KR20030054243A - 에지 리무버 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 E/R 사이즈를 자동으로 튜닝함으로써 보다 정확하고 용이하게 E/R공정을 수행할 수 있도록 하는 에지 리무버 장치에 관한 것으로서, 특히, 포토레지스트가 도포된 기판이 탑재되는 지지판과, 상기 기판의 가장자리를 스캔하여 가장자리의 포토레지스트를 제거하는 스캔암과, 상기 스캔암의 끝단부에 부착되어 기판의 가장자리의 위치를 인식하는 포토센서와, 상기 스캔암이 기판 가장자리를 따라 스캔되도록 이동시켜주는 LM 가이드와, 상기 스캔암에 연결되어 스캔을 위한 전력을 공급해주는 케이블 체인을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

에지 리무버 장치{Edge Remover Apparatus}
본 발명은 기판 에지의 포토 레지스트를 제거하기 위한 에지 리무버장치(E/R장치;Edge Remover Apparatus)에 관한 것으로, 특히 액정표시소자(LCD ; Liquid Crystal Display Device)에 적용 가능한 에지 리무버 장치에 관한 것이다.
액정표시소자를 구동시키기 위해서는 배선, 트랜지스터(transister), 캐패시터(capacitor) 등의 다양한 패턴이 요구되는데, 이러한 패턴을 형성하기 위해서는 필름을 증착하고, 상기 필름 상에 사진식각기술(photo-lithography)로 포토레지스트 패턴을 형성한 뒤, 포토레지스트 패턴에 의해 상기 필름을 식각하는 과정으로 이루어진다.
사진식각기술은 구체적으로, 필름이 형성된 기판 상에 포토레지스트(photoresist)를 도포하는 단계와, 자외선 파장을 이용하여 상기 포토레지스트를 빛에 반응(exposure)시키는 노광단계와, 반응된 포토레지스트를 현상(develop)하는 단계와, 노광된 포토레지스트를 선택적으로 제거하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계의 순으로 진행된다.
이 때, 기판 상에 포토레지스트를 도포한 후, 기판 에지 부분의 포토 레지스트를 제거하는 E/R공정을 추가하는데, 이는 에지 부분의 포토레지스트가 기판의 측면을 오염시키기 때문이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 의한 에지 리무버 장치를 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래기술에 의한 에지 리무버 장치의 구성도이고, 도 2는 종래기술에 의한 스캔암을 나타낸 사시도이다. 그리고, 도 3은 종래기술에 의한 에지 리무버 장치의 스캔암을 나타낸 단면도이고, 도 4는 포토레지스트가 도포된 기판을 나타낸사시도이다.
도 1에서와 같이, 기존의 에지 리무버 장치는 E/R 공정이 이루어지는 E/R 챔버(22)와, 포토레지스트(11)가 도포된 기판(10)이 탑재되는 지지판(21)과, 기판(10)의 가장자리를 스캔하여 가장자리의 포토레지스트(11)를 제거하는 스캔암(12)과, 상기 스캔암(12)의 측면에 배치되어 포토레지스트가 제거되는 폭 즉, E/R 사이즈를 육안으로 검출하기 위한 눈금자(미도시)와, 상기 스캔암(12)이 기판(10) 가장자리를 따라 스캔되도록 스캔암(12)을 직선 이동시켜주는 LM 가이드(linear motor guide)(15)와, 상기 스캔암(12)에 연결되어 스캔을 위한 전력을 공급해주는 플렉시블한 특성을 가진 케이블 체인(16)으로 구성된다.
상기 LM 가이드(15)는 직선 형태의 LM 레일과, 상기 LM 레일을 따라 동작하고 상기 스캔암(12)의 배면에 부착된 LM 블록을 포함하며, 상기 스캔암(12)은 포토레지스트와 직접 접촉하여 포토레지스트를 제거하는 스캔암 가이드(12a)와 스캔암 가이드를 받쳐주는 스캔암 받침부(12b)를 포함한다.
그리고, 상기 스캔암 받침부(12b)의 저면에는 도 2에서와 같이, 고정 볼트(20)가 구비되어 스캔암 가이드(12a)의 위치를 고정시켜 준다. 이 때, 육안으로 눈금자를 확인하여 스캔암 가이드(12a)의 위치를 정한다.
즉, 도 3에서와 같이, E/R 사이즈가 4mm 정도가 되도록 포토레지스트(11)가 도포된 기판(10)의 에지 부분에 스캔암 가이드(12a)을 위치시킨 후, 상기 스캔암 가이드(12a)을 원하는 위치에 고정시키기 위해 고정볼트(20)를 죄어준다.
상기 스캔암(12)은 LM가이드(15)에 의해 직선 운동을 하도록 설계되어 있기때문에 기판의 각 에지 부분에 대해 하나씩 장착되어 있다. 따라서, 액정표시소자 제작용 에지 리무버 장치에는 총 4개의 스캔암(12)이 장착된다.(도 1참고)
이와같은 에지 리무버 장치는 다음과 같이 동작된다.
