KR200312337Y1 - 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼 수납용기에서 그안에 수납된 다수의 웨이퍼가 운반중에 유동되는 것을 방지하도록 하는 웨이퍼 완충부재에 관한 것으로써, 특히 웨이퍼 완충부재의 탄성편의 선단하부면의 계지부에 웨이퍼의 상연부의 삽지가 용이하도록 하고 또한, 수납용기의 운반시 발생하는 진동에 의하여 계지부에 상연부가 삽지된 웨이퍼가 이탈되지 않도록 하는 웨이퍼 완충부재에 관한 것이다.

이에, 본 고안은 다수의 웨이퍼의 상연부에 선단부가 접지되어 하방향으로 탄성력을 작용하는 다수의 탄성편을 구비한 웨이퍼 완충부재에 있어서; 상기 탄성편의 산단하부면의 계지부는 선단은 삽지되는 웨이퍼의 상연부가 선단에서 일측으로 슬라이딩되지 않도록 좌측벽과 우측벽을 대칭형으로 형성하고, 상기 일측벽과 근접된 탄성편의 계지부의 일측부는 중첩되지 않도록 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재를 제공한다. 그리고 상기 탄성편은 장축 탄성편과 단축 탄성편으로 형성하여 장축 탄성편과 단축 탄성편을 순차적으로 교차하여 연속적으로 배열하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재를 제공한다.

Description

웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재{Elastic Thing of Wafer Box}

본 고안은 웨이퍼 수납용기에서 그안에 수납된 다수의 웨이퍼가 운반중에 유동되는 것을 방지하도록 하는 웨이퍼 완충부재에 관한 것으로써, 특히 웨이퍼 완충부재의 탄성편의 선단하부면의 계지부에 웨이퍼의 상연부의 삽지가 용이하도록 하고 또한, 수납용기의 운반시 발생하는 진동에 의하여 계지부에 상연부가 삽지된 웨이퍼가 이탈되지 않도록 하는 웨이퍼 완충부재에 관한 것이다.

반도체 디바이스 , 예를들면 메모리나 LSI의 제조고정으로서, 일반적으로 다결정실리콘으로 부터 단결정실리콘 잉곳을 제조하는 단결정 제조공정 및, 그 잉속을 슬라이스하고 박판상의 웨이퍼를 경면연마하는 웨이퍼 가공공정, 상기 경면연마된 웨이퍼상에 여러가지 디바이스를 제조하는 디바이스 제조공정으로 대별되고, 상기 각 공정은 여려가지 배치처리로 분활화된다. 그리고 이러한 각 처리 공정은 배치적으로 또는 장소를 이동하며 또한 시간들 두고서 행하여진다. 이때문에 상기 처리간 또는 공정간에서 제조도중 웨이퍼를 용기등에 수납 또는 보관, 반송하는 경우가 있다.

특히, 웨치퍼 가공에 의하여 경면연마하기 까지의 공정과 웨치퍼상에 여러가지 디바이스를 제조하는 디바이스 제조공정은 대부분의 경우, 전혀 다른 회사에서 행하여진다. 여기서 웨이퍼를 경면연마하기 가지 가공한 후, 디바이스 제조회사에 웨이퍼를 반송하는 경우, 웨이퍼를 다수매 동시에 보관하는 수납용기(출하용 박스라고도 불리움)에 수납하여 출하한다.

이와같은 용도의 종래 웨이퍼 수납용기는 도 1, 2에 도시한 바와같이 하부본체(10)와, 상기 하부본체(10)의 상방 개구부를 덮는 상부덮개(20)과, 상기 하부본체(10)내에 내삽되며 다수의 웨이퍼"W"가 일정간격을 두고 수납되는 웨이퍼적재함(30)와, 상기 상부덮개(20)에 수납되며 상기 웨이퍼적재함(30)의 웨이퍼"W"를 눌러서 고정하기 위한 웨이퍼완충부재(40)와, 상기 상부덮개(20)과 용기 하부본체(10)사이에 개재하는 기밀·수밀용 패킹(50)으로 구성되었다.

