KR20030026364A - 광도파로형 회절 격자 소자 및 그 제조방법 - Google Patents

광도파로형 회절 격자 소자 및 그 제조방법 Download PDF

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KR20030026364A
KR20030026364A KR10-2003-7003393A KR20037003393A KR20030026364A KR 20030026364 A KR20030026364 A KR 20030026364A KR 20037003393 A KR20037003393 A KR 20037003393A KR 20030026364 A KR20030026364 A KR 20030026364A
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스미토모덴키고교가부시키가이샤
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Abstract

각 굴절율 변조부(13n)에 대해서, 굴절율이 등위가 되는 굴절율 등위면을 Ln으로 나타내고, 굴절율 등위면(Ln)에 수직하게 광파이버(10)의 광축(x축)과 교차하는 직선을 An으로 나타내고, 직선(An)과 광축이 이루는 각도를 θn으로 나타내고, 직선(An)과 광축이 이루는 편각면을 Mn으로 나타낸다(n = 1 내지 N). 이 때, 각 굴절율 변조부(13n)는 직선(An)이 광축과 평행하지 않고, 직선(An)과 광축이 이루는 각도(θn)가 0이 아니다. 또한, 각 굴절율 변조부(13n)의 편각면(Mn)은 서로 일치하고 있지 않다. N개의 굴절율 변조부(131내지 13N) 중 어느 2개의 굴절율 변조부(13n1, 13n2) 각각의 형성영역은 서로 적어도 일부가 겹쳐 있는 광도파로형 회절 격자 소자(경사형 회절 격자 소자) 및 그 제조 방법을 제공한다.

Description

광도파로형 회절 격자 소자 및 그 제조방법 {Optical waveguide diffraction grating device and its fabrication method}
광도파로형 회절 격자 소자는 광도파로(예를 들면 광파이버)에 있어서의 길이 방향에 따른 소정 범위에 걸쳐 굴절율 변조부가 형성된 것이다. 통상의 광도파로형 회절 격자 소자는 굴절율 등위면(屈折率等位面; 굴절율 변조부에서의 굴절율이 등위가 되는 면)에 수직한 직선이 광도파로의 광축과 평행하다. 이 경우, 굴절율 변조 주기가 Λ이고, 광도파로의 굴절율 변조부에서의 평균 실효 굴절율이 nave이면, 이러한 광도파로형 회절 격자 소자는 λ= 2naveΛ가 되는 식으로 표시되는 브래그(Bragg) 조건식을 만족하는 반사 파장 λ의 광을 선택적으로 반사하고, 다른 파장의 광을 투과한다. 이 굴절율 변조부에서 반사된 반사 파장(λ)의 광은 입사시와 반대의 방향으로 광도파로를 전파해 간다.
이것에 대하여, 굴절율 등위면에 수직한 직선이 광도파로의 광축과 평행하지 않은 광도파로형 회절 격자 소자(이하, 「경사형 회절 격자 소자」라고 함)가 공지되어 있다(예를 들면 문헌 「M.J.Holmes, et al., "Ultra Narrow-Band Optical Fibre Sidetap Filters", ECOC '98, pp.137-138(1998)」을 참조). 도 1a 및 도 1b는 종래의 경사형 회절 격자 소자의 설명도이다. 도 1a는 경사형 회절 격자 소자의 광축을 포함하는 면에서 절단하였을 때의 단면도이고, 도 1b는 광축에 수직한 면에서 절단하였을 때의 단면도이다. 이 도면에 도시되는 종래의 경사형 회절 격자 소자(9)는 고굴절율의 코어(core) 영역(91) 및 저굴절율의 클래드(clad) 영역(92)을 갖는 광파이버(90)에 있어서, 그 코어 영역(91)의 길이 방향에 따른 소정 범위에 걸쳐 굴절율 변조부(93)가 형성된 것이다. 그리고, 굴절율 변조부(93)에 있어서의 굴절율 등위면 L 에 수직한 직선 A 는 광파이버(90)의 광축(도면에서의 x축)과 평행하지 않고, 직선(A)과 광축이 이루는 각도 θ는 0이 아니다. 이 경우, 직선(A)에 따른 굴절율 변조 주기가 Λ이고, 굴절율 변조부(93)에 있어서의 평균의 실효 굴절율이 nave이면, 이 경사형 회절 격자 소자(9)는 λ= 2naveΛ/sinθ가 되는 식으로 표시되는 브래그 조건식을 만족하는 반사 파장 λ의 광을 선택적으로 반사하고, 다른 파장의 광을 투과한다. 이 굴절율 변조부(93)에 있어서 반사된 반사 파장(λ)의 광은 광파이버(90)를 전파하지 않고, 광파이버(90)의 외부로 방사된다. 즉, 이 경사형 회절 격자 소자(9)는 저반사의 손실 필터로서 작용한다. 따라서, 경사형 회절 격자 소자(9)는 예를 들면 광파이버 증폭기의 이득을 등화(等化)하는 이득 등화기로서 적절하게 사용될 수 있다.
그렇지만, 종래의 경사형 회절 격자 소자(9)의 손실 특성은 편파(偏波) 의존성을 갖고 있다. 즉, 직선(A)과 광축이 이루는 편각면 M (偏角面; 도 1a 및 도 1b 중 xy 평면)에 평행한 편파면을 갖는 편파 모드와, 편각면(M)에 수직한 편파면을 갖는 편파 모드에서는, 손실 특성이 다르다.