포토레지스트(11)가 도포된 기판(10)을 E/R 챔버(22)의 지지판(21) 상면에 정확하게 로딩시키고, 스캔암(12)의 고정 볼트(20)를 제거한 뒤, 스캔암의 측면에 배치된 눈금자를 육안으로 확인하면서 스캔암 가이드(12a)의 위치를 조정한다.
스캔암 가이드(12a)의 위치에 의해, E/R 사이즈가 결정된다.
이 때, 스캔암(12)의 조정이 수작업으로 이루어지므로 기판의 각 모서리에 배치된 스캔암(12)의 위치들이 조금씩 달라질 수 있고, 그로 인해 E/R 사이즈가 불균일해진다.
육안으로 스캔암 가이드(12a)의 위치를 결정한 후에는 상기 고정볼트(20)를 죄어준다. 고정볼트(20)로서 스캔암을 고정시킨 후에는 고정볼트(20)를 풀어야만 E/R 사이즈를 변경할 수 있으므로 불편하다.
이 때, E/R 사이즈는 도 4에서와 같이, 약 3∼5mm로 한다.
E/R 사이즈는 기판(10) 가장자리에서 제거되는 포토레지스트(11)의 폭으로서 유저(User)의 사양에 맞게 조정된 값이며, E/R 사이즈는 E/R 스캔암이 고정 볼트에 의해 고정되기 전에 결정되므로 고정 볼트를 풀어서 재고정시키지 않는 한, E/R 사이즈의 변경은 불가능하다.
이후, 고정된 스캔암(12)은 LM 가이드(15)의 직선 이동에 따라 기판 가장자리를 따라 스캔되면서 포토레지스트를 제거한다.
이와같이, 기판 가장자리의 포토레지스트를 제거하는 이유는 공정 진행중에 기판 측면이 포토레지스트에 의해 오염되는 것을 방지하기 위함이다.
그러나, 상기와 같은 종래 기술에 의한 에지 리무버 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
즉, 기존에는 스캔암에 배치된 눈금자를 이용해 E/R 사이즈를 결정하는데, 이 때, 스캔암의 조정이 수작업으로 이루어지므로 스캔암의 위치가 정확해지기가 어렵고, 그로인해 E/R 사이즈가 불균일해진다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, E/R 사이즈를 자동으로 튜닝할 수 있도록 시스템을 구성함으로써 보다 정확하고 용이하게 E/R 공정을 수행할 수 있도록 하는 에지 리무버 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래기술에 의한 에지 리무버 장치의 구성도.
도 2는 종래기술에 의한 스캔암을 나타낸 사시도.
도 3은 종래기술에 의한 에지 리무버 장치의 스캔암을 나타낸 단면도.
도 4는 포토레지스트가 도포된 기판을 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명에 의한 에지 리무버 장치의 구성도.
도 6은 본 발명에 의한 에지 리무버 장치의 스캔암을 나타낸 단면도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호설명
110 : 기판 111 : 포토레지스트
112 : 스캔암 115 : LM 가이드
116 : 케이블 체인 118 : 포토센서
119 : 구동모터 120 : 볼 스크류
122 : E/R 챔버
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 에지 리무버 장치는 포토레지스트가 도포된 기판이 탑재되는 지지판과, 상기 기판의 가장자리를 스캔하여 가장자리의 포토레지스트를 제거하는 스캔암과, 상기 스캔암의 끝단부에 부착되어 기판의 가장자리의 위치를 인식하는 포토센서와, 상기 스캔암이 기판 가장자리를 따라 스캔되도록 이동시켜주는 LM 가이드와, 상기 스캔암에 연결되어 스캔을 위한 전력을 공급해주는 케이블 체인을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 E/R 사이즈를 자동으로 튜닝할 수 있도록 시스템을 구성함으로써보다 정확하고 용이하게 E/R공정을 수행할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 에지 리무버 장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명에 의한 에지 리무버 장치의 구성도이고, 도 6은 본 발명에 의한 에지 리무버 장치의 스캔암을 나타낸 단면도이다.
본 발명에 의한 E/R장치는 도 5에서와 같이, E/R 공정이 이루어지는 E/R 챔버(122)와, 기판(110)의 에지 부분을 스캔하여 에지 부분의 포토레지스트(111)를 제거하는 스캔암(112)과, 상기 스캔암(112)에 부착되어 기판의 에지 부분의 위치를 검출하는 포토센서(도 6의 "118")와, 상기 스캔암(112)이 기판 에지 부분을 따라 스캔되도록 스캔암(112)을 직선 운동시키는 LM 가이드(liner motor guide)(115)와, 상기 스캔암(112)에 연결되어 스캔을 위한 전력을 공급해주는 케이블 체인(116)으로 구성된다.
