KR20030010094A - 평판형 화상표시장치 및 그의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판형 화상표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 화상표시장치의 전극 구성요소 간에 균일한 전기장을 발생시킬 수 있도록 한 것이다.

이를 위해 본 발명은 최후방에 위치하는 평판형의 배면유리와, 상기 배면유리 전방에 설치되어 전자빔을 방출하는 복수개의 선음극과, 상기 선음극과 배면유리 사이에 위치되는 배면전극과, 상기 선음극의 전방에 위치하는 인출전극과, 신호전극, 집속전극, 수평 및 수직 편향전극 및, 그 내면에 형광체가 도포되어 상기 선음극으로부터 방출된 전자빔에 의해 형광체가 발광되며 원화는 화면을 구현하는 스크린을 포함하여 구성된 것에 있어서, 상기 배면유리 전방면에는 상기 각 선음극과 대응하도록 복수개의 홈이 형성되고, 이 홈이 형성된 배면유리 전방면에 도전성 막이 도포되어 배면전극을 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 평판형 화상표시장치를 제공한다.

또한, 본 발명에 따르면 상기 배면유리의 홈들은 에칭(Etching), 샌드블라스트(Sand Blast), 스퀴징(Squeezing) 등의 화학적 및 물리적 방법으로 형성될 수 있다.

Description

평판형 화상표시장치 및 그의 제조방법{Flat type display and method for making the same}

본 발명은 평판형의 화상표시장치에 관한 것으로, 특히 화상표시장치 내부의 구성요소 간에 균일한 전기장을 발생시킬 수 있도록 한 평판형 화상표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다.

주지된 바와 같이, 컬러 텔레비젼의 화상표시장치로서 주로 브라운관(CRT)이 사용되고 있는데, 이 브라운관은 화면에 비해 안길이(Depth)가 길어 박형의 텔레비젼 수상기를 제작하는 것이 불가능하였다.

따라서, 최근에는 액정표시장치(LCD), 플라즈마표시장치(PDP: Plasma Display Panel), 전계방출표시장치(FED:Field Emission Display) 등의 평판형 화상표시장치들이 개발되어 사용되고 있는데, 이들 평판형 화상표시장치는 브라운관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 영상크기의 브라운관에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼 등의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.

한편, 일본 특개소59-123145호(1984. 7. 16)와 일본 특개평2-216739호(1990. 8. 29)에는 전자빔을 사용하여 고품질의 화상을 평판 상에 구현하는 것을 목적으로 스크린 상의 화면을 메트릭스(matrix) 상의 구분으로 분할하고, 각각의 구분마다 전자빔을 편향 주사하여 스크린 상의 형광체를 발광시킴으로써 전체적으로 컬러 텔레비젼 화상을 출력하는 화상표시장치가 개시되어 있다.

첨부된 도면의 도 1은 이러한 종래의 화상표시장치의 일 실시예의 구성을 나타낸 것으로, 화상표시장치는, 배면전극(2)과, 전자를 방출하는 전자원(電子原)인 복수개의 선음극(3)과, 전자빔 인출전극(4), 신호전극(5), 집속전극(6), 수직편향전극(7) 및, 수평편향전극(8)으로 이루어진 구성부품들이 배면유리(1)와 스크린유리(9)의 유리용기 내부에서 진공상태로 수납된 구성으로 이루어진다.

여기서, 상기 배면전극(2)은 도전성 막이 도포된 평판으로 되어 선음극(3)에 대해 평행하게 설치된다.

상기 선음극(3)은 수직방향으로 일정한 간격을 두고서 복수개가 수평하게 배치되고, 전자방출을 위해 텅스텐 재질의 선의 표면에 산화물 음극 재료가 도포되어 구성된다.

또한, 인출전극(4)은 상기 배면전극(2)과 대향되도록 선음극(3) 전방의 스크린 쪽에 위치하고, 이 인출전극(4)에는 수평방향으로 적당한 간격으로 행을 이루고 수직방향으로는 각 선음극(3)에 대응하는 열을 이루도록 복수개의 관통공(4a)들이 형성된 도전성의 판상으로 이루어져 있다.

