KR20030017905A - 레시피 제어 장치 - Google Patents

Abstract

멀티-장치를 구성하는 모듈들 각각이 인에이블 상태 또는 디스에이블 상태인 가를 제어하는 장치가 개시되어 있다. 상태 판단부는 멀티-장치를 구성하는 모듈들 각각에 설치되는 센서와 연결되고, 상기 센서의 센싱 신호에 근거하여 상기 모듈들이 인에이블 상태 또는 디스에이블 상태인 가를 판단한다. 그리고, 상태 설정부는 상기 상태 판단부와 연결되고, 상기 상태 판단부의 신호에 근거한 스위칭 동작에 의해 상기 모듈들을 인에이블 또는 디스에이블 상태로 설정한다. 따라서, 리부팅 등으로 인한 모듈 상태 표시가 초기화되어도, 리부팅 이전의 상황을 항상 확인할 수 있기 때문에 공정 상에 발생하는 안전 사고를 미연에 방지할 수 있다.

Description

레시피 제어 장치{Apparatus for controlling a recipe}

본 발명은 레시피 제어 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 멀티-장치를 구성하는 모듈(module)들 각각이 인에이블(enable) 상태 또는 디스에이블(disable) 상태인 가를 제어하는 장치에 관한 것이다.

최근, 반도체 장치는 멀티-장치 구성을 갖는다. 즉, 다수의 모듈들을 포함하는 멀티-장치로 구성된다. 그리고, 상기 멀티 구성을 갖는 장치는 모듈들 각각이 별도로 동작된다. 따라서, 상기 모듈들 중에서 어느 하나의 모듈에 대한 유지 보수가 필요한 경우, 상기 장치 전체의 가동을 중단시키지 않고, 상기 유지 보수가 필요한 해당 모듈에 대해서만 가동을 중단시킨다. 따라서, 상기 모듈들 각각은 별도의 레시피를 필요로 한다.

이와 같이, 상기 모듈들에 대한 레시피는 각각으로 설정되고, 제어된다. 즉, 상기 모듈들이 인에이블 상태 또는 디스에이블 상태인 가에 대한 레시피가 각각으로 설정되고, 제어되는 것이다. 이때, 상기 레시피는 소프트 웨어적으로 제어된다. 예를 들면, 상기 모듈들 중에서 현재 사용하고 있는 모듈은 인에이블로 표시하고, 현재 사용하지 않는 모듈은 디스에이블로 표시함으로서, 상기 디스에이블 상태의 모듈의 사용을 제한하고 있다. 즉, 상기 디스에이블 상태의 모듈을 표시함으로서 작업자가 상기 디스에이블 상태로 표시된 모듈을 사용하는 상황을 방지하는 것이다.

상기 레시피에 의한 상기 장치를 제어하는 일 예는 미합중국 특허 제5,522,459호(issued to Padgett, et al.) 및 미합중국 특허 제5,904,478(issued to Weaver, et al)에 개시되어 있다.

상기 장치를 사용한 공정의 수행 중에는 상기 소프트 웨어적 버그(bug)가 빈빈하게 발생한다. 이에 따라, 상기 버그를 해소하기 위하여 상기 소프트 웨어를 리부팅(rebutting)한다. 그러나, 상기 소프트 웨어를 리부팅할 경우 상기 장치의 레시피가 초기화된다. 따라서, 상기 디스에이블 상태로 설정된 모듈도 인에이블 상태로 설정되고, 제어된다. 이와 같이, 상기 디스에이블 상태의 모듈이 인에이블 상태로 표시되기 때문에 작업자가 이를 오인하고, 상기 디스에이블 상태의 모듈을 사용한 공정을 수행하는 상황이 발생한다.

따라서, 상기 디스에이블 상태의 모듈을 사용한 작업이 발생함으로서 공정 상에 빈번한 불량이 발생한다.

본 발명의 목적은, 멀티 구성을 갖는 반도체 제조 장치의 레시피를 하드 웨어적으로 설정하고, 제어하기 위한 장치를 제공하는 데 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레시피 제어 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 2는 도 1의 상태 설정부를 나타내는 회로도이다.

도 3은 도 1의 전원 공급부를 나타내는 도면이다.

도 4는 모듈들 각각에 설치되는 센서가 도 1의 장치와 연결되는 구성을 나타나는 도면이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 장치는, 멀티-장치를 구성하는 모듈들 각각에 설치되는 센서와 연결되고, 상기 센서의 센싱 신호에 근거하여 상기 모듈들이 인에이블 상태 또는 디스에이블 상태인 가를 판단하는 상태 판단부; 및 상기 상태 판단부와 연결되고, 상기 상태 판단부의 신호에 근거한 스위칭 동작에 의해 상기 모듈들을 인에이블 또는 디스에이블 상태로 설정하는 상태 설정부를 포함한다.