이와같이 구성된 종래의 웨이퍼 수납용기는 웨이퍼적재함(30)에 다수의 웨이퍼"W"를 일정간격을 두고 병렬로 나란하게 수납한 상태에서 하부본체(10)에 상기 웨이퍼적재함(30)를 내삽하였다.

그리고, 상기 하부본체(10)의 개방된 상부는 웨이퍼완충부재(40)가 내삽된 상부덮개(20)으로 덮은 후, 상기 하부본체(10)에 상부덮개(20)을 체결·고정하였다.

이와같이 결합된 종래의 웨이퍼 수납용기는 웨이퍼적재함(30)내에 수납된 다수의 웨이퍼"W"를 그 상측에서 상기 상부덮개(20)에 내삽된 웨이퍼완충부재(40)가 탄성적으로 눌러주므로써, 웨이퍼 수납용기의 운반시 발생하는 진동에 의하여 상기 웨이퍼"W"의 유동을 방지하고, 또한, 상기 상부덮개(20)과 하부본체(10)사이에 개재된 패킹(50)에 의하여 웨이퍼 수납용기 안이 외부로 부터 기밀 및 수밀상태가 유지되여, 그 안에 수납된 다수의 웨이퍼에 외부의 먼지 등이 부착되지않도록 안전하게 보호한 상태로 운반할 수 있는 것이었다.

이때, 상기 웨이퍼적재함(30)내에 수납된 다수의 웨이퍼"W"와 그 상측에서 탄성적으로 눌러서 고정하는 웨이퍼완충부재(40)에 관하여 자세하게 살펴보면 다음과같다.

상기 웨이퍼완충부재(40)는 도 1, 3, 4에 도시한 바와같이 직방형의 상부안착테(41)와, 상기 상부안착테(41)의 좌, 우로 일정간격을 두고 하방향으로 좌측하강판부(42)와 우측하강판부(42-1)가 돌설되었으며, 상기 좌측하강판부(42)와 우측하강판부(42-1)의 선단에는 각각 수평방향으로 일정한 간격"P"를 두고 돌설되어 웨이퍼"W"의 상연부를 좌·우측에서 일정한 탄성력으로 눌러주는 다수의 탄성편(43, 43-1)이 돌설되었다.

또한, 상기 각 탄성편(43, 43-1)의 선단하면에는 웨이퍼"W"의 상연부가 삽지되도록 계지부(44,44-1)가 형성되었다.

상기 계지부(44,44-1)는 중앙부에 길이방향으로 일정깊이의 골(47)이 형성되도록 일정높이의 좌측벽(45)과 우측벽(46)이 돌설되었다.

이와같이 구성된 종래의 웨이퍼완충부재(40)는 상기 도 2를 참고로 상술한 바와같이 종래의 웨이퍼 수납용기의 결합시 좌측하강판부(42)와 우측하강판부(42-1)에 각각 돌설된 탄성편(43, 43-1)이 웨이퍼적재함(30)에 수납된 다수의 웨이퍼"W"의 상연부를 좌우에서 일정한 탄성력으로 눌러주어 상기 웨이퍼"W"의 유동을 방지하였다.

이때, 상기 각각의 웨이퍼"W"의 상연부는 좌우측에서 일정한 탄성력으로 누르고 있는 탄성편(43, 43-1) 선단의 계지부(44,44-1) 하부면에 형성한 좌측벽(45)과 우측벽(46) 사이의 골(47)에 삽입되어 있는 상태가 올바른 상태이나, 우측벽(46)은 골(47)을 중심으로 선단에서 후측으로 일정한 경사각을 갖는 경사면(46-1)으로 형성되여 있어서, 웨이퍼 수납상자를 운반중에 발생하는 진동 및 웨이퍼적재함(30)에 수납된 웨이퍼"W"의 상연부와 계지부(44,44-1)의 골(47)의 위치가 정확하게 일치하지 않으면 웨이퍼"W"의 상연부가 화살표"D"와같이 상기 경사면(46-1)을 따라 각 탄성편(43, 43-1) 사이의 간격"P"으로 삽입되어 일면에 긁힘 발생 및 휘어지거나 파손되는 문제점이 있었다.

