KR200251237Y1 - 약품조의 부유물질 제거장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 공업용 약품액 수면에 유입되어 부유하는 이물질을 제거하기 위한 부유물질 제거장치에 관한 것으로, 약품조에 담긴 약품액이 중앙에 형성되는 관통공에 유입될 수 있도록 약품액 수면에 근접되게 수장되어 부유하는 반부유구와, 일측은 상기 관통공에 상통하도록 연결되고, 타측은 상기 약품조 저면을 통해 외부로 연결되는 배출호스와, 상기 배출호스 타측에 결합되는 게이트밸브로 이루어지며, 상기 약품액 수면에 부유하는 이물질이 상기 반부유구에 연결되는 배출호스를 통해 외부로 배출되도록 하는 약품조의 부유물질 제거장치에 관한 것이다.

Description

약품조의 부유물질 제거장치{A Removing Of Floating Alien Substances Device For Chemicals Tank}

본 고안은 약품조의 부유물질 제거장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약품액이 담겨 있는 약품조 내에 설치되어 약품액 수면에 유입되어 부유하는 먼지 등의 이물질을 용이하고 간편하게 제거할 수 있도록 배출호스 양측에 반부유구 및 게이트밸브가 구비되는 약품조의 부유물질 제거장치에 관한 것이다.

일반적으로 공업용 현상액이나 반도체 공정에 이용되는 에칭액 등과 같은 약품액은 일종의 수조인 약품조에 담아 두고 사용된다.

이러한, 상기 약품조는 상부가 개봉되어 있기 때문에, 공기중에 부유하는 먼지등과 같은 미세 또는 극미세의 이물질들이 약품조내의 약품액 수면위로 유입되기가 쉽다.

그런데, 상기 약품액은 앞에서 설명한 바와 같이 에칭액 등으로 극도로 정밀한 작업환경이 요하는 반도체 공정에 사용되기 때문에, 미세 먼지 등에 의해서도 제품불량이 발생하게 된다.

통상적으로 반도체 공정의 현장은 클린룸(Clean Room)이라는 극도의 청결지역에 위치하며, 작업자 등도 특수한 복장을 하여 옷이나 인체로부터 유출되는 이물질을 방지한다.

하지만, 공기중에 부유하고 있는 이물질의 침투까지 방지하기에는 역부족이며, 상기 이물질 등이 약품액 수면에 유입되어 부유하고 있을 때 약품액 전체를 배출하지 않고 수면에 근접한 수위의 약품액 만을 선별적으로 제거하기 위한 아무런 장비나 기구가 구비되지 못하는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 고안의 제 1목적은 약품액 수면에 부유하는 이물질을 외부로 용이하게 배출할 수 있는 약품조의 부유물질 제거장치에 관한 것이다.

그리고, 본 고안의 제 2목적은 배출호스 양측에 각각 반부유구 및 게이트밸브를 구비하여 약품조의 부유물질 제거장치를 제공하는 것이다.

이러한 본 고안의 목적들은, 약품조(200)에 담긴 약품액(210)이 중앙에 형성되는 관통공(11)에 유입될 수 있도록 약품액(210) 수면에 근접되게 수장되어 부유하는 반부유구(10);

일측은 상기 관통공(11)에 상통하도록 연결되고, 타측은 상기 약품조(200) 저면을 통해 외부로 연결되는 배출호스(20);

상기 배출호스(20) 타측에 결합되는 게이트밸브(30);로 이루어지며,

상기 약품액(210) 수면에 부유하는 이물질(220)이 상기 반부유구(10)에 연결되는 배출호스(20)를 통해 외부로 배출되도록 하는 약품조의 부유물질 제거장치에 의하여 달성된다.

아울러, 상기 반부유구(10)는 상기 약품액(210) 수면에 근접하게 수장되어 부유할 수 있도록 재질이 플라스틱 수지재인 것이 바람직하다.

본 고안의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.

도 1은 본 고안에 따른 약품조의 부유물질 제거장치의 구성도,

도 2는 본 고안에 따른 약품조의 부유물질 제거장치의 사용상태도이다.

< 도면의 주요부분에 따른 부호의 설명 >

10: 반부유구 11: 관통공

20: 배출호스 30: 게이트밸브

31: 밸브레버 32: 원판

100: 부유물질 제거장치 200: 약품조

210: 약품액 220: 이물질

다음으로는 본 고안에 따른 약품조의 부유물질 제거장치의 구성에 관하여 첨부되어진 도면과 더불어 설명하기로 한다.

도 1은 본 고안에 따른 약품조의 부유물질 제거장치의 구성도이고, 도 2는 본 고안에 따른 약품조의 부유물질 제거장치의 사용상태도이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 부유물질 제거장치(100)는 긴 배출호스(20) 양측에 각각 반부유구(10) 및 게이트밸브(30)가 결합되는 것이다.

