KR101134526B1 - 기판 건조장치 및 기판 건조방법 - Google Patents

기판 건조장치 및 기판 건조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고온의 순수로 세척과 건조를 동시에 수행하는 인상 건조 방법으로 1차 건조를 수행함에 연이어 IR 히팅 등으로 2차 건조를 수행하여 기판과 카세트를 완벽하게 세척 및 건조할 수 있는 기판 건조장치 및 기판 건조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 건조장치는, 순수가 일정한 온도로 가열한 상태로 채워져 있는 온순수 탱크; 다수장의 기판이 기립된 상태로 수납되는 카세트; 상기 카세트에 수납된 기판이 완전히 온순수에 잠기도록 상기 카세트를 상기 온순수 탱크 내로 하강시키고, 상기 카세트가 완전히 대기에 노출되도록 들어올리는 카세트 승강수단; 상기 온순수 탱크에 구비되며, 상기 온순수 탱크 내에 온순수를 연속적으로 공급하여 상기 온순수 탱크에서 온순수의 오버 플로우(over flow) 상태가 유지되도록 하는 오버플로우 수단; 상기 카세트의 하강동작 및 하강 상태에서의 정지 동작 중에는 상기 오버플로우 수단을 가동시키고, 상기 카세트의 상승 동작 및 상승 상태에서의 정지 동작 중에는 상기 오버플로우 수단의 가동을 중지시키며, 상기 카세트의 상승 동작시 상기 카세트의 상승 속도가 1 ~ 600 mm/min가 되도록 상기 카세트 승강수단을 제어하는 제어수단; 상기 온순수 탱크에 인접하게 설치되며, 상기 카세트 및 수납된 기판의 수분을 제거하는 2차 건조 수단;을 포함한다.

Description

기판 건조장치 및 기판 건조방법{APPARATUS AND METHOD DRYING THE SUBSTARATE}
본 발명은 기판 건조장치 및 기판 건조방법에 관한 것으로서, 고온의 순수로 세척과 건조를 동시에 수행하는 인상 건조 방법으로 1차 건조를 수행함에 연이어 IR 히팅 등으로 2차 건조를 수행하여 기판과 카세트를 완벽하게 세척 및 건조할 수 있는 기판 건조장치 및 기판 건조방법에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 등의 제조 공정에서 글라스 세척 장치는 세척액이 저장된 탱크 내로 글라스를 인입시켜 소정의 시간 동안 초음파 세척을 통해 글라스 표면의 불순물을 이탈, 제거시키도록 하는 장치이다.
또한, 글라스 건조 장치는 글라스 세척장치를 통해 세척된 글라스의 표면에 증발되지 않고 잔류하는 세척액을 건조시키도록 하는 것으로, 이송 롤러로 이송되는 글라스 패널이 건조 장치의 건조실 내로 이송되면 외부의 공기 호스로부터 유입되는 공기를 분사 노즐을 통해 분사하는 건조기가 상, 하 각각 1, 2차 한쌍으로 구비되어 공기압으로 글라스의 표면에 잔류하는 세척액이나 불순물 입자를 제거하도록 하는 구조의 장치가 많이 사용된다.
그러나 이러한 종래의 글라스 건조장치는 건조에 많은 시간이 소비되는 문제점과 건조 과정에서 글라스 표면에 파티클이 다시 묻는 문제점 등이 있어서 공정 시간이 단축되면서도 건조과정에서 파티클에 의한 재오염이 방지되는 글라스 건조장치의 개발이 절실하게 요구되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 고온의 순수로 세척과 건조를 동시에 수행하는 인상 건조 방법으로 1차 건조를 수행함에 연이어 IR 히팅 등으로 2차 건조를 수행하여 기판과 카세트를 완벽하고 신속하게 세척 및 건조할 수 있는 기판 건조장치 및 기판 건조방법을 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 건조장치는, 순수가 일정한 온도로 가열한 상태로 채워져 있는 온순수 탱크; 다수장의 기판이 기립된 상태로 수납되는 카세트; 상기 카세트에 수납된 기판이 완전히 온순수에 잠기도록 상기 카세트를 상기 온순수 탱크 내로 하강시키고, 상기 카세트가 완전히 대기에 노출되도록 들어올리는 카세트 승강수단; 상기 온순수 탱크에 구비되며, 상기 온순수 탱크 내에 온순수를 연속적으로 공급하여 상기 온순수 탱크에서 온순수의 오버 플로우(over flow) 상태가 유지되도록 하는 오버플로우 수단; 상기 카세트의 하강동작 및 하강 상태에서의 정지 동작 중에는 상기 오버플로우 수단을 가동시키고, 상기 카세트의 상승 동작 및 상승 상태에서의 정지 동작 중에는 상기 오버플로우 수단의 가동을 중지시키며, 상기 카세트의 상승 동작시 상기 카세트의 상승 속도가 1 ~ 600 mm/min가 되도록 상기 카세트 승강수단을 제어하는 제어수단; 상기 온순수 탱크에 인접하게 설치되며, 상기 카세트 및 수납된 기판의 수분을 제거하는 2차 건조 수단;을 포함한다.
