를 배출시키는 간지 및 카세트 배출장치(250);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 리드 프레임 공급장치(210)는,
    상기 제어부에 의해 동작되며 양방향 회전이 가능한 제 1정역회전모터(212); 및
    상기 제 1정역회전모터(212)의 회전에 의해 회전하여 상기 카세트를 상기 제 1카세트 엘리베이터(220)로 이송시키는 제 1컨베이어벨트(214);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  4. 청구항 2에 있어서, 상기 제 1카세트 엘리베이터(220)는,
    상기 제어부에 의해 동작되며 양방향 회전이 가능한 제 2정역회전모터(222);
    상기 제 2정역회전모터(222)에 의해 회전하며 수직 방향으로 설치된 제 1리드스크류(224);
    상기 제 1리드스크류(224)의 회전에 의해 승강되는 제 1승강유닛(226); 및
    상기 제 1승강유닛(226)에 결합되며, 상기 리드 프레임 공급장치(210)로부터 이동한 상기 카세트가 안착되는 제 1적재판(228);을 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  5. 청구항 2에 있어서, 상기 감지장치(230)는,
    상기 제 1카세트 엘리베이터(220)에 상기 카세트가 존재하는 지의 유무를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 제 1포토센서(232);
    상기 카세트에 담긴 내용물중 가장 상방에 놓인 내용물이 상기 리드 프레임인지 상기 간지인지를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 제 2포토센서(234);
    상기 카세트에 놓인 내용물이 바닥났는지를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 제 3포토센서(236); 및
    상기 카세트에 담긴 내용물의 높이를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 제 4포토센서(238);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  6. 청구항 2에 있어서, 상기 리드 프레임 배출장치(240)는,
    상기 제 1카세트 엘리베이터(220)로부터 상기 리드 프레임의 검사위치로 수평 방향으로 설치된 제 1가이드레일(242);
    상기 제어부에 의해 제어되고, 상기 제 1가이드레일(242)을 따라 이동하는 제 1구동유닛(244);
    상기 제어부에 의해 동작되고, 상기 제 1구동유닛(244)에 설치되어 수직 방향으로 동작되는 제 1에어실린더(246); 및
    상기 제 1에어실린더(246)에 설치되고, 상기 제어부에 의해 동작되며, 상기 카세트에 놓인 상기 리드 프레임을 흡착하는 제 1진공홀더(248);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  7. 청구항 2에 있어서, 상기 간지 및 카세트 배출장치(250)는,
    상기 제 1카세트 엘리베이터(220)로부터 상기 간지 및 상기 카세트의 배출위치로 수평 방향으로 설치된 제 2가이드레일(252);
    상기 제어부에 의해 동작되고, 상기 제 2가이드레일(252)을 따라 이동하는 제 2구동유닛(254);
    상기 제 2구동유닛(254)상에 수직으로 설치된 제 3가이드레일(256);
    상기 제어부에 의해 동작되고 제어되고, 상기 제 3가이드레일(256)을 따라 이동하는 제 3구동유닛(258); 및
    상기 제 3구동유닛(258)에 설치되고, 상기 제어부에 의해 동작되며, 상기 간지 및 상기 카세트를 흡착하는 제 2진공홀더(260);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  8. 청구항 1에 있어서, 상기 리드 프레임 등속이동장치(300)는,
    베이스부(310);
    상기 베이스부(310)에 설치되고, 제어부에 의해 구동되는 제 1서보모터(312);
    상기 베이스부(310)에 회전 가능하게 지지되고, 상기 제 1서보모터(312)에 의해 회전되는 제 2리드스크류(314);
    상기 제 2리드스크류(314)에 의해 수평 이동하는 제 1수평이동유닛(316);
    상기 제 1수평이동유닛(316)에 장착되고, 상기 리드 프레임을 그립하는 보트장치(350);
    상기 베이스부(310)에 설치되어 상기 보트장치(350)에 그립되는 상기 리드 프레임의 존재 유무를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 제 5포토센서(320); 및
    상기 베이스부(310)에 설치되어 상기 보트장치(350)의 양측 방향 이동 한계치를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 한 쌍의 제 1리미트 스위치(322);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  9. 청구항 8에 있어서, 상기 보트장치(350)는,