이러한 상기 제거장치(100)는 약품액(210)이 담긴 약품조(200)에 설치되어 약품액(210) 수면상에 유입되어 부유하는 이물질(220)을 외부로 배출하기 위한 것으로, 상기 약품액(210)은 일반적으로 반도체 에칭공정에 사용되는 에칭액이나 산업용으로 널리 사용되는 현상액 등인데, 극도로 정밀한 작업환경을 요하기 때문에 미세한 먼지 침투가 제품불량으로 이어질 수 있다.

여기서, 상기 반부유구(10)는 전체적으로 직경이 약 10cm 정도인 원형고리의 형태를 취하고 있는 것으로, 비교적 가벼운 플라스틱 소재로 이루어져 상기 약품액 (210) 수면에 근접하게 수장되어 부유할 수 있다.

아울러, 상기 반부유구(10) 중앙에는 약 5cm 정도의 관통공(11)이 형성되어 있는데, 상기 관통공(11)에 배출호스(20) 일단이 접착 연결되어 상기 약품액(210) 수면에서부터 반부유구(10)가 수장되어 있는 수위까지의 약품액(210)이 이물질(220)과 더불어 관통공(11)을 통해 배출호스(20) 내로 유입될 수 있다.

그리고, 상기 배출호스(20)는 상기 약품액(210) 내에서 비교적 유동적일 수 있도록 직물소재 또는 비교적 얇은 플라스틱 소재로 이루어져 있으며, 타측은 상기 약품조(200) 저면을 통해 외부로 연결되어 있는데, 상기 약품조(200) 저면을 통과하는 배출호스(20) 부위에는 실리콘을 도포함으로써, 방수처리될 수 있다.

또한, 상기 게이트밸브(30)는 외부로 연결된 배출호스(20) 타측에 설치되는데, 배출호스(20) 밖으로 구비되는 밸브레버(31)와, 상기 밸브레버(31)에 연결되어배출호스(20) 내에서 회전하는 원판(32)으로 이루어져 있다.

여기서, 상기 원판(32)의 직경은 상기 배출호스(20)의 직경에 근접한 크기이기 때문에, 상기 밸브레버(31)를 조절함에 따라 밸브레버(31)에 연결된 원판(32)이 회전하면서 배출호스(20) 내에서 유동하는 약품액(210)의 배출을 조절할 수 있다.

따라서, 상기 약품액(210)의 수면에 먼지 등과 같은 이물질(220)이 침투하게 되면, 상기 게이트밸브(30)를 개방시킴으로써, 반부유구(10)의 관통공(11)을 통해 배출호스(20)로 이물질(220)을 포함한 약품액(210)이 유입되도록 하여 최종적으로 외부에 배출되어 제거될 수 있도록 한다.

이상에서의 본 고안에 따른 약품조의 부유물질 제거장치(100)에서, 상기 반부유구(10)는 가벼운 플라스틱소재로 이루어지는 것 외에, 소정의 부력을 발현할 수 있는 공기주머니 또는 가벼운 목재 중에서 임의로 택일하여 사용할 수 있다.

이상에서와 같은 본 고안에 따른 약품조의 부유물질 제거장치에 따르면, 반부유구가 이물질이 부유하는 약품액의 수면에 근접하도록 부유하기 때문에, 수면에서부터 반부유구의 수장위치까지의 약품액을 이물질과 더불어 용이하게 배출시킬 수 있는 특징이 있다.

아울러, 배출호스 타측에 게이트밸브가 구비되기 때문에, 수동으로 용이하게 약품액 배출여부를 조절할 수 있는 효과가 있다.

또한, 그 구성이 비교적 간단하기 때문에, 제작 및 생산이 용이할 뿐만 아니라 기존의 약품조에 설치가 가능한 효과가 있다

비록 본 고안이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 고안의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 첨부된 청구의 범위는 본 고안의 진정한 범위내에 속하는 그러한 수정 및 변형을 포함할 것이라고 여겨진다.

Claims (2)

1. 약품조(200)에 담긴 약품액(210)이 중앙에 형성되는 관통공(11)에 유입될 수 있도록 약품액(210) 수면에 근접되게 수장되어 부유하는 반부유구(10);

   일측은 상기 관통공(11)에 상통하도록 연결되고, 타측은 상기 약품조(200) 저면을 통해 외부로 연결되는 배출호스(20);

   상기 배출호스(20) 타측에 결합되는 게이트밸브(30);로 이루어지며,

   상기 약품액(210) 수면에 부유하는 이물질(220)이 상기 반부유구(10)에 연결되는 배출호스(20)를 통해 외부로 배출되도록 하는 것을 특징으로 하는 약품조의 부유물질 제거장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 반부유구(10)는 상기 약품액(210) 수면에 근접하게 수장되어 부유할 수 있도록 재질이 플라스틱 수지재인 것을 특징으로 하는 약품조의 부유물질 제거장치.