KR200313826Y1 - 프리큐어로의 도어장치 - Google Patents

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KR200313826Y1
KR200313826Y1 KR20-2003-0006342U KR20030006342U KR200313826Y1 KR 200313826 Y1 KR200313826 Y1 KR 200313826Y1 KR 20030006342 U KR20030006342 U KR 20030006342U KR 200313826 Y1 KR200313826 Y1 KR 200313826Y1
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김종현
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주식회사 쎄크
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    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B29C45/14639Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
    • B29C45/14655Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
    • B29C45/1468Plants therefor
    • HELECTRICITY
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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Abstract

본 고안은 내부확인장치가 설치된 프리큐어로의 도어장치가 개시된다. 개시된 본 고안의 프리큐어로의 도어장치는, 포팅시스템의 프리큐어로 도어장치로서, 고온에 견딜 수 있는 철재 도어; 상기 철재 도어의 일부분에 구비되어 있는 내부확인장치; 상기 철재 도어 내부에 형성되어 상기 내부확인장치에 외부공기가 유입, 유출되도록 하는 공기유입통로와 공기유출통로;를 포함한다. 또한, 상기 내부확인장치는, 상기 프리큐어로의 고온의 내부공기와 접해있는 제1 유리, 외부공기와 접해있는 제3 유리, 상기 제1 유리와 제3 유리 사이에 설치된 제2 유리로 구성된다. 상기 제1 유리와 상기 제 2유리 사이의 공간은 진공층으로 구성되고, 상기 제2 유리와 상기 제3 유리 사이의 공간은 상기 공기유입통로 및 공기유출통로와 연결되어 있는 냉각층으로 구성된 것이 바람직하다. 따라서, 도어장치의 외부표면으로 열전달률이 적기 때문에 프리큐어 로의 도어를 닫은 상태에서 사용자가 편리하게 프리큐어 로 내부의 작동상태를 확인할 수 있다.

