KR20060123928A - 도어 고정 도구 - Google Patents

Abstract

본 발명은 도어 고정 도구에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 장비의 도어를 실린더 또는 도어 프레임에 고정시킬 때 사용하는 도어 고정 도구에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 도어 고정 도구는 봉 모양의 몸체; 상기 몸체의 일측에서 돌출된 제1 지지대; 및 상기 제1 지지대에서 소정의 거리만큼 떨어져 상기 몸체의 타측에서 돌출되고, 탄성체에 의해 지지되어 상기 몸체의 표면 아래로 함몰 가능한 제2 지지대를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하여 지지대에 의해서 계속 도어를 사용하여도 도어 고정 공구가 도어에서 빠지지 않고 고정된 위치에 계속 고정되어 있다. 이로 인하여 장비에서 에러가 발생하거나 도어가 빠져서 주변을 오염시키는 문제를 방지하는 효과가 있다.

도어, 고정 도구, 탄성체, 지지대

Description

도어 고정 도구{Device for fixing door }

도1은 반도체 제조 장비에서 사용되는 종래의 도어 고정 도구를 보여주는 사시도.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 고정 도구를 보여주는 사시도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10, 100 : 몸체 200 : 제1 지지대

300 : 제2 지지대 400 : 스프링

본 발명은 도어 고정 도구에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 장비의 도어를 실린더 또는 도어 프레임에 고정시킬 때 사용하는 도어 고정 도구에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자를 생산하는 공정은 노광, 식각, 확산, 증착 등의 공정을 선택적으로 수행하는 일련의 과정에 의해서 이루어지고, 웨이퍼의 표면에 형 성된 패턴은 포토레지스트 패턴을 이용하여 필요한 부분만 남기고 박막의 일부를 식각 공정으로 제거하여 형성한다.

반도체 소자의 집적도가 증가함에 따라 미세한 패턴을 형성하기에 유리한 이방성 특성을 나타내는 건식 식각(dry etching)이 주로 이용된다. 상기 건식 식각은 고진공의 공정챔버 내에 공정가스로 사용되는 반응 가스를 주입하고, 고주파 전력을 인가하여 발생하는 플라스마 상태를 형성하여 실시한다. 건식 식각은 반응 가스로부터 이온을 발생시켜 박막을 식각하는 것으로 플라스마 식각 장비에서 실시한다.

상기 플라스마 식각 장비에서 공정을 진행하는 경우 오염을 방지하기 위하여 웨이퍼를 로딩하는 입구는 문으로 밀폐시켜서 먼지나 오염 물질을 유입을 최대한 방지하고 있다.

도1은 반도체 제조 장비에서 사용되는 종래의 도어 고정 도구를 보여주는 사시도이다.

도1 도시된 바와 같이, 종래의 도어 고정 도구는 원통형의 몸체(10)로 구성되어 있다. 상세하게 설명하면, 몸체(10) 부분이 원통형의 긴 막대 모양이고, 이를 이용하여 도어(도면에 표시하지 않음)를 실린더 혹은 도어 프레임(도면에 표시하지 않음)에 고정시켰다.

상기 몸체(10)가 통과할 수 있는 구멍이 형성된 도어 및 실린더 혹은 도어 프레임에서, 도어와 실린더 혹은 도어와 도어 프레임을 서로 구멍이 일치하게 같이 결합하여 한꺼번에 상기 도어 고정 도구로 구멍을 관통시켜 고정시킨다.

이때 몸체(10)가 상기 구멍에 삽입하여, 도어와 실린더 또는 도어와 도어 프레임을 고정시킨다. 그러나 계속 도어를 사용하다 보면 도1과 같은 모양을 가지는 도어 고정 도구는 조끔씩 빠지게 된다. 이로 인하여 장비에서 에러가 발생하거나 도어가 빠져서 주변을 오염시키는 문제가 발생하게 된다. 만일 도어가 떨어지면 안전사고가 발생하거나 오염이 증가하여 생산성이 저하된다.

따라서 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 제조 장비에서 도어를 자주 개폐하여 사용하다 보면 발생하는 에러나 생산성 저하를 방지하기 위하여 도어의 개폐에 의해서 빠지지 않는 구조를 가지는 도어 고정 도구를 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 도어 고정 도구는 봉 모양의 몸체; 상기 몸체의 일측에서 돌출된 제1 지지대; 및 상기 제1 지지대에서 소정의 거리만큼 떨어져 상기 몸체의 타측에서 돌출되고, 탄성체에 의해 지지되어 상기 몸체의 표면 아래로 함몰 가능한 제2 지지대를 구비하는 것을 특징으로 한다.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 탄성체는 스프링인 것을 특징으로 한다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 고정 도구를 보여주는 사시도이다.

