KR20050065850A - 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치에 관한 것으로서, 카세트 맵핑 시스템에서 상하로 이동하는 웨이퍼카세트에 장착되는 복수의 웨이퍼를 감지하는 장치에 있어서, 웨이퍼카세트와 함께 이동하는 웨이퍼(W) 각각의 표면에 빛이 입사되도록 웨이퍼(W)의 이동경로에 일정 파장의 빛을 출력하는 발광소자(111)가 고정브라켓(112)에 의해 시스템의 본체에 고정되는 발광소자고정어셈블리(110)와, 발광소자(121)로부터 출력되어 웨이퍼(W) 표면으로부터 반사되는 빛을 수신받아 웨이퍼(W)의 감지신호를 출력하는 수광소자(121)가 상하 및 좌우 얼라인 조절부(122,123)가 구비되는 얼라인블럭(124)에 장착되어 상하 및 좌우 얼라인이 가능한 상태로 시스템의 본체에 설치되는 수광소자어셈블리(120)를 포함한다. 따라서, 본 발명은, 웨이퍼를 감지하기 위하여 얼라인이 필요한 구성부품의 수를 줄이며, 외부의 진동에도 얼라인된 상태를 유지하도록 함으로써 웨이퍼를 정확하게 감지하는 효과를 가지고 있다.
Description
본 발명은 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼를 감지하기 위하여 얼라인이 필요한 구성부품의 수를 줄이며, 외부의 진동에도 얼라인된 상태를 유지하는 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위하여 확산공정, 식각공정, 화학기상증착공정, 세정공정, 검사공정 등 다양한 단위공정을 실시하게 된다.
단위공정을 실시하는 장치에는 웨이퍼가 정렬상태로 단위공정을 실시하기 위한 스테이지로 안전하게 로딩되도록 웨이퍼카세트와 웨이퍼의 피치(pitch)를 분석하는 카세트 맵핑 시스템이 구비된다.
카세트 맵핑 시스템은 웨이퍼카세트와 웨이퍼의 피치(pitch) 분석을 위해 웨이퍼카세트내에 장착된 웨이퍼를 감지하는 웨이퍼 감지장치가 구비된다.
종래의 카세트 맵핑 시스템에 구비된 웨이퍼 감지장치를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치를 도시한 사시도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치는 상하로 이동하는 웨이퍼카세트(미도시)에 장착된 웨이퍼(W)를 감지하는 장치로서 일정한 파장의 빛을 출력하는 발광소자(11)가 구비되는 발광소자어셈블리(10)와, 발광소자(11)로부터 출력되는 빛을 웨이퍼카세트(미도시)와 함께 상하로 이동하는 웨이퍼(W)의 이동경로로 반사시키는 반사미러(21)가 구비되는 반사미러어셈블리(20)와, 반사미러(21)로부터 반사되어 웨이퍼(W) 표면으로 입사되어 다시 반사되는 빛을 수신받아 웨이퍼의 감지신호를 출력하는 수광소자어셈블리(30)를 포함한다.
발광소자어셈블리(10)는 일정한 파장의 빛을 출력하는 발광소자(11)가 상하 및 좌우 얼라인 조절부(12,13)가 구비되는 얼라인블럭(14)에 장착되어 상하 및 좌우 얼라인이 가능한 상태로 미도시된 시스템의 본체에 설치된다.
발광소자어셈블리(10)의 상하 및 좌우 얼라인 조절부(12,13) 각각은 스크루를 회전시킴으로써 얼라인블럭(14)에 장착된 발광소자(11)의 상하 및 좌우 위치를 얼라인한다.
반사미러어셈블리(20)는 상하로 이동하는 웨이퍼카세트(미도시)에 장착되어 웨이퍼카세트(미도시)와 함께 이동하는 웨이퍼(W) 각각의 표면에 발광소자(11)로부터 출력되는 빛이 입사되도록 발광소자(11)로부터 출력되는 빛을 웨이퍼(W)의 이송경로로 반사하는 반사미러(21)가 구비된다.
반사미러어셈블리(20)는 반사미러(21)를 상하, 좌우 및 전후 얼라인 조절부(22,23,24)가 구비되는 얼라인블럭(25)에 장착하여 상하, 좌우 및 전후 얼라인이 가능한 상태로 시스템의 본체(미도시)에 고정시킨다.
반사미러어셈블리(20)의 상하, 좌우 및 전후 얼라인 조절부(22,23,24) 각각은 스크루의 회전에 의해 얼라인블럭(25)에서 반사미러(21)의 상하, 좌우 및 전후 위치를 각각 얼라인하도록 한다.
수광소자어셈블리(30)는 반사미러어셈블리(20)로부터 반사되어 웨이퍼(W) 표면에 입사되어 다시 반사되는 빛을 수신받아 웨이퍼(W)의 감지신호를 맵핑 시스템의 제어부(미도시)로 출력하는 수광소자(31)가 상하 및 좌우 얼라인 조절부(32,33)가 구비되는 얼라인블럭(34)에 장착되어 시스템의 본체(미도시)에 설치된다.
