KR20030081884A - 온 순수와 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 세척 및건조 장치 - Google Patents

온 순수와 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 세척 및건조 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 온 순수와 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 세척 및 건조 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소정의 온도로 가열된 온 순수(Hot D.I Water)가 저장된 탱크에 엘씨디 글라스를 인입시켜 초음파를 이용하여 세척한 후, 상부에 설치된 적외선 램프(Infra-Red Lamp) 측으로 서서히 상승시키면서 건조시키도록 하여 세척 후, 즉시 엘씨디 글라스 표면의 불순물을 제거함으로써 엘씨디 표면에 잔류하는 온 순수에 불순물이 부착되는 것을 방지함과 동시에 표면 얼룩 발생을 방지하도록 하는 온 순수와 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 세척 및 건조 장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명은 온 순수를 이용한 엘씨디 글라스 세척 또는 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 건조 장치에 있어서, 온 순수 저장 탱크 상부에 적외선 램프를 설치하여 트레이(Tray)에 삽입되어 승강 장치에 의해 상, 하로 엘리베이팅(elevating)되는 엘씨디 글라스를 세척 후, 즉시 건조시키도록 이루어짐을 특징으로 한다.

Description

온 순수와 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 세척 및 건조 장치{LCD glass washer and dryer using hot D.I Water and Infra-Red Lamp}
본 발명은 온 순수와 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 세척 및 건조 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소정의 온도로 가열된 온 순수(Hot D.I Water)가 저장된 탱크에 엘씨디 글라스를 인입시켜 초음파를 이용하여 세척한 후, 상부에 설치된 적외선 램프(Infra-Red Lamp) 측으로 서서히 상승시키면서 건조시키도록 하여 세척 후, 즉시 엘씨디 글라스 표면의 불순물을 제거함으로써 엘씨디 표면에 잔류하는 온 순수에 불순물이 부착되는 것을 방지함과 동시에 표면 얼룩 발생을 방지하도록 하는 온 순수와 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 세척 및 건조 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 엘씨디 글라스 세척 장치는 세척액이 저장된 탱크 내로 엘씨디 글라스를 인입시켜 소정의 시간 동안 초음파 세척을 통해 엘씨디 글라스 표면의 불순물을 이탈, 제거시키도록 하는 장치이다.
또한, 엘씨디 패널 건조 장치는 엘씨디 세척 장치를 통해 세척된 엘씨디 글라스의 표면에 증발되지 않고 잔류하는 세척액을 건조시키도록 하는 것으로, 이송 롤러로 이송되는 엘씨디 패널이 건조 장치의 건조실 내로 이송되면 외부의 공기 호스로부터 유입되는 공기를 분사 노즐을 통해 분사하는 건조기가 상, 하 각각 1, 2차 한쌍으로 구비되어 공기압으로 엘씨디 글라스의 표면에 잔류하는 세척액이나 불순물 입자를 제거하도록 하는 에어 분사식과, 소정의 온도를 갖는 챔버(Chamber) 내에서 가열하여 세척액을 건조시키는 가열식 건조 장치로 구분된다.
그러나, 상기와 같이 종래에는 엘씨디 글라스의 세척 장치와 건조 장치가 별도로 이루어져 있으므로, 세척 장치에서 세척 후 건조 장치로 별도의 이송 공정이 불가결하게 진행되어야 하는데, 이는 엘씨디 장치의 생산 시간 지연과 이송 도중 엘씨디 글라스의 파손 위험성 내포 및 엘씨디 글라스 표면에의 불순물 입자가 부착되는 문제점이 있는 것이었다.
특히, 엘씨디 패널의 건조 장치는 공기압에 의해 세척액의 물방울 및 불순물 입자가 건조실 내부에 와류하면서 무분별하게 날리게 되고 이때, 건조 조건이 밀폐된 건조실이라는 점을 감안하면 건조기의 위치를 벗어났다 하더라도 건조실 내에 위치하는 한은 엘씨디 패널 표면에 떨어지게 되어 세척액이 증발하면서 얼룩지게 되고 불순물 입자 또한 세척액이 증발하면서 엘씨디 표면 또는 회로 소자에 그대로 부착되어 엘씨디 패널의 특성에 영향을 미쳐 불량이 증가하므로 수율이 저하되는 문제점이 있는 것이었다.
상기와 같은 문제점을 고려하여 이루어진 본 발명은 소정의 온도로 가열된 온 순수(Hot D.I Water)가 저장된 탱크에 엘씨디 글라스를 인입시켜 초음파를 이용하여 세척한 후, 상부에 설치된 적외선 램프(Infra-Red Lamp) 측으로 서서히 상승시키면서 건조시키도록 하여 세척 후, 즉시 엘씨디 글라스 표면의 불순물을 제거함으로써 엘씨디 표면에 잔류하는 온 순수에 불순물이 부착되는 것을 방지함과 동시에 표면 얼룩 발생을 방지하도록 하는 온 순수와 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 세척 및 건조 장치를 제공함을 기술적 과제로 삼는다.