본 발명에서 상기 카세트는 상기 기판의 장변이 연직면과 1 ~ 45°의 각도로 기울어지도록 수납하는 것이 바람직하다.
한편 상기 카세트 승강수단은, 상기 카세트의 상승 동작시, 수납된 기판의 장변이 연직면과 1 ~ 45°각도로 기울어진 상태를 유지하도록 상기 카세트를 틸팅(tilting)시켜 상승시킬 수도 있다.
다음으로 상기 온순수 탱크는, 상기 온순수 온도를 60 ~ 100℃ 로 유지하는 것이 바람직하다.
또한 상기 2차 건조 수단은, 상기 온순수 탱크의 상측에 구비되며, 상기 카세트에 수납된 기판이 대기에 노출되면 건조 동작을 개시하는 것이 바람직하다.
한편 상기 2차 건조 수단은, 상기 온순수 탱크로부터 수평 방향으로 일정한 간격 이격된 위치에 설치되며, 상기 카세트를 상기 온순수 탱크 상측으로부터 상기 2차 건조 수단으로 이동시키는 카세트 수평 이동수단이 더 구비될 수도 있다.
이때, 상기 2차 건조 수단은, 적외선 램프 2차 건조 수단, N2 기체 분사 2차 건조 수단, 열풍 분사 2차 건조 수단 또는 진공 흡입 2차 건조 수단 중에서 선택되는 어느 하나일 수 있다.
한편 본 발명에 따른 기판 건조방법은, 1) 일정한 온도로 가열된 온순수를 일정한 깊이의 온순수 탱크에 준비하는 단계; 2) 상기 온순수 탱크에 카세트에 수납된 다수장의 기판을 담그는 단계; 3) 상기 온순수 탱크에 잠긴 상기 카세트를 1 ~ 600 mm/min의 속도로 상승시키면서 1차 건조하는 단계; 4) 상기 카세트가 완전히 노출된 상태에서 상기 카세트 및 상기 기판에 남아 있는 수분을 제거하는 2차 건조 단계;를 포함한다.
본 발명에서는 2), 3) 단계는 상기 온순수의 온도를 60 ~ 100℃ 로 유지하면서 진행되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 2) 단계는 상기 온순수 탱크 내의 온순수를 오버플로우(over flow) 상태로 유지하면서 진행되는 것이 바람직하다.
상기 3) 단계는, 상기 기판의 장변이 연직면과 1 ~ 45° 각도로 기울어진 상태에서 진행되는 것이 바람직하다.
또한 상기 4) 단계는, a) 상기 카세트 및 기판에 적외선을 조사하여 건조하는 단계; b) 상기 카세트 및 기판에 질소(N2) 기체를 분사하여 건조하는 단계; c) 상기 카세트 및 기판에 열풍을 분사하여 건조하는 단계; 또는 d) 상기 카세트 및 기판을 진공 흡입 존에 투입하여 건조하는 단계; 중에서 선택되는 어느 하나의 단계로 진행되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면 기판을 고온의 온순수 속에서 끌어올리면서 1차 건조가 이루어지므로, 건조 과정에서 기판 표면에 파티클이 묻는 현상이 발생하지 않으며, 1차적으로 온순수 인상 건조가 마무리된 후 즉시 카세트 또는 기판에 남아 있는 수분을 2차 건조하게 되므로 건조 시간이 단축되고, 건조 과정에서 기판이 재오염되지 않는 장점이 있다.