    상기 제 1수평이동유닛(316)에 장착되는 제 1베이스판(352);
    상기 제 1베이스판(352)에 회전 가능하게 지지되고, 중심영역을 기준으로 양측에 서로 대응되는 방향의 나사골이 형성된 제 3리드스크류(354);
    상기 제 3리드스크류(354)에 결합된 제 1레버(356);
    상기 제 3리드스크류(354)의 양측에 각각 결합되어 수평 이동되는 한 쌍의 제 2수평이동유닛;
    상기 제 2수평이동유닛과 결합됨과 동시에, 서로 가까워지거나 멀어지는 방향으로 슬라이드 되도록 상기 제 1베이스판(352)에 가이드축(364)에 의해 수평이동 가능하게 설치되는 한 쌍의 슬라이드판(358);
    상기 리드 프레임을 그립할 수 있도록 상기 각 슬라이드판(358)에 설치된 한 쌍의 그리퍼(360); 및
    상기 제어부의 제어에 의해 구동되며, 상기 그리퍼(360)를 구동시키도록 상기 제 1베이스판(352)에 설치되는 제 2에어실린더(362);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  10. 청구항 1에 있어서, 상기 리드 프레임 영상획득장치는(400)는,
    리드 프레임이 지나는 경로의 상방 및 하방에 수직방향으로 설치된 2이상의 제 4가이드레일(410);
    제어부에 의해 동작되고, 상기 각 제 4가이드레일(410)에 승강되도록 설치된 2이상의 제 4구동유닛(412);
    상기 각 제 4구동유닛(412)에 설치되고, 상기 등속이동장치(300)에 놓여진 상기 리드 프레임의 표면을 촬영하여 영상판별장치에 전달하는 2이상의 라인 스캔 카메라(420);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  11. 청구항 10에 있어서, 상기 라인 스캔 카메라(420)는,
    상기 리드 프레임의 표면에 대한 리드 스페이스, 쇼트, 벤트를 검사하기 위한 3차원 촬영이 가능한 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  12. 청구항 1에 있어서, 상기 영상판별장치는,
    영상획득장치(400)로부터 전송된 리드 프레임의 영상의 밝기 값과 미리 입력된 마스터 리드 프레임의 영상의 밝기 값을 비교하여, 상기 리드 프레임의 표면의 리드 스페이스, 쇼트에 대한 양 및 불량을 판정을 하고,
    상기 영상의 전체적인 선명도의 불균일성을 검사하여 상기 리드 프레임의 표면의 벤트에 대한 양 및 불량을 판정을 하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  13. 청구항 1에 있어서, 상기 양품 리드 프레임 언로딩장치(500)는,
    리드 프레임을 픽업하는 제 1리드 프레임 픽업장치(510);
    내용물이 담기지 않은 상기 카세트를 적층하여 두고, 상기 카세트의 배출시 감소된 높이 만큼 보상하여 상승시키는 제 2카세트 엘리베이터(530);
    상기 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓인 상기 카세트를 수직 방향으로 정열시키는 제 1카세트 정열 매거진(550);
    상기 간지를 적층하여 두고, 상기 간지의 배출시 감소된 높이 만큼 보상하여 상승시키는 제 1간지 엘리베이터(570);
    상기 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓인 상기 간지를 수직 방향으로 정열시키는 제 1간지 정열 매거진(590);
    상기 제 1리드 프레임 픽업장치(510)로부터 이송되는 상기 리드 프레임이 담겨지도록 상기 카세트가 놓여지고, 상기 카세트에 상기 리드 프레임 및 상기 간지가 완충되었을 때 상기 카세트를 배출시키는 카세트 이송장치(610);
    상기 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓인 상기 카세트를 상기 카세트 이송장치(610)로 이동시키는 카세트 공급장치(620); 및
    상기 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓인 상기 간지를 상기 카세트 이송장치(610)에 놓인 상기 카세트의 내부에 투입하는 간지 공급장치(630);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  14. 청구항 13에 있어서, 상기 제 1리드 프레임 픽업장치(510)는,
    상기 등속이동장치(300)로부터 상기 카세트 이송장치(610)에 걸쳐 설치된 제 5가이드레일(512);
    상기 제어부에 의해 동작되고, 상기 제 5가이드레일(512)을 따라 이동 가능하게 설치된 제 5구동유닛(514);
    상기 제 5구동유닛(514)에 상기 제 5가이드레일(512)과 수직 방향으로 설치된 제 6가이드레일(516);
