KR101546515B1 - 기판 건조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 건조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정조의 측벽에 유기용매를 수용할 수 있는 유기용매 수용조를 구비하여 유기용매 가스를 이송하지 않고 세정조에 바로 공급할 수 있는 기판 건조장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판 건조장치는 기판을 린싱하기 위한 순수가 수용되며 측벽에 개구홀이 형성된 세정조; 상기 세정조의 외측벽에 고정 설치되며, 상기 개구홀을 통해 유기용매을 공급하는 유기용매 수용조; 및 상기 세정조의 상부에 분리 또는 결합되며, 내부에 불활성가스를 분사할 수 있도록 분사노즐이 구비되는 챔버;를 포함한다.

Description

기판 건조장치{SUBSTRATE DRYER}
본 발명은 기판 건조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정조의 측벽에 유기용매를 수용할 수 있는 유기용매 수용조를 구비하여 유기용매 가스를 이송하지 않고 세정조에 바로 공급할 수 있는 기판 건조장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체나 평판디스플레이 패널, 태양전지 제조공정에서는 웨이퍼나 유리기판(이하, '기판'이라고 한다)에 대하여 다양한 공정을 수행하여 제조되는데, 이러한 다양한 공정 중에는 습식 공정도 포함된다.
이러한 습식공정이 완료된 기판은 건조처리를 필수적으로 거치게 되는데, 일반적으로 회전 건조기(spin dryer)나 이소프로필알코올 증기 건조기(IPA vapor dryer)가 널리 사용되고 있다.
상기 회전 건조기를 이용한 건조 방법은 기판을 회전판에 올려놓고 회전시켜 원심력에 의해 건조하는데, 기판이 회전하면서 발생되는 물리적인 힘에 의해 기판이 파손될 염려가 있을 뿐만 아니라, 회전판의 회전으로 인해 기계부에서 파티클이 발생되어 기판을 오염시키는 문제가 있다.
또한 이소프로필알코올 증기 건조기를 이용한 기판 건조 방법은 극성유기용매(polar organic solvent)인 이소프로필알콜(Isopropyl Alcohol, IPA)을 약 200℃ 이상 가열하여 증기화된 이소프로필알콜 증기를 기판에 분사하여 기판의 표면에 존재하는 순수나 습기를 이소프로필알콜증기(IPA vapor)로 치환(substitution)시키고, 2차적으로 질소가스를 사용하여 기판을 건조시킨다. 그런데, 이소프로필알콜의 발화점이 약 22℃ 이므로 증기를 이송할 때 화재의 위험이 매우 클 뿐만 아니라, 고온의 증기를 이용하므로 기판 상에 포토레지스트 패턴이 존재할 경우 포토레지스트 패턴에 손상(attack)을 입히게 되며, 손상된 포토레지스트 패턴으로 인하여 건조기 자체를 오염시키는 문제가 있다.
한편, 마란고니 건조기(Marangoni dryer)도 널리 사용되는데, 마란고니 건조기(Marangoni dryer)는 순수 표면에 이소프로필알코올 층을 형성한 다음, 기판을 순수 표면 위로 상승시켜 순수와 이소프로필알코올의 표면장력 차이를 이용하여 건조가 이루어지는 방식이다.
도 1은 종래 마란고니 건조기(1)를 도시한 것이다. 도시된 바와 같이, 순수(W)가 수용된 챔버(10)와, 상기 챔버(10)의 내부에서 복수의 기판(S)을 지지하고 승강시키는 슬로터(sloter, 60)가 구비된다.
또한 상기 챔버(10)의 외부에는 이소프로필알코올(IPA)에 질소가스(N2)를 공급하여 버블링하는 버블링장치가 구비된다. 버블링장치는 이소프로필알코올(IPA)이 수용된 저장조(40)와, 상기 이소프로필알코올(IPA)에 질소가스(N2)를 공급하는 배관(30)과, 버블링에 의해 생성된 혼합가스를 챔버(10) 내부의 분사노즐(70)에 공급하는 배관(20)을 포함한다.