그래서, 이러한 편파 의존 손실을 저감시키기 위해서, 예를 들면, 종래의 경사형 회절 격자 소자를 광축 둘레로 트위스트시키는 것으로 길이 방향을 따라 편각면을 회전시키는 것을 고려할 수 있다. 또한, 복수의 굴절율 변조부를 접속하는 동시에 길이 방향을 따라 각각의 편각면을 다른 것으로 하는 것도 고려할 수 있다. 이와 같이 하면, 길이 방향의 어떤 위치 및 다른 위치 각각에 있어서의 편파 의존 손실이 서로 상쇄되어, 편파 의존 손실이 저감될 수 있다.
그러나, 경사형 회절 격자 소자를 트위스트시키는 경우에는, 광파이버가 유리로 이루어지는 것으로서 취약하기 때문에, 편파 의존 손실을 저감하기 위해서는 굴절율 변조부가 긴 것이 필요하다. 또한, 복수의 굴절율 변조부를 접속하는 경우에는, 융착 접속을 위해서 여분의 길이가 필요해지기 때문에, 굴절율 변조부가 전체적으로 길어진다. 하여간, 종래의 경사형 회절 격자 소자는 단척(短尺)으로 편파 의존 손실을 저감할 수 없다.
본 발명은 상기 문제점을 해소하기 위하여 이루어진 것으로, 광도파로형 회절 격자 소자(경사형 회절 격자 소자) 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 광도파로(光導波路)의 길이 방향을 따라 굴절율 변조부가 형성된 광도파로형 회절 격자 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
도 1a 및 도 1b는 종래의 경사형 회절 격자 소자의 설명도.
도 2는 본 실시예에 따른 광도파로형 회절 격자 소자(경사형 회절 격자 소자)의 설명도.
도 3은 본 실시예에 따른 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법을 설명하기 위한 사시도.
도 4a, 도 4b, 도 4c 및 도 4d는 각각 본 실시예에 따른 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법을 설명하기 위한 단면도.
도 5a 및 도 5b는 본 실시예의 광도파로형 회절 격자 소자(경사형 회절 격자 소자)의 투과 특성을 도시하는 도면으로, 도 5a는 제 1번째 굴절율 변조부의 형성 종료 시점에서의 투과 특성을 도시하는 도면이고, 도 5b는 제 2번째 굴절율 변조부의 형성 종료 시점에서의 투과 특성을 도시하는 도면.
도 6a 및 도 6b는 각각 본 실시예의 광도파로형 회절 격자 소자(경사형 회절 격자 소자)의 투과 특성 및 편파 의존 손실 특성을 도시하는 도면.
도 7a 및 도 7b는 각각 비교예의 광도파로형 회절 격자 소자(경사형 회절 격자 소자)의 투과 특성 및 편파 의존 손실 특성을 도시하는 도면.
도 8은 다른 실시예에 따른 광도파로형 회절 격자 소자(경사형 회절 격자 소자)의 설명도.
도 9a 및 도 9b는 각각 1방향으로부터만 굴절율 변화 유기광이 조사되어 1개의 굴절율 변조부가 형성된 경사형 회절 격자 소자의 투과율(T) 및 편파 의존손실(PDL) 각각의 파장 의존성을 도시하는 그래프.
도 10a 및 도 10b는 서로 90도만큼 다른 2 방향으로부터 굴절율 변화 유기광이 조사되어 2개의 굴절율 변조부가 형성된 경사형 회절 격자 소자(1)의 투과율(T) 및 편파 의존 손실(PDL) 각각의 파장 의존성을 도시하는 그래프.
도 11a 및 도 11b는 각각, 서로 90도씩 다른 4방향으로부터 굴절율 변화 유기광이 조사되어 4개의 굴절율 변조부가 형성된 경사형 회절 격자 소자(2)의 투과율(T) 및 편파 의존 손실(PDL) 각각의 파장 의존성을 도시하는 그래프.
본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자는, (1) 광도파로의 길이 방향을 따라 N(N은 2 이상의 정수)개의 굴절율 변조부가 형성되어 있고, (2) N개의 굴절율 변조부 각각의 굴절율 등위면에 수직한 직선이 광도파로의 광축과 평행하지 않고, (3) N개의 굴절율 변조부 각각의 굴절율 등위면에 수직한 직선과 광도파로의 광축이 이루는 편각면이 서로 일치하지 않고, (4) N개의 굴절율 변조부 중 어느 2개의 굴절율 변조부 각각의 형성영역이 서로 적어도 일부가 겹쳐 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법은, (1) 광도파로의 길이 방향을 따라 N(N은 2 이상의 정수)개의 굴절율 변조부를, 굴절율 등위면에 수직한 직선이 광도파로의 광축과 평행해지지 않도록 하여 순차로 형성하는 동시에, (2) 제 n(n은 2 이상 N 이하의 정수)번째 굴절율 변조부를 형성할 때, 굴절율 등위면에 수직한 직선과 광도파로의 광축이 이루는 편각면이, 이미 형성한 제 1번째 내지 제 (n-1)번째 굴절율 변조부 각각의 편각면의 어디와도 일치하지 않도록 하고, (3) N개의 굴절율 변조부 중 어느 2개의 굴절율 변조부 각각의 형성영역이 서로 적어도 일부가 겹치도록 하여, 광도파로형 회절 격자 소자를 제조하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자, 및 본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법에 의해 제조되는 광도파로형 회절 격자 소자는, N개의 굴절율 변조부가 형성되어 있고, 각 굴절율 변조부의 굴절율 등위면에 수직한 직선이광도파로의 광축과 평행하지 않고, 각 굴절율 변조부의 편각면이 서로 일치하지 않고, 어느 2개의 굴절율 변조부 각각의 형성영역이 서로 적어도 일부가 겹쳐 있다. 이와 같이 구성되는 것으로, 광도파로형 회절 격자 소자는 단척으로서, 편파 의존 손실이 저감되게 된다.