상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명은 온 순수를 이용한 엘씨디 글라스 세척 또는 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 건조 장치에 있어서, 온 순수 저장 탱크 상부에 적외선 램프를 설치하여 트레이(Tray)에 삽입되어 승강 장치에 의해 상, 하로 엘리베이팅(elevating)되는 엘씨디 글라스를 세척 후, 즉시 건조시키도록 이루어짐을 특징으로 한다.
도1은 본 발명의 구성을 보인 사시도
도 2는 본 발명의 세척 상태를 보인 개략도
도 3은 본 발명의 건조 상태를 보인 개략도
<도면의 주요부분에 대한 부호설명>
10 : 세척 장치 11 : 온 순수 저장 탱크
12 : 인라인 히터 13 : 드레인 라인
20 : 건조 장치 21 : 적외선 램프
22 : 반사판 23 : 적외선 발생 유닛
30 : 트레이 40 : 승강 장치
1 : 엘씨디 글라스
본 발명의 이해를 돕기 위한 첨부도면 도 1은 본 발명의 구성을 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 세척 상태를 보인 개략도이며, 도 3은 본 발명의 건조 상태를 보인 개략도로서 이중 도면 부호 10은 본 발명의 세척 장치를 나타낸 것이고, 20은 건조 장치를 나타낸 것이다.
본 발명은 도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이, 온 순수를 이용한 엘씨디 글라스(1) 세척 또는 적외선 램프(21)를 이용한 엘씨디 글라스(1) 건조 장치에 있어서, 세척 장치(10)의 온 순수 저장 탱크(11) 상부에 적외선 램프(21)를 이용한 건조장치(20)를 설치하여 트레이(30)에 삽입되어 승강 장치(40)에 의해 상, 하로 엘리베이팅되는 엘씨디 글라스(1)를 세척 후, 즉시 건조시키도록 이루어진 것이다.
이와 같이 이루어진 본 발명은 첨부 도면 도 2에서 보는 바와 같이, 세척 장치(10)는 외부로부터 공급되는 순수(D.I Water)가 인라인 히터(Inline heater(12))를 거치면서 가열되어 온 순수 저장 탱크(11)로 공급되며, 오버플로우(Overflow)되는 온 순수 및 배출되는 온 순수는 드레인 라인(Drain Line(13))을 통해 외부로 배출되거나 인라인 히터(12)측으로 재 공급되어 가열 후, 온 순수 저장 탱크(11) 내로 재 공급되도록 구성되어 있다.
건조 장치(20)는 세척 장치(10)의 직 상부 양측에 설치되는 것으로, 적외선을 방사하는 적외선 램프(21)와 적외선 램프(21)로부터 방사되는 적외선을 반사시키면서 적외선 램프(21) 주변의 열량을 보존하여 적외선과 함께 엘씨디 글라스(1)에 조사토록 하는 반사판(22)과, 적외선 램프(21)로부터 적외선이 발생되도록 하는 저외선 발생 유닛(23)으로 구성되어 있다.
승강 장치(40)는 승강 구동 수단(41)에 의해 상, 하 직선 운동하는 피스톤(42)과, 피스톤(42) 상부에 구비되어 전방에 고정파이프(43)가 직하부로 설치된 연결 브라켓(44)이 세척 장치(10)의 양측면에 대칭으로 설치되고, 양측의 고정파이프(43) 단부에 구비되어 트레이(30)를 탑제토록 하는 안착판(45)으로 구성되어 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명은 트레이(30)에 삽입된 엘씨디 글라스(1)를 승강 장치(40)가 세척 장치(10)의 온 순수 저장 탱크(11) 내로 하강 인입시키면, 온 순수 저장 탱크(11)에 구비된 초음파 발생장치(미도시)로부터 발생되는 초음파에 의해 진동하는 온 순수가 엘씨디 글라스(1)의 표면에 부착된 불순물을 이탈, 제거하게 되며, 소정의 시간 경과 후, 첨부 도면 도 3에서 보는 바와 같이, 승강 장치(40)가 엘씨디 글라스(1)가 삽입된 트레이(30)를 상부로 상승시키게 되고, 상승됨과 동시에 적외선 램프(21)가 점등하여 고온의 열을 발산하고, 적외선 램프(11)를 지나게 되는 엘씨디 글라스(1)는 온 순수에 의해 가열된 상태로서 엘씨디 글라스(1) 자체의 열과 적외선으로부터 발산되는 고온의 열에 의해 표면에 잔류하는 온 순수의 증발(기화)이 촉진된다.
상기와 같이, 적외선 램프(21) 위치로 상승하는 엘씨디 글라스(1) 표면에 묻어 있는 온 순수는 수평 상태로, 즉, 수평의 선을 그리며 서서히 증발하게 되는데, 수평의 온 순수 증발선상에는 표면 장력이 발생하여 엘씨디 글라스(1) 표면에 부착되어 있는 잔류 불순물을 온 순수 내로 잡아당기게 되며, 온 순수는 증발하게 되며, 승강 장치(40)에 의해 트레이(30)가 완전히 상승하여 정지하게 되면 적외선 램프(21)는 소등된다.
이와 같이, 본 발명은 세척 즉시 바로 건조시키게 되므로, 어떠한 크린-룸(Clean-Room)에도 존재하는 불순물이 온 순수 등 세척액에 부착되기 전에 신속히 건조시키게 되어 이후 가공 공정을 거쳐 생산되는 엘씨디 장치 완제품의 불량률을 낮추게 된다.
본 발명에서는 세척 및 건조되는 대상을 엘씨디 글라스(1)로 하고 있으나, 타 기술의 권리 범위에 속하지 않는 기타 어떠한 반도체 부품도 세척 및 건조의 대상이 됨을 밝혀두는 바이며, 엘씨디 글라스(1)가 삽입된 트레이(30)의 탑제의 용이를 위해 건조 장치(20)가 세척 장치(10) 상부로부터 상, 하로 승강 작동하는 것도 바람직한 것이다.
상기와 같이 되는 본 발명은 소정의 온도로 가열된 온 순수가 저장된 탱크에 엘씨디 글라스를 인입시켜 초음파를 이용하여 세척한 후, 상부에 설치된 적외선 램프 측으로 서서히 상승시키면서 건조시키도록 하여 세척 후, 즉시 엘씨디 글라스 표면의 불순물을 제거함으로써 엘씨디 표면에 잔류하는 온 순수에 불순물이 부착되는 것을 방지함과 동시에 표면 얼룩 발생을 방지하도록 하는 효과를 갖음과 동시에 이에 따른 완제품 수율을 향상시키는 효과를 갖는다.