또한 상기 챔버(10)의 내부에는 상기 배관(20)을 통해 공급된 혼합가스를 순수의 표면에 분사하는 분사노즐(70)과, 기판(S)에 대하여 질소가스(N2)를 분사하는 분사노즐(81)이 구비된다. 미설명부호 '50'은 순수를 공급하는 분사홀이다.
이와 같이 버블링장치에서 생성된 혼합가스는 배관(20)을 통해 순수가 수용된 챔버(10)로 공급되는데, 혼합가스의 발화점이 매우 낮기 때문에 이송 중 항상 화재의 위험이 따르기 마련이다. 또한 화재를 예방하기 위하여 배관(20)에 쿨링자켓을 형성하는 등 설비가 매우 복잡해지는 문제점이 있다.
도 2는 혼합가스를 챔버(10)의 내부에서 순수(W)의 표면에 분사하는 분사노즐(70)을 도시한 것이다. 도시된 바와 같이, 분사노즐(70)은 중공관 형태로 형성되고 혼합가스를 분사하는 복수의 분사홀(71)이 형성된다.
도 3은 기판을 지지하는 슬로터(60)를 도시한 것이다. 슬로터(60)는 베이스프레임(60)에 수직프레임(62)이 4개 구비된다. 상기 수직프레임(62)에는 각각 기판이 안착되도록 안착홈(62a)이 복수개 형성되어 있다. 도시된 바와 같이 통상적인 슬로터(60)는 베이스프레임(61)에 수직프레임(62)이 3개 또는 4개 이상 형성되는 것이 매우 일반적이다. 이것은 원형의 기판을 안정적으로 지지하기 위함이다. 그러나 이와 같이 수직프레임(62)이 복수개 형성되어 있으면, 기판을 안정적으로 지지할 수 있는 반면, 각 수직프레임(62)과 기판의 접촉점이 3점 또는 4점이 되는데, 각 접촉점은 건조후에도 순수가 잔류하거나 건조시간이 길어지게 된다. 또한, 건조 후에도 흔적(water mark)이 남게 되어 제품 불량의 원인이 되기도 한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 세정조의 측벽에 유기용매를 수용할 수 있는 유기용매 수용조를 구비하여 유기용매 가스를 이송하지 않고 세정조에 바로 공급할 수 있는 기판 건조장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 불활성가스를 이용하여 유기용매를 버블링하는 마란고니 건조방식으로 기판을 건조할 수도 있을 뿐만 아니라 유기용매를 중탕하여 증기상태로 기판에 직접 분사하는 증기 건조방식으로 활용할 수도 있는 기판 건조장치를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 기판을 지지하고 승강시키는 승강부재와 기판의 접촉점 및 면적을 최소화하여 기판에 워터마크나 파티클이 남는 등의 건조불량을 최소화할 수 있는 기판 건조장치를 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 건조장치는 기판을 린싱하기 위한 순수가 수용되며 측벽에 개구홀이 형성된 세정조; 상기 세정조의 외측벽에 고정 설치되며, 상기 개구홀을 통해 유기용매을 공급하는 유기용매 수용조; 및 상기 세정조의 상부에 분리 또는 결합되며, 내부에 불활성가스를 분사할 수 있도록 분사노즐이 구비되는 챔버;를 포함한다.
또한 상기 유기용매 수용조에 불활성가스를 공급하는 가스공급수단이 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 유기용매 수용조를 감싸며, 상기 유기용매를 기화시키는 중탕액이 수용되는 중탕조가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 중탕액은 25℃~90℃인 것이 바람직하다.
또한 상기 세정조의 측벽과 상기 유기용매 수용조 사이에는 오버플로우된 상기 순수를 회수하는 회수조가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 세정조의 내부에서 상기 기판을 승강시키며, 상기 기판의 저부를 1점에서 지지하는 승강부재; 및
상기 세정조 또는 챔버의 내측벽에 구비되며, 상기 기판의 승강시 상기 기판의 측부를 안내하도록 안내홈이 적어도 1 이상 형성되는 안내부재;가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 세정조의 내벽 일측 또는 양측에 회동 가능하게 결합되는 스윙부재가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 스윙부재의 상단은 축결합되고, 구동원에 의해 상기 스윙부재의 하단이 상기 세정조의 중심방향으로 회동하는 것이 바람직하다.