따라서 본 고안은 이와같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로써, 특히 웨이퍼 적재함에 수납된 웨이퍼의 상연부와 웨이퍼완충부재의 계지부에 형성된 골의 위치가 정확하게 일치하지 않더라도 손쉽게 상기 웨이퍼이 상여부가 계지부에 삽지되도록 하고, 한편으로 웨이퍼 수납상자의 운반중 발생하는 진동에 의하여 웨이퍼가 계지부에서 이탈되지 않도록 하는 것을 목적으로 한다.

이와같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 다수의 웨이퍼의 상연부에 선단부가 접지되어 하방향으로 탄성력을 작용하는 다수의 탄성편을 구비한 웨이퍼 완충부재에 있어서; 상기 탄성편의 산단하부면의 계지부는 선단은 삽지되는 웨이퍼의 상연부가 선단에서 일측으로 슬라이딩되지 않도록 좌측벽과 우측벽을 대칭형으로형성하고, 상기 일측벽과 근접된 탄성편의 계지부의 일측부는 중첩되진 안도록 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재를 제공한다. 그리고 상기 탄성편은 장축 탄성편과 단축 탄성편으로 형성하여 장축 탄성편과 단축 탄성편을 순차적으로 교차하여 연속적으로 배열하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재를 제공한다.

도 1은 종래의 웨이퍼 수납용기의 분해한 상태를 나타낸 사시도.

도 2는 종래의 웨이퍼 수납용기의 결합한 상태를 나타낸 일측 단면도.

도 3은 종래의 웨이퍼 완충부재의 일부 탄성편을 나타낸 사시도.

도 4는 도 3의 평면도.

도 5는 본 고안에 따른 웨이퍼 수납용기의 분해 사시도.

도 6은 본 고안에 따른 웨이퍼 수납용기의 결합상태를 나타내는 일측 단면도.

도 7은 본 고안인 웨이퍼 완충부재를 형성하는 일부 탄성편을 나타내는 사시도.

도 8은 도 7의 평면도.

도 9는 본 고안인 웨이퍼 완충부재의 변형된 실시예를 나타내는 일부 탄성편의 사시도.

도 10은 도 9의 평면도.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***

140 : 웨이퍼 완충부재 141 : 안착테

142 : 좌측 하강판부 142-1 : 우측 하강판부

143, 143-1 : 탄성편 144, 144-1 ; 계지부

145 : 좌측벽 146 : 우측벽

147 : 골 W-1 : 웨이퍼

본 고안의 구성 및 실시예를 첨부되는 도 5, 6, 7, 8, 9, 10을 참조하여 자세하게 살펴보면 다음과 같다.

도 5는 본 고안에 따른 웨이퍼 수납용기의 분해 사시도이고, 도 6은 본 고안에 따른 웨이퍼 수납용기의 결합상태를 나타내는 일측 단면도이고, 도 7은 본 고안인 웨이퍼 완충부재를 형성하는 일부 탄성편을 나타내는 사시도이고, 도 8은 도 7의 평면도이고, 도 9는 본 고안인 웨이퍼 완충부재의 변형된 실시예를 나타내는 일부 탄성편의 사시도이고, 도 10은 도 9의 평면도이다.