그리고, 상기 신호전극(5)은 인출전극(4)의 각 관통공(4a)들과 대응하는 위치에 관통공(5a)들이 배치된 복수개의 기다란 도전판들로 구성되고, 상기 집속전극(6) 또한 신호전극(5)의 각 관통공(5a)들과 대응하는 위치에 관통공(6a)들이 형성된 도전판으로 이루어진다.

상기 수직편향전극(7)과 수평편향전극(8)은 동일 평면에 적당 간격으로 배치되어 서로 맞물린 2매의 빗 형태로 형성된 도전판으로 되어 있다.

상기 스크린유리(9)는 그 내면에 전자빔의 조사에 의해 발광하는 형광체가 도포되고 그 위에 금속박막층이 부가되어 구성된다.

한편, 상기 인출전극(4), 신호전극(5), 집속전극(6), 수평편향전극(7) 및, 수직편향전극(8)들은 각각 절연성의 접착제에 의해 서로 접합되어 있다.

상기와 같이 구성된 종래의 화상표시장치는 다음과 같이 동작한다.

먼저, 전자방출을 용이하게 하기 위하여 선음극(3)을 가열하고, 이 상태에서 배면전극(2)과 선음극(3) 및 인출전극(4)에 적당한 전압을 인가하여 선음극(3) 표면으로부터 전자빔을 방출시킨다.

상기 선음극(3)으로부터 방출된 전자빔은 인출전극(4)의 관통공(4a)에 의해 복수개로 분할되어 다수의 전자빔류가 되고, 이 전자빔류는 신호전극(5)에 인가되는 영상신호에 대응하여 신호전극(5)을 통과하면서 각 전자빔류 개별로 통과량이 조절된다.

이어서, 신호전극(5)을 통과한 전자빔류는 집속전극(6)의 관통공(4a)의 정전렌즈 효과에 의해 집속, 정형화된 후, 수직편향전극(7)과 수평편향전극(8)의 각 도전판에 가해지는 전위차에 의해 수평 및 수직으로 편향된다.

이 때, 스크린유리(9)의 금속박막층에는 약 10kV의 고전압이 인가되고 있는 바, 전자빔은 고에너지로 가속되어 상기 금속박막층에 충돌하고 형광체를 발광시킨다.

한편, 상기 선음극(3)에서 방출되는 전자빔이 스크린유리(9) 방향으로 진행하게 하고 선음극(3)의 전자 방출 효율을 높이기 위해서는 선음극(3)에서 스크린유리(9) 사이에 있는 전극들의 전압 설정과 함께 선음극(3)에서 방출되는 전자가 후방으로 가지 않도록 해야하는 바, 상기 배면전극(2)은 도 2에 도시된 것과 같이 특정 전압을 인가함으로써 선음극(3)에서 방출된 전자가 배면유리(1) 쪽으로 가는 것을 막고 스크린유리(9) 쪽으로 진행하도록 하는 역할을 하게 된다.

그런데, 상기와 같은 종래의 평판형 화상표시장치의 경우, 도 3에 도시된 것과 같이 상기 배면전극(2)과 선음극(3)이 이루는 전기장이 중심부와 주변부에서 차이가 발생하게 되는데, 특히 주변부는 배면전극(2)을 제외한 모든 전극을 고정하는 프레임(30; 도 7a참조)이 배면전극(2)의 도전성 막 외곽부를 둘러싸도록 되어 있기 때문에 전기장의 일그러짐이 있게 된다.

이와 같이 중심부와 주변부의 전기장 형태가 다르게 나타나면 선음극(3)의 전자 방출 특성 또한 중심부와 주변부가 다르게 나타나므로 결과적으로 중심부와 주변부의 화질이 저하되는 원인이 되는 문제점이 있었다.

이에 종래에는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 도 4와 도 5에 도시된 것과 같이, 배면전극(12)에 각 선음극(3) 주위를 둘러싸도록 복수개의 리브(12a) 일체로 형성함으로써 주변부와 중심부의 전기장이 동일하도록 하였다.