    상기 제어부에 의해 동작되고, 상기 제 6가이드레일(516)을 따라 이동 가능하게 설치된 제 6구동유닛(518); 및
    상기 제 6구동유닛(518)에 설치되고, 상기 제어부에 의해 작동되어 상기 리드 프레임을 흡착하는 제 3진공홀더(520);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  15. 청구항 13에 있어서, 상기 제 2카세트 엘리베이터(530)는,
    상기 제어부에 의해 동작되어 제 3정역회전모터(532);
    상기 제 3정역회전모터(532)에 의해 회전되는 제 4리드스크류(534);
    상기 제 4리드스크류(534)에 결합되어 수직 방향으로 승강되는 제 2승강유닛(536);
    상기 제 2승강유닛(536)에 결합되어 승강되고, 상기 카세트가 놓여지는 제 2적재판(538);
    상기 제 2승강유닛(536)의 승강 한계치를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 한 쌍의 제 6포토센서(540); 및
    상기 제 1카세트 정열 매거진(550)에 설치되어 상기 제 2적재판(538)에 놓인 상기 카세트의 높이를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 제 7포토센서(542);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  16. 청구항 13에 있어서, 상기 제 1카세트 정열 매거진(550)은,
    수평으로 설치된 제 2베이스판(552);
    중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 상기 제 2베이스판(552)상에 회전 가능하게 설치된 제 5리드스크류(554);
    상기 제 5리드스크류(554)의 양측에 각각 결합되어 상기 제 5리드스크류(554)의 회전에 의해 대칭 방향으로 수평 이동되는 한 쌍의 제 3수평이동유닛(556);
    상기 제 5리드스크류(554)에 결합된 제 2레버(558);
    상기 한 쌍의 제 3수평이동유닛(556)에 의해 수평방향으로 이동하여 상기 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓인 상기 카세트의 제 1측방향을 가이드하는 제 1측방가이드(560); 및
    상기 제 2베이스판(552)에 상기 제 1측방가이드(560)와 직교되는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 카세트의 제 2측방향을 가이드하는 제 2측방가이드(562);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  17. 청구항 13에 있어서, 상기 제 1간지 엘리베이터(570)는,
    상기 제어부에 의해 동작되는 제 4정역회전모터(572);
    상기 제 4정역회전모터(572)에 의해 회전되는 제 6리드스크류(574);
    상기 제 6리드스크류(574)에 결합되어 수직 방향으로 승강되는 제 3승강유닛(576);
    상기 제 3승강유닛(576)에 결합되어 승강되고, 상기 간지가 놓여지는 제 3적재판(578);
    상기 제 3승강유닛(576)의 승강한계치를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 한 쌍의 제 8포토센서(580); 및
    상기 제 1간지 정열 매거진(590)에 설치되어 상기 제 3적재판(578)에 놓인 상기 간지의 높이를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 제 9포토센서(582);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  18. 청구항 13에 있어서, 상기 제 1간지 정열 매거진(590)은,
    제 3베이스판(592);
    중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 상기 제 3베이스판(592)상에 회전 가능하게 설치된 제 7리드스크류(594);
    상기 제 7리드스크류(594)의 양측에 각각 결합되어 상기 제 7리드스크류(594)의 회전에 의해 대칭 방향으로 수평 이동하다 한 쌍의 제 4수평이동유닛(596);
    상기 제 7리드스크류(594)에 결합된 제 3레버(598);
    상기 한 쌍의 제 4수평이동유닛(596)에 의해 수평방향으로 이동하여 상기 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓인 상기 간지의 제 1측방향을 가이드하는 제 3측방가이드(600); 및
    상기 제 3베이스판(592)에 상기 제 3측방가이드(600)와 직교되는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 간지의 제 2측방향을 가이드하는 제 4측방가이드(602);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  19. 청구항 13에 있어서, 상기 카세트 이송장치(610)는,