수광소자어셈블리(30)의 상하 및 좌우 얼라인 조절부(32,33) 각각은 스크루의 회전에 의해 얼라인블럭(34)에서 수광소자(31)의 상하, 좌우 위치를 각각 얼라인하도록 한다.
그러나, 이와 같은 종래의 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치는 발광소자어셈블리(10)의 수광소자(11), 반사미러어셈블리(20)의 반사미러(21) 및 수광소자어셈블리(30)의 수광소자(31)는 스크루의 조절에 의해 상하, 좌우 또는 전후 위치가 얼라인되므로 작업자가 웨이퍼카세트를 카세트 플레이트에 올려 놓는 작업과 로봇 암의 구동으로 인한 하드웨어적인 진동에 의해 발광소자어셈블리(10)의 수광소자(11), 반사미러어셈블리(20)의 반사미러(21) 및 수광소자어셈블리(30)의 수광소자(31)의 얼라인 포인트(align point)가 틀어지는 현상이 자주 발생한다.
발광소자어셈블리(10)의 수광소자(11), 반사미러어셈블리(20)의 반사미러(21) 및 수광소자어셈블리(30)의 수광소자(31)의 얼라인 포인트가 틀어짐으로써 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치가 웨이퍼(W)를 제대로 감지하지 못함으로써 정렬되지 못한 웨이퍼(W)가 로봇 암에 의해 로딩됨으로써 웨이퍼(W)가 충돌로 인해 손상을 입거나 심지어는 떨어져서 파손되는 문제점을 가지고 있었다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼를 감지하기 위하여 얼라인이 필요한 구성부품의 수를 줄이며, 외부의 진동에도 얼라인된 상태를 유지하도록 함으로써 웨이퍼를 정확하게 감지하는 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 카세트 맵핑 시스템에서 상하로 이동하는 웨이퍼카세트에 장착되는 복수의 웨이퍼를 감지하는 장치에 있어서, 웨이퍼카세트와 함께 이동하는 웨이퍼 각각의 표면에 빛이 입사되도록 웨이퍼의 이동경로에 일정 파장의 빛을 출력하는 발광소자가 고정브라켓에 의해 시스템의 본체에 고정되는 발광소자고정어셈블리와, 발광소자로부터 출력되어 웨이퍼 표면으로부터 반사되는 빛을 수신받아 웨이퍼의 감지신호를 출력하는 수광소자가 상하 및 좌우 얼라인 조절부가 구비되는 얼라인블럭에 장착되어 상하 및 좌우 얼라인이 가능한 상태로 시스템의 본체에 설치되는 수광소자어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치를 도시한 사시도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치는 카세트 맵핑 시스템에서 상하로 이동하는 웨이퍼카세트에 장착되는 복수의 웨이퍼(W)를 감지하는 장치로서, 웨이퍼(W)의 이동경로에 일정 파장의 빛을 출력하는 발광소자(111)가 구비되는 발광소자고정어셈블리(110)와, 발광소자(111)로부터 출력되어 웨이퍼(W) 표면으로부터 반사되는 빛을 수신받아 웨이퍼의 감지신호를 출력하는 수광소자(121)가 구비되는 수광소자어셈블리(120)를 포함한다.
발광소자고정어셈블리(110)는 미도시된 카세트승강기에 의해 상하로 승강하는 웨이퍼카세트(미도시)에 장착되어 함께 이동하는 웨이퍼(W) 각각의 표면에 빛이 입사되도록 웨이퍼(W)의 이동경로에 일정 파장의 빛을 출력하는 발광소자(111)가 고정브라켓(112)에 의해 시스템의 본체(미도시)에 고정된다.
발광소자고정어셈블리(110)는 발광소자(111)의 몸체(111a)가 원형막대 형상을 가짐으로써 원통 형상을 가지는 고정브라켓(112)에 착탈 가능하게 억지 끼워짐으로써 항상 일정한 경로를 따라 빛이 출력되도록 함과 아울러 발광소자(111)의 유지보수 및 교체를 위해 고정브라켓(112)으로부터 용이하게 착탈시킬 수 있다.
수광소자어셈블리(120)는 발광소자(111)로부터 출력되어 웨이퍼(W) 표면으로부터 반사되는 빛을 수신받아 웨이퍼(W)의 감지신호를 출력하는 수광소자(121)가 상하 및 좌우 얼라인 조절부(122,123)가 구비되는 얼라인블럭(124)에 장착되어 상하 및 좌우 얼라인이 가능한 상태로 시스템의 본체(미도시)에 설치된다.
수광소자어셈블리(120)의 상하 및 좌우 얼라인 조절부(122,123) 각각은 스크루의 회전에 의해 수광소자(121)를 얼라인블럭(124)내에서 상하 및 좌우 위치를 각각 조정한다.
