KR200299322Y1 - 다기능성다층전도막을갖는액정표시장치의기판 - Google Patents

Abstract

본 고안은 액정표시장치의 다층 전도막에 관한 것으로서, 기판과 상기 기판위에 전면적으로 형성되며, 평활성을 유지시켜 주는 제1 비전도층과 상기 제1 비전도층 위에 소정의 패턴으로 연속되게 형성되며, 전압을 인가하는 금속전도층과 상기 금속전도층 및 제1 비전도층 위에 형성되어 금속전도층을 화학적으로 보호하고 제1 비전도층의 역할을 보완하는 제2 비전도층을 포함하여 이루어지며, 상기한 제1 비전도층이 가스의 유입이나 솔벤트 및 이온의 이동을 방지하여 주며, 제2 비전도층이 급속전도층의 화학적 안정성을 보장하여 전극구조의 박리와 변형 등을 방지하는 다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판에 관한 것이다.

Description

다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판

본 고안은 액정표시장치의 기판층에 형성된 다층전도막에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 비전도층과 금속전도층으로 구성되는 다기능성 다층 전도막에 관한 것이다.

일반적으로 다기능성 다층 전도막은 기존의 단일층 전도막으로는 그 구현이 불가능하며, 비전도층과 금속전도층으로 구성되는 다층 전도막인 경우에만 가능하다.

이때, 각 층을 구성하는 물질의 선택은 여러 가지 특성들을 고려해야 하는데, 다층 전도막의 금속전도층과 비전도층은 각각 하나의 물질로 단일층의 구성이 가능하나 여러 물질의 복합층으로 각각의 금속전도층이나 비전도층으로 구성될 수도 있다.

이러한 단일층 또는 복합층의 선택은 필요로 하는 광학적 특성, 전기적 특성, 선택적 식각 정도 또한 부수적 기능의 요구 정도에 따라 결정된다.

도 4는 종래의 기술에 따른 다층 전도막(11)의 단면도로서, 기판(20) 위에 제1 비전도층(6), 금속전도층(4), 제2 비전도층(2)의 순서로 형성되어 있는 다층 전도막(11)이 제공되어 있으며, 다층 전도막(11)의 가운데 부분(8)은 식각되어 있다.

이 액정표시장치에 있어서 다층 전도막(11)은 본래의 목적으로 사용키 위해 제1 비전도층(6), 금속전도층(4), 제2 비전도층(2)의 일부를 연속된 패턴으로 한꺼번에 제거하여 사용하고 있다.

이와 같이, 종래의 다층 전도막(11)은 금속전도층(4)의 일부, 즉 식각된 부분이 제1 및 제2 비전도층에 의해 보호되지 못하고 노출되어 있다.

따라서, 상기한 다층 전도막을 갖는 기판을 사용하여 액정표시장치를 구성한 경우에는, 식각에 의해 노출된 금속전도층의 부분이 산화됨과 아울러, 이 부분에서 금속 이온이 용출되고, 이로 인해 액정표시장치의 신뢰성이 저하되는바, 이러한 문제점을 해결하기 위해서는 가스 방지막, 솔벤트 방지막, 이온 방지막 또는 평활층 등을 별도의 물질을 사용하여 추가로 형성하여 사용해야 하므로, 장치 자체의 구조가 복잡해지고 추가 층들의 적층 공정에 의해 공정 수가 증가할 뿐만 아니라, 각 공정 별로 양질의 추가층을 유지해야 하는 문제점을 안고 있다.

따라서 본 고안은 금속전도층이 식각에 의해 노출되는 것을 방지함으로써 상기한 문제점들을 해결한 다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판을 제공함을 목적으로 한다.

이를 실현하기 위하여 본 고안에 따른 다기능성 다층 전도막은 기판과; 상기기판 위에 전면적으로 형성되어 가스의 유입이나 솔벤트 및 이온의 이동을 방지하며, 평활성을 유지시켜 주는 제1 비전도층과; 상기 제l 비전도층 위에 소정의 패턴으로 형성되며, 전압을 인가하는 금속전도층과; 상기 금속전도층 및 제1 비전도층 위에 전면적으로 형성되며, 금속전도층을 화학적으로 보호하고 제1 비전도층의 역할을 보완하는 제2 비전도층을 포함한다.

상기한 금속전도층과 제2 비전도층을 함께 소정의 패턴으로 형성시킨 후, 다시 그 위에 제2 비전도층을 전면적으로 형성시킴을 특징으로 한다.

상기한 제1 비전도층을 상기한 금속전도층과 같은 소정의 패턴으로 형성시키고, 상기한 제2 비전도층을 상기한 금속전도층과 기판 위에 전면적으로 형성시킨것을 특징으로 한다.