그런데, 상기와 같이 배면전극(12)에 리브(12a)를 형성하여 전기장을 균일하게 하는 경우, 상기 배면전극(12)은 선음극(3)에서 발생하는 열에 의한 변형을 최소화하기 위하여 첫째, 열팽창계수가 작은 금속재료를 사용해야 하고, 둘째 뒤틀림을 방지하기 위하여 두께가 두꺼워야 하며, 심지어는 보조 금속판을 덧붙여야 뒤틀림을 방지할 수 있으므로 무게가 증가하고 재료비가 상승하는 문제점이 있었다.

이러한 문제점은 화상표시장치의 유효면 크기가 커질수록 변형이 심해지므로 더욱 더 증폭된다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 배면전극 구조를 개선하여 화상표시장치의 주변부와 중심부의 전기장을 균일하게 할 수있는 평판형 화상표시장치 및 그의 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 평판형 화상표시장치의 일 실시예의 구성을 나타낸 분해도

도 2는 도 1의 평판형 화상표시장치의 작동 원리를 나타낸 도면

도 3은 도 1의 평판형 화상표시장치의 배면전극 부분에서 나타나는 전기장 분포를 설명하는 도면

도 4는 종래의 평판형 화상표시장치의 다른 실시예의 구성을 나타낸 분해도

도 5는 도 4의 평판형 화상표시장치의 배면전극 부분에서 나타나는 전기장 분포를 설명하는 도면

도 6은 본 발명에 따른 평판형 화상표시장치의 배면전극 부분의 일 실시예를 나타낸 단면도

도 7a와 도 7b는 각각 도 6의 평판형 화상표시장치의 배면전극 부분에서 나타나는 전기장 분포를 설명하는 도면들로, 도 7a는 선음극이 배면전극의 홈 외부에 위치했을 때의 전기장 분포를 설명하고, 도 7b는 선음극이 배면전극의 홈 외부에 위치했을 때의 전기장 분포를 설명한다.

도 8은 도 6의 평판형 화상표시장치의 전기장 해석을 실험한 결과치를 나타낸 그래프

도 9는 본 발명에 따른 평판형 화상표시장치의 배면전극 부분의 다른 실시예를 나타낸 단면도

도 10은 본 발명에 따른 평판형 화상표시장치의 제조방법의 제 1실시예를 순차적으로 나타낸 도면

도 11는 본 발명에 따른 평판형 화상표시장치의 제조방법의 제 2실시예를 순차적으로 나타낸 도면

도 12은 본 발명에 따른 평판형 화상표시장치의 제조방법의 제 3실시예를 순차적으로 나타낸 도면

* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *

10, 100 - 배면유리 20, 200 - 배면전극

11, 110 - 홈 3 - 선음극

4 - 인출전극 5 - 신호전극

6 - 집속전극 7 - 수직편향전극

8 - 수평편향전극 9 - 스크린유리

r - 감광제 m - 마스크

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 한 관점에 따르면, 최후방에 위치하는 평판형의 배면유리와, 상기 배면유리 전방에 설치되어 전자빔을 방출하는 복수개의 선음극과, 상기 선음극과 배면유리 사이에 위치되는 배면전극과, 상기 선음극의 전방에 위치하는 인출전극과, 신호전극, 집속전극, 수평 및 수직 편향전극 및, 그 내면에 형광체가 도포되어 상기 선음극으로부터 방출된 전자빔에 의해 형광체가 발광되며 원화는 화면을 구현하는 스크린을 포함하여 구성된 것에 있어서, 상기 배면유리 전방면에는 상기 각 선음극과 대응하도록 복수개의 홈이 형성되고, 이 홈이 형성된 배면유리 전방면에 도전성 막이 도포되어 배면전극을 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 평판형 화상표시장치가 제공된다.

