KR100688773B1 - 항온수 순환장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 항온수 순환장치에 관한 것이다.

본 발명의 항온수 순환장치는, 항온수를 펌프 구동으로 순환시키는 FTC(Fluid Temperature Controller)와, FTC의 후단에 배출관과 인입관으로 연결 설치되고 공급되는 현상액이 순환되도록 내부에 순환관을 포함하며 순환관내 순환되는 현상액이 항온수와 열교환되어 일정한 온도 유지가 가능하도록 하는 워터재킷(water jacket)과, 워터재킷의 후단에 공급관으로 연결 설치되어 온도 제어된 현상액을 분사하는 이클립스 노즐(eclipse nozzle)과, 이클립스 노즐의 상면 중 공급관과 근접부에 일단이 설치되고 인입관 상에 타단이 직교 방향으로 연결 설치되어 항온수의 순환을 돕는 리턴관으로 구성된 것을 특징으로 한다. 따라서 FTC내의 펌프 구동시 이클립스 노즐로 전달되는 순간 압력을 최소화할 수 있도록 별도의 리턴관을 설치함으로써, 항온수의 원활한 순환으로 신속한 현상액의 온도 제어가 가능하고, 이클립스 노즐에 맺히는 물방울을 방지로 웨이퍼의 수율이 향상되며, 장비의 가동률이 향상되는 효과가 있다.

Description

항온수 순환장치{CIRCULATOR FOR MAINTAINING OF HOT WATER}

도 1은 종래의 항온수 순환장치를 개략적으로 도시한 것이고,

도 2는 본 발명에 따른 항온수 순환장치의 구성을 도시한 것이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : FTC(Fluid Temperature Controller) 20 : 배출관

30 : 인입관 40 : 워터재킷(water jacket)

40a : 순환관 50 : 이클립스 노즐(eclipse nozzle)

50a : 공급관 60 : 리턴관

본 발명은 항온수 순환장치에 관한 것으로써, 반도체 제조 공정 중에서 도포 공정과 현상 공정에서 사용되는 현상액을 항상 일정한 온도로 유지시켜주는 항온수 순환장치에 관한 것이다.

반도체를 제조하는 과정에서 필수적으로 산화 및 확산과정을 거친 웨이퍼는 박막을 형성하기 위해서 포토 레지스터(photo resister)로 패터닝(pattern)되어진 후 마스크(mask)의 패턴과 정렬한 상태로 자외선, 레이저 및 전자빔을 이용한 노광 이 이루어진다. 노광 후 웨이퍼의 포토 레지스터는 부분적으로 현상액에 의해 씻겨져 소망하는 패턴을 형성하는 것이다.

여기서, 포토 레지스터를 현상하는 방식은 임멀션, 플루드 스프레이 및 스프레이 푸들 방식으로 나눌 수 있는데, 네거티브 레이스터인 경우에는 통상적으로 스프레이 방식을 취하여 현상 찌거기가 보다 확실하게 제거될 수 있도록 하고, 포지티브 레지스터인 경우에는 세가지 방식이 사용되고 있다.

이러한 현상 공정이 이루어지기 위해서는 포토 레지스터가 노광된 부분이나 그렇치 않은 부분과 반응하는 현상액을 웨이퍼로 분사하거나 담궈서 에칭작업을 하여야 한다. 이 때, 공급되는 현상액은 항상 일정한 온도를 유지해야 함으로 도 1에 도시한 바와 같은 항온수 순환장치를 이용한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 항온수를 펌프 구동하여 순환시키는 장치인 FTC(Fluid Temperature Controller:1)와, FTC(1)의 후단에 배출관(2)과 인입관(3)으로 연결되고, 항온수가 흐르는 내부에 현상액이 공급되는 순환관(4a)을 포함하여 현상액과 열교환하도록 하여 현상액의 일정한 온도 유지가 가능한 워터재킷(4)과, 워터재킷(4)의 후단에 공급관(5a)을 통하여 온도 제어된 현상액을 분사하는 이클립스 노즐(eclipse nozzle:5)이 설치된다.

항온수 순환장치의 작동은, FTC(1)내의 펌프가 작동으로 배출관(2)을 통하여 워터재킷(4)으로 유입된다. 유입된 항온수는 순환관(4a)을 흐르는 현상액과 열교환하여 일정 온도가 유지된 상태로 공급관(5a)을 따라 이클립스 노즐(5)로 공급되어 현상액이 웨이퍼(W)에 도포된다. 그리고 항온수는 공급관(5a)을 순환하여 워터재킷(4)과 인입관(3)을 통하여 FTC(1)로 재유입된다.

