KR20030084676A - 리소그래피장치 및 디바이스제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 디바이스 제조방법에 있어서,- 적어도 부분적으로는 방사선감응재의 층으로 덮인 기판을 제공하는 단계;- 방사선시스템을 사용하여 방사선의 투영빔을 제공하는 단계;- 패터닝 수단을 사용하여 투영빔의 단면에 패턴을 부여하는 단계;- 방사선감응재층의 타겟부상에 방사선의 패터닝된 빔을 투영하는 단계;- 평면모터로 상기 패터닝 수단 및 상기 기판 중의 하나를 위치설정하는 단계로서, 상기 평면모터는 상기 평면모터의 이동부에 대하여, 주어진 방향에서 적어도 하나의 주된 힘(primary force) 및 상기 주된 힘과 관련된 적어도 하나의 의사 토크(spurious torque)를 각각 생성하는 복수의 코일세트로 이루어지는 위치설정 단계; 및- 상기 평면모터의 위치설정을 수행하는데 필요한 주된 힘을 결정하는 단계를 포함하고,- 보정의 효과가 상기 평면모터의 이동부상의 의사 토크의 합을 적어도 부분적으로 보상할 수 있도록 각각의 요구되는 주된 힘에 대한 보정을 결정하는 단계; 및- 상기 보정을 포함하는 주된 힘을 실현하기 위하여 상기 코일세트에 제어신호를 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
- 제1항에 있어서,상기 보정은 필요한 주된 힘으로부터 구해지는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,각 코일세트에 의하여 발생된 상기 의사 토크는 상기 코일세트에 의하여 생성된 상기 적어도 하나의 주된 힘의 방향에 수직이고, 상기 코일세트내에 있는 코일의 평면에 평행한 축선에 대하여 작용하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 보정을 결정하는 단계는,- 보정없이 상기 코일세트에 가해지는 필요한 주된 힘에 의하여 발생될 수 있는 의사 토크를 결정하는 단계;- 상기 의사 토크의 합과 반대인 동일한 토크를 상기 평면모터의 이동부상에 생성하는 코일세트내의 추가 주된 힘의 결합을 결정하는 단계; 및- 이들 추가 힘을 보정값으로 이용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 보정을 결정하는 단계는,- 코일세트에 의하여 보정력의 합과 필요한 주된 힘이 가해질 때, 주된 힘과의사 토크의 효과의 합이 실질적으로 위치설정 단계를 수행하기 위하여 필요한 힘 및 토크가 되도록 상기 필요한 주된 힘의 각각에 대한 보정력을 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
- 제5항에 있어서,오프셋힘과 주된 힘의 요구되는 합을 결정하는 단계는 이하의 수학식을 이용하여 수행되고:여기서,이고,Fxx_는 제1X-강제자(x1) 및 제2X-강제자(x2)에 의하여 X로 표시되는 제1방향에 생성된 힘을 나타내고,Fyy_는 제1Y-강제자(y1) 및 제2Y-강제자(y2)에 의하여 Y로 표시되고 제1방향과 수직인 제2방향에 생성된 힘을 나타내고,Fzz_는 X-강제자 및 Y-강제자(x1, x2, y1, y2)에 의하여 Z로 표시되고 제1방향 및 제2방향에 수직인 제3방향에 생성된 힘을 나타내고,C1, C2는 특정 평면모터에 대한 상수이고,x는 정지부상에 사전설정된 위치에 대하여 평면모터의 이동부의 X방향에서의 위치를 나타내고,y는 정지부상에 사전설정된 위치에 대하여 평면모터의 이동부의 Y방향에서의 위치를 나타내고,τ는 평면모터의 정지부에 사용된 영구자석배열의 피치 나타내고,xx1은 제1X-강제자(x1)의 작용점과 평면모터의 이동부의 질량 중심 사이 및 제2X-강제자(x2)의 작용점과 평면모터의 이동부의 질량 중심 사이의 X방향에서의 거리를 나타내고,xy1은 제1Y-강제자(y1)의 작용점과 평면모터의 이동부의 질량 중심 사이 및 제2Y-강제자(y2)의 작용점과 