또한 상기 기판의 승강시에는 상기 스윙부재가 상기 세정조의 내벽과 나란하게 위치되고, 상기 기판의 지지시에는 상기 스윙부재가 상기 세정조의 내벽에 대해 경사지게 위치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 스윙부재에는 적어도 1 이상의 기판이 안내 또는 안착되도록 지지홈이 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 세정조의 측벽에 유기용매를 수용할 수 있는 유기용매 수용조를 구비함으로써, 유기용매 가스를 이송하지 않고 세정조에 바로 공급할 수 있기 때문에 이송 중 화재의 위험이 없고, 설비가 단순해지는 효과가 있다.
특히, 본 발명에 의한 건조장치는 불활성가스를 이용하여 유기용매를 버블링하는 마란고니 건조방식으로 기판을 건조할 수도 있을 뿐만 아니라 유기용매를 중탕하여 증기상태로 기판에 직접 분사하는 증기 건조방식으로 활용할 수도 있게 된다.
또한, 기판을 지지하고 승강시키는 승강부재와 기판의 접촉점 및 면적을 최소화하여 기판에 워터마크나 파티클이 남는 등의 건조불량을 최소화할 수 있다.
도 1은 종래 마란고니 건조장치를 나타낸 것이다.
도 2는 도 1에 도시된 건조장치의 혼합가스 분사노즐을 도시한 것이다.
도 3은 도 1에 도시된 건조장치의 슬로터를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 의한 기판 건조장치를 나타낸 것이다.
도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 건조장치의 요부를 나타낸 것이다.
도 7 내지 도 15는 도 4에 도시된 건조장치의 작동상태를 나타낸 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 기판 건조장치의 구성 및 작동상태를 설명한다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 의한 기판 건조장치(100)는 세정조(110)와, 유기용매 수용조(161), 챔버(120), 승강부재(130)와, 안내부재(141,142) 및 스윙부재(150)를 포함한다.
상기 세정조(110)는 기판(S)을 린싱하기 위한 순수(W0)가 수용되며, 순수를 공급 및 배출하는 토출공(112)이 형성되어 있다. 상기 세정조(110)는 상부가 개방되어 있고, 양측벽에는 각각 가로방향으로 소정길이를 갖는 개구홀(111)이 형성되어 있다.
상기 한 쌍의 개구홀(111)이 형성된 측벽의 외측에는 각각 회수조(170)가 형성되어 있다. 상기 회수조(170)는 개구홀(111)을 통해 오버플로우(over flow)된 순수(W0)를 회수하는 구성요소이다.
특히, 상기 회수조(170)의 외측에는 유기용매 수용조(161)가 형성되어 있다. 상기 유기용매 수용조(161)는 이소프로필알코올(IPA) 등의 유기용매를 저장, 수용하는 구성요소이다. 본 발명에 의하면 유기용매가 세정조의 측벽에 바로 이웃하여 저장, 수용되기 때문에 버블링된 혼합가스나 유기용매 증기가 배관을 통하지 않고 세정조(110)의 측벽에 형성된 개구홀(111)을 통해 세정조(110)로 직접 공급할 수 있게 된다.
따라서 유기용매의 배관을 통한 이송 중 발생할 수 있는 화재를 원천적으로 차단할 수 있고, 배관이나 쿨링자켓 등의 설비가 매우 단순해진다. 상기 유기용매 수용조(161)에 질소 등 불활성가스를 공급하는 공급관(162)이 구비된다. 따라서 불활성가스를 공급하여 버블링함으로써 혼합가스를 생성하여 세정조(110)의 내부로 공급할 수 있는 것이다. 이와 같이 공급된 혼합가스는 순수의 표면에 유기용매층을 형성하여 기판(S)을 순수(W0) 표면 위로 상승시켜 순수와 이소프로필알코올(IPA)의 표면장력 차이를 이용하여 건조가 이루어진다(마린고니 건조방식).