이 때, 상기 LM 가이드(115)는 직선 형태의 LM 레일과, 상기 LM 레일을 통해 이동하고 상기 스캔암(112)의 배면에 부착된 LM 블록으로 이루어지고, 상기 스캔암(112)은 그 내측면에 포토센서(118)와 포토레지스트를 제거하는 블레이드(미도시)가 부착된 스캔암 가이드(112a)과 상기 스캔암 가이드를 받쳐주는 스캔암 받침부(112b)로 이루어진다.
상기 포토센서(118)는 기판의 에지 부분에서 안쪽 또는 바깥쪽으로 이동하면서 E/R 사이즈를 검출한다. 따라서, 상기 포토센서(118)가 부착된 스캔암(112)이 기판의 에지 부분에서 안쪽 또는 바깥쪽으로 이동하여야 한다.
상기 스캔암(112)을 안팎으로 이동시켜 E/R사이즈의 정확도를 향상시키기 위해 스캔암(112) 몸체에 운동력을 제공하는 구동모터(119)를 더 부착하고, 상기 스캔암(112)과 구동모터(119)의 연결 및 미세한 이동을 위하여 스캔암(112)과 구동모터(119) 사이에 볼 스크류(ball screw)(120)를 더 구성한다.
그리고, 상기 포토센서(118)는 광 또는 레이저를 이용하여 비접촉식으로 기판 에지 부분의 위치를 검출한다. 즉, 포토센서의 투광부에서 방사된 펄스 변조광이 검출영역에 들어감에 따라 수광부로의 입사광이 증가 또는 감소하게 되고, 증가 또한 감소한 입사광의 정류신호레벨이 동작레벨에 도달하여 제어부를 통해 검출된 위치를 출력하게 된다.
상기 제어부는 포토센서에 의해 검출된 위치를 화면상에 표시해줌과 아울러 E/R 사이즈를 제어할 수 있게 하며 모니터링은 주로 PDP(Plasma Display Panel) 등으로 한다.
이와같은 E/R 장치의 동작과정은 다음과 같이 수행된다.
포토레지스트(111)가 도포된 기판(110)을 E/R 챔버(122)의 지지판(121) 상면에 정확하게 로딩시키고, 스캔암(112)의 함입부에 기판(110)을 끼운 뒤, 상기 포토센서(118)로서 위치를 검출한다.
이 때, 포토센서(118)가 구비된 스캔암(112)을 구동모터(119)의 구동력을 통해 안팎으로 이동시켜 정확한 위치를 출력해낸다. 이와같이, E/R 사이즈의 결정이 자동으로 이루어지므로 E/R 사이즈가 균일해지고, 고정볼트를 풀고 조여주는 과정이 없으므로 용이하게 위치를 제어할 수 있다.
이후, 스캔암(112)은 LM 가이드(115)의 직선 이동에 따라 기판 가장자리를 따라 스캔하면서 포토 레지스트를 제거한다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
상기와 같은 본 발명에 의한 액정표시소자의 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, E/R 스캔암에 포토센서를 부착함으로써 E/R 사이즈를 자동으로 튜닝할 수 있고 또한, 기존보다 E/R 사이즈를 정확하게 제어할 수 있다.
둘째, 스캔암의 기계적 틀어짐을 구동모터를 구동하여 볼 스크류를 이동시킴으로써 보완할 수 있다.
셋째, 포토센서에 의해 E/R 사이즈를 변경하므로 공정 중에라도 사이즈 변경이 가능하고 또한, 사이즈 변경 자체가 용이해져 생산능률이 향상된다.
넷째, 수동으로 스캔암을 고정시킴으로써 주기적으로 기계적 변동을 점검하여야 했던 종래와 달리 점검에 의한 불편이 없어지고, 그로인해 장비 가동율이 향상된다.

Claims (6)

  1. 포토레지스트가 도포된 기판이 탑재되는 지지판;
    상기 기판의 가장자리를 스캔하여 가장자리의 포토레지스트를 제거하는 스캔암;
    상기 스캔암의 끝단부에 부착되어 기판의 가장자리의 위치를 인식하는 포토센서;
    상기 스캔암이 기판 가장자리를 따라 스캔되도록 이동시켜주는 LM 가이드;
    상기 스캔암에 연결되어 스캔을 위한 전력을 공급해주는 케이블 체인을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 에지 리무버 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 스캔암을 기판의 가장자리 안팎으로 이동하게 하는 구동모터와, 상기 스캔암과 구동모터를 연결시켜주는 볼 스크류가 더 구비된 것을 특징으로 하는 에지 리무버 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 포토센서는 검출된 위치를 제어할 수 있는 제어부와 연결된 것을 특징으로 하는 에지 리무버 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 스캔암은 상기 기판의 각 에지에 하나씩 배치되는 것을 특징으로 하는 에지 리무버 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 액정표시소자용 기판인 것을 특징으로 하는 에지 리무버 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 스캔암은 스캔암 가이드와 스캔암 받침부로 이루어져, 상기 스캔암 가이드 내측면에 블레이드가 구비된 것을 특징으로 하는 에지 리무버 장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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