KR20000001704A - 반도체 제조설비의 제어 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비의 제어 시스템에 관한 것이다.

본 발명은, 반도체 확산공정을 수행하는 각종 제어신호를 인가하는 조작기, 상기 조작기에서 입력받은 제어신호를 저장하여 부속설비에 신호를 인가하는 중앙처리장치, 상기 중앙처리장치에 연결되어 보조역할을 수행하는 보조 중앙처리장치, 상기 보조 중앙처리장치에서 신호를 인가받아 동작하는 부하장치, 상기 조작기에서 인가되는 제어신호가 상기 중앙처리장치, 보조 중앙처리장치, 부하장치에 전달되어 상기 부하장치까지 전달되는 신호와 비교하여 이상신호발생을 감지하는 비교 인터로크 감지기, 상기 보조 중앙처리장치에 외부 유틸리티를 입력하는 입력 파라미터, 상기 입력 파라미터에서 공급해주는 신호를 비교하여 이상신호 발생시 이를 감지하는 입력 파라미터 감지기를 포함하여 이루어진다.

따라서, 본 발명에 의하면 중앙처리장치의 보조기능과 외부 유틸리티의 변화감지 및 유지보수 기간이 단축되는 효과가 있다.

Description

반도체 제조설비의 제어 시스템

본 발명은 반도체 제조설비의 제어 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 조작기에서 제공되는 제어신호가 각 처리장치에서 왜곡됨이 없이 전달되어 제어되도록 하는 반도체 제조설비의 제어 시스템에 관한 것이다.

반도체 제조에서 확산은 도펀트(Dopant) 원자로 고체 웨이퍼를 도핑(Doping)시키는 것을 말한다.

도1은 종래의 반도체 제조설비의 제어 시스템을 나타낸 블록도이다.

도1에서 보는 바와 같이 조작기(10)의 동작 신호가 중앙처리장치(12)에 인가되고, 중앙처리장치(12)에서 보조 중앙처리장치(14)에 동작 신호가 전송 되면 부하장치(16)가 조작기의 동작순서대로 동작한다. 이때 외부 유틸리티 공급부에서는 계속적으로 입력 파라미터(18)를 공급해 주고 있다.

중앙처리장치와 보조 중앙처리장치간의 신호 전송 장애 가능성과 상기 보조 중앙처리장치와 부하장치간의 신호 전송 장애가 발생한다.

반도체 제조설비의 중앙처리장치와 보조 중앙처리장치에 입력,출력 파라미터의 변화를 감지할 수 있는 장치가 없이 설계되어 있어, 전송 장애 발생시 원인 분석하는데 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은 중앙처리장치와 보조 중앙처리장치에 입,출력 파라미터를 인가받는 별도의 인터로크(Interlock) 감지기를 설치하여 반도체 제조설비의 관리의 향상을 도모하는 반도체 제조설비의 제어 시스템을 제공하는 데 있다.

도1은 종래의 반도체 제조설비의 제어 시스템을 나타낸 블록도이다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조설비의 제어 시스템을 나타낸 블록도이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10,20 : 조작기 12,22 : 중앙처리장치

14,24 : 보조 중앙처리장치 16,26 : 부하장치

17,34 : 동작점검부 18,30 : 파라미터 입력부

19 : 파라미터 출력부 28 : 비교 인터로크(Interlock) 감지기

32 : 입력 파라미터 감지기

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 제어 시스템은, 반도체 확산공정을 수행하는 각종 제어신호를 인가하는 조작기, 상기 조작기에서 입력받은 제어신호를 저장하여 부속설비에 신호를 인가하는 중앙처리장치, 상기 중앙처리장치에 연결되어 보조역할을 수행하는 보조 중앙처리장치, 상기 보조 중앙처리장치에서 신호를 인가받아 동작하는 부하장치, 상기 조작기에서 인가되는 제어신호가 상기 중앙처리장치, 보조 중앙처리장치, 부하장치에 전달되어 상기 부하장치까지 전달되는 신호와 비교하여 이상신호발생을 감지하는 비교 인터로크 감지기, 상기 보조 중앙처리장치에 외부 유틸리티를 입력하는 입력 파라미터, 상기 입력 파라미터에서 공급해주는 신호를 비교하여 이상신호 발생시 이를 감지하는 입력 파라미터 감지기를 포함하여 이루어진다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조설비의 제어 시스템을 나타낸 블록도이다.