또한, 상기 유기용매 수용조(161)를 측면과 하면에서 감싸는 중탕조(160)가 구비된다. 상기 중탕조(160)에는 소정 온도의 중탕액(W1, 물 등)이 수용되어 유기용매 수용조(161)에 수용된 유기용매를 증기화할 수 있다. 본 실시예에서 상기 유기용매는 이소프로필알코올이고, 이 경우, 중탕조(160)에는 25~90℃의 물을 충진하여 이소프로필알코올 증기를 생성하여 개구홀을 통해 세정조(110) 내부로 공급할 수 있게 되는 것이다. 이와 같이 공급된 증기를 기판(S)에 직접 분사하여 순수(W0)나 습기를 이소프로필알콜증기(IPA vapor)로 치환(substitution)시키고, 2차적으로 질소가스를 사용하여 기판을 건조시킨다(증기 건조방식).
즉, 본 발명에 의한 실시예(100)에 의하면 이소프로필알코올 증기 건조기(IPA vapor dryer)와 마란고니 건조기(Marangoni dryer) 겸용의 장치가 되는 것이다. 따라서 사용자가 건조방식을 선택할 수 있고, 본 발명에 의한 건조장치는 선택에 맞게 작동될 수 있는 것이다.
상기 세정조(110)의 상부에는 하부가 개방된 챔버(120)가 구비된다. 상기 챔버(120)는 세정조(110)의 상부에 구비되며, 수평 또는 수직방향으로 이동하여 상기 세정조(110)의 상부를 밀폐하거나 또는 개방할 수 있다.
상기 챔버(120)의 상부에는 질소가스 등 불활성가스가 분사되는 분사노즐(121)이 구비된다.
또한 본 실시예에서는 상기 챔버(120)의 내부에서 기판(S)을 지지하고 승강하는 승강부재(130)가 구비된다. 도 5를 참조하면, 상기 승강부재(130)의 상면에는 복수의 기판이 안착되도록 복수의 안착홈(131)이 형성되어 있다. 특히, 상기 승강부재(130)는 상기 기판(S)의 저부와 1점에서 점접촉하도록 구성된다. 이와 같이 기판이 승강부재(130)와 1점에서 접촉하기 때문에 접촉면적을 최소화하여 기판 건조 후 순수가 잔류하는 것을 최소화하고, 건조 후 발생할 수 있는 흔적(water mark)을 최소화할 수 있게 되는 것이다.
상기 승강부재(130)는 모터 또는 실린더 등의 공지의 구동수단에 의해 승강된다.
한편, 상기 승강부재(130)가 기판을 완전하게 지지하지 못하고, 1지점에서만 지지하기 때문에 기판이 승강부재(130)에 지지된 상태에서 기울어지게 된다.
따라서 본 발명에 의한 세정조(110)의 양측벽 및 챔버(120)의 양측벽에는 각각 안내부재(141,142)가 구비된다. 도 6을 참조하면, 상기 안내부재(141)는 판상으로 형성되며, 상기 기판이 안내될 수 있도록 복수의 안내홈(141a)이 형성되어 있다. 도 6은 세정조(110)의 내측벽에 구비되는 안내부재(141)를 도시한 것이지만, 챔버(120)의 내측벽에 구비되는 안내부재(142) 또한 동일한 구성을 갖는다.
즉, 상기 승강부재(130)에 안착된 복수의 기판은 세정조(110) 및 챔버(120)의 양측벽에 각각 구비된 안내부재(141,142)를 따라 승강되는 것이다.
또한 상기 세정조(110)의 내벽 양측에는 회동 가능하게 결합되는 스윙부재(150)가 더 구비된다. 상기 스윙부재(150)는 도 6에 도시된 안내부재(141)와 동일하게 동일한 구성을 갖는다. 즉, 스윙부재(150)는 판상의 몸체에 복수의 지지홈(미도시)이 형성된다. 다만, 안내부재(141)와 스윙부재(150)는 결합관계가 상이할 뿐이다. 보다 구체적으로 설명하면, 스윙부재(150)는 세정조(110)의 내벽에 고정설치되는 것이 아니라 일측만 연결되고 회동되도록 결합된다. 상기 스윙부재(150)의 스윙동작은 모터나 실린더 등 공지의 구동원에 의해 작동될 수 있는 것은 당연하다.
