KR200195102Y1

KR200195102Y1 - 반도체 노광장비의 기판위치보정장치

Info

Publication number: KR200195102Y1
Application number: KR2019970039471U
Authority: KR
Inventors: 김윤현
Original assignee: 김영환; 현대반도체주식회사
Priority date: 1997-12-22
Filing date: 1997-12-22
Publication date: 2000-12-01
Also published as: KR19990026917U

Abstract

본 고안에 의한 반도체 노광장비의 기판위치보정장치는 실리콘기판 장착판의 상면을 투명플라스틱재로 형성하고, 상기 실리콘기판 장착판의 하부에 광경로를 형성하여 상기 투명플라스틱재를 통해 빛이 발산되도록 하며 상기 광경로의 단부에 광원을 설치하고, 상기 노광렌즈의 일측에 상기 투명플라스틱재를 통해 발산되는 빛을 감지하여 실린콘기판의 위치를 검출하는 검출카메라를 장착하므로써, 실리콘 기판 장착판에 실린콘기판이 놓여졌을 때, 실리콘기판이 장착판의 정중앙에 놓여지지 않아도 명암차에 의한 위치검출이 이루어져 보정을 해주게 되므로써, 항상 기판의 정중앙에 반도체 형상이 구현되도록 하였다.

Description

반도체 노광장비의 기판위치보정장치

본 고안은 반도체 노광장비의 기판위치보정장치에 관한 것으로, 특히 실리콘 기판 장착판에 실린콘기판이 놓여졌을 때, 실리콘기판이 장착판의 정중앙에 놓여지지 않아도 명암차에 의한 위치검출이 이루어져 보정을 해주게 되므로써, 항상 기판의 정중앙에 반도체 형상이 구현되도록 한 반도체 노광장비의 기판위치보정장치에 관한 것이다.

종래의 기술에 의한 반도체 노광장비는 제1도에 도시한 바와 같이, 실리콘기판이동로봇(7)과, 상기 실리콘기판이동로봇(7)에 의해 옮겨지는 실리콘기판(8)과, 상기 실리콘기판이동로봇(7)에 의해 이동되어진 실리콘기판(8)의 장착되어 지는 실리콘기판 장착판(3)과, 상기 실리콘기판 장착판(3)의 하부를 지지하는 장착판 지지대(2)와, 상기 장착판 지지대(2)의 후면과 측면에 설치되는 레이져 반사거울(4)과, 상기 레이져 반사거울(4)을 향해 레이져를 발사하는 레이져 간섭계(5)와, 상기 레이져 반사거울(4)에 반사되어진 레이져 신호를 레이져 간섭계(5)를 통해 인식하게 되는 위치감지계(6)와, 상기 실리콘기판 장착판(3)의 상부에 설치되는 노광렌즈(1)로 구성 된다.

이와 같이 구성된 종래의 기술에 의한 반도체 노광장비의 기판위치보정장치의 작용은 다음과 같다.

노광을 하기 위해 실리콘기판이동로봇(7)이 실리콘기판(8)을 세라믹으로 만든 장착판(3)에 올려놓게 된다. 그리고, 세 개의 레이져 간섭계(5)가 레이져를 이용해 레이져 반사거울(4)에서 반사되어진 레이져를 위치감지계(6)에 보내어 장착판 지지대(2)의 위치를 파악하여 장착판 지지대(2)의 위치를 보정한 후 노광을 실시하게 된다.

그러나, 이러한 종래의 기술에서는 실리콘 기판(8)이 실리콘기판 장착판(3)에 놓여졌을 때 실리콘기판 장착판(3)의 정중앙에 놓여졌는지에 대해 검사할 수 있는 방법이 없어, 실리콘기판(8)이 실리콘기판 장착판(3)에 삐뚤게 놓여진 경우 반도체 형상이 실리콘기판(8)위에 틀어져 구현되는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안의 목적은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출한 것으로, 실리콘기판 장착판에 실린콘기판이 놓여졌을 때, 실리콘기판이 장착판의 정중앙에 놓여지지 않아도 명암차에 의한 위치검출이 이루어져 보정을 해주게 되므로써, 항상 기판의 정중앙에 반도체 형상이 구현되도록 한 반도체 노광장비의 기판위치보정장치를 제공함에 있다.

제1도는 종래의 기술에 의한 반도체 노광장비의 기판위치보정장치를 개략적으로 나타내는 사시도.

제2도는 종래의 기술에 의한 실리콘기판 장착판을 나타내는 확대 단면도.

제3도는 본 고안에 의한 반도체 노광장비의 기판위치보정장치를 개략적으로 나타내는 사시도.

제4도는 본 고안에 의한 실리콘기판 장착판을 나타내는 확대 단면도.

제5도는 본 고안에 의한 실리콘기판 장착판 및 그의 상부에 장착되는 실리콘기판을 나타내는 평면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 노광렌즈 2 : 장착판지지대

3 : 실리콘기판 장착판 4 : 반사거울

5 : 레이져 간섭계 7 : 실리콘기판 이동로봇

8 : 실리콘기판 21 : 투명플라스틱재

22 : 광경로 23 : 전원

24 : 검출카메라

이러한, 본 고안의 목적은 실리콘 기판 이동로봇에 의해 실리콘기판이 장착되는 실리콘기판 장착판과, 상기 실리콘기판 장착판을 지지하는 장착판지지대와, 상기 장착판 지지대의 둘레에 설치한 레이져 반사거울을 통해 반사되어진 레이져를 이용해 장착판 지지대의 위치를 보정하는 레이져간섭계와, 상기 실리콘기판 장착판의 상부에 설치되는 노광렌즈를 포함하여 구성된 반도체 노광장비에 있어서, 상기 실리콘 기판 장착판의 상면을 투명플라스틱재로 형성하고, 상기 실리콘기판 장착판의 하부에 광경로를 형성하여 상기 투명플라스틱재를 통해 빛이 발산되도록 하며, 상기 광경로의 단부에 광원을 설치하고, 상기 노광렌즈의 일측에 상기 투명플라스틱재를 통해 발산되는 빛을 감지하여 실린콘기판의 위치를 검출하는 검출카메라를 장착함으로써 달성된다.