    상기 제어부에 의해 동작되는 제 5정역회전모터(612); 및
    상기 제 5정역회전모터(612)의 회전에 의해 회전하여 상기 카세트를 이동시키는 제 2컨베이어벨트(614);을 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  20. 청구항 13에 있어서, 상기 카세트 공급장치(620)는,
    수직 방향으로 설치된 제 7가이드레일(622);
    상기 제어부에 의해 동작되고, 상기 제 7가이드레일(622)을 따라 이동 가능하게 설치된 제 7구동유닛(624);
    상기 제 7구동유닛(624)에 설치되고, 상기 제어부의 제어에 의해 수평 방향으로 회전하는 제 1회전유닛(626); 및
    상기 제 7구동유닛(624)에 설치되고, 상기 제어부에 의해 작동되어 상기 제 2카세트 엘리베이터(530)에 놓여진 상기 카세트를 흡착하는 제 4진공홀더(628);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  21. 청구항 13에 있어서, 상기 간지 공급장치(630)는,
    수직 방향으로 설치된 제 8가이드레일(632);
    상기 제어부에 의해 동작되고, 상기 제 8가이드레일(632)을 따라 이동 가능하게 설치된 제 8구동유닛(634);
    상기 제 8구동유닛(634)에 설치되고, 상기 제어부의 제어에 의해 수평 방향으로 회전하는 제 2회전유닛(636); 및
    상기 제 8구동유닛(634)에 설치되고, 상기 제어부에 의해 작동되어 상기 제 1간지 엘리베이터(570)에 놓여진 상기 간지를 흡착하는 제 5진공홀더(638);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  22. 청구항 1에 있어서, 상기 불량품 리드 프레임 언로딩장치(500),
    이송장치(702)에 놓여 이송된 리드 프레임을 픽업하는 제 2리드 프레임 픽업장치(710);
    간지를 적층하여 두며, 상기 간지의 배출시 감소된 높이 만큼 상승시키는 제 2간지 엘리베이터(730);
    상기 제 2간지 엘리베이터(730)에 놓인 상기 간지를 수직 방향으로 정열시키는 제 2간지 정열매거진;
    상기 카세트를 적층하여 두고, 상기 카세트의 적층시 증가된 높이 만큼 하강시키는 제 3카세트 엘리베이터(770);
    상기 제 3카세트 엘리베이터(770)에 놓인 상기 카세트를 수직방향으로 정열시키는 제 2카세트 정열 매거진(790);
    상기 카세트를 적층하여 두고, 상기 카세트의 적층시 증가된 높이 만큼 하강시키는 제 4카세트 엘리베이터(810); 및
    상기 제 4카세트 엘리베이터(810)에 놓인 상기 카세트를 수직방향으로 정열시키는 제 3카세트 정열 매거진(830);을 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  23. 청구항 22에 있어서, 상기 제 2리드 프레임 픽업장치(710)는,
    일단이 상기 제 2간지 엘리베이터(730)와 상기 제 3카세트 엘리베이터(770) 및 상기 제 4카세트 엘리베이터(810)의 근방으로 설치된 된 제 9가이드레일(712);
    상기 제어부에 의해 동작되고, 상기 제 9가이드레일(712)을 따라 이동 가능하게 설치된 제 9구동유닛(714);
    상기 제어부에 의해 동작되고, 상기 제 9구동유닛(714)에 상기 제 9가이드레일(712)과 수직 방향으로 동작되도록 설치된 제 3에어실린더(716);
    상기 제 3에어실린더(716)에 설치되고, 상기 제어부에 의해 작동되어 상기 등속이동장치(300)에 놓여진 상기 리드 프레임을 흡착하는 제 6진공홀더(718); 및
    상기 제 3에어실린더(716)에 설치되고, 상기 제어부에 의해 작동되어 상기 제 2간지 엘리베이터(730)에 놓인 상기 간지를 흡착하는 제 7진공홀더(720);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  24. 청구항 22에 있어서, 상기 제 2간지 엘리베이터(730)는,
    상기 제어부에 의해 제어되어 동작되는 제 6정역회전모터(732);
    상기 제 6정역회전모터(732)에 의해 회전되는 제 8리드스크류(734);
    상기 제 8리드스크류(734)에 결합되어 수직 방향으로 승강되는 제 4승강유닛(736);
    상기 제 4승강유닛(736)에 결합되어 승강되고, 상기 간지가 놓여지는 제 4적재판(738); 및
    상기 제 4승강유닛(736)의 승강한계치를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 제 10포토센서(740);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  25. 청구항 22에 있어서, 상기 제 2간지 정열 매거진(750)은,
    제 4베이스판(752);