한편, 발광소자(111)는 발광다이오드(LED)를, 수광소자(121)는 포토다이오드를 사용함이 바람직하다.
이와 같은 구조로 이루어진 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치의 동작은 다음과 같이 이루어진다.
발광소자고정어셈블리(110)의 고정브라켓(112)에 발광소자(111)의 몸체(111a)를 끼운다. 이 때, 발광소자(111)는 출력되는 빛이 웨이퍼카세트(미도시)와 함께 상하로 이송되는 웨이퍼(W)의 이송경로를 향하게 됨으로써 웨이퍼(W) 각각의 표면에 빛을 입사시킨다.
한편, 발광소자고정어셈블리(110)의 발광소자(111)가 고정브라켓(112)에 의해 시스템의 본체(미도시)에 고정됨으로써 외부 진동에 의해 위치가 변동될 우려가 없기 때문에 고정시 상태를 항상 유지하면서 웨이퍼(W) 각각의 표면마다 정확하게 빛을 출력하다.
또한, 발광소자(111)로부터 출력되는 빛을 웨이퍼(W) 표면에 입사하기 위한 반사미러(21: 도 1에 도시) 등을 사용하지 않게 됨으로써 얼라인 상태를 유지해야 하는 구성부품의 수를 줄일 수 있다.
발광소자고정어셈블리(110)의 발광소자(111)로부터 출력되어 웨이퍼(W)에 반사되는 빛은 수광소자어셈블리(120)의 수광소자(121)에 수신됨으로써 수광소자(121)는 웨이퍼의 감지신호를 시스템의 제어부(미도시)로 출력하여 카세트 맵핑 시스템이 웨이퍼카세트와 웨이퍼의 피치(pitch)를 분석하도록 한다.
발광소자고정어셈블리(110)의 발광소자(111)는 수광소자(121)로부터 출력되어 웨이퍼(W) 표면에 반사되는 빛을 제대로 수신받도록 상하 및 좌우 얼라인 조절부(122,123) 각각의 스크루(미도시)를 회전시킴으로써 수광소자(121)의 상하 및 좌우 위치를 조정한다.
이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 웨이퍼를 감지하기 위하여 얼라인이 필요한 구성부품의 수를 줄이며, 외부의 진동에도 얼라인된 상태를 유지하도록 함으로써 웨이퍼를 정확하게 감지하도록 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치는 웨이퍼를 감지하기 위하여 얼라인이 필요한 구성부품의 수를 줄이며, 외부의 진동에도 얼라인된 상태를 유지하도록 함으로써 웨이퍼를 정확하게 감지하는 효과를 가지고 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
도 1은 종래의 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치를 도시한 사시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치를 도시한 사시도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 발광소자고정어셈블리 111 : 발광소자
112 : 고정브라켓 120 : 수광소자어셈블리
121 : 수광소자 122 : 상하 얼라인 조절부
123 : 좌우 얼라인 조절부 124 : 얼라인블럭
Claims (2)
- 카세트 맵핑 시스템에서 상하로 이동하는 웨이퍼카세트에 장착되는 복수의 웨이퍼를 감지하는 장치에 있어서,상기 웨이퍼카세트와 함께 이동하는 웨이퍼 각각의 표면에 빛이 입사되도록 상기 웨이퍼의 이동경로에 일정 파장의 빛을 출력하는 발광소자가 고정브라켓에 의해 상기 시스템의 본체에 고정되는 발광소자고정어셈블리와,상기 발광소자로부터 출력되어 상기 웨이퍼 표면으로부터 반사되는 빛을 수신받아 웨이퍼의 감지신호를 출력하는 수광소자가 상하 및 좌우 얼라인 조절부가 구비되는 얼라인블럭에 장착되어 상하 및 좌우 얼라인이 가능한 상태로 상기 시스템의 본체에 설치되는 수광소자어셈블리를 포함하는 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 발광소자고정어셈블리는,상기 발광소자의 몸체가 원형막대 형상을 가짐으로써 원통 형상을 가지는 상기 고정브라켓에 착탈 가능하게 억지 끼워지는 것을 특징으로 하는 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030096744A KR20050065850A (ko) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030096744A KR20050065850A (ko) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치 |
Publications (1)
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|---|---|
| KR20050065850A true KR20050065850A (ko) | 2005-06-30 |
Family
ID=37257002
Family Applications (1)
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| KR1020030096744A KR20050065850A (ko) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 카세트 맵핑 시스템의 웨이퍼 감지장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20050065850A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100688568B1 (ko) * | 2005-08-29 | 2007-03-02 | 삼성전자주식회사 | 라미네이션 장비의 웨이퍼 맵핑 지그 |
-
2003
- 2003-12-24 KR KR1020030096744A patent/KR20050065850A/ko not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100688568B1 (ko) * | 2005-08-29 | 2007-03-02 | 삼성전자주식회사 | 라미네이션 장비의 웨이퍼 맵핑 지그 |
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