또한, 본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자는 N개의 굴절율 변조부 각각의 편각면이 광도파로의 광축 둘레로 180도/N씩 어긋나 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법은 N개의 굴절율 변조부 각각의 편각면을 광도파로의 광축 둘레로 180도/N씩 어긋나게 하여, 광도파로형 회절 격자 소자를 제조하는 것을 특징으로 한다. 이 경우에는 광도파로형 회절 격자 소자는 편파 의존 손실이 효율 좋게 저감되게 된다.
또한, 본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자는 N개의 굴절율 변조부 각각의 편각면이 광도파로의 광축 둘레로 360도/N씩 어긋나 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법은 N개의 굴절율 변조부 각각의 편각면을 광도파로의 광축 둘레로 360도/N씩 어긋나게 하여, 광도파로형 회절 격자 소자를 제조하는 것을 특징으로 한다. 상술한 180도/N씩 어긋나게 하는 경우와 비교하여, 이와 같이 360도/N씩 어긋나게 하는 경우에는 광도파로형 회절 격자 소자는 더욱 편파 의존 손실이 효율 좋게 저감되게 된다. 또한, N은 홀수여도 좋지만, 짝수인 것이 바람직하다. N이 짝수이면, 편각면이 서로 180도만큼 다른 쌍의 굴절율 변조부 각각이 갖는 비축대칭성(非軸對稱性)에 따른 복굴절성이 상쇄되기 때문에, 이에 따라서도, 광도파로형 회절 격자 소자는 더욱 편파 의존 손실이효율 좋게 저감되게 된다.
또한, 본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자로서는 N개의 굴절율 변조부 각각은 굴절율 등위면에 수직한 직선과 광도파로의 광축이 이루는 각도가 서로 동일하고, 광도파로의 길이 방향에 따른 형성영역의 길이가 서로 동일하고, 굴절율 변조 주기가 서로 동일하고, 굴절율 변조 진폭이 서로 동일한 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법은 N개의 굴절율 변조부 각각을 형성할 때, 굴절율 등위면에 수직한 직선과 광도파로의 광축이 이루는 각도를 서로 동일하게 하고, 광도파로의 길이 방향에 따른 형성영역의 길이를 서로 동일하고, 굴절율 변조 주기를 서로 동일하게 하고, 굴절율 변조 진폭을 서로 동일하게 하는 것을 특징으로 한다. 이 경우에도, 광도파로형 회절 격자 소자는 편파 의존 손실이 효율 좋게 저감되게 된다.
또한, 본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자는 투과 손실이 최대가 되는 파장에 있어서 편파 의존 손실이 투과 손실 최대치의 1/l0 이하인 것을 특징으로 한다. 이 경우에는 광도파로형 회절 격자 소자는 광통신의 분야에서 편파 의존 손실이 작은 것이 요구되는 광학장치(또는 그 일부)로서 적절하게 사용된다.
본 발명에 따른 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법은 투과 손실을 모니터하면서 N개의 굴절율 변조부 각각을 형성하는 것을 특징으로 한다. 또는, 편파 의존 손실을 모니터하면서 N개의 굴절율 변조부 각각을 형성하는 것을 특징으로 한다. 이 경우에는 제조되는 광도파로형 회절 격자 소자는 편파 의존 손실이 효율 좋게 저감되게 된다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 또, 도면의 설명에 있어서 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다.
도 2는 본 실시예에 따른 광도파로형 회절 격자 소자(1; 경사형 회절 격자 소자)의 설명도이다. 이 도면에는 광축을 포함하는 면에서 절단하였을 때의 단면도, 및 광축에 수직한 면에서 절단하였을 때의 단면도가 도시되어 있다. 이 도면에 도시되는 본 실시예에 따른 경사형 회절 격자 소자(1)는 광도파로인 광파이버(10)의 길이 방향을 따라, N(N은 2 이상의 정수)개의 굴절율 변조부(131내지 13N)가 형성되어 있다. 광파이버(10)는 석영유리를 베이스로 하는 것으로, GeO2가 첨가된 코어 영역(11)과, 이 코어 영역(11)을 둘러싸는 클래드 영역(12)을 포함한다.
각 굴절율 변조부(13n)(n은 1 이상 N 이하의 임의의 정수)에 대해서, 굴절율이 등위가 되는 굴절율 등위면을 Ln으로 나타내고, 굴절율 등위면(Ln)에 수직하게 광파이버(10)의 광축(x축)과 교차하는 직선을 An으로 나타내고, 직선(An)과 광축이 이루는 각도를 θn으로 나타내고, 직선(An)과 광축이 이루는 편각면을 Mn으로 나타낸다.
각 굴절율 변조부(13n)는 직선(An)이 광축과 평행하지 않고, 직선(An)과 광축이 이루는 각도(θn)가 0이 아니다. 즉, 각 굴절율 변조부(13n)는 광축에 대하여 각도 θn만큼 경사진 직선(An)을 따라 주기 Λn의 굴절율 변조가 코어 영역(11)에 형성된 것이다. 또한, 각 굴절율 변조부(13n)의 편각면(Mn)은 서로 일치하지 않고 있다. 즉, N개의 굴절율 변조부(131내지 13N) 중 임의의 2개의 굴절율 변조부(13n1, 13n2)를 선택하였을 때, 편각면 Mn1과 편각면 Mn2는 일치하지 않고 있다.