이하, 본 고안에 의한 반도체 노광장비의 기판위치보정장치를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라서 설명한다.

제3도는 본 고안에 의한 반도체 노광장비의 기판위치보정장치를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 제4도는 본 고안에 의한 실리콘기판 장착판을 나타내는 확대 단면도이며, 제5도는 본 고안에 의한 실리콘기판 장착판 및 그의 상부에 장착되는 실리콘 기판을 나타내는 평면도를 각각 보인 것이다.

이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체 노광장비의 기판위치보정장치는 실리콘 기판 이동로봇(7)에 의해 실리콘기판(8)이 장착되는 실리콘기판 장착판(3)과, 상기 실리콘기판 장착판(3)을 지지하는 장착판지지대(2)와, 상기 장착판 지지대(2)의 둘레에 설치한 레이져 반사거울(4)을 통해 반사되어진 레이져를 이용해 장착판 지지대(2)의 위치를 보정하는 레이져간섭계(5)와, 상기 실린콘기판 장착판(3)의 상부에 설치되는 노광렌즈(1)를 포함하여 구성된 반도체 노광장비에 있어서, 상기 실리콘기판 장착판(3)의 상면을 투명플라스틱재(21)로 형성하고, 상기 실리콘기판 장착판(3)의 하부에 광경로(22)를 형성하여 상기 투명플라스틱재(21)를 통해 빛이 발산되도록 하며, 상기 광경로(22)의 단부에 광원(23)을 설치하고, 상기 노광렌즈(1)의 일측에 상기 투명플라스틱재(21)를 통해 발산되는 빛을 감지하여 실린콘기판(8)의 위치를 검출하는 검출카메라(24)를 장착한다.

이와 같이 구성되는 본 고안에 의한 반도체 노광장비의 기판위치보정장치의 작용효과를 설명 한다.

노광을 하기 위해 실리콘 이동로봇(7)이 실리콘기판(8)을 실리콘기판 장착판(3)에 올려놓게 된다. 이때 실리콘 기판(8)이 장착판(3)에 놓여지면, 실리콘기판 장착판(3) 밑으로 엘이디(LED)광원(23)이 광경로(22)를 따라 들어와서 실리콘기판 장착판(3) 밑에서 위로 빛을 발산하게 된다. 그러면 제5도와 같이, 실리콘기판(8)이 놓여져 있는 면적은 어두울 것이고, 여백의 실리콘기판 장착판(3) 면적은 밝게 보일 것이다. 이런 명암의 차를 노광렌즈(1) 외곽 옆면에 붙어있는 검출카메라(24)가 검출하여, 위치감지계(7)에 보내어 실리콘기판(8)이 실리콘기판 장착판(3)에 얼마만큼의 위치에 놓여져 있는지를 파악하게 된다. 그리고, 레이져를 이용한 레이져 간섭계(5)가 레이져 반사거울(4)에 레이져를 발사하고, 반사되어진 레이져를 위치감지계(6)에 보내게 되어, 장착판 지지대(2)의 위치를 보정하게 된다. 이때 실리콘기판(8)이 실리콘기판 장착판(3)에 놓여져 있는 위치를 상호 보완 보정하여, 정밀하게 보정한 후 노광을 실시하게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체 노광장비의 기판위치보정장치는 실리콘기판 장착판의 상면을 투명플라스틱재로 형성하고, 상기 실리콘기판 장착판의 하부에 광경로를 형성하여 상기 투명플라스틱재를 통해 빛이 발산되도록 하며, 상기 광경로의 단부에 광원을 설치하고, 상기 노광렌즈의 일측에 상기 투명플라스틱재를 통해 발산되는 빛을 감지하여 실린콘기판의 위치를 검출하는 검출카메라를 장착하므로써, 실리콘 기판 장착판에 실린콘기판이 놓여졌을 때, 실리콘기판이 장착판의 정중앙에 놓여지지 않아도 명암차에 의한 위치검출이 이루어져 보정을 해주게 되므로써, 항상 기판의 정중앙에 반도체 형상이 구현되도록 한 효과가 있다.

Claims

실리콘 기판 이동로봇에 의해 실리콘기판이 장착되는 실리콘기판 장착판과, 상기 실리콘기판 장착판을 지지하는 장착판지지대와, 상기 장착판 지지대의 둘레에 설치한 레이져 반사거울을 통해 반사되어진 레이져를 이용해 장착판 지지대의 위치를 보정하는 레이져간섭계와, 상기 실리콘기판 장착판의 상부에 설치되는 노광렌즈를 포함하여 구성된 반도체 노광장비에 있어서, 상기 실리콘기판 장착판의 상면을 투명플라스틱재로 형성하고, 상기 실리콘기판 장착판의 하부에 광경로를 형성하고 상기 광경로의 단부에 광원을 설치하여, 상기 광경로를 통해 투명플라스틱재로 빛이 발산되도록 하며, 상기 노광렌즈의 일측에 상기 투명플라스틱재를 통해 발산되는 빛을 감지하여 실린콘기판의 위치를 검출하는 검출카메라를 장착한 것을 특징으로 하는 반도체 노광장비의 기판위치보정장치.