또한 본 발명에 따른 기판 건조장치 및 건조방법은 LCD 제조에 사용되는 유리 기판, LCD, 반도체 및 LED 제조에 사용되는 수정 마스크(Quartz Mask) 기판, 실리콘 웨이퍼 또는 사파이어 웨이퍼, 태양전지 제조에 사용되는 웨이퍼 등 다양한 종류 및 다양한 크기의 기판에 범용적으로 사용될 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조장치의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 온순수 탱크의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 3, 4, 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 인상 건조 방법을 도시하는 도면들이다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 기판 건조장치(1)는, 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 온순수 탱크(10), 카세트(20), 카세트 승강수단(30), 오버플로우 수단(40), 제어수단 및 2차 건조 수단(50)을 포함하여 구성된다.
먼저 온순수 탱크(10)는 상기 카세트(20) 및 이에 수납된 기판(S)이 완전히 잠길 수 있는 깊이와 채적을 가지는 형태로 구성되며, 그 내부에 일정한 온도로 가열된 순수가 채워진다. 본 실시예에서는 상기 온순수 탱크(10) 내에 채워지는 순수의 온도를 60 ~ 100℃ 로 유지하는 것이 바람직하다.
순수의 온도가 60℃ 미만이 되면 기판의 건조 속도가 너무 낮아서 건조시간이 오래 걸리는 문제점이 있으며, 순수의 온도가 100℃ 넘게되면, 순수가 끓어 넘치는 현상이 발생하여 기판과 순수가 만나는 표면이 일정하지 않은 문제점이 있다. 이렇게 상기 온순수 탱크(10) 내부의 순수의 온도를 일정하게 유지하기 위하여 상기 온순수 탱크에는 가열 수단(도면에 미도시)이 구비된다.
한편 상기 온순수 탱크(10)에는 도 2에 도시된 바와 같이, 외부로부터 상기 온순수 탱크(10) 내로 순수를 공급하는 온수 공급부(60)가 더 구비된다. 이 온수 공급부(60)는 자체적으로 온수를 가열하여 공급할 수 있도록 히터(62)를 구비하는 것이 바람직하다.
또한 상기 온수 공급부(60) 중 상기 온순수 탱크(10)와 직접 연결되어 순수를 상기 온순수 탱크 내로 주입하는 순수 공급구(64)는 상기 온순수 탱크(10)의 하측에 연결되는 것이 바람직하며, 상기 온순수 탱크(10) 내부에는 공급된 순수가 상기 온순수 탱크(10)의 하면으로 이동하면서 전체적으로 분산되어 상측으로 이동할 수 있도록 순수 확산 블럭(12)이 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 온순수 탱크(10)에는 상기 온순수 탱크(10) 내에 온순수를 연속적으로 공급하여 상기 온순수 탱크에서 온순수의 오버 플로우(over flow) 상태가 유지되도록 하는 오버플로우 수단(40)이 더 구비되는 것이 바람직하다. 여기에서 오버 플로우라 함은, 상기 온순수 탱크(10) 내에 온순수가 완전히 채워진 상태에서 그 이상의 온순수를 연속적으로 공급하여 상기 온순수 탱크(10)의 상면으로 초과 공급된 온순수가 넘쳐흐르는 상태를 말한다.
이렇게 오버 플로우 현상이 발생하면, 상기 기판(S) 또는 카세트(20)에 묻어 있다가 분리된 파티클 등이 오버 플로우되는 순수와 함께 외부로 배출되어 상기 온순수 탱크(10) 내의 순수(W)는 항상 깨끗한 상태를 유지할 수 있는 장점이 있다.
본 실시예에서는 상기 오버플로우 수단(40)을 상기 온순수 탱크(10)의 상부 가장자리 부분에 넘쳐흐르는 온순수를 받을 수 있는 턱(42)으로 구성하며, 상기 오버플로우 수단(40)의 하측으로는 받아진 온순수를 다시 순수 공급부(60)로 보내는 순환라인(44)이 연결되는 것이 바람직하다. 또한 상기 턱(42)에는 순수에 포함되어 있는 파티클 등을 걸러서 제거할 수 있는 필터(도면에 미도시)가 구비될 수도 있다.