본 발명의 다른 관점에 따르면, 상기와 같은 본 발명의 평판형 화상표시장치를 제조하기 위하여, 배면유리 상에 감광제(photoresist)를 도포하는 단계; 상기 배면유리 상의 감광제에 원하는 홈의 패턴이 형성된 마스크를 사용하여 노광 및 현상하는 단계; 상기 배면유리를 유리 에칭액으로 에칭하여 홈을 형성하는 단계; 상기 배면유리 상의 잔류 감광제를 제거하는 단계; 상기 배면유리 상에 도전성 막을 도포하는 단계를 포함하여 구성된 평판형 화상표시장치의 제조방법이 제공된다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 평판형 화상표시장치를 제조하기 위한 다른 방법으로서, 배면유리 상에 페이스트상(paste phase)의 유리를 형성한 후 페이스트 유리에 감광제를 도포하는 단계; 상기 페이스트 유리 상의 감광제에 원하는 홈의패턴이 형성된 마스크를 사용하여 노광 및 현상하는 단계; 샌드블라스팅(sandblasting) 기법으로 미세 입자를 고압력으로 분사하여 홈을 형성하는 단계; 배면유리 상의 잔류 감광제를 제거하는 단계; 상기 배면유리 상에 도전성 막을 도포하는 단계를 포함하여 구성된 평판형 화상표시장치의 제조방법이 제공된다.

이와 더불어, 본 발명의 평판형 화상표시장치제조하기 위한 또 다른 제조방법의 한 형태로, 배면유리 상에 감광제를 도포하는 단계; 상기 배면유리 상의 감광제를 원하는 패턴이 형성된 마스크를 사용하여 노광 및 현상하여 페이스트 충전용 홈을 형성하는 단계; 상기 페이스트 충전용 홈에 페이스트상의 유리를 충전시키는 단계; 상기 배면유리 상의 감광제를 제거하는 단계; 상기 배면유리 상에 도전성 막을 도포하는 단계를 포함하여 구성된 평판형 화상표시장치의 제조방법이 제공된다.

이하, 본 발명의 평판형 화상표시장치 및 그의 제조방법의 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

참고로, 이하의 설명에서 화상표시장치의 구성요소들 중 종래와 동일하거나 유사한 부분에 대해서는 동일한 참조부호를 병기하며, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 6은 본 발명에 따른 평판형 화상표시장치의 일 실시예를 나타낸 것으로, 평판형 화상표시장치의 최후방에 위치하는 배면유리(10)의 전방면에 복수개의 홈(11)이 일정한 간격으로 형성되고, 이 홈(11)이 형성된 배면유리(10)의 전방면에 도전성 막이 도포되어 배면전극(20)을 형성하도록 되어 있다.

여기서, 상기 홈(11)은 각각의 선음극(3)과 대응하도록 선음극(3)과 같은 수로 형성되는 것이 바람직하며, 홈(11) 간의 피치(p)는 선음극(3) 간의 피치와 동일하게 형성되는 것이 선음극(3) 주위의 전기장을 균일하게 하는데 유리하다.

또한, 상기 각각의 선음극(3)들은 상기 홈(11) 내측에 위치하도록 된 것이 바람직한데, 이는 전술한 것과 같이 유효면 외측에 화상표시장치의 각 전극들을 고정시키기 위한 프레임(30; 도 7a참조)이 설치되기 때문이다.

즉, 도 7a에 도시된 것과 같이 선음극(3)들이 대응하는 홈(11)의 외측에 위치하게 되면 상기 프레임(30) 등에 의한 외부 전기장의 영향으로 유효면 경계 부분에 위치하게 되는 선음극(3) 주위의 전기장이 영향을 받게 된다.

따라서, 도 7b에 도시된 것과 같이 각각의 선음극(3)들은 각 홈(11)의 내측에 위치되어야 외부의 전기장으로부터 영향을 덜 받게 되어 균일한 전기장을 형성시킬 수 있고, 이에 따라 균일한 화질을 보장할 수 있게 되는 것이다.

한편, 도 8은 홈(11) 폭의 변화에 따른 선음극에서 나오는 전류 변화를 실험에 의해 도출한 결과를 보여주는 그래프로, 홈(11)의 깊이(d)가 4.659㎜, 선음극(3)의 지름은 32㎛, 선음극(3)의 높이(h), 즉 선음극(3) 중심으로부터 홈(11) 바닥면까지의 거리는 4.314㎜, 선음극(3)과 인출전극(4) 간의 수직거리는 0.4㎜이고, 선음극(3)에 15V, 배면전극(20)에 0V, 인출전극(4)에 20V의 전압을 각각 인가했을 때의 특정한 조건에서 얻은 결과인데, 도 8에 도시된 것과 같이 폭이 1㎜ 감소할 때마다 선음극(3)에서 방출되는 전류는1.39㎂가 감소하는 것으로 나타났다.