    중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 상기 제 4베이스판(752)상에 회전 가능하게 설치된 제 9리드스크류(754);
    상기 제 9리드스크류(754)의 양측에 각각 결합되어 상기 제 9리드스크류(754)의 회전에 의해 대칭 방향으로 수평 이동하다 한 쌍의 제 5수평이동유닛(756);
    상기 제 9리드스크류(754)에 결합된 제 4레버(758);
    상기 한 쌍의 제 5수평이동유닛(756)에 의해 수평방향으로 이동하여 상기 제 2간지 엘리베이터(730)에 놓인 상기 간지의 제 1측방향을 가이드하는 제 5측방가이드(760); 및
    상기 제 4베이스판(752)에 상기 제 5측방가이드(760)와 직교되는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 간지의 제 2측방향을 가이드하는 제 6측방가이드(762);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  26. 청구항 22에 있어서, 상기 제 3카세트 엘리베이터(770)는,
    상기 제어부에 의해 제어되어 동작되는 제 7정역회전모터(772);
    상기 제 7정역회전모터(772)에 의해 회전되는 제 10리드스크류(774);
    상기 제 10리드스크류(774)에 결합되어 수직 방향으로 승강되는 제 5승강유닛(776);
    상기 제 5승강유닛(776)에 결합되어 승강되고, 상기 카세트가 놓여지는 제 5적재판(778); 및
    상기 제 5승강유닛(776)의 승강한계치를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 제 11포토센서(780);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  27. 청구항 22에 있어서, 상기 제 2카세트 정열 매거진(790)은,
    제 5베이스판(792);
    중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 상기 제 5베이스판(792)상에 회전 가능하게 설치된 제 11리드스크류(794);
    상기 제 11리드스크류(794)의 양측에 각각 결합되어 상기 제 11리드스크류(794)의 회전에 의해 대칭 방향으로 수평 이동하다 한 쌍의 제 6수평이동유닛(796);
    상기 제 11리드스크류(794)에 결합된 제 5레버(798);
    상기 한 쌍의 제 6수평이동유닛(796)에 의해 수평방향으로 이동하여 상기 제 3카세트 엘리베이터(770)에 놓인 상기 카세트의 제 1측방향을 가이드하는 제 7측방가이드(800); 및
    상기 제 5베이스판(792)에 상기 제 7측방가이드(800)와 직교되는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 카세트의 제 2측방향을 가이드하는 제 8측방가이드(802);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  28. 청구항 22에 있어서, 상기 제 4카세트 엘리베이터(810)는,
    상기 제어부에 의해 제어되어 동작되는 제 8정역회전모터(812);
    상기 제 8정역회전모터(812)에 의해 회전되는 제 12리드스크류(814);
    상기 제 12리드스크류(814)에 결합되어 수직 방향으로 승강되는 제 6승강유닛(816);
    상기 제 6승강유닛(816)에 결합되어 승강되고, 상기 카세트가 놓여지는 제 6적재판(818); 및
    상기 제 6승강유닛(816)의 승강한계치를 감지하여 상기 제어부에 전달하는 제 12포토센서(820);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
  29. 청구항 22에 있어서, 상기 제 3카세트 정열 매거진(830)은,
    제 6베이스판(832);
    중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 상기 제 6베이스판(832)상에 회전 가능하게 설치된 제 13리드스크류(834);
    상기 제 13리드스크류(834)의 양측에 각각 결합되어 상기 제 13리드스크류(834)의 회전에 의해 대칭 방향으로 수평 이동하다 한 쌍의 제 7수평이동유닛(836);
    상기 제 13리드스크류(834)에 결합된 제 6레버(838);
    상기 한 쌍의 제 7수평이동유닛(836)에 의해 수평방향으로 이동하여 상기 제 4카세트 엘리베이터(810)에 놓인 상기 카세트의 제 1측방향을 가이드하는 제 9측방가이드(840); 및
    상기 제 6베이스판(832)에 상기 제 9측방가이드(840)와 직교되는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 카세트의 제 2측방향을 가이드하는 제 10측방가이드(842);를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 검사 시스템.
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