다음으로 상기 카세트(20)는 도 1에 도시된 바와 같이, 다수장의 기판(S)이 기립된 상태로 수납되는 구성요소이다. 이 카세트(20)는 수납되는 기판(S)과 접촉 면적이 최소화되는 것이 바람직하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판이 기울어지게 수납될 수 있다.
구체적으로 상기 기판(S)의 장변이 연직면과 1 ~ 45°의 각도로 기울어진 상태로 수납되도록 상기 카세트(20)의 구조를 독특하게 형성하는 것이다. 이렇게 기판(S)이 카세트(20)에 기울어진 상태로 수납되는 것은 도 3에 도시된 바와 같이, 인상 건조시에 최종적으로 순수(W)와 기판(S)이 만나는 면적을 최소화하기 위한 것이다. 순수(W)와 기판(S)이 만나는 면적을 최소화하면 기판에 남을 수 있는 얼룩이 최소화되며, 기판의 건조 시간도 단축할 수 있기 때문이다.
한편 전술한 바와 같이, 기판(S)을 카세트(20)에 기울어진 상태로 로딩하지 않고, 기판을 카세트에 수평한 상태로 로딩하는 일반적인 구조의 카세트를 사용하면서도 동일한 효과를 볼 수도 있다. 이 부분에 대해서는 후술하는 카세트 승강수단(30)의 설명 부분에서 자세히 설명한다.
상기 카세트 승강수단(30)은 상기 카세트(20)에 수납된 기판(S)이 완전히 온순수에 잠기도록 상기 카세트(20)를 상기 온순수 탱크(10) 내로 하강시키고, 상기 카세트(20)가 완전히 대기에 노출되도록 들어올리는 구성요소이다. 본 실시예에서는 상기 카세트 승강수단(30)을 상기 카세트(20)를 승강시킬 수 있는 다양한 구조로 구현할 수 있으며, 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 로봇 구조로 구현할 수 있다.
특히, 본 실시예에서는 상기 카세트 승강수단(30)이 상기 카세트(20)를 승강하는 과정에서, 수납된 기판(S)의 장변이 연직면과 1 ~ 45°각도로 기울어진 상태를 유지하도록 상기 카세트를 틸팅(tilting)시킨 상태에서 승강할 수도 있다. 이는 전술한 바와 같이, 카세트(20)에 기판이 수평 상태로 수납되는 일반적인 카세트를 그대로 사용하면서도 기판이 기울어진 상태로 수납되는 카세트를 이용하는 것과 동일한 효과를 달성하기 위함이다.
즉, 기판이 수평 상태로 수납된 카세트를 상기 온순수 탱크(10)에 그대로 담근 상태에서 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 카세트 승강수단(30)이 상기 카세트(20)를 들어올리는 과정에서 상기 카세트를 기울어진 상태를 유지하도록 틸팅시킨 상태에서 들어올리는 것이다.
전술한 바와 같이, 고온의 온수에 잠겨 있는 기판을 천천히 들어올리면 도 4에 도시된 바와 같이, 기판 표면을 따라 순수의 표면 장력에 의하여 일정한 높이로 순수가 끌려 올라오고 이것이 고온의 온도와 대기에 의하여 신속하게 건조되는 것이다. 이러한 건조 방법을 고온 인상 건조라고 명명하는 것이다.
다음으로 제어수단(도면에 미도시)은 상기 기판 건조장치(1)의 기판 건조 과정을 수행하기 위하여 상기 오버플로우 수단(40), 순수 공급부(60) 및 카세트 승강수단(30) 등을 제어하는 구성요소이다.
구체적으로 상기 제어수단은, 상기 카세트(20)의 하강동작 및 하강 상태에서의 정지 동작 중에는 상기 오버플로우 수단(40)을 가동시키고, 상기 카세트(20)의 상승 동작 및 상승 상태에서의 정지 동작 중에는 상기 오버플로우 수단(40)의 가동을 중지시킨다.
