KR200245077Y1

KR200245077Y1 - 노광장치

Info

Publication number: KR200245077Y1
Application number: KR2019970042186U
Authority: KR
Inventors: 황석태
Original assignee: 이중구; 삼성테크윈 주식회사
Priority date: 1997-12-29
Filing date: 1997-12-29
Publication date: 2001-12-01
Also published as: KR19990029521U

Abstract

본 고안은 노광장치에 관한 것으로서, 전체적인 크기를 줄일 수 있으면서 대형의 노광대상물을 노광하기 위하여, 패턴이 형성되는 노광대상물이 올려지는 베이스와, 베이스의 측방에 설치되며 베이스에 대해 평행하게 조사광을 발생하는 조명부와, 베이스면에 대해 평행하게 이송되면서 조사광을 베이스에 대해 수직 방향으로 순차적으로 노광대상물로 반사시키는 스캐닝부를 포함한다.

Description

노광장치

본 고안은 노광장치에 관한 것으로서, 상세하게는 움직이는 미러기구를 이용하여 노광하는 노광장치에 관한 것이다.

일반적으로 노광장치는 LCD, PCB, PDP 패널과 같은 노광대상물에 패턴을 형성하기 위하여 사용되는 장비이다.

종래의 노광장치에는, 광을 조사하는 조명부와 노광대상물이 안착되는 베이스가 고정되는 고정타입이 있다. 그러나, 이런 고정타입은 대형의 노광대상물에 패턴을 형성하는데 여러 문제점을 야기시킨다. 즉, 대형의 노광대상물의 전체면적을 커버하기 위하여 조명부의 대용량화가 불가피지고 또한 노광시간이 길어짐에 따라 노광대상물에 열적 변형이 있게 된다. 이에 따라, 패턴이 고르게 형성되지 않아 해상력이 떨어지게 된다.

또한, 종래의 노광장치에는, 조명부가 고정되고, 노광대상물을 이송시키면서 노광하는 스캐닝타입이 있다. 그러나, 이런 스캐닝타입 역시, 대형의 노광대상물에 패턴을 형성하는데 문제점을 야기시킨다. 즉, 노광대상물을 이송시키는 이송장치의 정밀도를 향상시켜야 하는 부담과 함께 노광대상물을 이송시키기 위하여 요구되는 행정 거리의 증가로 인하여 노광장치의 크기가 커질 수밖에 없다.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 크기를 작게 하면서도 대형의 노광대상물에 패턴을 형성할 수 있는 노광장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 고안에 따른 노광장치의 정면도,

도 2는 도 1의 노광장치의 측면도,

도 3은 도 1의 노광장치에 있어서, 조명부의 구성을 도시한 도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 ... 노광대상물 20 ... 마스크

100 ... 베이스 110 ... 노광대상물안착부

120 ... 마스크안착부 150 ... 경사조절부

151,152 ... 제1,2레그 153 ... 브라켓

154 ... 고정나사 200 ... 조명부

210 ... 광원 220 ... 제1콜드미러

230 ... 플라이아이렌즈 250 ... 콜리메이팅수단

252 ... 제2콜드미러 300 ... 스캐닝부

310 ... 스캐닝미러 320 ... 미러지지대

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 고안에 따른 노광장치는, 패턴이 형성되는 노광대상물이 올려지는 베이스; 상기 베이스의 측방에 설치되며 상기 베이스에 대해 평행하게 조사광을 발생하는 조명부; 상기 베이스면에 대해 평행하게 이송되면서 상기 조사광을 상기 베이스에 대해 수직 방향으로 순차적으로 상기 노광대상물로 반사시키는 스캐닝부;를 포함한다.

본 발명에 있어서, 상기 조명부는, 광원과, 광원에서 발생된 광에서 열을 흡수한 후 반사하는 콜드미러와, 상기 콜드미러에서 반사된 광을 혼합하는 플라이아이렌즈와, 상기 플라이아이렌즈를 통과한 광을 평행하게 만드는 콜리메이팅수단을 포함한다.

또한, 상기 스캐닝부는, 상기 조명부에서 출사되는 광을 상기 노광대상물로 반사시키는 스캐닝미러와, 상기 스캐닝미러가 상기 베이스면에 대해 소정거리를 유지하도록 하는 미러지지대와, 상기 베이스에 설치되어 상기 미러지지대를 이송시키는 이송수단으로 구성된다.

여기에서, 상기 베이스에는, 상기 노광대상물의 상부에 소정의 패턴이 형성된 마스크가 위치되는 마스크안착부가 설치되고, 그 베이스의 후방에는 베이스가 소정의 각도로 경사지게 위치할 수 있도록 경사조절부가 설치된 것이 바람직하다. 이하, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 노광장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도시한 바와 같이, 본 고안의 노광장치는, LCD, PCB, PDP 패널과 같은 노광대상물이 올려지는 베이스(100)와, 그 베이스(100)의 측방에 설치되며 그 베이스(100) 대해 평행하게 조사광을 출사시키는 조명부(200)와, 베이스(100)면에 대해 평행하게 이송되면서 조사광을 노광대상물로 반사시키는 스캐닝부(300)를 포함한다.