N개의 굴절율 변조부(131내지 13N) 중 어느 2개의 굴절율 변조부(13n1, 13n2) 각각의 형성영역은 서로 적어도 일부가 겹쳐 있다. 도면에서는 예를 들면, 굴절율 변조부(131)의 형성영역은 굴절율 변조부(132)의 형성영역과 일부가 겹쳐 있고, 굴절율 변조부(133)의 형성영역과도 일부가 겹쳐 있으며, 또한, 굴절율 변조부(13N)의 형성영역과도 일부가 겹쳐 있다. 또한, N개의 굴절율 변조부(131내지 13N) 각각의형성영역은 모두 일치하고 있는 것이 바람직하다.
이와 같이, 본 실시예에 따른 경사형 회절 격자 소자(1)는 N개의 굴절율 변조부(131내지 13N)가 형성되어 있고, 각 굴절율 변조부(13n)의 각도(θn)가 0이 아니고, 각 굴절율 변조부(13n)의 편각면(Mn)이 서로 일치하지 않고, 어느 2개의 굴절율 변조부(13n1, 13n2) 각각의 형성영역이 서로 적어도 일부가 겹쳐 있다. 이와 같이 구성된 경사형 회절 격자 소자(1)는 단척으로서, 편파 의존 손실이 저감되게 된다.
또한, N개의 굴절율 변조부(131내지 13N) 각각의 편각면(M1내지 MN)은 광파이버(10)의 광축 둘레로 180도/N씩 어긋나 있는 것이 바람직하다. 예를 들면, N=2이면, 편각면 M1과 편각면 M2는 서로 직교하고 있다. 또한, 예를 들면, N=3이면, 편각면 M1내지 M3은 광파이버(10)의 광축 둘레로 60도씩 어긋나 있다. 이와 같이 편각면(M1내지 MN)이 배치됨으로써, 경사형 회절 격자 소자(1)는 편파 의존 손실이 효율 좋게 저감되게 된다.
또한, N개의 굴절율 변조부(131내지 13N) 각각은 직선(An)과 광축이 이루는 각도(θn)가 서로 동일하고, 광파이버(10)의 길이 방향에 따른 형성영역의 길이 Dn이 서로 동일하고, 굴절율 변조 주기가 서로 동일하고, 굴절율 변조 진폭이 서로 동일한 것이 바람직하다. 이와 같이 각 굴절율 변조부(13n)가 형성되는 것에 의해, 경사형 회절 격자 소자(1)는 편파 의존 손실이 효율 좋게 저감되게 된다.
그리고, 본 실시예에 따른 경사형 회절 격자 소자(1)는 투과 손실이 최대가 되는 파장에 있어서, 편파 의존 손실이 투과 손실 최대치의 1/10 이하인 것이 바람직하다. 이러한 경사형 회절 격자 소자(1)는 광통신 분야에서 편파 의존 손실이 작은 것이 요구되는 광학장치(또는 그 일부)로서 적절하게 사용되고, 예를 들면 광파이버 증폭기의 이득을 등화하는 이득 등화기로서 적절하게 사용될 수 있다.
다음에, 본 실시예에 따른 광도파로형 회절 격자 소자(1; 경사형 회절 격자 소자)의 제조방법에 대해서 설명한다. 도 3 및 도 4a 내지 도 4d는 본 실시예에 따른 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 3은 사시도이고, 도 4a 내지 도 4d는 광축에 수직한 면에서 절단하였을 때의 단면도이다.
처음에, 광파이버(10), 위상 격자 마스크(20) 및 광원(30)이 준비된다. 광파이버(10)는 상술한 바와 같이, 석영유리를 베이스로 하는 것으로, GeO2가 첨가된 코어 영역(11)과, 이 코어 영역(11)을 둘러싸는 클래드 영역(12)을 포함하는 것이다. 위상 격자 마스크(20)는 석영유리 평판의 한쪽 면에 주기 2Λ의 홈 형상 요철로 이루어지는 위상 격자가 형성된 것이다. 광원(30)은 광파이버(10)의 코어 영역(11)의 굴절율 변화를 유기(誘起)시키는 파장의 광(이하 「굴절율 변화 유기광」이라고 함)을 출력하는 것으로, 예를 들면, 파장 248nm의 레이저광을 굴절율 변화 유기광으로서 출력하는 KrF 엑시머 레이저 광원이 사용된다.
그리고, 도 3에 도시되는 바와 같이, 위상 격자 마스크(20)는 광파이버(10)의 측쪽에, 위상 격자가 형성된 면이 광파이버(10)에 대향하도록 배치된다. 또한,이 때, 위상 격자 마스크(20)의 위상 격자에 있어서의 홈 방향은 광파이버(10)의 광축에 수직한 면에 대하여 각도 θ1만큼 경사져 있다. 이와 같이 양자가 배치된 상태로, 광원(30)으로부터 출력된 굴절율 변화 유기광 UV는 위상 격자 마스크(20)에 대하여 수직하게 조사된다. 이 굴절율 변화 유기광(UV)의 조사에 따라, 위상 격자 마스크(20)의 회절 작용에 의해 +1차 회절광과 -1차 회절광이 생기고, 이 +1차 회절광과 -1차 회절광이 서로 간섭하여, 주기 Λ의 간섭 줄무늬가 생긴다. 광파이버(10)의 GeO2가 첨가된 코어 영역(11)에서는 간섭 줄무늬의 각 위치에 있어서의 굴절율 변화 유기광의 에너지의 크기에 따라서 굴절율이 상승하기 때문에, 이것에 의해 굴절율 변조부(131)가 형성된다. 이 굴절율 변조부(131)는 굴절율 등위면(L1)에 수직하게 광파이버(10)의 광축과 교차하는 직선을 A1로 하였을 때, 이 직선(A1)과 광축이 이루는 각도가 θ1이며, 직선(A1)과 광축이 이루는 편각면(M1)이 위상 격자 마스크(20)의 면에 평행하다(도 3 및 도 4a 참조).
