KR20030049847A - 광원의 빔 연결장치가 개선된 노광설비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 광원의 빔 연결장치가 개선된 노광설비에 관한 것으로서, 레이저가스가 레이저챔버내에 봉입되고 상기 레이저챔버내에서 방전을 행하여 레이저가스를 여기시켜 레이저 발진광을 출력시키는 엑시머레이저장치와; 상기 엑시머레이저장치를 통해 출력되는 광을 입력받아 웨이퍼 상에 레티클을 통한 소정의 패턴을 형성시키는 스테퍼유닛본체 및; 상기 엑시머레이저장치를 통해 출력되는 광의 광 축상에 설치되어 상기 엑시머레이저장치를 통해 출력되는 광의 경로를 조절하는 광경로조절수단을 포함하며, 상기 광경로조절수단은 상기 엑시머레이저장치의 출사광축상에 설치되는 프리즘 및 상기 프리즘을 소정의 각도로 회전시키는 모터로 구성된다.

상술한 바와 같이 구성함에 따라 상기 엑시머레이저장치로부터 출사되는 광을 여러 경로로 변경시킴에 따라 상기 엑시머레이저장치로부터 출사되는 광이 스테퍼유닛본체로 입되는 각도가 항상 직각으로 되어야만 하는 종래의 문제점을 해소시켜 엑시머레이저장치의 고정위치를 보다 자유롭게 할 수 있는 이점이 있다.

Description

광원의 빔 연결장치가 개선된 노광설비{LIGHT SOURCE HAVING IMPROVED LIGHT BEAM CONNECTING APPARATUS FOR EXPOSURE EQUIPMENT}

본 발명은 광원으로부터 조사되는 광을 스테퍼로 연결시키는 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 상기 광원과 스테퍼의 사이에 상기 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 조절할 수 있는 광경로 조절수단을 마련하여 상기 광원 및 스테퍼의 배치 상태를 자유로이 할 수 있도록 하는 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 조절할 수 있도록 된 노광설비에 관한 것이다.

종래부터 광 리소그래피 기술에 있어서는 웨이퍼상에 미세한 회로 패턴을 전사하여 집적회로로 이루어지는 반도체 장치를 제조하기 위한 노광장치가 널리 이용되고 있다.

상술한 노광장치는 도 1에 도시된 바와 같이 크게 광을 조사하는 광원계(10)와, 상기 광원계로부터 출사된 광을 조명하는 조명광학계(31)와, 상기 조명광학계(31)를 통해 조명되는 광을 투사하는 투영광학계(33)로 구성되어 레티클(35)에 형성된 패턴을 노광에 의해 웨이퍼의 상면에 형성시키도록 구성된다.

상기 조명광학계(31), 투영광학계(33), 레티클(35) 및 웨이퍼(37)가 위치하는 부분을 설명의 용이성을 위해 스테퍼유닛본체(30)라 칭한다.

상기 광원계(10)는 최근, 집적회로의 고집적화 및 고 기능화에 따라 보다 선폭이 좁은 미세한 회로패턴을 묘획하기 위해 깊은 초점심도 고해상도의 회로 패턴을 웨이퍼 면상에 결상시키는 것이 요구되어 단파장화가 진행되고 있다. 광원계(10)는 종래의 G라인(파장 436㎚)이나 I라인(파장 365㎚)으로부터 진행되어 KrF엑시머레이저(파장 248㎚)나 ArF 엑시머레이저(193㎚)가 이용되도록 하고 있다.

상술한 엑시머레이저장치는 상기 스테퍼유닛본체(30)의 옆 또는 FAB(FABRICATION) 지하에 유치하여 사용하고 있다.

그러나, 종래에는 상기 광원계(10 : 이하 엑시머레이저장치라 칭함)를 통해 투사되어 스테퍼유닛본체(30)로 입사되는 광이 상기 엑시머레이저장치(10)로부터출사되는 광축에 대하여 항상 직각으로 입사되도록 구성됨에 따라 엑시머레이저장치(10)를 고정하는 위치에 제약이 따른다는 문제점이 있다.