본 고안에 따른 웨이퍼 수납용기(100)는 도 5, 6에 도시한 바와같이 일정부피의 수납용적을 갖는 하부본체(100)와, 상기 하부본체(100)의 상방 개구부를 덮는 상부덮개(120)과, 상기 하부본체(100)내에 수납되며 다수의 웨이퍼"W-1"가 입설된 상태로 앞뒤로 일정간격을 두고 수납되는 웨이퍼적재함(130)와, 상기 상부덮개(120)에 수납되며 상기 웨이퍼적재함(130)에 수납된 웨이퍼"W-1"의 상연부 좌우를 눌러서 고정하기 위한 웨이퍼완충부재(140)와, 상기 상부덮개(120)과 하부본체(100)사이에 개재하여 기밀·수밀용 패킹(150)으로 구성된다.

그리고 상기 웨이퍼완충부재(140)는 도5, 7, 8에 도시한 바와같이 직방형의 안착테(141)와, 상기 안착테(141)의 좌, 우로 일정간격을 두고 하방향으로 좌측 하강판부(142)와 우측 하강판부(142-1)가 돌설되며, 상기 좌측 하강판부(142)와 우측 하강판부(142-1)의 하단에는 각각 그 선단이 일정간격을 두고 수평방향으로 대향되게 돌설되여 웨이퍼"W-1"의 상연부를 좌·우측에서 일정한 탄성력으로 눌러주는 다수의 탄성편(143,143-1)이 병렬방식으로 일정간격을 두고 돌설된다.

또한, 상기 탄성편(143,143-1)의 선단 하면에는 웨이퍼"W-1"의 상연부가 삽지되도록 계지부(144, 144-1)가 형성되며, 상기 계지부(144, 144-1)는 중앙부에 길이방향으로 일정깊이의 골(147)이 형성되도록 일정높이의 좌측벽(145)과 우측벽(146)을 대칭하여 하방형으로 돌설한다.

이때, 상기 계지부(144, 144-1)의 선단 즉, 좌측벽(145)과 우측벽(146)의 선단은 골(147)로 삽지되는 웨이퍼"W-1"가 일측 바깥쪽으로 슬라이딩되지 않도록 소정의 면적을 갖는 평면으로 형성한다.

한편, 상기 계지부(144,144-1)의 일측면과 인접한 탄성편(143a,143a-1)의 계지부(144a,144a-1)의 일측면은 중첩되지 않도록 형성함이 바람직한다.

이와같이 구성된 본 고안의 올바른 작동 실시예를 도 6, 7, 8을 참조하여 자세하게 살펴보면 다음과 같다.

웨이퍼 완충부재(140)은 웨이퍼"W-1"가 수납된 웨이퍼 수납용기(100)에 사용되어, 상기 웨이퍼 수납용기(100)에 수납된 다수의 웨이퍼"W-1"의 상연부 좌우측을 상측에서 하방향으로 탄성적으로 눌러서 고정한다.

이를 좀더 자세하게 설명하면 본 고안인 웨이퍼완충부재(140)는 하부본체(100)의 개방된 상부를 커버하는 상부덮개(120)에 수납되어, 상기 하부본체(100)에 수납된 웨이퍼적재함(130)내에 일정간격을 두고 입설상태로 수납된 다수의 웨이퍼"W-1" 상연부의 좌측과 우측일부를 탄성편(143,143-1)으로 눌러서 고정한다.

이때, 상기 웨이퍼"W-1"의 상연부의 좌·우측은 좌측 하강판부(142)와 우측 하강판부(142-1)의 탄성편(143,143-1) 선단하면부에 성형된 계지부(144, 144-1)에 각각 삽입된다.

즉, 상기 계지부(144, 144-1)를 형성하는 좌측벽(145)과 우측벽(146) 사이의 골(147)에 상기 웨이퍼"W-1"의 상연부의 좌측과 우측의 소정부위가 삽지된 상태로 상기 탄성편(143,143-1)의 하방향 탄성력을 받아서 고정된다.

