KR20030037964A - 고밀도 광 기록 매체 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유리나 폴리 카보네이트 및 아크릴레이트계의 기판상에 AI, Ni, Cu, pt, Ag, Au 물질을 500-2000Å 정도로 성막하여 반사막을 형성하는 단계와, 상기 반사막위에 트랙 피치가 0.3-0.4㎛ 홈깊이 500-1000Å 홈와이드 0.10-03㎛의 정보면 또는 요철 모양의 피트를 형성한 후 그 위에 제 1유전체막 100-400Å을 형성하는 단계와, 상기 제 1 유전체막위에 기록막 150-400Å과 제 2 유전체막 300-1000Å을 적층하는 단계와, 상기 제 2 유전체막위에 DLC를 100nm성막하여 보호막을 형성하는 단계로 이루어져, 대지 중에서 기록막이 노출되지 않도록 하는 고밀도 기록 매체에 관한 것이다.

Description

고밀도 광 기록 매체 {Opitcal recording disc}

본 발명은 정보 데이터를 기록 및 소거가 가능한 광 디스크인 고밀도 광 기록 매체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기록 매체 자체는 기존 광자기 디스크와 유사하며 이 광디스크에 기록, 소거, 재생을 가능케 하는 장치는 하드디스크 드라이브 기술과 광기록 기술이 서로 접목된 광 니어필드 레코딩 드라이브이다.

니어필드란 데이터의 기록, 재생, 소거가 이루어지도록 하는 부품에 해당하는 옵티컬 플라잉헤드와 디스크 표면간에 서로 떨어진 거리가 20-300nm 만큼 사이에 두고 데이터의 기록 재생을 달성하는 기술을 말한다. 옵티컬 플라잉 헤드는 슬라이더와 슬라이더 상에 탑재된 대물 렌즈, 작은 렌즈, 자기 코일 등으로 이루어져 있다.

이러한 니어필드 용 광디스크는 트랙길이 0.3-0.4㎛의 V Shape groove를 사용하는데 파장 650nm의 레이져 사용시 Groove Depth는 500-1000Å, Groove Width는 0.1-0.30㎛ 이내의 범위에 있고 이러한 기판상에 4층막 내지 5층막이 성막되는 디스크 구조를 가지고 있다. 이는 광기록/광재생방식이고 이외에 최근 고밀도기록/재생방식을 HDD와 ODD의 기술 융합에 의한 방식이 많이 발표되고 있는데 즉, 광기록/자기 재생 방식에 사용되는 미디어의 경우 기록층의 잔류 자화량으로 재생신호를 감지하는 경우 기록층의 산화 문제에 대한 대안이 크게 대두되고 있는 실정이다.

종래의 니어필드 레코딩용 광디스크는 도 1 에 도시된 바와 같이 기판(1), 반사막(2), 절연체막(3), 기록막(4), 보호막(5)으로 이루어져 있는데, 상기 기판(1)의 재료는 유리등이고, 반사막(2)은 Al, 절연체막(3)은 SINx, 기록막(4)은 광자기 재료로서 RE-TM인 TbFeCo이며, 보호막(5)은 SiNx 등을 사용하고 있다.

상기와 같은 구조를 가진 종래의 광디스크는 기록막(4)이 대기에 노출이 쉬운 디스크 구조를 하고 있고, 특히 보호층을 두껍게 제조하는 것이 불가능함으로 고온 고습하의 드라이브에서 디스크가 작동시 산화 문제가 발생할 가능성이 커서 신뢰성에 치명적인 구조를 보이고 있다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 제반 결점을 해소하기 위하여 창출한 것으로서, 본 발명의 목적은 기록막에 기록된 정보 데이터를 고온 고습하의 환경에서도 보호할 수 있는 고밀도 광기록 매체를 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 광기록 매체는, 유리나 폴리카보네이트 및 아크릴레이트계의 기판상에 AI, Ni, Cu, pt, Ag, Au 물질을 500-2000Å 정도로 성막하여 반사막을 형성하는 단계와, 상기 반사막위에 트랙 피치가 0.3-0.4㎛ 홈깊이 500-1000Å 홈와이드 0.10-03㎛의 정보면 또는 요철 모양의 피트를 형성한 후 그 위에 제 1유전체막 100-400Å을 형성하는 단계와, 상기 제 1 유전체막위에 기록막 150-400Å과 제 2 유전체막 300-1000Å을 적층하는 단계와, 상기 제 2 유전체막위에 DLC를 100nm성막하여 보호막을 형성하는 단계로 이루어 진 것을 특징으로 한다.