현재 FAB(FABRICATION)내의 건물은 외부 진동시 설비에 전달되지 못하도록 많은 기둥을 세우는 현실에서는 그 제약성이 더욱 크게 작용한다는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출 된 것으로서, 본 발명의 목적은 엑시머레이저장치 및 스테퍼유닛 사이에 상기 광원으로부터 출사되는 광의 경로를 다르게 할 수 있는 광경로조절이 가능한 반사수단을 설치하여 상기 엑시머레이저장치의 고정위치를 자유롭게 변경시킬 수 있도록 하는 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 조절하는 장치가 마련된 노광설비를 제공하는 데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 레이저가스가 레이저챔버내에 봉입되고 상기 레이저챔버내에서 방전을 행하여 레이저가스를 여기시켜 레이저 발진광을 출력시키는 엑시머레이저장치와; 상기 엑시머레이저장치를 통해 출력되는 광을 입력받아 웨이퍼 상에 레티클을 통한 소정의 패턴을 형성시키는 스테퍼유닛본체 및; 상기 엑시머레이저장치를 통해 출력되는 광의 광 축상에 설치되어 상기 엑시머레이저장치를 통해 출력되는 광의 경로를 조절하는 광경로조절수단을 포함한다.

상기 광경로조절수단은 상기 엑시머레이저장치의 출사광축상에 설치되는 프리즘 및 상기 프리즘을 소정의 각도로 회전시키는 모터로 구성된다.

도 1은 일반적인 노광장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 조절할 수 있도록 한 구성을 도시한 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

50 : 엑시머레이저장치

60 : 스테퍼유닛본체

70 : 광경로조절수단

71 : 프리즘

73 : 모터

이하 첨부된 도면 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 의한 구성 및 작용에 대해서 더욱 상세히 설명한다.

상기 도면에 도시된 바와 같이 광원인 엑시머레이저장치(50)와, 상기 엑시머레이저장치(50)를 통해 출사되는 광을 조명하여 레티클에 형성된 패턴을 축소투영함으로써 웨이퍼(미도시)상에 소정의 패턴을 형성시키는 스테퍼유닛본체(60)와, 엑시머레이저장치(60)의 출력광축상에 설치되어 엑시머레이저장치(50)를 통해 출력되는 광의 경로를 조절하는 광경로조절수단(70)으로 구성된다.

상술한 엑시머레이저장치(50)는 소정의 레이저가스가 봉입되고, 그 상측에 마련된 전극(51)에 인가되는 고압의 전압에 의해 내부에서 방전을 행하여 레이저가스를 여기시켜 레이저발진광을 출력시키는 레이저챔버(52)와, 상기 레이저챔버(52)의 내부에서 발진된 레이저광의 일부분만을 투과 출력하는 부분투과미러(53)와, 레이저발진광을 협대역화(狹大域化)시키는 협대역화유니트(54)와, 상기 부분투과미러(54)를 통해 출사되는 광을 입사시켜 파장 및 출력상태를 모니터하는 광모니터(55)와, 상기 광모니터(55)에 의해 검출된 결과에 따라서, 레이저가스의 조성 또는 전암을 제어하는 콘트롤러(56)로 구성된다.

상기 광경로조절수단(70)은 상기 엑시머레이저장치(50)의 출사광축 상에 설치되는 프리즘(71)과, 상기 프리즘(71)을 소정의 각도로 회전시켜 광을 소정의 각도로 절환시키는 모터(73)로 구성된다.

상기 프리즘(71)을 통과하는 광축상에 반사미러(81)를 적어도 한 개 설치하여 스테퍼유닛본체(60)로 입사되는 각도를 좀더 다양하게 할 수 있도록 함이 바람직할 것이다.

상술한 바와 같이 본 발명은 소정의 각도로 회전이 가능한 프리즘을 설치하여 상기 엑시머레이저장치로부터 출사되는 광을 여러 경로로 변경시킴에 따라 상기 엑시머레이저장치로부터 출사되는 광이 스테퍼유닛본체로 입되는 각도가 항상 직각으로 되어야만 하는 종래의 문제점을 해소시켜 엑시머레이저장치의 고정위치를 보다 자유롭게 할 수 있는 이점이 있다.

이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (2)

1. 레이저가스가 레이저챔버내에 봉입되고 상기 레이저챔버내에서 방전을 행하여 레이저가스를 여기시켜 레이저 발진광을 출력시키는 엑시머레이저장치;

   상기 엑시머레이저장치를 통해 출력되는 광을 입력받아 웨이퍼 상에 레티클을 통한 소정의 패턴을 형성시키는 스테퍼유닛본체 및;

   상기 엑시머레이저장치를 통해 출력되는 광의 광 축상에 설치되어 상기 엑시머레이저장치를 통해 출력되는 광의 경로를 조절하는 광경로조절수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 광원의 빔 연결장치가 개선된 노광설비.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 광경로조절수단은 상기 엑시머레이저장치의 출사광축상에 설치되는 프리즘 및 상기 프리즘을 소정의 각도로 회전시키는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 광원의 빔 연결장치가 개선된 노광설비.