이와 같이 도 4a에 도시된 배치 상태로 굴절율 변화 유기광(UV)이 일정 시간만큼 조사되는 것으로 제 1번째 굴절율 변조부(131)가 형성된다. 형성 후, 굴절율 변화 유기광(UV)의 조사가 중단되고, 그 동안에 광파이버(10)가 일정 각도만큼 광축 둘레로 회전되어, 도 4b에 도시된 배치 상태가 된다. 그리고, 도 4b에 도시된 배치 상태로 굴절율 변화 유기광(UV)이 일정 시간만큼 조사되는 것으로 제 2번째 굴절율 변조부(132)가 형성된다. 이렇게 하여 형성된 제 2번째 굴절율 변조부(132)는 굴절율 등위면(L2)에 수직하게 광파이버(10)의 광축과 교차하는 직선을 A2로 하였을 때, 이 직선(A2)과 광축이 이루는 각도가 θ2이고, 직선(A2)과 광축이 이루는 편각면(M2)이 위상 격자 마스크(20)의 면에 평행하다. 제 2번째 굴절율 변조부(132)의 편각면(M2)은 이미 형성된 제 1번째 굴절율 변조부(131)의 편각면(M1)과 일치하지 않고 있다.
또한, 제 2번째 굴절율 변조부(132)의 형성 후, 굴절율 변화 유기광(UV)의 조사가 중단되고, 그 동안에 광파이버(10)가 일정 각도만큼 광축 둘레로 회전되어, 도 4c에 도시된 배치 상태가 된다. 그리고, 도 4c에 도시된 배치 상태로 굴절율 변화 유기광(UV)이 일정 시간만큼 조사되는 것으로 제 3번째 굴절율 변조부(133)가 형성된다. 이렇게 하여 형성된 제 3번째 굴절율 변조부(133)는 굴절율 등위면(L3)에 수직하게 광파이버(10)의 광축과 교차하는 직선을 A3으로 하였을 때, 이 직선(A3)과 광축이 이루는 각도가 θ3이며, 직선(A3)과 광축이 이루는 편각면(M3)이 위상 격자 마스크(20)의 면에 평행하다. 제 3번째 굴절율 변조부(133)의 편각면(M3)은 이미 형성된 제 1번째 굴절율 변조부(131)의 편각면(M1)과 일치하지 않고, 또한, 이미 형성된 제 2번째 굴절율 변조부(132)의 편각면(M2)과도 일치하지 않고 있다.
이후에도 마찬가지로 하여, 제 4번째 내지 제 N번째 굴절율 변조부(134내지13N)가 순차로 형성된다. 제 N번째 굴절율 변조부(13N)를 형성할 때는 도 4d에 도시된 배치 상태로 굴절율 변화 유기광(UV)이 일정 시간만큼 조사되는 것으로 제 N번째 굴절율 변조부(13N)가 형성된다. 이렇게 하여 형성된 제 N번째 굴절율 변조부(13n)는 굴절율 등위면(LN)에 수직하게 광파이버(10)의 광축과 교차하는 직선을 AN으로 하였을 때, 이 직선(AN)과 광축이 이루는 각도가 θN이고, 직선(AN)과 광축이 이루는 편각면(MN)이 위상 격자 마스크(20)의 면에 평행하다. 제 N번째 굴절율 변조부(13N)의 편각면(MN)은 이미 형성된 제 1번째 내지 제 (N-1)번째 굴절율 변조부(131내지 13N-1)의 편각면(M1내지 MN-1)의 어디와도 일치하지 않고 있다.
또, 위상 격자 마스크(20)가 위치 고정된 상태이면, 각 θn은 모두 동일한 값이지만, 위상 격자 마스크(20)가 그 면상에서 회전됨으로써 각 θn은 다른 것으로 할 수 있다. 또한, 1개의 위상 격자 마스크(20)를 사용하면, 각 굴절율 변조부(13n)에 있어서 직선(An)에 따른 굴절율 변조 주기는 모두 동일한 값이지만, 다른 위상 격자 주기의 위상 격자 마스크로 교환되는 것으로, 각 굴절율 변조부(13n)에 있어서 직선(An)에 따른 굴절율 변조 주기는 다른 것으로 할 수 있다.
이와 같이, 본 실시예에 따른 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법에서는 N개의 굴절율 변조부(131내지 13N)는 광파이버(10)의 길이 방향에 따라, 굴절율 등위면(Ln)에 수직한 직선(An)이 광파이버(10)의 광축과 평행해지지 않도록(즉, 각도θn≠0이 됨) 하여 순차로 형성된다. 또한, 제 n번째 굴절율 변조부(13n)를 형성할 때, 그 편각면(Mn)이, 이미 형성된 제 1번째 내지 제 (n-1)번째 굴절율 변조부(131내지 13n-1) 각각의 편각면(M1내지 Mn-1)의 어디와도 일치하지 않게 된다. 또한, N개의 굴절율 변조부(131내지 13N) 중 어느 2개의 굴절율 변조부 각각의 형성영역이 서로 적어도 일부가 겹치도록 형성된다. 이렇게 하여, 본 실시예에 따른 경사형 회절 격자 소자(1)가 제조된다.
특히, 제 (n-1)번째 굴절율 변조부(13n-1)가 형성된 후에, 광파이버(10)가 일정 각도 180/N만큼 광축 둘레로 회전되어, 제 n번째 굴절율 변조부(13n)가 형성되는 것이 바람직하다. 이렇게 하여 제조되는 경사형 회절 격자 소자(1)는 N개의 굴절율 변조부(131내지 13N) 각각의 편각면(M1내지 MN)이 광파이버(10)의 광축 둘레로 180도/N씩 어긋나 있기 때문에, 편파 의존 손실이 효율 좋게 저감되게 된다.