평면모터의 이동부의 질량 중심 사이의 X방향에서의 거리를 나타내고,yx1은 제1X-강제자(x1)의 작용점과 평면모터의 이동부의 질량 중심 사이 및 제2X-강제자(x2)의 작용점과 평면모터의 질량 중심 사이의 Y방향에서의 거리를 나타내고,yy1은 제1Y-강제자(y1)의 작용점과 평면모터의 이동부의 질량 중심 사이 및 제2Y-강제자(y2)의 작용점과 평면모터의 이동부의 질량 중심 사이의 Y방향에서의 거리를 나타내고,z는 모든 강제자의 작용점과 평면모터의 이동부의 질량 중심간의 Z방향에서의 거리를 나타내고,Fx는 평면모터의 이동부를 위치시키기 위하여 X방향으로 요구되는 평면모터의 이동부상의 힘을 나타내고,Fy는 평면모터의 이동부를 위치시키기 위하여 Y방향으로 요구되는 평면모터의 이동부상의 힘을 나타내고,Fz는 평면모터의 이동부를 위치시키기 위하여 Z방향으로 요구되는 평면모터의 이동부상의 힘을 나타내고,Tx는 평면모터의 이동부를 위치시키기 위하여 X방향과 평행한 축선에 대하여 필요한 평면모터의 이동부상의 토크를 나타내고,Ty는 평면모터의 이동부를 위치시키기 위하여 Y방향과 평행한 축선에 대하여 필요한 평면모터의 이동부상의 토크를 나타내고,Tz는 평면모터의 이동부를 위치시키기 위하여 Z방향과 평행한 축선에 대하여 필요한 평면모터의 이동부상의 토크를 나타내는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 위치설정 단계에서는, 위치설정력을 제공하는데 단지 4개의 코일세트가 사용되고, 상기 4개의 코일세트는 코일세트의 평면에 평행한 2개의 직교방향으로 힘을 생성하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
- 리소그래피 투영장치를 제어하기 위한 컴퓨터 프로그램에 있어서,상기 컴퓨터 프로그램은,- 평면모터로 기판 및 패터닝수단 중의 하나를 위치설정시키는 단계로서, 상기 평면모터는 상기 평면모터의 이동부에 대하여, 주어진 방향으로의 적어도 하나의 주된 힘 및 상기 주된 힘과 관련된 적어도 하나의 의사 토크를 각각 생성하는 복수의 코일세트로 이루어지는 위치설정 단계; 및- 상기 평면모터의 위치설정을 수행하는데 필요한 주된 힘을 결정하는 단계를 수행하기 위하여 상기 장치에 명령을 내리는 코드수단을 포함하고,- 보정의 효과가 상기 평면모터의 이동부상의 의사 토크의 합을 적어도 부분적으로 보상할 수 있도록 각각의 요구되는 주된 힘에 대한 보정을 결정하는 단계; 및- 상기 보정을 포함하는 주된 힘을 실현하기 위하여 상기 코일세트에 제어신호를 제공하는 단계를 수행하기 위하여 상기 장치에 명령을 내리는 코드수단을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램.
- - 방사선투영빔을 공급하는 방사선시스템;- 소정의 패턴에 따라 투영빔을 패터닝시키는 역할을 하는 패터닝수단을 지지하는 지지구조체;- 기판을 잡아주는 기판테이블;- 기판의 타겟부상으로 패터닝된 빔을 투영시키는 투영시스템;- 상기 패터닝수단 및 상기 기판테이블 중의 하나를 위치설정시키는 평면모터로서, 상기 평면모터의 이동부에 대하여, 주어진 방향으로의 적어도 하나의 주된 힘 및 상기 주된 힘과 관련된 적어도 하나의 의사 토크를 각각 생성하는 복수의 코일세트로 이루어지는 평면모터; 및상기 평면모터의 위치설정을 수행하는데 요구되는 주된 힘을 결정하는 수단을 포함하는 리소그래피 투영장치로서,- 보정의 효과가 상기 평면모터의 이동부상의 의사 토크의 합을 감쇠시킬 수 있도록 필요한 주된 힘의 각각에 대한 보정을 결정하는 수단; 및- 각 코일세트에 필요한 주된 힘과 보정값의 합을 가하도록 각 코일세트에 제어신호를 제공하는 수단을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 리소그래피 투영장치.
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