이 결과로 배면유리(10)에 형성된 각 홈(11)의 폭에 차이가 있게 되면 각 선음극(3)의 전자 방출 특성이 변화함을 알 수 있는 바, 상기 홈(11)들은 가능한한 동일한 폭으로 형성되는 것이 화질을 균일하게 하는데 유리하다.

물론, 현실적으로 제조과정에서 가공오차 등에 의해 홈(11) 폭이 완전히 동일하기란 매우 어렵기 때문에 가공공차를 설정함에 있어 홈 폭의 변화에 따른 선음극의 전자방출 특성 변화량과 이 변화량이 휘도 등의 화질에 미치는 영향력을 파악하여 가장 양호한 화질을 얻을 수 있는 범위 내에서 가공공차를 설정하는 것이 바람직하다.

도 9는 본 발명에 따른 평판형 화상표시장치의 다른 실시예를 나타낸 것으로, 이 실시예에서는 배면유리(100)에 형성되는 홈(110)이 사각형 등의 다각형 단면형상으로 형성되지 않고 만곡된 원호형상의 단면형상을 갖도록 되어 있다.

한편, 상기와 같은 배면전극(20)의 홈(11)들은 기계적인 가공으로도 충분히 가능하나, 가공정도를 향상시키고 가공시간을 절약하기 위해 화학적인 에칭(Etching), 샌드블라스트(Sand Blast), 스퀴징(Squeezing) 등의 방법으로 형성할 수 있다.

도 10은 상기와 같은 방법중 에칭 방법으로 배면유리(10)에 홈(11)을 형성하는 것을 나타낸 것으로, 배면유리(10) 상에 감광제(r; photoresist)를 도포하거나 건조필름감광제(DFR; Dry Film Resist)를 전사한 다음, 이 배면유리(10) 상의 감광제(r)에 원하는 홈의 패턴이 형성된 마스크(m)를 사용하여 노광 및 현상을 하여, 홈(11)이 형성될 부분 이외 부분에만 감광제(r)가 남도록 한다.

이어서, 상기 배면유리(10)를 불산 등의 강산으로 된 유리 에칭액으로 에칭을 하게 되면 감광제(r)가 없는 부분이 제거되면서 홈(11)이 형성된다.

이후에는 상기 배면유리(10)에 남아있는 감광제(r)를 제거한 다음 배면전극(20) 형성을 위한 도전성 막(20;도 6참조)을 도포하여 배면전극을 형성하면 된다.

전술한 에칭방법을 이용하여 화상표시장치 배면유리(10)에 홈을 형성하는 방법외에도, 도 11에 도시된 것과 같이 샌드블라스트(sand balst)법을 이용할 수도 있는데, 이 방법을 사용하는 경우에는 상기 배면유리(10) 상에 페이스트상(paste phase)의 유리(10a)를 형성한 후 페이스트 유리(10a)에 감광제(r)를 도포한다.

이어서, 상기 페이스트 유리(10a) 상의 감광제(r)에 원하는 홈의 패턴이 형성된 마스크(m)를 사용하여 노광 및 현상을 하고, 미세 입자를 고압력으로 분사하여 홈(11)을 형성한 다음, 배면유리(10) 상의 잔류 감광제(r)를 제거한다.

도 12는 스퀴징 방법을 이용하여 홈을 형성하는 방법을 나타낸 것으로, 배면유리(10) 상에 감광제(r)를 두껍게 도포한 다음 그 위에 원하는 패턴이 형성된 마스크(m)를 사용해 노광 및 현상을 수행하여 페이스트 충전용 홈(r1)을 형성한다.

이어서, 상기 페이스트 충전용 홈(11)에 페이스트상의 유리(10a)를 충전시킨 후 상기 감광제(r)를 제거하게 되면 감광제(r)가 형성되어 있던 부분이 홈(11)으로 형성된다.