또한, 각 굴절율 변조부(13n)를 형성할 때, 굴절율 등위면(Ln)에 수직한 직선(An)과 광파이버(10)의 광축이 이루는 각도(θn)를 서로 동일하게 하여, 광파이버(10)의 길이 방향에 따른 형성영역의 길이(Dn)를 서로 동일하고, 굴절율 변조 주기를 서로 동일하게 하고, 굴절율 변조 진폭을 서로 동일하게 하는 것이 바람직하다. 이렇게 하여 제조되는 경사형 회절 격자 소자(1)는 편파 의존 손실이 효율 좋게 저감되게 된다.
또한, 각 굴절율 변조부(13n)를 형성할 때, 제조 도중의 경사형 회절 격자 소자(1)의 투과 손실 또는 편파 의존 손실을 모니터하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하는 것으로, 제조되는 경사형 회절 격자 소자(1)는 편파 의존 손실이 효율 좋게 저감되게 된다.
다음에, 본 실시예에 따른 광도파로형 회절 격자 소자(1; 경사형 회절 격자 소자) 및 그 제조방법의 실시예에 대해서 설명한다. 본 실시예에서는 광파이버(10)는 코어 영역(11) 뿐만 아니라 클래드 영역(12)에도 GeO2가 첨가된 것이다. 위상 격자 마스크(20)는 일정 주기가 아니라, 홈 방향에 수직한 방향을 따라 주기가 점차로 변화하고 있고, 중심 주기가 1.0650㎛이고, 주기 변화율이 10.0nm/cm이었다. 광원(30)은 파장 248nm의 레이저광을 굴절율 변화 유기광으로서 출력하는 KrF 엑시머 레이저 광원이 사용되었다.
그리고, 제조된 본 실시예의 경사형 회절 격자 소자(1)는 2개의 굴절율 변조부(131, 132)를 갖는 것이었다. 2개의 굴절율 변조부(131, 132) 각각은 형성영역의 길이가 5mm이고, 서로 완전히 겹쳐져 형성되었다. 굴절율 변조부 131의 편각면(M1)과 굴절율 변조부 132의 편각면(M2)은 서로 직교하는 것이었다.
본 실시예의 제조방법에서는 처음에 제 1번째 굴절율 변조부(131)가 형성되고, 그 후, 굴절율 변화 유기광(UV)의 조사가 중단되어 있는 동안에 광파이버(10)가 90도 만큼 광축 둘레로 회전되고, 계속해서 제 2번째 굴절율 변조부(132)가 형성되었다. 또한, 2개의 굴절율 변조부(131, 132) 각각을 형성할 때, 제조 도중의 경사형 회절 격자 소자(1)의 투과 손실이 모니터되었다.
본 실시예에서는 투과 손실이 최대가 되는 파장에 있어서의 투과 손실의 목표치는 1dB이 되었다. 그리고, 제 1번째 굴절율 변조부(131)를 형성할 때는 모니터된 투과 손실이 목표치의 1/2(0.5dB)이 된 시점에서, 굴절율 변화 유기광(UV)의 조사가 중단되었다. 또한, 계속되는 제 2번째 굴절율 변조부(132)를 형성할 때는 모니터된 투과 손실이 목표치(1dB)가 된 시점에서, 굴절율 변화 유기광(UV)의 조사가 종료되었다. 도 5a는 제 1번째 굴절율 변조부(131)의 형성 종료 시점에서의 투과 특성을 도시하는 도면이고, 도 5b는 제 2번째 굴절율 변조부(132)의 형성 종료 시점에서의 투과 특성을 도시하는 도면이다. 이들 도면에 도시되는 바와 같이, 본 실시예의 경사형 회절 격자 소자(1)의 투과 손실의 최대치는 제 1번째 굴절율 변조부(131)의 형성 종료 시점에서는 O.5dB이고, 제 2번째 굴절율 변조부(132)의 형성 종료 시점에서는 1.0dB이었다.
도 6a는 본 실시예의 경사형 회절 격자 소자의 투과 특성을 도시하는 도면이고, 도 6b는 본 실시예의 경사형 회절 격자 소자의 편파 의존 손실 특성을 도시하는 도면이다. 또한, 도 7a는 비교예의 경사형 회절 격자 소자의 투과 특성을 도시하는 도면이고, 도 7b는 비교예의 경사형 회절 격자 소자의 편파 의존 손실 특성을도시하는 도면이다. 여기서, 비교예의 경사형 회절 격자 소자는 겹치지 않고 1개의 굴절율 변조부만을 갖는 것이었다.
도 6a와 도 7a를 비교하여 알 수 있는 바와 같이, 본 실시예의 경사형 회절 격자 소자 및 비교예의 경사형 회절 격자 소자 각각은 투과 스펙트럼의 형상이 서로 비슷하여, 모두 투과 손실의 최대치가 0.6dB 정도였다. 그러나, 도 6b와 도 7b를 비교하여 알 수 있는 바와 같이, 비교예의 경사형 회절 격자 소자의 편파 의존 손실의 최대치는 0.125dB 정도인데 대하여, 본 실시예의 경사형 회절 격자 소자의 편파 의존 손실의 최대치는 O.03dB 정도였다. 본 실시예의 경사형 회절 격자 소자의 편파 의존 손실의 최대치는 비교예의 경사형 회절 격자 소자의 편파 의존 손실의 최대치와 비교하여 약 1/4이고, 또한, 본 실시예의 경사형 회절 격자 소자의 투과 손실의 최대치와 비교하여 약 1/20이었다.
