KR20030000721A - 마스크 건식식각 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마스크 건식식각 장치에 관한 것으로, 일렉트로이드 상부에 마스크와 동일한 높이를 가지며 마스크가 들어갈 수 있는 홈이 파진 플레이트가 장착되어 상기 홈에 마스크를 부착하여 건식식각 하는 마스크 건식식각 공정에 있어서, 마스크에 탈착이 가능하고 플레이트와 동일한 재질의 얇은 엔지니어링 플라스틱 프레임을 마스크 측면에 부착하여 일렉트로이드 상부의 플레이트 홈안에 장착한 후 건식식각 함으로써, 마스크와 플레이트 측면의 직접적인 접촉을 막아 마스크 측면에 발생한 오염물이 플레이트 측면에 쌓이는 것을 막아 마스크상의 패턴 브리지등 불량을 방지하여 마스크의 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

Description

마스크 건식식각 장치{DRY ETCHER OF MASK}

본 발명은 마스크 건식식각 장치에 관한 것으로, 일렉트로이드 상부에 마스크와 동일한 높이를 가지며 마스크가 들어갈 수 있는 홈이 파진 플레이트가 장착되어 상기 홈에 마스크를 부착하여 건식식각 하는 마스크 건식식각 공정에 있어서, 마스크에 탈착이 가능하고 플레이트와 동일한 재질의 얇은 엔지니어링 플라스틱 프레임을 마스크 측면에 부착하여 일렉트로이드 상부의 플레이트 홈안에 장착한 후 건식식각 함으로써, 마스크와 플레이트 측면의 직접적인 접촉을 막아 마스크 측면에 발생한 오염물이 플레이트 측면에 쌓이는 것을 막아 마스크상의 패턴 브리지등 불량을 방지하여 마스크의 생산성을 향상시킬 수 있는 마스크 건식식각 장치에 관한 것이다.

도1은 종래 기술에 의한 에처 플레이트를 나타낸 도면이다.

여기에 도시된 바와 같이 일렉트로이드(10) 상부에 마스크와 동일한 높이를 가지며 마스크가 들어갈 수 있는 홈(A)이 파진 엔지리어링 플라스틱 재질의 플레이트(20)가 장착되어 있다.

도2는 종래 기술에 의한 마스크 건식 식각시 유발되는 문제점을 설명하기 위한 도면이다.

도2에 도시된 바와 같이 마스크 측면에 현상 공정시 발생한 잔류 레지스트에 의한 오염물(B).이 발생한 상태로 드라이 에처 챔버 내로 들어가 플레이트(20)에 놓이게 되면, 플레이트 내부 측면에 접촉하여 쌓여 있다가 시간이 지남에 따라 건식식각 공정 중에 마스크 상에 떨어져 패턴 브리지 등의 불량을 유발하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 마스크 건식식각 장치에 관한 것으로, 일렉트로이드 상부에 마스크와 동일한 높이를 가지며 마스크가 들어갈 수 있는 홈이 파진 플레이트가 장착되어 상기 홈에 마스크를 부착하여 건식식각 하는 마스크 건식식각 공정에 있어서, 마스크에 탈착이 가능하고 플레이트와 동일한 재질의 얇은 엔지니어링 플라스틱 프레임을 마스크 측면에 부착하여 일렉트로이드 상부의 플레이트 홈안에 장착한 후 건식식각 함으로써, 마스크와 플레이트 측면의 직접적인 접촉을 막아 마스크 측면에 발생한 오염물이 플레이트 측면에 쌓이는 것을 막아 마스크상의 패턴 브리지등 불량을 방지하여 마스크의 생산성을 향상시킬 수 있는 마스크 건식식각 장치를 제공하는 것이다.

도1은 종래 기술에 의한 에처 플레이트를 나타낸 도면이다.

도2는 종래 기술에 의한 마스크 건식 식각시 유발되는 문제점을 설명하기 위한 도면이다.

도3은 본 발명에 의한 마스크 측면용 프레임을 나타낸 도면이다.

도4는 본 발명에 의한 에처 플레이트를 나타낸 도면이다.

- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -

10 : 일렉트로이드 20 : 플레이트

30 : 마스크 40 : 프레임

50 : 핀 A : 마스크 장착될 홈

B : 오염물

상기와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은 일렉트로이드 상부에 마스크와 동일한 높이를 가지며 마스크가 들어갈 수 있는 홈이 파진 플레이트가 장착되어 상기 홈에 마스크를 부착하여 건식식각 하는 마스크 건식식각 공정에 있어서, 상기 프레리트 홈에 장착되는 마스크 측면에 부착되는 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 건식식각 장치에 관한 것이다.

이때, 상기 프레임은 드라이 에처 챔버내의 플레이트와 동일한 엔지니어링 재질을 사용하며, 상기 프레임은 마스크를 부착하기 위해 프레임과 동일 재질의 핀이 네 모서리에 부착되어 있는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 또한 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이며 종래 구성과 동일한 부분은 동일한 부호 및 명칭을 사용한다.

도3은 본 발명에 의한 마스크 측면용 프레임을 나타낸 도면으로 측면용 프레임(40)의 각 모서리 부분에는 마스크와 물리적으로 접촉되는 프레임(40) 재질과 동일한 작은 핀(50)이 부착되어 있다.

도4는 본 발명에 의한 에처 플레이트를 나타낸 도면이다.

여기에 도시된 바와 같이 일렉트로이드(10) 상부에 마스크와 동일한 높이를 가지며 마스크가 들어갈 수 있는 홈(A)이 파진 엔지리어링 플라스틱 재질의 플레이트(20)가 장착되어 있으며, 도3에 나타난 마스크 프레임(40)을 부착한 마스크(30)가 일렉트로이드(10) 상부의 플레이트에 놓이게 되는 것으로, 즉, 플레이트 내부와 마스크의 측면이 프레임에 의해 분리되어 직접적으로 접촉되지 않는 것을 볼 수 있다

따라서, 마스크 측면에 프레임을 장착하여 플레이트의 안쪽 측면이 오염된 마스크의 측면과 직접적으로 접촉되지 않기 때문에 마스크 측면의 오염 물질이 플레이트의 측면에 축적되는 것을 방지함으로서 패턴 브리지를 방지할 수 있다.

상기한 바와 같이 본 발명은 마스크와 플레이트 측면의 직접적인 접촉을 막아 마스크 측면에 발생한 오염물이 플레이트 측면에 쌓이는 것을 막아 마스크상의 패턴 브리지등 불량을 방지하여 마스크의 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

Claims (3)

1. 일렉트로이드 상부에 마스크와 동일한 높이를 가지며 마스크가 들어갈 수 있는 홈이 파진 플레이트가 장착되어 상기 홈에 마스크를 부착하여 건식식각 하는 마스크 건식식각 공정에 있어서,

   상기 플레이트에 장착되는 마스크 측면 부착되는 프레임,

   을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 건식식각 장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 프레임은 드라이 에처 챔버내의 플레이트와 동일한 엔지니어링 재질을 사용하는 것을 특징으로 하는 마스크 건식시각 장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 프레임은 마스크를 부착하기 위해 프레임과 동일 재질의 핀이 네 모서리에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 건식식각 장치.