그리고 상기 계지부(144, 144-1)의 골(147)에 삽입된 상기 웨이퍼"W-1"는 계지부(144, 144-1)의 좌측벽(145)과 우측벽(146)에 의하여 웨이퍼 수납용기(100)의 운반 중에 발생하는 유동 및 진동에 의하여 계지부(144, 144-1)에서 이탈됨이 방지되며, 하부본체(100)와 상부덮개의 체결시 웨이퍼"W-1"가 웨이퍼 수납용기(100)내에서 웨이퍼완충부재(140)의 탄성편(143,143-1)과 결합이 신속하고 용이하게 이루어지 된다.

그리고 본 고안의 변형된 실시예로 상기 탄성편(143,143-1)을 도 8, 9에 도시한 바와같이 장축 탄성편(148)과 단축 탄성편(149)로 형성하고 일정간격을 두고 순차적으로 교차하여 병렬방식으로 연속적으로 다수 배열한다.

이때, 상기 장축 탄성편(148)이라 함은 단축 탄성편(149)의 길이보다 그 계지부(144, 144-1)를 길게 돌출되게 한 것이다.

또한, 상기 단축 탄성편(149)의 계지부(144, 144-1)는 인접한 장축 탄성편(148)의 계지부(144, 144-1)는 상하방향으로 중첩되지 않고 길이방향으로 중첩되도록 함이 바람직하다.

이와같이 구성된 본 고안의 변형된 실시예의 작동을 은 상술한 본 고안과 동일하며, 다만 상기 단축 탄성편(149)의 계지부(144, 144-1)에 그 외연부가 삽지된 웨이퍼"W-1"는 상기 단축 탄성편(149)의 좌측과 우측에 근접된 두개의 장축 탄성편(148)에 의하여 상기 장축 탄성편(148)의 계지부(144, 144-1)에 그 상연부가 삽지된 웨이퍼"W-1"에 비하여 안정된 삽지상태가 유지된다.

그리고 상기 탄성편(144,144-1) 및 장축 탄성편(148)과 단축 탄성편(149)의 계지부(144, 144-1)는 인접된 계지부와 그 측면부가 근접되거나 중첩되어 있어서, 상기 각각의 계지부(144, 144-1)사이로 웨이퍼"W1"의 상연부가 삽지되는 것이 방지된다.

이상에서 발펴본 바와같이 본 고안에 따른 웨이퍼완충부재는 단면형상이 Ｍ형상이 되도록 계지부의 좌,우측에 대칭형상의 측벽을 형성하므써, 종래의 웨이퍼완충부재를 사용하는 웨이퍼 수납용기에 비하여 웨이퍼 수납용기내에서 웨이퍼와 웨이퍼완충부재의 탄성편의 결합이 신속하고 용이하게 이루어지는 효과가 있으며,

또한, 웨이퍼 수납용기의 운반시 발생하는 진동에 의하여 종래와같이 웨이퍼가 계지부에서 이탈되여 훼손되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 다수의 웨이퍼의 상연부에 선단부가 접지되어 하방향으로 탄성력을 작용하는 다수의 탄성편을 구비한 웨이퍼 완충부재에 있어서,

   상기 탄성편의 상단하부면의 계지부는 그 선단에 삽지되는 웨이퍼의 상연부가 선단에서 일측 바같쪽으로 슬라이딩되지 않도록 좌측벽과 우측벽을 대칭형으로 형성하고, 상기 일측벽과 근접된 탄성편의 계지부의 일측부는 중첩되지 않도록 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 탄성편은 장축 탄성편과 단축 탄성편으로 형성하여 장축 탄성편과 단축 탄성편을 순차적으로 교차하여 연속적으로 배열하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 장축 탄성편의 길이는 단축 탄성편의 선단에서 그 계지부가 돌출되는 길이로 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재.
4. 제 2 항 또는 제 3항에 있어서,

   상기 단축 탄성편의 계지부와 인접한 장축 탄성편의 계지부는 상하방향으로중첩되지 않도록 길이방향으로 중첩되도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 완충부재.