다만, 스윙부재(150)가 세정조(110)의 내벽에 고정설치되는 것이 아니라 회동 가능하게 결합된다는 차이가 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 상기 스윙부재(150)의 상단이 축결합되기 때문에 스윙부재(150)의 하단은 세정조(110)의 중심방향으로 회동가능한 구조이다. 따라서 구동원의 구동력에 의해 스윙부재(150)는 상단이 결합된 축을 중심으로 하단이 중심방향으로 회동하여 경사지도록 작동되는 것이다.
한 쌍의 상기 스윙부재(150)를 회동하여 각각의 하단을 접근시켜 기판(S)을 지지할 수 있다.
또는 기판(S)을 승강시킬 때는 스윙부재(150)를 세정조(110)의 내벽에 밀착시켜 도피시킨다. 이 때는 스윙부재(150)가 안내부재(141)와 동일한 기능을 하게 된다. 즉, 기판(S)의 측면은 스윙부재(150)에 형성된 지지홈(미도시)을 따라 안내되면서 승강하게 되는 것이다.
이하, 본 발명에 의한 실시예의 작동상태를 설명한다.
먼저, 세정조(110)의 상부가 개방되도록 챔버(120)를 도피시킨다. 또한 세정조(110)의 하부에 형성된 토출공(112)을 통해 순수(W0)를 공급하고, 승강부재(130)는 세정조(110)의 내부 상측으로 위치시키며, 한 쌍의 스윙부재(150)의 하단을 세정조(110)의 중심방향으로 회동시킨다(도 7 참조).
다음으로, 회동된 스윙부재(150)에 복수의 기판(S)을 안착시킨다. 상기 스윙부재(150)에는 안내부재와 마찬가지로 복수의 기판이 안착, 안내되는 지지홈(도 6의 141a 참조)이 형성되어 있다. 이 상태에서 상기 기판(S)은 한 쌍의 스윙부재(150)와 승강부재(130)에 의해 안정적으로 지지된다(도 8 참조).
다음으로, 상기 승강부재(130)가 세정조(110)의 내벽에 밀착되도록 회동시키면서 승강부재(130)를 세정조(110)의 바닥면까지 하강한다. 이 때 상기 기판(S)은 스윙부재(150)에 형성된 지지홈과, 안내부재(141)에 형성된 안내홈(141a)을 따라 안내되면서 하강하게 된다(도 9 참조).
다음으로, 챔버(120)를 수평이동하여 상기 세정조(110)와 결합하여 밀폐시키고, 기판(S)을 순수(W0)에 디핑한 상태에서 린싱한다(도 10 참조).
다음으로, 소정의 시간이 지난 후, 유기용매 수용조(161)에 질소가스(N2)를 공급하여 버블링하고, 그에 따라 이소프로필알코올과 질소의 혼합가스를 생성한다. 이와 같이 생성된 혼합가스는 세정조의 양측벽에 형성된 개구홀(111)을 따라 세정조(110)로 직접 공급되며, 그로 인해 순수(W0)의 표면에는 이소프로필알코올층(IPA)이 형성되는 것이다(도 11 참조).
다음으로, 순수(W0)의 표면에 이소프로필알코올층(IPA)이 적정한 두께로 형성되면, 승강부재(130)을 상승하여 기판(S)을 챔버(120)의 내부로 진입시킨다. 이와 같이 기판(S)이 상승될 때 순수(W0)의 표면에 형성된 이소프로필알코올층(IPA)을 통과하게 되는 것이다. 또한 상기 기판(S)이 상승할 때 승강부재(130)가 기판(S)의 저부를 1점에서 지지하지만, 세정조(110) 및 챔버(120)의 내벽에 안내부재(141,142)가 형성되어 있기 때문에 기판(S)은 안내부재(141,142)를 따라 기울어지지 않고 안정적으로 안내, 지지된다. 또한 기판(S)이 챔버(120)의 내부로 진입하게 되면, 한 쌍의 스윙부재(150)가 다시 회동되어 승강부재(130)와 함께 기판(S)을 안정적으로 지지하는 것이다(도 12 참조).