도 8은 다른 실시예에 따른 광도파로형 회절 격자 소자(2; 경사형 회절 격자 소자)의 설명도이다. 이 도면에는 광축을 포함하는 면에서 절단하였을 때의 단면도, 및 광축에 수직한 면에서 절단하였을 때의 단면도가 도시되어 있다. 이 도면에 도시되는 본 실시예에 따른 경사형 회절 격자 소자(2)는 광도파로인 광파이버(20)의 길이 방향을 따라, N(N은 2 이상의 정수)개의 굴절율 변조부(231내지 23N)가 형성되어 있다. 광파이버(20)는 석영유리를 베이스로 하는 것으로, GeO2가 첨가된 코어 영역(21)과, 이 코어 영역(21)을 둘러싸는 클래드 영역(22)을 포함한다.
각 굴절율 변조부(23n)(n은 1 이상 N 이하의 임의의 정수)에 대해서, 굴절율이 등위가 되는 굴절율 등위면을 Ln으로 나타내고, 굴절율 등위면(Ln)에 수직하게 광파이버(20)의 광축(x축)과 교차하는 직선을 An으로 나타내고, 직선(An)과 광축이 이루는 각도를 θn으로 나타내고, 직선(An)과 광축이 이루는 편각면을 Mn으로 나타낸다. 각 굴절율 변조부(23n)의 형성영역, 굴절율 등위면(Ln), 직선(An) 및 각도(θn) 각각 대해서는 이미 설명한 바와 같다.
이 경사형 회절 격자 소자(2)는 각 굴절율 변조부(23n)의 편각면(Mn)이 광축 둘레로 360도/N씩 어긋나 있는 점에 특징을 갖는다. 또, 도면에서는 N=4로 하고 있다. 이 경우, 편각면이 서로 180도만큼 다른 굴절율 변조부(231, 233) 각각이 갖는 비축대칭성에 따른 복굴절성이 상쇄되고, 또한, 편각면이 서로 180도만큼 다른 굴절율 변조부(233, 234) 각각이 갖는 비축대칭성에 따른 복굴절성이 상쇄되기 때문에, 이에 의해서도, 광도파로형 회절 격자 소자(2)는 더욱 편파 의존 손실이 효율 좋게 저감되게 된다. 또, 여기서 설명하는 비축대칭성은 광파이버(20)에 대하여 굴절율 변화 유기광이 조사되어 형성된 굴절율 변조부(231)에서, 굴절율 변화 유기광의 입사측에 있어서 굴절율 상승이 커지고 있는 것을 말한다. 그래서, 광파이버(20)에 대하여 굴절율 변화 유기광이 서로 반대의 방향 각각으로부터 조사되어 굴절율 변조부(231, 233)가 형성됨으로써, 각각의 비축대칭성에 따른 복굴절성이 상쇄된다.
이 경사형 회절 격자 소자(2)도, 투과 손실이 최대가 되는 파장에 있어서, 편파 의존 손실이 투과 손실 최대치의 1/10 이하인 것이 바람직하다. 이러한 경사형 회절 격자 소자(2)도, 광통신의 분야에서 편파 의존 손실이 작은 것이 요구되는 광학장치(또는 그 일부)로서 적절하게 사용되고, 예를 들면 광파이버 증폭기의 이득을 등화하는 이득 등화기로서 적절하게 사용될 수 있다.
도 9a 내지 도 11b 각각은 3종류의 경사형 회절 격자 소자의 투과율(T) 및 편파 의존 손실(PDL) 각각의 파장 의존성을 도시하는 그래프이다. 도 9a 및 도 9b는 1방향으로부터만 굴절율 변화 유기광이 조사되어 1개의 굴절율 변조부가 형성된 경사형 회절 격자 소자에 대해서 도시한다. 도 10a 및 도 10b는 서로 90도만큼 다른 2방향으로부터 굴절율 변화 유기광이 조사되어 2개의 굴절율 변조부가 형성된 경사형 회절 격자 소자(1)에 대해서 도시한다. 도 11a 및 도 11b는 서로 90도씩 다른 4방향으로부터 굴절율 변화 유기광이 조사되어 4개의 굴절율 변조부가 형성된 경사형 회절 격자 소자(2)에 대해서 도시한다.
경사형 회절 격자 소자(1) 및 경사형 회절 격자 소자(2) 각각에서는 각 굴절율 변조부는 겹쳐 형성되었다.
도 9a, 도 10a 및 도 11a를 비교하여 알 수 있는 바와 같이, 3종류의 경사형 회절 격자 소자 각각의 투과율(T)의 파장 의존성은 대략 같은 것이었다. 한편, 도 9b, 도 10b 및 도 11b를 비교하여 알 수 있는 바와 같이, 1개의 굴절율 변조부가 형성된 경사형 회절 격자 소자의 편파 의존 손실(PDL)은 0.127dB에 도달한데 대하여, 경사형 회절 격자 소자(1)의 편파 의존 손실(PDL)은 0.023dB로 작고, 경사형회절 격자 소자(2)의 편파 의존 손실(PDL)은 0.016dB로 더욱 작았다.
상세하게 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, N(N은 2 이상의 정수)개의 굴절율 변조부가 형성되어 있고, 각 굴절율 변조부의 굴절율 등위면에 수직한 직선이 광도파로의 광축과 평행하지 않고, 각 굴절율 변조부의 편각면이 서로 일치하지 않고, 어느 2개의 굴절율 변조부 각각의 형성영역이 서로 적어도 일부가 겹쳐 있다. 이와 같이 구성되는 광도파로형 회절 격자 소자는 단척으로서, 편파 의존 손실이 저감되게 된다.

