KR20030049068A

KR20030049068A - 항온수 순환감지장치

Info

Publication number: KR20030049068A
Application number: KR1020010079162A
Authority: KR
Inventors: 류형식
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2001-12-14
Filing date: 2001-12-14
Publication date: 2003-06-25

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비에서 공정진행 시 온도를 일정하게 유지하도록 순환하는 항온수의 순환상태를 감지하는 항온수 순환감지장치에 관한 것이다.

이를 위한 본 발명의 항온수 순환 감지장치는, 현상액이 공급되는 공급관과, 항온수가 흐르는 순환관을 연결하여 상기 공급관을 통과하는 현상액을 상기 순환관을 통해 공급되는 항온수에 의해 열교환 되도록 하여 상기 현상액의 일정한 온도 유지가 가능하도록 하는 워터재킷과, 상기 워터 재킷으로부터 순환관을 통해 항온수를 공급하도록 펌핑하는 순환펌프와, 상기 항온수가 워터재킷으로 공급되는 순환관에 설치되어 항온수의 순환상태를 감지하여 상기 순환펌프의 펌핑동작을 정지시키는 순환감지센서를 구비한다.

Description

항온수 순환감지장치{DEVICE FOR SENSING CIRCULATION STATE OF CONSTANT TEMPERATURE WATER}

본 발명은 반도체 제조설비의 항온수 순환장치에 관한 것으로, 특히 반도체 제조설비에서 공정진행 시 온도를 일정하게 유지하도록 순환하는 항온수의 순환상태를 감지하는 항온수 순환감지장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체를 제조하는 과정에서 필수적으로 산화 및 확산과정을 거친 웨이퍼는 박막을 형성하기 위해서 포토 레지스터(Photoresister)로 패터닝(patterning)되어진 후 마스크(mask)의 패턴과 정렬한 상태로 자외선(ultraviolet), 레이져 및 전자빔을 이용한 노광이 이루어진다. 노광 후 웨이퍼의 포토 레지스터는 부분적으로 현상액에 의해 씻겨져 소망하는 패턴을 형성하는 것이다.

여기서, 포토 레지스터를 현상하는 방식은 임멀션, 플루드 스프레이 및 스프레이 푸들 방식으로 나눌 수 있는데, 네거티브 레지스터인 경우에는 통상적으로 스프레이 방식을 취하여 현상찌거기가 보다 확실하게 제거될 수 있도록 하고, 포지티브 레지스터인 경우에는 세가지 방식이 골고루 사용되고 있다. 이렇게 현상공정이 이루어지기 위해서는 포토 레지스터가 노광된 부분이나 그렇치 않은 부분과 반응하는 현상액을 웨이퍼로 분사하거나 담궈서 에칭작업을 행해야 한다. 이 때, 공급되는 현상액은 항상 일정한 온도를 유지해야 함으로 도 1에 도시한 바와 같은 항온수 순환장치를 이용한다. 즉, 현상액(감광제와 순수의 혼합액)은 공급관(2)을 통해 현상장치(4)의 내부로 공급되어지고, 공급관(2)은 워터 재킷(water jacket;6)을 통과하게 배열되는데, 이 워터 재킷(6)에는 항온수가 흐르는 순환관(8)을 연결하여 공급관(2)을 통과하는 현상액과 열교환 되도록 하여 현상액의 일정한 온도 유지가 가능하도록 하는 것이다.

그리고, 순환관(8)의 일부에 항온수를 계속해서 보충해 줄 수 있는 항온수 보조탱크(10)를 연결하며, 워터 재킷(6)과 항온수 보조탱크(10)를 연결하는순환관(8)의 중간에 항온수 공급수단으로써 순환펌프(12)를 연결한다.

이에 따라, 항온수는 순환펌프(12)에 의해 순환관(8)과 워터 재킷(6) 및 항온수 보조탱크(10)를 계속해서 순환하면서 워터 재킷(6)에 배열된 공급관(2)을 통과하는 현상액이 일정한 온도를 유지하도록 한다.