이하, 본 발명을 상세히 설명한다.

상기 상태 판단부는 상기 센서와 직결로 연결되는데, 상기 센서는 주로 상기 장치를 구동시킬 때 상기 장치의 모듈들의 대기(stand-by) 상태를 확인하는 센서이다. 따라서, 상기 모듈들이 디스에이블 상태로 설정될 경우 상기 센서는 디스에이블 상태의 센싱 신호를 출력한다. 때문에, 상기 상태 판단부는 해당 모듈을 디스에이블 상태로 판단하고, 인터락 신호를 출력한다. 이에 따라, 상기 디스에이블 상태의 모듈을 가동하는 상황이 발생할 경우 상기 상태 판단부의 인터락 신호에 의해 상기 가동 상황을 사전에 인지시킬 수 있다.

상기 상태 설정부는 토글 스위치를 포함한다. 따라서, 상기 상태 판단부의신호에 의거하여 상기 토글 스위치를 제어함으로서 디스에이블 상태의 모듈에 대한 레시피를 하드 웨어적으로 설정 및 제어할 수 있다. 이와 같이, 상기 상태 설정부는 스위칭 동작에 의해 상기 레시피를 설정 및 제어하기 때문에 버그로 인한 소프트 웨어의 리부팅 상황이 발생하여도 상기 레시피가 초기화되지 않고, 스위칭 동작에 의한 상황을 그대로 유지하는 것이다.

이에 따라, 상기 장치를 구동하기 위한 레시피를 하드 웨어적으로 설정 및 제어함으로서 상기 장치의 구동에 따른 소프트 웨어적 결함으로 인하여 발생하는 공정 상의 오류를 최소화할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레시피 제어 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 1을 참조하면, 상기 장치는 상태 설정부(100)와 상태 판단부(140)를 포함한다. 그리고, 상태 설정부(100)와 상태 판단부(140)를 연결하기 위한 연결부(130) 및 전원을 제공하는 전원 제공부(150)를 포함한다. 또한, 상기 장치는 레시피를 디스플레이하는 디스플레이부(120)를 포함한다.

따라서, 상태 설정부는(100)는 상태 판단부(140)를 통하여 제공되는 모듈(도시되지 않음)들의 상태가 인에이블 상태 또는 디스에이블 상태인 가를 판단하고, 이에 따른 레시피를 디스플레이한다.

그리고, 연결부(130)(예 : 케이블 등)는 상태 판단부(100)와 상태설정부(140) 사이의 연결을 설정하는 부재로서, 원거리에서도 제어가 가능하도록 상태 설정부(100)와 상태 판단부(140) 사이의 입,출력 신호를 송,수신한다.

구체적으로, 상태 판단부(140)는 상기 모듈들의 상태를 판단하고, 상기 판단 결과를 상태 설정부(100)로 전송한다. 그리고, 상태 판단부(140)는 상기 모듈들 각각에 설치되는 센서(도시되지 않음)와 연결되고, 상기 센서의 센싱 신호에 의거하여 인터락 에러를 발생시키는 구성을 갖는다. 이에 따라, 상태 판단부(140)에 의해 디스에이블 상태로 판단된 모듈로 웨이퍼 등이 로딩될 경우 상태 판단부(140)는 인터락 에러를 발생시키고, 상기 모듈의 사용을 중단시킨다. 따라서, 상기 디스에이블 상태의 모듈을 임의로 사용하는 상황을 사전에 방지할 수 있다.

그리고, 전원 공급부(150)는 상태 설정부(100)에 5V 정전압을 공급하도록 구성된다.

여기서, 상기 상태 설정부(100)를 보다 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

상기 상태 설정부는 스위치 조작부 및 전원 스위치 등을 포함한다. 스위치 조작부는 토글 스위치를 포함하고, 상기 모듈들 각각에 연결된다. 그리고, 상기 토글 스위치는 상기 상태 판단부의 신호에 의거하여 스위칭 동작을 수행한다.

상기 스위칭 동작을 설명하기 위한 상태 설정부(100)를 구체적으로 설명한다.

도 2를 참조하면, 상기 상태 설정부는 A, B, C 세 개의 모듈로 구성된 반도체 장치를 예로 들어 도시한 회로도이다.