Claims (11)

  1. 광도파로의 길이 방향을 따라 N(N은 2 이상의 정수)개의 굴절율 변조부가 형성되어 있고,
    상기 N개의 굴절율 변조부 각각의 굴절율 등위면에 수직한 직선이 상기 광도파로의 광축과 평행하지 않으며,
    상기 N개의 굴절율 변조부 각각의 굴절율 등위면에 수직한 직선과 상기 광도파로의 광축이 이루는 편각면이 서로 일치하지 않고,
    상기 N개의 굴절율 변조부 중 어느 2개의 굴절율 변조부 각각의 형성영역이 서로 적어도 일부가 겹쳐 있는 것을 특징으로 하는 광도파로형 회절 격자 소자.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 N개의 굴절율 변조부 각각의 편각면이 상기 광도파로의 광축 둘레로 180도/N씩 어긋나 있는 것을 특징으로 하는 광도파로형 회절 격자 소자.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 N개의 굴절율 변조부 각각의 편각면이 상기 광도파로의 광축 둘레로 360도/N씩 어긋나 있는 것을 특징으로 하는 광도파로형 회절 격자 소자.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 N개의 굴절율 변조부 각각은 굴절율 등위면에 수직한 직선과 상기 광도파로의 광축이 이루는 각도가 서로 동일하고, 상기 광도파로의 길이 방향에 따른 형성영역의 길이가 서로 동일하며, 굴절율 변조 주기가 서로 동일하고, 굴절율 변조 진폭이 서로 동일한 것을 특징으로 하는 광도파로형 회절 격자 소자.
  5. 제 1 항에 있어서, 투과 손실이 최대가 되는 파장에 있어서 편파 의존 손실이 투과 손실 최대치의 1/10 이하인 것을 특징으로 하는 광도파로형 회절 격자 소자.
  6. 광도파로의 길이 방향을 따라 N(N은 2 이상의 정수)개의 굴절율 변조부를, 굴절율 등위면에 수직한 직선이 상기 광도파로의 광축과 평행해지지 않도록 하여 순차로 형성하는 동시에,
    제 n(n은 2 이상 N 이하의 정수)번째 굴절율 변조부를 형성할 때, 굴절율 등위면에 수직한 직선과 상기 광도파로의 광축이 이루는 편각면이, 이미 형성한 제 1번째 내지 제 (n-1)번째 굴절율 변조부 각각의 편각면 중 어느것과도 일치하지 않도록 하고,
    상기 N개의 굴절율 변조부 중 어느 2개의 굴절율 변조부 각각의 형성영역이 서로 적어도 일부가 겹치도록 하여,
    광도파로형 회절 격자 소자를 제조하는 것을 특징으로 하는 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 N개의 굴절율 변조부 각각의 편각면을 상기 광도파로의 광축 둘레로 180도/N씩 어긋나게 하는 것을 특징으로 하는 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 N개의 굴절율 변조부 각각의 편각면을 상기 광도파로의 광축 둘레로 360도/N씩 어긋나게 하는 것을 특징으로 하는 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 N개의 굴절율 변조부 각각을 형성할 때, 굴절율 등위면에 수직한 직선과 상기 광도파로의 광축이 이루는 각도를 서로 동일하게 하고, 상기 광도파로의 길이 방향에 따른 형성영역의 길이를 서로 동일하게 하며, 굴절율 변조 주기를 서로 동일하게 하고, 굴절율 변조 진폭을 서로 동일하게 하는 것을 특징으로 하는 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법.
  10. 제 6 항에 있어서, 투과 손실을 모니터하면서 상기 N개의 굴절율 변조부 각각을 형성하는 것을 특징으로 하는 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법.
  11. 제 6 항에 있어서, 편파 의존 손실을 모니터하면서 상기 N개의 굴절율 변조부 각각을 형성하는 것을 특징으로 하는 광도파로형 회절 격자 소자 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20030121289A1 (en) * 2002-01-02 2003-07-03 Benda John A. Long period fiber Bragg gratings written with alternate side IR laser illumination
CN102183488B (zh) * 2011-03-04 2013-06-19 北京交通大学 基于闪耀长周期光纤光栅的折射率传感器
JP6460637B2 (ja) * 2014-03-31 2019-01-30 富士通株式会社 半導体光導波路装置
CN104777535B (zh) * 2015-03-25 2017-05-24 东南大学 一种复用体全息光栅
EP3540499A1 (en) 2018-03-13 2019-09-18 Thomson Licensing Image sensor comprising a color splitter with two different refractive indexes
EP3540479A1 (en) 2018-03-13 2019-09-18 Thomson Licensing Diffraction grating comprising double-materials structures
EP3591700A1 (en) 2018-07-02 2020-01-08 Thomson Licensing Image sensor comprising a color splitter with two different refractive indexes, and different height

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5559907A (en) * 1994-02-17 1996-09-24 Lucent Technologies Inc. Method of controlling polarization properties of a photo-induced device in an optical waveguide and method of investigating structure of an optical waveguide
JPH1184117A (ja) * 1997-09-09 1999-03-26 Fujikura Ltd 反射型光導波路グレーティング
JP2000266945A (ja) * 1999-01-25 2000-09-29 Alcatel 傾斜および線形チャープを有するフィルタ光導波路
JP2001021738A (ja) * 1999-07-12 2001-01-26 Sumitomo Electric Ind Ltd 光導波路型フィルタ及びその製造方法並びに光ファイバ増幅器
IT1311335B1 (it) * 1999-12-21 2002-03-12 Otc Optical Technologies Ct S Procedimento e dispositivo per realizzare reticoli in fibra ottica.

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