도 1 는 종래의 광디스크의 단면을 나타낸 도면.

도 2 는 본 발명에 의한 고밀도 광 기록 매체를 나타낸 단면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10...기판 20...반사막

30...제 1 유전체막 40...기록막

50...제 2 유전체막 60...보호막

이하, 예시된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.

도 2 는 본 발명에 따른 고밀도 기록 매체의 단면도를 나타낸 도면이다. 동 도면에서, 참조 번호 10은 기판으로 이 기판(10)은 유리나 폴리 카보네이트 및 아크릴레이트계, PMMA으로 되어 있으며, 이 기판(10)상에 AI, Ni, Cu, pt, Ag, Au 물질을 500-2000Å 정도로 성막하여 반사막(20)을 형성한다.

상기 반사막(20)위에 트랙 피치가 0.3-0.4㎛ 홈깊이 500-1000Å 홈와이드 0.10-03㎛의 정보면 또는 요철 모양의 피트를 형성한 후 그 위에 제 1유전체막(30) 100-400Å을 형성한 후 150-400Å의 두께를 가진 기록막(40)을 형성한다.

그리고 상기 기록막(40)위에 제 2 유전체막(50)을 300-1000Å구께로 적층한후 그 위에 DLC를 100nm성막하여 보호막(60)을 형성한다.

상기에서 제 1 및 제 2 유전체막(30)(50)은 Si3N4 등을 사용하였고, 기록막(40)은 광자기용 기록막으로서 TbFeCo계에 산화 문제를 방지코자 제 4원소를 첨가한다. 여기서 첨가된 제 4원소는 Nb, Pt, Ti, Ta, Cr 등이다.

한편, 본 발명에 의한 기록 매체는 자기 방식의 광디스크에도 적용이 되는 것으로, 기판에 요철 요양의 피트를 형성한 후 하부 유전체막, TbFeCo 기록막, TbFeCo+제4원소 재생막, DLC 또는 SiN계의 보호막으로 제조가 동일한 기판상에 TbFeCo+제4원소 기록막, DLC 또는 SiN계의 보호막을 구성할 수 있다. 그리고 상기에서 제 4 원소로는 Nb, Pt, Ti, Ta, Cr 등이다.

상술한 본 발명에 의하면, 1st surface 빔 입사 방식의 차세대 고용량 광기록 매체 또는 자기 재생 방식의 광기록 매체의 제조에 있어 기존 광디스크와 달리 기록막이 대기중에 노출되기 쉬운 구조의 디스크를 신뢰성 및 산화에 강한 디스크로 제조가 가능하며, 향후 HDD 및 ODD 기술의 융합에 의한 미디어가 사용될 때 부식 문제가 크게 대두될 것으로 예상되는데 이때 필요한 디스크 구조 및 기록막에 제 4 원소 첨가함으로서 신뢰성이 좋은 디스크를 얻을 수 있다.

Claims (2)

1. 유리나 폴리 카보네이트 및 아크릴레이트계의 기판상에 AI, Ni, Cu, pt, Ag, Au 물질을 500-2000Å 정도로 성막하여 반사막을 형성하는 단계와,

   상기 반사막위에 트랙 피치가 0.3-0.4㎛ 홈깊이 500-1000Å 홈와이드 0.10-03㎛의 정보면 또는 요철 모양의 피트를 형성한 후 그 위에 제 1유전체막 100-400Å을 형성하는 단계와,

   상기 제 1 유전체막위에 150-400Å 두께의 기록막과 제 2 유전체막 300-1000Å을 적층하는 단계와,

   상기 제 2 유전체막위에 DLC를 100nm성막하여 보호막을 형성하는 단계로 이루어 진 것을 특징으로 하는 고밀도 광 기록 매체.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 기록막의 재질로 TbFeCo계에 제4원소로 Nb, Pt, Ti, Ta, Cr 중 적어도 한 원소를 Nb:3% 이하, Pt:5-10%, Ti, Ta, Cr:5% 이하 인 것을 특징으로 하는 고밀도 광 기록 매체.