상기한 기판은 유리 또는 플라스틱 또는 금속 등으로 제작됨을 특징으로 한다.

상기한 제1 비전도층은 무기물 또는 유기물로 형성됨을 특징으로 한다.

상기한 제1 비전도층은 하나의 물질의 단일층 또는 여러 물질의 복합층으로 형성됨을 특징으로 한다.

상기한 제2 비전도층은 무기물 또는 유기물로 형성됨을 특징으로 한다.

상기한 제2 비전도층은 하나의 물질의 단일층 또는 여러 물질의 복합층으로 형성됨을 특징으로 한다.

상기한 금속전도층을 형성하는 금속은 금 또는 은이 사용됨을 특징으로 한다.

상기한 바와 같은 다기능성 다층 전도막은 제1,2 비전도층으로 인해 기체의 유입 및 솔벤트나 이온 등의 통과가 방지되며, 전도막의 금속전도층을 위한 평활도가 유지되어 내화학성에 대한 신뢰성이 향상되며, 저항의 발생을 최소화하여 고품질의 액정 화면을 제공할 수 있다.

도 1은 본 고안의 일실시예를 따른 다기능성 다층 전도막의 단면도.

도 2는 본 고안의 다른 실시예에 따른 다기능성 다층 전도막의 단면도.

도 3은 본 고안의 다른 실시예에 관련하는 다기능성 다층 전도막의 단면도.

도 4는 종래 사용되는 다층 전도막의 단면도.

다음으로 본 고안에 따른 다기능성 다층 전도막을 갖는 기판의 가장 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

먼저 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 고안에 따른 다기능성 다층 전도막 (10)의 일실시예는 기판(20) 위에 형성된 제1 비전도층(6)과 금속전도층(4)과 제2 비전도층(2)으로 구성된다.

상기한 기판(20)은 낮은 표면 거칠기를 갖는 투명한 판으로서, 상기 실시예 에서는 플라스틱으로 제작되나, 유리 또는 금속이 사용될 수도 있다.

이 기판(20)의 상부에 형성된 제1 비전도층(6)은 기판(20) 위에 전면적으로 형성되어 있어 외부에서 들어올 수 있는 가스의 방지 및 솔벤트와 이온의 이동을 억제하는 동시에 기판(20)과의 접착성을 향상시킨다.

상기 제1 비전도층(6)은 주석산화물이나 인듐산화물 등의 무기질 또는 유기질로 구성되며, 한 물질의 단일층으로 구성될 수도 있으며, 여러 물질의 복합층으로 구성될 수도 있다.

한편 상기한 제1 비전도층(6) 위에는 일정한 패턴을 이루는 금속전도층(4)이 제공되어 있으며, 이 금속전도층(4)은 전압을 인가하는 기능을 수행한다.

이 금속전도층(4)은 은(Ag) 또는 금(Au)의 금속으로 이루어지며, 기능성막이 추가된 두 금속의 복합층으로 이루어지거나 하나의 금속으로 단일층을 이룬다.

상기한 금속전도층(4)의 위에는 제2 비전도층(2)이 형성되어 있는데, 금속전도층(4)의 화학적 안정성을 도모하기 위하여 이 제2 비전도층(2)은 금속전도층(4) 뿐만 아니라 금속전도층(4)의 식각된 부분까지 덮고 있다.

또한 상기와 같이 금속전도층(4)의 식각된 부분, 즉, 제1 비전도층의 상부 일측을 덮고 있으므로, 제1 비전도층의 역할을 보완하게 된다.

이 제2 비전도층은 인듐주석산화물(ITO)이나 인듐산화물, 실리콘산화물 등의 무기물 혹은 유기물의 단일층 또는 복합층으로 이루어진다.

상기한 본 실시예에서는 금속전도층(4)을 식각한 후, 제2 비전도층(2)을 전면적으로 형성시키는 데, 다른 실시예에서는 제2 비전도층(2)을 도 2에 도시한 바와 같이 상기 금속전도층(4) 위에만 형성시킨 후, 즉 금속전도층(4)을 도포하고 그위에 제2 비전도층(2)을 도포한 다음 금속전도층(4)과 제2 비전도층을 동시에 소정의 패턴으로 식각한 후, 다시 제2 비전도층(2a)을 전면적으로 형성시켜 금속전도층(1)의 직접적인 식각으로 인한 손상을 방지할 수도 있다.

또한 상기한 본 실시예에서는 제1 비전도층(6)을 기판에 전면적으로 형성시켰으나, 다른 실시예에서는 도 3에 도시한 바와 같이 제1 비전도층(6)을 상기한 금 속전도층(4)과 같이 식각하여 일부만을 형성시킬 수 있으며, 따라서 제2 비전도층(2)은 금속전도층(4) 위와 기판의 위에 형성된다.