도2 도시된 바와 같이, 본 발명의 도어 고정 도구는 몸체(100), 제1 지지대(200) 및 제2 지지대(300)를 구비한다.

상세하게 설명하면, 몸체(100) 부분은 봉 모양의 동일한 단면을 가지는 막대이고, 상기 제1 지지대(200)는 몸체(100)의 일측에서 돌출되어 있다. 상기 제1 지지대(200)는 몸체(100)의 일측에서 상기 몸체(100)에 직각으로 연장되어 양쪽으로 돌출되어, 몸체(100)를 중심으로 대칭으로 연장되어 있다. 상기 제1 지지대(200)는 몸체(100)의 일단에서 연장되는 것도 가능하고, 취급을 용이하게 하기 위하여 몸체(100)의 일단에서 여유를 두고 형성되면 바람직하다.

상기 제2 지지대(300)는 제1 지지대(200)에서 소정의 거리만큼 떨어져 몸체(100)의 타측에서 몸체(100) 표면 위로 돌출되고, 몸체(100) 내부에서 탄성체에 의해 지지되어 몸체(100)의 표면 아래로 함몰 가능하다. 제2 지지대(300)를 지지하는 탄성체는 스프링(400)인 것이 바람직하다. 제2 지지대(300)는 몸체(100)의 타단에 형성되는 것도 가능하고, 취급을 용이하게 하기 위하여 몸체(100)의 타단에서 여유를 두고 형성되면 바람직하다.

본 발명의 도어 고정 도구를 이용하여 도어(도면에 표시하지 않음)를 실린더 혹은 도어 프레임(도면에 표시하지 않음)에 고정시키는 경우, 상기 몸체(100)가 통과할 수 있는 구멍이 형성된 도어 및 실린더 혹은 도어 프레임에서 도어와 실린더 혹은 도어와 도어 프레임을 서로 구멍이 일치하게 같이 결합하여 한꺼번에 상기 도어 고정 도구로 구멍을 관통시켜 고정시킨다.

이때 상기 제2 지지대(300)가 형성된 몸체(100)의 타단 쪽을 삽입하고, 이때 제2 지지대(300)는 몸체(100) 내부로 밀어 넣어 제2 지지대(300)와 몸체(100)가 같이 구멍을 통과한다. 이렇게 구멍을 통과한 다음에 탄성에 의해서 상기 제2 지지대 (300)는 돌출되어 도어와 실린더 또는 도어와 도어 프레임을 고정시킨다. 그러면 도어의 반대편은 상기 제1 지지대(200)에 걸려서 빠지지 않게 고정된다.

따라서 본 발명의 도어 고정 도구를 이용하여 도어를 고정시키는 경우 제1 지지대(200) 및 제2 지지대(300)에 의해서 몸통(100)이 도어의 구멍에 고정되기 때문에 계속 사용에 의해서 상기 도어 고정 도구가 도어에서 빠지는 문제가 없다.

이상에서, 본 발명의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상 및 특허청구 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 종래와 달리 몸통의 양쪽에 형성된 지지대에 의해서 계속 도어를 사용하여도 도어 고정 공구가 도어에서 빠지지 않고 고정된 위치에 계속 고정되어 있다. 이로 인하여 장비에서 에러가 발생하거나 도어가 빠져서 주변을 오염시키는 문제를 방지하는 효과가 있다. 따라서 안전사고가 발생하는 것을 방지하거나 또는 오염이 증가하여 생산성이 저하되는 것을 방지한다.

Claims (2)

1. 봉 모양의 몸체;

   상기 몸체의 일측에서 돌출된 제1 지지대; 및

   상기 제1 지지대에서 소정의 거리만큼 떨어져 상기 몸체의 타측에서 돌출되고, 탄성체에 의해 지지되어 상기 몸체의 표면 아래로 함몰 가능한 제2 지지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 도어 고정 도구.
2. 제1항에 있어서,

   상기 탄성체는 스프링인 것을 특징으로 하는 도어 고정 도구.

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