다음으로, 챔버(120)에 내부에 구비된 분사노즐(121)을 통해 질소가스를 분사하여 기판을 2차적으로 건조한다. 이 때 세정조(110)에 있는 순수는 토출공(112)을 통해 완전히 배출한다(도 13 참조).
다음으로, 질소가스에 의해 기판이 완전히 건조되면, 다시 승강부재(130)를 이용하여 기판(S)을 하강하여 세정조(110) 내부로 진입시킨다. 이 때 스윙부재(150)는 다시 세정조(110)의 내벽에 밀착되도록 회동한다(도 14 참조).
마지막으로, 챔버(120)를 수평이동하여 세정조(110)의 상부를 개방하고, 이 상태에서 다시 승강부재(130)를 이용하여 기판(S)을 세정조(110)의 상측으로 상승시킨다. 이 때 다시 스윙부재(150)를 회동시켜 기판(S)을 안정적으로 지지한다. 이 상태에서 트랜스퍼 로봇 또는 피커를 이용하여 건조된 기판을 언로딩하는 것이다(도 15 참조).
한편, 본 실시예는 마란고니 건조방식 이외에 증기건조방식으로도 활용할 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 도 11에서 유기용매 수용조(161)에 질소가스를 공급하여 버블링하는 대신, 중탕조(160)에 고온의 중탕액을 충진하여 이소프로필알코올 증기를 생성할 수도 있다. 이 경우, 이소프로필알코올 증기는 개구홀(111)을 통해 세정조(110) 내부로 공급되고, 기판(S)을 상승시키면서 증기를 기판(S)에 직접 분사하여 순수나 습기를 이소프로필알콜증기(IPA vapor)로 치환(substitution)시키고, 2차적으로 분사노즐(121)을 통해 질소가스를 사용하여 기판을 건조시키는 장치로 활용하는 것도 가능하다.
100: 실시예 110: 세정조
111: 개구홀 112: 토출공
120: 챔버 121: 분사노즐
130: 승강부재 131: 안착홈
141, 142: 안내부재 141a: 안내홈
150: 스윙부재 160: 중탕조
161: 유기용매 수용조 162: 공급관
170: 회수조

Claims (9)

  1. 기판을 린싱하기 위한 순수가 수용되며 측벽에 개구홀이 형성된 세정조;
    상기 세정조의 외측벽에 고정 설치되며, 상기 개구홀을 통해 유기용매을 공급하는 유기용매 수용조;
    상기 세정조의 상부에 분리 또는 결합되며, 내부에 불활성가스를 분사할 수 있도록 분사노즐이 구비되는 챔버; 및
    상기 유기용매 수용조를 감싸며, 상기 유기용매를 기화시키는 중탕액이 수용되는 중탕조;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 중탕액은 25℃~90℃인 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 세정조의 측벽과 상기 유기용매 수용조 사이에는 오버플로우된 상기 순수를 회수하는 회수조가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 세정조의 내부에서 상기 기판을 승강시키며, 상기 기판의 저부를 1점에서 지지하는 승강부재; 및
    상기 세정조 또는 챔버의 내측벽에 구비되며, 상기 기판의 승강시 상기 기판의 측부를 안내하도록 안내홈이 적어도 1 이상 형성되는 안내부재;가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 세정조의 내벽 일측 또는 양측에 회동 가능하게 결합되는 스윙부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 스윙부재의 상단은 축결합되고, 구동원에 의해 상기 스윙부재의 하단이 상기 세정조의 중심방향으로 회동하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기판의 승강시에는 상기 스윙부재가 상기 세정조의 내벽과 나란하게 위치되고, 상기 기판의 지지시에는 상기 스윙부재가 상기 세정조의 내벽에 대해 경사지게 위치되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 스윙부재에는 적어도 1 이상의 기판이 안내 또는 안착되도록 지지홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
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