Description

프리큐어로의 도어장치{a door apparatus of a pre-cure furnace }
본 고안은 프리큐어(pre-cure)로의 도어장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 반도체 필름상의 반도체 칩에 봉지재 수지를 도포하고, 건조 및 경화시키는 포팅시스템의 프리큐어(pre-cure)로의 내부를 들여다 볼 수 있는 내부확인장치가 포함된 프리큐어 로의 도어장치에 관한 것이다.
일반적으로, 포팅시스템은 ILB(Inner Lead Bonding)완료 후 TAB(Tape Automated Bonding) IC를 공급하여 헤드(Head)로 수지를 봉지하고 수지 건조 및 경화처리 등을 인라인으로 행하는 장치이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 일반적으로 포팅시스템은 크게 나누어서 로더(50), 포터(60), 프리큐어(pre-cure) 로(70),언로더(80) 등으로 구성되어 있다.
로더(50)는 복수의 반도체 칩의 본딩(bonding)이 완료된 반도체 필름을 세팅(setting)하는 반도체 필름용 릴(reel)(51)과 반도체 보호용 테이프를 되감는 릴(52),반도체 필름을 송출하는 토오크모타 유닛(53)을 갖는다.
포터(potter)(60)는 반도체 필름을 반송하는 반송로(62), 봉지재의 도포를 반도체 칩상에 행하는 로봇(61) 및 디스펜서(63), 도포된 수지형상을 검사확인하는 현미경(미도시)을 갖는다.
프리큐어 로(70)는 표면건조를 조기에 형성하기 위한 장치로서 장치면적의 축소를 위하여 3단으로 턴업(turn-up)된 반도체 필름의 반송로(미도시)와 수지재 경화를 위한 히터(미도시), 도어장치(72)를 갖는다.
언로더(80)는 도포 후에 건조 및 경화가 종료된 반도체 필름을 권취하는 반도체 필름용 릴(81)과 반도체 보호용 필름을 권취하는 릴(82), 반도체 필름을 보내는 스테팅모타 유닛(83)을 갖는다.
이와 같이 일반적으로 프리큐어로(70)는 반도체 필름을 건조 및 경화시키기 위해 다수개의 히터가 설치되어 있어 내부의 온도는 항상 고온을 유지한다.
이러한 프리큐어로(70) 내부의 고온때문에, 종래의 도어장치(72)는, 도 1에서 볼 수 있듯이, 내부를 들여다 볼 수 없는 철재 도어로 구성되어 있다.
그러나, 이러한 종래의 프리큐어 로의 도어장치는 반도체 필름이 이송되면서, 건조 및 경화되는 상황을 확인할 수 없었으며, 확인을 위해서는 도어를 개방하고 들여다 보아야 하는데 이 또한 고온의 열기 때문에 사용자가 불편하였다.
이와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 고안의 목적은, 프리큐어 로 내부의 고온의 열기에 잘 견디며, 프리큐어 로의 도어를 닫은 상태에서 사용자가 편리하게 프리큐어 로 내부의 작동상태를 들여다 볼 수 있는 프리큐어로의 도어장치를 제공하는데 있다.
도 1은 종래의 프리큐어로의 도어장치가 포함된 포팅시스템 장치를 개략적으로 나타내는 정면도,
도 2는 본 고안의 프리큐어로의 도어장치의 일 실시예를 개략적으로 나타내는 정면도,
도 3은 도 2에 도시된 프리큐어로의 도어장치의 일 실시예를 개략적으로 나타내는 측단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10:프리큐어로 12:도어장치
14;내부확인장치 15:손잡이
16:제1 유리 18:제2 유리
20:제3 유리 22;진공층
24:냉각층 26:공기유입통로
28;공기유출통로 13:철재도어
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 프리큐어로 도어장치는, 포팅시스템의 프리큐어로 도어장치로서, 고온에 견딜 수 있는 철재 도어; 상기 철재 도어부분의 일부분에 구비되어 있는 내부확인장치; 상기 철재 도어 내부에 형성되어 상기 내부확인장치에 외부공기가 유입, 유출되도록 하는 공기유입통로와 공기유출통로;를 포함한다.
또한, 상기 내부확인장치는, 상기 프리큐어로의 고온의 내부공기와 접해있는 제1 유리, 외부공기와 접해있는 제3 유리, 상기 제1 유리와 제3 유리 사이에 설치된 제2 유리로 구성된 것이 바람직하다.
상기 제1 유리와 상기 제 2유리 사이의 공간은 진공층으로 구성되고, 상기 제2 유리와 상기 제3 유리 사이의 공간은 상기 공기유입통로 및 공기유출통로와 연결되어 있는 냉각층으로 구성된 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 상세하게 설명한다.
도 2 및 도 3은 본 고안의 프리큐어 로의 도어장치를 개략적으로 나타내는 는 정면도 및 단면도이다.
도면에서 볼 수 있듯이, 본 고안의 프리큐어 로의 도어장치(12)는, 철재 도어(13), 내부확인장치(14), 공기유입통로(26), 공기유출통로(28), 손잡이(15)를 포함한다.
상기 내부확인장치(14)는 프리큐어 로(10)의 내부 공기와 접해있는 제1 유리(16), 외부 공기와 접해 있는 제3 유리(20), 상기 제1 유리(16)와 상기 제3 유리(20) 사이에 일정간격 떨어져 설치된 제2 유리(18)를 포함한다.
또한, 상기 제1 유리(16)와 제 2 유리(18) 사이의 공간은 진공상태인 진공층(22)을 형성하도록 하고, 상기 제2 유리(18)와 제3 유리(20) 사이의 공간은 상기 공기유입통로(26) 및 공기 유출통로(28)와 연결된 냉각층(24)을 형성하도록 한다.
상기 철재도어(13)은 도어장치의 대부분의 면적을 차지하며, 상기 내부확인장치(14)를 둘러싸고 있으며, 상기 내부확인장치로 통하는 공기 유입통로가 하단부의 내부에 형성되어 있고, 공기 유출통로(28)가 상단 부 내부에 형성되어 있다.
또한, 손으로 잡아 도어를 개폐할 수 있는 손잡이가 상기 철재도어(13)에 구비되어 있다.
이와 같이 구성된 본 고안의 일 실시예는, 고온의 프리큐어 로(10) 내부공기와 접해있는 제1 유리(16)는 상기 내부공기로부터 열을 전달 받지만, 상기 제1 유리(16)와 제2 유리(18) 사이의 진공층(22) 때문에 제2 유리(18)로 열전달량이 적어진다.
또한, 제2 유리(18)와 제3 유리(20) 사이의 냉각층(22)과 연결되어 있는 공기유입통로(26) 및 공기유출통로(28)를 통하여 외부의 냉각공기가 상기 냉각층(24)으로 계속 유입되고 유출되면서 제2 유리(18)로 전달된 열을 뺏어 외부로 방출하게 되므로, 제3 유리(20)로 전달되는 열량은 극히 적게된다.
상기와 같은 본 고안의 프리큐어로의 도어장치는, 도어장치의 외부표면으로 열전달률이 적기 때문에 프리큐어 로의 도어를 닫은 상태에서 사용자가 편리하게 프리큐어 로 내부의 작동상태를 확인할 수 있다.
이상, 본 고안의 원리를 실시 예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 고안의 권리범위는 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성이나 작용에 국한되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 고안에 대한다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해 할 수 있을 것이다.
따라서, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 고안의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.

Claims (3)

  1. 포팅시스템의 프리큐어로 도어장치로서,
    고온에 견딜 수 있는 철재 도어;
    상기 철재 도어의 일부분에 구비되어 있는 내부확인장치;
    상기 철재 도어 내부에 형성되어 상기 내부확인장치에 외부공기가 유입, 유출되도록 하는 공기유입통로와 공기유출통로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프리큐어로의 도어장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 내부확인장치는 상기 프리큐어로의 고온의 내부공기와 접해있는 제1 유리, 외부공기와 접해있는 제3 유리, 상기 제1 유리와 제3 유리 사이에 설치된 제2 유리로 구성된 것을 특징으로 하는 프리큐어로의 도어장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제1 유리와 상기 제 2유리 사이의 공간은 진공층으로 구성되고, 상기 제2 유리와 상기 제3 유리 사이의 공간은 상기 공기유입통로 및 공기유출통로와 연결되어 있는 냉각층으로 구성된 것을 특징으로 하는 프리큐어로의 도어장치.
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