구체적으로, 상기 상태 설정부의 토글 스위치 SW 1, SW 2, SW 3은 A, B, C모듈들 각각에 설치되는 센서와 연결되고, 상기 센서를 통한 상태 판단부의 신호에 의거하여 상기 모듈들 각각이 인에이블 또는 디스에이블 상태에 따라 토글 스위치의 스위칭 동작을 달리하는 구성을 갖는다.

그리고, 상기 SW 1과 SW 2 및 SW 3은 2진 입력을 8진 변환하는 IC2에 연결되며, SW 1과 SW 2 및 SW 3에 의해 출력된 신호는 IC2를 통해 8진 변환되어 출력되는 구성을 갖는다. 그리고, 인버터(I1, I2, I3)는 2진 입력을 8진 변화하는 IC5와 결되고, 이에 따라, 상기 인버터에 의해 반전된 IC5에 입력된 시회는 IC5와 연결된 저항(R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7)을 통하여 상기 디스플레이부로 입력된다. 이에 따라, 상기 도클 스위치가 스위칭 동작을 수행하여 상기 모듈들 각각의 상태를 인에이블 또는 디스에이블 상태로 설정한다. 또한, 상기 스위칭 동작의 신호는 디스플레이부로 출력되고, 이를 디스플레이부가 디스플레이하는 것이다.

하기의 표 1은 상기 토글 스위치의 스위칭 동작에 의해 상기 모듈 각각의 상태가 디스에이블 또는 인에이블 인가를 디스플레이한 상태를 나타낸다.

모듈 A	모듈 B	모듈 C	레시피 번호
인에이블	인에이블	인에이블	0
인에이블	인에이블	디스에이블	1
인에이블	디스에이블	인에이블	2
디스에이블	인에이블	인에이블	3
인에이블	디스에이블	디스에이블	4
디스에이블	인에이블	디스에이블	5
디스에이블	디스에이블	인에이블	6
인에이블	인에이블	인에이블	0

그리고, 도 3는 도 1의 전원 공급부를 나타내는 도면으로서, 입력 전압은IC1으로 인가되고, 이에 따라, IC1에 연결된 스위치를 통하여 상기 상태 설정부로 전원을 인가하는 구성을 갖는다.

이어서, 상기 모듈들 각각에 설치되는 센서가 상기 상태 판단부와 연결되는 구성은 다음과 같다.

도 4를 참조하면, 상기 센서는 입력 전압 단자(J) 및 출력 전압 단자(K)와 연결되고, 그 일단은 상기 모듈들 각각과 연결된다. 따라서, 센서는 각 모듈들로부터 수신받은 신호를 통해 상기 모듈의 상태를 감지하고, 상기 상태 설정부의 토글 스위치로 전송한다. 이에 따라, 토글 스위치가 스위칭 동작을 수행하여 상기 모듈들 각각의 상태에 따라 인에이블 또는 디스에이블 상태로 설정하는 구성을 갖는다. 그리고, 상기 디스플레이부는 상기 해당 모듈들의 상태를 디스플레이한다.

이에 따라, 토글 스위치의 스위칭 동작에 따른 하드 웨어적 설정 및 제어를 통하여 모듈들 각각의 인에이블 또는 디스에이블 상태를 인지함으로써, 상기 장치의 소프트 웨어적 결함으로 인하여 리부팅 상황이 발생하여도 상기 모듈들 각각의 상태를 상기 리부팅 이전 상태 그대로 인지한다.

따라서, 본 발명에 의하면, 리부팅 등으로 인한 모듈 상태 표시가 초기화되어도, 리부팅 이전의 상황을 항상 확인할 수 있기 때문에 공정 상에 발생하는 안전 사고를 미연에 방지할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (2)

1. 멀티-장치를 구성하는 모듈들 각각에 설치되는 센서와 연결되고, 상기 센서의 센싱 신호에 근거하여 상기 모듈들이 인에이블 상태 또는 디스에이블 상태인 가를 판단하는 상태 판단 수단; 및

   상기 상태 판단 수단과 연결되고, 상기 상태 판단 수단의 신호에 근거한 스위칭 동작에 의해 상기 모듈들을 인에이블 또는 디스에이블 상태로 설정하는 상태 설정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티-장치를 구성하는 모듈의 레시피 제어 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 레시피 제어 장치는 상기 상태 설정 수단에 연결되고, 상기 상태 설정 수단의 스위칭 동작에 의한 스위칭 상태를 디스플레이하는 디스플레이 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티-장치를 구성하는 모듈의 레시피 제어 장치.