이렇게 항온수를 항상 일정한 온도로 유지하기 위해서는 순환펌프(12)가 멈추지 않고 계속해서 구동되어야 하나, 순환관(8) 등이 막히는 경우나 항온수가 부족하여 순환하지 않는 경우에 순환펌프(12)는 계속해서 동작하게 되어 순환펌프(12)가 파손되거나 수명이 단축되는 문제가 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 반도체 제조설비에서 항온수가 순환되지 않는 상태를 감지하여 순환펌프의 동작을 정지시켜 순환펌프의 수명 연장 및 파손을 방지할 수 있는 항온수 순환 감지장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래의 반도체 제조설비의 항온수 순환감지장치의 구성도

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 제조설비의 항온수 순환감지장치의 구성도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

2, 21: 공급관 4, 24: 현상장치

6, 26: 워터재킷 8, 28a, 28b, 28c:순환관

10, 20: 보조탱크 12, 22: 순환펌프

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 항온수 순환 감지장치는, 현상액이 공급되는 공급관과, 항온수가 흐르는 순환관을 연결하여 상기 공급관을 통과하는 현상액을 상기 순환관을 통해 공급되는 항온수에 의해 열교환 되도록 하여 상기 현상액의 일정한 온도 유지가 가능하도록 하는 워터재킷과, 상기 워터 재킷으로부터 순환관을 통해 항온수를 공급하도록 펌핑하는 순환펌프와, 상기 항온수가 워터재킷으로 공급되는 순환관에 설치되어 항온수의 순환상태를 감지하는 순환감지센서와, 상기 순환감지센서로부터 항온수가 순환하지 않는 것으로 감지될 시 상기 순환펌프의 펌핑동작을 정지하도록 제어하는 콘트롤러를 구비함을 특징으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 항온수 순환 감지장치는, 현상액이 공급되는 공급관과, 항온수가 흐르는 순환관을 연결하여 상기 공급관을 통과하는 현상액을 상기 순환관을 통해 공급되는 항온수에 의해 열교환 되도록 하여 상기 현상액의 일정한 온도 유지가 가능하도록 하는 워터재킷과, 상기 워터 재킷으로부터 순환관을 통해 항온수를 공급하도록 펌핑하는 순환펌프와, 상기 항온수가 워터재킷으로 공급되는 순환관에 설치되어 항온수의 순환상태를 감지하여 상기 순환펌프의 펌핑동작을 정지시키기 위한 순환감지센서를 구비함을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 제조설비의 항온수 순환감지장치의 구성도이다.

현상액(감광제와 순수의 혼합액)이 공급되는 공급관(21)과,

항온수가 흐르는 순환관(28)을 연결하여 공급관(21)을 통과하는 현상액과 열교환 되도록 하여 현상액의 일정한 온도 유지가 가능하도록 하는 워터재킷(26)과,

상기 순환관(28)의 일부에 항온수를 계속해서 보충해 줄 수 있는 항온수 보조탱크(10)와,

상기 워터 재킷(26)과 항온수 보조탱크(20)를 연결하는 순환관(28)의 중간에 항온수 공급수단으로써 순환펌프(22)와,

상기 항온수가 워터재킷(26)으로 공급되는 순환관(28)에 설치되어 항온수의 순환상태를 감지하는 순환감지센서(30)와,

상기 순환감지센서(30)로부터 항온수가 순환하지 않는 것으로 감지될 시 상기 순환펌프(22)의 동작을 정지하도록 제어하는 콘트롤러(32)와,

상기 공급관(21)을 통해 공급되는 현상액으로 현상을 진행하는 현상장치(24)로 구성되어 있다.

상술한 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시 예의 동작을 상세히 설명한다.

현상액(감광제와 순수의 혼합액)은 공급관(21)을 통해 현상장치(24)의 내부로 공급되어진다. 이때 공급관(21)은 워터 재킷(water jacket)(26)을 통과하여 현상장치(24)와 연결되어 있다. 워터재킷(26)은 항온수가 흐르는 순환관(28a)이 연결되어 항온수가 공급되어 담수되며, 공급관(21)을 통과하는 현상액과 열교환 되도록 하여 현상액의 일정한 온도 유지가 가능하도록 하도록 하고, 오버플로루되는 항온수를 순환관(28b)을 통해 공급하여 보조탱크(20)로 흐르도록 한다. 이렇게 순환관(28b)을 통해 항온수 보조탱크(20)로 담수가 되면 순환펌프(22)는 항온수 보조탱크(20)로부터 순환관(28c)을 통해 공급되는 항온수를 펌핑하여 순환관(28b)을통해 워터재킷(26)으로 공급한다. 이와 같이, 항온수는 순환펌프(22)에 의해 순환관(28a)과 워터 재킷(6)과 순환관(28b) 및 항온수 보조탱크(20)를 계속해서 순환하면서 워터재킷(26)에 배열된 공급관(21)을 통과하는 현상액이 일정한 온도를 유지하도록 하여 현상장치(24)로 공급한다. 이 때 순환감지센서(30)는 공급관(28a)으로 순환되는 항온수의 순환상태를 감지한다. 상기 순환감지센서(30)에서 항온수가 순환되지 않는 것으로 감지되면 콘트롤러(32)는 순환펌프(22)의 펌핑동작을 중지하도록 제어한다.