Claims (2)

  1. 온 순수를 이용한 엘씨디 글라스(1) 세척 또는 적외선 램프(21)를 이용한 엘씨디 글라스(1) 건조 장치에 있어서, 세척 장치(10)의 온 순수 저장 탱크(11) 상부에 적외선 램프(21)를 이용한 건조장치(20)를 설치하여 트레이(30)에 삽입되어 승강 장치(40)에 의해 상, 하로 엘리베이팅되는 엘씨디 글라스(1)를 세척 후, 즉시 건조시키도록 이루어짐을 특징으로 하는 온 순수와 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 세척 및 건조 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 세척 장치(10)는 외부로부터 공급되는 순수가 인라인 히터(12)를 거치면서 가열되어 온 순수 저장 탱크(11)로 공급되며, 오버플로우되는 온 순수 및 배출되는 온 순수는 드레인 라인(13)을 통해 외부로 배출되거나 인라인 히터(12)측으로 재 공급되어 가열 후, 온 순수 저장 탱크(11) 내로 재 공급되도록 구성되어 있고, 건조 장치(20)는 세척 장치(10)의 직상부 양측에 설치되는 것으로, 적외선을 방사하는 적외선 램프(21)와 적외선 램프(21)로부터 방사되는 적외선을 반사시키면서 적외선 램프(21) 주변의 열량을 보존하여 적외선과 함께 엘씨디 글라스(1)에 조사토록 하는 반사판(22)과, 적외선 램프(21)로부터 적외선이 발생되도록 하는 저외선 발생 유닛(23)으로 구성되어 있으며, 승강 장치(40)는 승강 구동 수단(41)에 의해 상, 하 직선 운동하는 피스톤(42)과, 피스톤(42) 상부에 구비되어 전방에 고정파이프(43)가 직하부로 설치된 연결 브라켓(44)이 세척 장치(10)의 양측면에 대칭으로 설치되고, 양측의 고정파이프(43) 단부에 구비되어 트레이(30)의 탑제가 가능하도록 된 안착판(45)으로 구성됨을 특징으로 하는 온 순수와 적외선 램프를 이용한 엘씨디 글라스 세척 및 건조 장치.
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