상기한 제1 비전도층(6)은 상기한 기판(20) 위에 스퍼터링(Sputtering), 진공증착(Vacuum deposition), 화학적 증기증착(C.V.D) 등의 방법으로 증착되며, 제2비전도층(2) 및 금속전도층(4) 역시 상기한 방법으로 증착된다.

또한 금속전도층(4) 또는 금속전도층(4)과 제1 비전도층(6)의 식각은 제2 비전도층(2)을 증착하기 전에, 금속전도층(4) 위로 감광제를 도포하여 감광막을 형성시키고, 소정의 패턴이 형성된 마스크를 통해 자외선을 조사하여 감광막 상에 상기한 패턴을 인식시킨다.

감광막 상에 소정의 패턴을 형성시킨 후에, 식각약품을 이용하여 금속전도층(4) 또는 금속전도층(4)과 제1 비전도층(6)을 동시에 식각하게 된다.

상기한 바와 같이 구성되는 액정표시장치의 다기능성 다층 전도막(10)은 기판(20) 위에 전면적으로 형성된 제1 비전도층(6)이 외부로부터 액정쪽으로의 가스의 유입을 방지시켜 주며, 반대로 액정쪽에서 기판(20)쪽으로의 솔벤트나 이온의 이동을 막으면서 또한 금속전도층(4)의 평활성을 유지시켜 준다.

그리고 상기한 제2 비전도층(2)은 금속전도층(4)을 외부와 차단하고 있으므로 금속전도층(4)에 화학적 안정성을 제공한다.

상기에서는 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 고안은 이에 한정되는 것이 아니고 실용신안등록청구의 범위와 고안의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 고안의 범위에 속하는 것은 당연하다.

상기와 같이 구성되고 작동되는 액정표시장치의 다기능성 다층 전도막에 의하면, 기판 위에 전면적으로 형성된 제1 비전도층이 외부로부터 액정쪽으로의 가스의 유입을 방지시켜 주며, 반대로 액정쪽에서 기판쪽으로의 솔벤트나 이온의 이동을 막으면서 또한 금속 전도층의 평활성을 유지시켜 준다.

또한 상기한 제2 비전도층은 금속전도층을 외부와 차단하고 있으므로 금속전도층에 화학적 안정성을 제공하여 전극 구조의 박리와 변형 등을 방지하게 된다.

Claims (9)

1. 기판(20)과; 상기 기판(20) 위에 전면적으로 형성되어 가스의 유입이나 솔벤트 및 이온의 이동을 방지하며, 평활성을 유지시켜 주는 제1 비전도층(6)과; 상기 제1 비전도층(6) 위에 소정의 패턴으로 형성되며, 전압을 인가하는 금속전도층(4)과; 상기 금속전도층(4) 및 제1 비전도층(6) 위에 전면적으로 형성되며, 금속전도층(4)을 화학적으로 보호하고 제1 비전도층(6)의 역할을 보완하는 제2 비전도층(2)을 포함하는 다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판.
2. 제 1항에 있어서, 금속전도층(4)과 제2 비전도층(2)을 함께 소정의 패턴으로 형성시킨 후, 다시 그 위에 제2 비전도층(2a)을 전면적으로 형성시켜 금속전도층(4)의 직접적인 식각으로 인한 손상을 방지함을 특징으로 하는 다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판.
3. 제 1항에 있어서, 상기한 제1 비전도층(6)을 상기한 금속전도층(4)과 같은 소정의 패턴으로 형성시키고, 상기한 제2 비전도층(6)을 상기한 금속전도층(4)과 기판(20) 위에 전면적으로 형성시킨 것을 특징으로 하는 다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판.
4. 제 1항에 있어서, 상기한 기판(20)은 유리 또는 플라스틱 또는 금속 등으로제작됨을 특징으로 하는 다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판.
5. 제 1항에 있어서, 상기한 제1 비전도층(6)은 무기물 또는 유기물로 형성됨을 특징으로 하는 다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판.
6. 제 5항에 있어서 상기한 제1 비전도층(6)은 한 물질의 단일층 또는 여러 물질의 복합층으로 형성됨을 특징으로 하는 다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판.
7. 제 1항에 있어서, 상기한 제2 비전도층(2)은 무기물 또는 유기물로 형성됨을 특징으로 하는 다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판.
8. 제 7항에 있어서, 상기한 제2 비전도층(2)은 한 물질의 단일층 또는 여러 물질의 복합층으로 형성됨을 특징으로 하는 다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판.
9. 제 8항에 있어서, 상기한 금속전도층(4)은 금속중에서도 금 또는 은으로 형성됨을 특징으로 하는 다기능성 다층 전도막을 갖는 액정표시장치의 기판.