즉, 상기 카세트(20) 및 이에 수납된 기판(S)이 온순수 탱크(10)에 담기는 동작 및 완전히 잠겨서 세정되는 동안에는 상기 온순수 탱크(10)에서 오버플로우 현상이 발생하도록 제어하고, 상기 카세트(20)를 상승시키면서 기판의 인상건조 동작이 이루어지는 동안에는 오버플로우 현상을 중지시켜 온순수의 표면에 움직임이 없이 안정된 상태를 유지하도록 하는 것이다.
또한 상기 제어수단은 상기 카세트(20)의 상승 동작시 상기 카세트(20)의 상승 속도가 1 ~ 600 mm/min가 되도록 상기 카세트 승강수단(30)을 제어하는 것이 바람직하다. 상기 카세트(20)의 상승 속도가 1mm/min 미만인 경우에는 공정 시간이 너무 길어지는 문제점이 있으며, 600mm/min 을 초과하는 경우에는 기판 표면이 건조되지 않는 문제점이 있다.
다음으로 상기 2차 건조 수단(50)은 상기 온순수 탱크(10)에 인접하게 설치되며, 상기 카세트(20) 및 수납된 기판(S)의 남아 있는 수분을 제거하는 구성요소이다. 상기 2차 건조 수단(50)은 상기 온순수 탱크(10)의 상측에 구비될 수도 있다. 이렇게 상기 2차 건조 수단이 상기 온순수 탱크(10)의 상측에 구비되는 경우에는, 상기 카세트(20)에 수납된 기판(S)이 대기에 노출되면 즉시, 상기 2차 건조 수단에 의한 2차 건조 동작을 개시하여, 기판이 파티클 등에 의하여 재오염되는 가능성을 원천적으로 방지할 수 있는 장점이 있다.
한편 상기 2차 건조 수단(50)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 온순수 탱크(10)에 인접하게 일정간격 이격되어 설치될 수도 있다. 이 경우 상기 카세트(20)를 상기 온순수 탱크(10) 상측으로부터 상기 2차 건조 수단(50)으로 이동시키는 카세트 수평 이동수단(도면에 미도시)이 더 구비될 수 있다. 물론 상기 카세트 승강수단(30)이 상기 카세트(20)를 직접 상기 2차 건조 수단(50) 내로 이동시키는 것도 가능하다.
본 실시예에서 상기 2차 건조 수단(50)은 상기 기판 및 카세트를 건조시킬 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있으며, 예를 들어 적외선 램프 2차 건조 수단, N2 기체 분사 2차 건조 수단, 열풍 분사 2차 건조 수단 또는 진공 흡입 2차 건조 수단 중에서 선택되는 어느 하나일 수 있다.
이하에서는 본 실시예에 따른 기판 건조장치(1)를 이용하여 기판을 건조하는 방법을 상세하게 설명한다.
먼저 온순수 탱크(10)에 60 ~ 100℃ 온도로 가열된 온순수를 준비하는 단계가 진행된다. 이 단계에서는 고온으로 가열된 순수를 온순수 탱크(10) 내에 공급할 수도 있고, 공급된 순수를 온순수 탱크 내에서 가열할 수도 있다. 이때 상기 온순수 탱크(10)에 준비되는 온순수는 상기 카세트(20) 및 이에 수납된 기판(S) 전체가 잠길 수 있는 깊이로 준비되는 것이 바람직하다.
다음으로는 상기 온순수 탱크(10)에 카세트(20) 및 상기 카세트에 수납된 다수장의 기판(S)을 담그는 단계가 진행된다. 이 단계에서는 상기 온순수 탱크(10) 내의 온순수를 오버플로우(over flow) 상태로 유지하면서 진행되는 것이 바람직하다. 이렇게 오버플로우 상태가 유지되면, 상기 카세트 또는 기판에 묻어 있다가 이탈되는 파티클이 오버플로우에 의하여 외부로 배출되어 기판의 재오염을 방지할 수 있어서 바람직하다.
다음으로는 상기 온순수 탱크(10)에 잠긴 상기 카세트(20)를 1 ~ 600 mm/min의 속도로 상승시키면서 1차 건조하는 단계가 진행된다. 본 실시예에 따른 기판 건조방법에서는 1차적으로 기판(S)을 고온의 순수에 함침한 상태에서 서서히 외부로 노출되도록 상승시켜서 기판의 표면이 건조되도록 하는 고온 인상 건조 방법을 사용하는 것이다.