본 발명의 일 실시 예에서는 순환감지센서(30)에서 항온수가 순환되지 않는 것으로 감지되면 콘트롤러(32)는 순환펌프(22)의 전원을 차단하여 펌핑동작을 중지하도록 제어하고 있으나, 순환감지센서(30)에서 항온수가 순환되지 않는 것으로 감지되면 순환감지센서(30)에서 순환펌프(22)의 전원을 차단하여 펌핑동작을 중지하는 것도 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 실시 가능하다.

또한 본 발명의 일 실시 예에서는 순환감지센서(30)가 순환펌프(22)와 워터재킷(26) 간에 연결된 순환관(28b)에 설치되어 있으나, 보조탱크(20)와 순환펌프(22) 사이에 연결된 순환관(28c)에 순환감지센서(30)를 설치하여 항온수의 순환상태를 감지하는 것도 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 실시 가능하다.

상술한 바와 같이 본 발명은 항온수 순환장치에서 공급관을 통해 순환되는 항온수의 순환상태를 체크하여 항온수의 순환이 이루어지지 않을 경우 순환펌프의동작을 정지시켜 순환펌프의 수명을 연장시킬 수 있고, 또한 순환펌프의 파손을 방지할 수 있는 이점이 있다.

Claims

항온수 순환 감지장치에 있어서,

현상액이 공급되는 공급관과,

항온수가 흐르는 순환관을 연결하여 상기 공급관을 통과하는 현상액을 상기 순환관을 통해 공급되는 항온수에 의해 열교환 되도록 하여 상기 현상액의 일정한 온도 유지가 가능하도록 하는 워터재킷과,

상기 워터 재킷으로부터 순환관을 통해 항온수를 공급하도록 펌핑하는 순환펌프와,

상기 항온수가 공급되는 순환관에 설치되어 항온수의 순환상태를 감지하는 순환감지센서와,

상기 순환감지센서로부터 항온수가 순환하지 않는 것으로 감지될 시 상기 순환펌프의 펌핑동작을 정지하도록 제어하는 콘트롤러를 구비함을 특징으로 하는 항온수 순환 감지장치.
제1항에 있어서, 상기 순환감지센서는,

상기 순환펌프와 워터재키 사이에 연결된 순환관에 설치함을 특징으로 하는 항온수 순환 감지장치.
제1항에 있어서, 상기 순환감지센서는,

상기 보조탱크와 순환펌프 사이에 연결된 순환관에 설치함을 특징으로 하는 항온수 순환 감지장치.
제1항에 있어서,

상기 콘트롤러는 상기 순환펌프의 전원을 차단하여 펌핑동작을 정지함을 특징으로 하는 항온수 순환 감지장치.
항온수 순환 감지장치에 있어서,

현상액이 공급되는 공급관과,

항온수가 흐르는 순환관을 연결하여 상기 공급관을 통과하는 현상액을 상기 순환관을 통해 공급되는 항온수에 의해 열교환 되도록 하여 상기 현상액의 일정한 온도 유지가 가능하도록 하는 워터재킷과,

상기 워터 재킷으로부터 순환관을 통해 항온수를 공급하도록 펌핑하는 순환펌프와,

상기 항온수가 공급되는 순환관에 설치되어 항온수의 순환상태를 감지하여 상기 순환펌프의 펌핑동작을 정지시키는 순환감지센서를 구비함을 특징으로 하는 항온수 순환 감지장치.
제5항에 있어서,

상기 순환감지센서는 상기 순환펌프의 전원을 차단하여 펌핑동작을 정지함을 특징으로 하는 항온수 순환 감지장치.
제5항에 있어서, 상기 순환감지센서는,

상기 순환펌프와 워터재키 사이에 연결된 순환관에 설치함을 특징으로 하는 항온수 순환 감지장치.
제5항에 있어서, 상기 순환감지센서는,

상기 보조탱크와 순환펌프 사이에 연결된 순환관에 설치함을 특징으로 하는 항온수 순환 감지장치.