전술한 방법외에도 사용자의 선택에 따라 다른 화학적 또는 물리적 방법을 적용하여 배면유리에 홈을 형성할 수도 있음은 물론이다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 배면유리에 직접 각 선음극과 대응하도록 홈을 가공하여 형성하고 도전성 막을 도포하여 배면전극을 형성함으로써 적은 비용과 간단한 공정으로 선음극 주위에 균일한 전기장을 생성할 수 있게 되고, 이에 따라 화질을 향상시킬 수 있게 된다.

특히 본 발명의 평판형 화상표시장치는 열에 의한 변형량이 매우 작기 때문에 유효면의 크기가 큰 대형의 평판형 화상표시장치 구현에 더욱 유리하게 작용한다.

Claims (10)

1. 최후방에 위치하는 평판형의 배면유리와, 상기 배면유리 전방에 설치되어 전자빔을 방출하는 복수개의 선음극과, 상기 선음극과 배면유리 사이에 위치되는 배면전극과, 상기 선음극의 전방에 위치하는 인출전극과, 신호전극, 집속전극, 수평 및 수직 편향전극 및, 그 내면에 형광체가 도포되어 상기 선음극으로부터 방출된 전자빔에 의해 형광체가 발광되며 원화는 화면을 구현하는 스크린을 포함하여 구성된 것에 있어서,

   상기 배면유리 전방면에는 복수개의 홈이 형성되고, 이 홈이 형성된 배면유리 전방면에 도전성 막이 도포되어 배면전극을 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 평판형 화상표시장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 각 홈은 각각의 선음극과 대응하도록 선음극과 동수로 형성된 것을 특징으로 하는 평판형 화상표시장치.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 각 선음극은 상기 각 홈 내측에 수용되도록 한 것을 특징으로 하는 평판형 화상표시장치.
4. 제 1항에 있어서, 상기 각 홈의 폭은 동일하도록 된 것을 특징으로 하는 평판형 화상표시장치.
5. 제 1항에 있어서, 상기 각 홈은 다각형의 단면 형상을 하도록 형성된 것을 특징으로 하는 평판형 화상표시장치.
6. 제 1항에 있어서, 상기 각 홈은 만곡된 원호형의 단면 형상을 하도록 형성된 것을 특징으로 하는 평판형 화상표시장치.
7. 제 1항에 있어서, 상기 각 홈 간의 피치는 각 선음극 간의 피치와 동일하게 형성된 것을 특징으로 하는 평판형 화상표시장치.
8. 배면유리 상에 감광제(photoresist)를 도포하는 단계;

   상기 배면유리 상의 감광제에 원하는 홈의 패턴이 형성된 마스크를 사용하여 노광 및 현상하는 단계;

   상기 배면유리를 유리 에칭액으로 에칭하여 홈을 형성하는 단계;

   상기 배면유리 상의 잔류 감광제를 제거하는 단계;

   상기 배면유리 상에 도전성 막을 도포하는 단계를 포함하여 구성된, 제 1항에 따른 평판형 화상표시장치의 제조방법.
9. 배면유리 상에 페이스트상(paste phase)의 유리를 형성한 후 페이스트 유리에 감광제를 도포하는 단계;

   상기 페이스트 유리 상의 감광제에 원하는 홈의 패턴이 형성된 마스크를 사용하여 노광 및 현상하는 단계;

   샌드블라스팅(sandblasting) 기법으로 미세 입자를 고압력으로 분사하여 홈을 형성하는 단계;

   배면유리 상의 잔류 감광제를 제거하는 단계;

   상기 배면유리 상에 도전성 막을 도포하는 단계를 포함하여 구성된, 제 1항에 따른 평판형 화상표시장치의 제조방법.
10. 배면유리 상에 감광제를 도포하는 단계;

    상기 배면유리 상의 감광제를 원하는 패턴이 형성된 마스크를 사용하여 노광 및 현상하여 페이스트 충전용 홈을 형성하는 단계;

    상기 페이스트 충전용 홈에 페이스트상의 유리를 충전시키는 단계;

    상기 배면유리 상의 감광제를 제거하는 단계;

    상기 배면유리 상에 도전성 막을 도포하는 단계를 포함하여 구성된, 제 1항에 따른 평판형 화상표시장치의 제조방법.