도2에서 보는 바와 같이 반도체 제조설비의 제어 시스템은 반도체 확산공정을 수행하는 각종 제어신호를 인가하는 조작기(20)에 상기 조작기(20)에서 입력받은 제어신호를 인가받아서 부속설비에 신호를 인가하는 중앙처리장치(22)가 연결되고, 상기 중앙처리장치(22)의 보조역할을 하는 보조 중앙처리장치(24)가 연결되어 있으며, 상기 보조 중앙처리장치(24)에서 신호를 인가받아 동작하는 부하장치(26)가 연결되어 있다.

상기 조작기(20)에서 인가되는 제어신호가 상기 중앙처리장치(22), 보조 중앙처리장치(24) 및 부하장치(26)에 전달되어 상기 부하장치(26)까지 전달되는 신호와 비교하여 이상신호발생을 감지하도록 비교 인터로크 감지기(28)가 별도로 연결되고, 상기 보조 중앙처리장치(24)에 외부 유틸리티에서 발생되는 신호를 입력하는 입력 파라미터(30), 상기 입력 파라미터(30)에서 인가되는 신호를 비교하여 이상신호 발생시 이를 감지하는 입력 파라미터 감지기(32)를 포함하여 이루어진다.

비교 인터로크는 조작기(20)에서 인가되는 제어 신호가 중앙처리장치(22), 보조 중앙처리장치(24) 및 부하장치(26)에 전달되는 동안의 신호를 각각 입력받아 비교하여 이상 신호발생시 이를 감지하여 이상신호의 발생 위치 를 확인하고, 부하장치(26)를 정지하도록 조작기(20)에 전달한다.

또한, 입력 파라미터 감지기(32)는 입력 파라미터(30)에서 인가되는 신호를 비교하여 이상신호 발생시 이를 감지하여 부하장치(26)를 정지하도록 조작기(20)에 전달한다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 실시예에 의하면, 입력 파라미터(30)의 제어 신호를 감지하고, 중앙처리장치(22)와 보조 중앙처리장치(24)사이의 제어 신호를 감지하며, 이를 비교제어하여 이상 발생부를 찾아 시스템에 인터로크 신호를 발생시켜서 제어할 수 있도록 한다.

또한, 이상 신호가 발생한 위치를 파악하여 조작기에 통보함으로써 유지보수에 효율적으로 대처할 수 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 중앙처리장치의 보조기능과 외부 유틸리티의 변화감지 및 유지보수 기간이 단축되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (1)

1. 반도체 확산공정을 수행하는 각종 제어신호를 인가하는 조작기;

   상기 조작기에서 입력받은 제어신호를 저장하여 부속설비에 신호를 인가하는 중앙처리장치;

   상기 중앙처리장치에 연결되어 보조역할을 수행하는 보조중앙처리장치;

   상기 보조중앙처리장치에서 신호를 인가받아 동작하는 부하장치;

   상기 조작기에서 인가되는 제어신호가 상기 중앙처리장치, 보조중앙처리장치, 부하장치에 전달되어 상기 부하장치까지 전달되는 신호와 비교하여 이상신호발생을 감지하는 비교 인터로크 감지기;

   상기 보조중앙처리장치에 외부 유틸리티를 입력하는 입력 파라미터;

   상기 입력 파라미터에서 공급해주는 신호를 비교하여 이상신호 발생시 이를 감지하는 입력 파라미터 감지기;

   를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 제어시스템.