한편 본 실시예에서는 기판이 신속하게 건조되면서 기판에 얼룩 등이 남지 않도록 하기 위하여 기판(S)의 장변이 연직면과 일정한 각도로 기울어진 상태에서 1차 건조 단계가 진행되도록 한다. 기판이 기울어진 상태에서 상승되도록 하기 위한 방법으로는, 먼저 기판이 기울어진 상태에서 카세트에 수납되는 구조를 가지도록 카세트 자체의 구조를 변경하는 방법과, 기판이 수평 상태로 수납된 카세트를 사용하되, 카세트를 들어올릴 때 기판 승강수단이 카세트를 기울어지게 들어올리는 방법이 가능하다. 본 실시예에서는 이 2가지 방법을 모두 사용할 수 있다.
다음으로는 상기 카세트(20)가 완전히 대기에 노출된 상태에서 상기 카세트(20) 및 상기 기판(S)에 남아 있는 수분을 제거하는 2차 건조 단계가 진행된다. 상기 1차 건조 단계에서 기판 표면의 수분은 모두 제거되지만, 기판 중 상기 카세트(20)와 접촉되는 부분 또는 상기 카세트 중 일부분에는 제거되지 않은 수분이 남아 있을 수 있다. 따라서 이러한 남아 있는 수분을 모두 제거하기 위하여 2차 건조 단계가 진행되는 것이다.
본 실시예에서는 2차 건조 단계를, a) 상기 카세트 및 기판에 적외선을 조사하여 건조하는 방법, 상기 카세트 및 기판에 질소(N2) 기체를 분사하여 건조하는 방법, 상기 카세트 및 기판에 열풍을 분사하여 건조하는 방법 또는 상기 카세트 및 기판을 진공 흡입 존에 투입하여 건조하는 방법 등 다양한 방법을 사용할 수 있다.
1 : 기판 건조장치 10 : 온순수 탱크
20 : 카세트 30 : 카세트 승강수단
40 : 오버플로우 수단 50 : 2차 건조 수단
60 : 순수 공급부

Claims (12)

  1. 순수를 60 ~ 100℃ 온도로 가열하는 가열수단이 구비되며, 가열된 온순수가 채워져 있는 온순수 탱크;
    다수장의 기판이 기립된 상태로 수납되는 카세트;
    상기 카세트에 수납된 기판의 하면이 수평 상태를 유지한 상태에서 완전히 온순수에 잠기도록 상기 카세트를 상기 온순수 탱크 내로 하강시키고, 상승시에 상기 기판의 기울어진 상태로 틸팅시켜 상기 카세트가 완전히 대기에 노출되도록 들어올리는 카세트 승강수단;
    상기 온순수 탱크에 구비되며, 상기 온순수 탱크 내에 온순수를 연속적으로 공급하여 상기 온순수 탱크에서 온순수의 오버 플로우(over flow) 상태가 유지되도록 하는 오버플로우 수단;
    상기 카세트의 하강동작 및 하강 상태에서의 정지 동작 중에는 상기 오버플로우 수단을 가동시키고, 상기 카세트의 상승 동작 및 상승 상태에서의 정지 동작 중에는 상기 오버플로우 수단의 가동을 중지시키며,
    상기 카세트의 상승 동작시 상기 카세트의 상승 속도가 1 ~ 600 mm/min가 되도록 상기 카세트 승강수단을 제어하는 제어수단;
    상기 온순수 탱크에 인접하게 설치되며, 상기 카세트 및 수납된 기판을 일정한 챔버 내에 위치시키고 수분 및 기체를 흡입하여 건조시키는 진공 흡입 2차 건조 수단;을 포함하는 기판 건조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 카세트는,
    상기 기판의 장변이 연직면과 1 ~ 45°의 각도로 기울어지도록 수납하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 온순수 탱크는,
    상기 온순수 온도를 60 ~ 100℃ 로 유지하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 2차 건조 수단은,
    상기 온순수 탱크의 상측에 구비되며, 상기 카세트에 수납된 기판이 대기에 노출되면 건조 동작을 개시하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
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