그러나 상기의 작동에서 최초 FTC내의 펌프 구동시 순간 압력이 이클립스 노즐에 바로 전달되어 상기 도 1과 같이 이클립스 노즐의 끝단에 물방울이 맺히는 현상이 발생한다. 이는 디스펜스 아암(dispense arm;미도시)에 부착 설치된 이클립스 노즐의 맺힌 물방울로 인하여 최초 하드웨어의 초기화시 스핀 척이 오염되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 바와 같은 결점을 해소시키기 위하여 안출된 것으로서, FTC내의 펌프 구동시 이클립스 노즐로 전달되는 순간 압력을 최소화할 수 있도록 별도의 리턴관을 설치함으로써, 이클립스 노즐에 물방울이 맺히는 것을 방지하고, 항온수 온도 제어의 최적화가 실현된 항온수 순환장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 항온수의 일정한 온도 유지를 위하여 저장, 보충 혹은 순환시키는 항온수 순환장치에 있어서, 항온수를 펌프 구동으로 순환시키는 FTC(Fluid Temperature Controller)와, FTC의 후단에 배출관과 인입관으로 연결 설치되고 공급되는 현상액이 순환되도록 내부에 순환관을 포함하며 순환관내 순환되는 현상액이 항온수와 열교환되어 일정한 온도 유지가 가능하도록 하는 워터재킷(water jacket)과, 워터재킷의 후단에 공급관으로 연결 설치되어 온도 제어된 현상액을 분사하는 이클립스 노즐(eclipse nozzle)과, 이클립스 노즐의 상면 중 공급관과 근접부에 일단이 설치되고 인입관 상에 타단이 직교 방향으로 연결 설치되어 항온수의 순환을 돕는 리턴관이 구성된 것을 특징으로 하는 항온수 순환장치를 제공한다.

본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 항온수 순환장치의 구성을 도시한 것이다.

도 2에 도시된 바와 같이 항온수 순환장치는, 내부에서 항온수를 펌프 구동하여 순환시키는 FTC(Fluid Temperature Controller:10)가 설치되고, FTC(10)의 후단에 배출관(20)과 인입관(30)으로 연결되고, 항온수가 흐르는 내부에 현상액이 공급되는 순환관(40a)을 포함하여 현상액과 열교환하도록 하여 현상액의 일정한 온도 유지가 가능한 워터재킷(40)이 설치되고, 워터재킷(40)의 후단에 공급관(50a)으로 연결되어 온도 제어된 현상액을 분사하는 이클립스 노즐(eclipse nozzle:50)이 설치된다.

그리고 이클립스 노즐(50)에 연결되는 공급관(50a)은 내부 중심에 현상액이 흐르는 순환관(40a)이 이어져 이클립스 노즐(50)을 통하여 웨이퍼(W)에 도포된다.

여기서 본 발명에 따라 이클립스 노즐(50)과 인입관(30)을 연결하는 리턴관(60)이 설치된다. 리턴관(60)의 일단은 이클립스 노즐(50)의 상면중 공급관(50a)의 근접부에 연통되도록 설치되고, 타단은 인입관(30) 상에 직교 방향으로 연통 설치된다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 항온수 순환장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.

다시 도 2를 참조하면, FTC(10)에 전원이 인가되면, 내측의 펌프가 구동하여 항온수를 배출관(20)을 통하여 워터재킷(40)으로 공급한다. 워터재킷(40)으로 유입된 항온수는 순환관(40a)을 흐르는 현상액과 열교환하여 일정 온도가 유지된 상태에서 공급관(50a)을 통하여 이클립스 노즐(50)로 공급된다.

이 때, 순환관(40a)을 따라 통과한 현상액은 노즐로 분사되어 웨이퍼(W)에 도포되며, 항온수는 공급관(50a)을 순환하여 별도로 설치된 리턴관(60)을 타고 인입관(30)으로 합류하여 FTC(10)로 유입된다.

따라서, 이클립스 노즐(50)에는 공급관(50a)을 따라 흐르는 항온수의 인입부와 순환하여 항온수가 배출되는 리턴관(60)으로 각각 구분되어 있어 이클립스 노즐(50)에 가해지는 압력이 최소화되어 종래에 이클립스 노즐(50) 끝단에 맺히는 물방울이 방지된다.

이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일실시 예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 항온수 순환장치는, FTC내의 펌프 구동시 이클립스 노즐로 전달되는 순간 압력을 최소화할 수 있도록 별도의 리턴관을 설치함으로써, 항온수의 원활한 순환으로 신속한 현상액의 온도 제어가 가능하고, 이클립스 노즐에 맺히는 물방울을 방지로 웨이퍼의 수율이 향상되며, 장비의 가동률이 향상되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 항온수의 일정한 온도 유지를 위하여 저장, 보충 혹은 순환시키는 항온수 순환장치에 있어서;

   상기 항온수를 펌프 구동으로 순환시키는 FTC(Fluid Temperature Controller)와;

   상기 FTC의 후단에 배출관과 인입관으로 연결 설치되고, 공급되는 현상액이 순환되도록 내부에 순환관을 포함하며 상기 순환관내 순환되는 현상액이 항온수와 열교환되어 일정한 온도 유지가 가능하도록 하는 워터재킷(water jacket)과;

   상기 워터재킷의 후단에 공급관으로 연결 설치되어 온도 제어된 현상액을 분사하는 이클립스 노즐(eclipse nozzle)과;

   상기 이클립스 노즐의 상면 중 상기 공급관과 근접부에 일단이 설치되고, 상기 인입관 상에 타단이 직교 방향으로 연결 설치되어 상기 항온수의 순환을 돕는 리턴관이; 구성된 것을 특징으로 하는 항온수 순환장치.

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