상기 베이스(100)에는, 노광대상물(10)이 올려지는 노광대상물안착부(110)와, 노광대상물(10)에 형성되는 소정의 패턴을 가지는 마스크(20)가 올려지는 마스크안착부(120)가 설치되어 있다. 상기 마스크(20)는 노광대상물(10)의 상부에 위치되고, 이때, 감광체가 도포된 노광대상물(10)과 마스크(20) 사이의 갭은 가능한 한 좁게 하는 것이 바람직하다. 상기 베이스(100)의 후방에는, 그 베이스(100)를 소정의 각도로 경사지게 위치시키는 위한 경사조절부(150)가 설치되어 있다. 상기 경사조절부(150)는 베이스(100)의 하단을 지지하는 제1레그(151)와, 베이스(100)의 후방을 지지하는 제2레그(152)와, 힌지축(155)을 중심으로 소정각도 회동된 제2레그(152)를 고정하는 브라켓(153)으로 구성된다. 제2레그(152)가 소정각도 회동된 상태에서, 브라켓(153)의 장공을 관통하여 제2레그(152)와 연결된 고정나사(154)를 회동시켜 브라켓(153)에 고정시키면 제2레그(152)는 회동된 위치를 유지할 수 있다. 이에 따라, 베이스(100)는 경사지게 위치된다. 이와 같은 경사조절부(150)를 채용하는 것에 의하여, 베이스(100)가 세로 방향으로 세워지므로 결과적으로 노광장치가 위치되는 공간을 줄일 수 있다.

상기 조명부(200)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 광원(210)에서 발생된 광에서 열을 흡수한 후 반사하는 제1콜드미러(220)와, 상기 제1콜드미러(220)에서 반사된 광을 혼합하는 플라이 아이렌즈(230)와, 플라이 아이렌즈(230)를 통과한 광을 평행하게 만드는 콜리메이팅수단(250)을 포함한다.

상기 광원(210)은 램프(211)와 램프(211)에서 출사되는 광을 제1콜드미러(220)로 집속하는 제1반사경(212)으로 구성되어 있다. 상기 플라이아이렌즈(230)는 입사되는 광을 고르게 혼합한다. 상기 콜리메이팅수단(250)은, 플라이아이렌즈(230)를 경유한 광을 고르게 분산시키는 콜리메이터(251)와, 콜리메이터(251)를 경유한 광에서 열을 다시 한번 흡수한 후 반사하는 제2콜드미러(252)와, 제2콜드미러(252)에서 반사되는 광을 평행하게 반사시키는 제2반사경(253)으로 구성된다. 그리고, 제2반사경(253)에 반사되어 최종적으로 조명부로부터 출사되는 광의 단면은 사각형인 것이 바람직하다. 이는, 후술하는 스캐닝부(300)의 스캐닝미러(310)의 표면에 가득 차게 입사시키기 위함이다.

한편, 상기 스캐닝부(300)는, 조명부(200)에서 출사되는 광을 마스크(20)로 반사시키는 스캐닝미러(310)와, 스캐닝미러(310)가 베이스면에 대해 소정거리를 유지하도록 하는 미러지지대(320)와, 베이스에 설치되어 미러지지대(320)를 이송시키는 이송수단으로 구성된다. 여기서, 상기 이송수단은 외주면에 기어가 형성되며 베이스에 회전 가능하게 설치된 워엄(330)과 그 워웜(330)을 회전시키는 모터(미도시)로 구성된다. 상기 미러지지대(320)의 일단은 워엄(330)과 기어 결합되어 워엄(330)이 회전됨에 따라 미러지지대(320)는 베이스면을 따라 이송된다.

이와 같은 구조의 노광장치의 동작을 상세히 설명한다.

먼저 경사조절부(150)에 의하여 베이스(100)를 세워놓는 형상으로 위치시킨다. 이때, 노광대상물(10)과 마스크(20)가 그 자중에 의하여 하방으로 처지는 것을 방지하기 위하여 베이스(100)를 대략 83°정도를 유지시킨다.

다음, 조명부(300)에서 출사되는 베이스면에 평행하게 진행하는 광은 베이스(100)의 상부에서 베이스면에 대해 평행하게 이송되는 스캐닝부(300)에 반사되어 순차적으로 마스크(20)로 진행한다. 마스크(20)에는 소정의 패턴이 형성되어 있고, 이 패턴으로 광이 통과되면서 노광대상물(10)을 노광한다. 이때, 스캐닝부(300)가 움직이는 순간순간 도시되지 않는 센서는 조명부, 노광대상물 및 마스크와의 거리가 자동으로 측정하고 이를 미리 설정된 거리와 비교하여 차이가 있을 경우 노광대상물 아래에 위치한 미세구동기구(미도시)를 구동하여 순간순간 거리보정을 행하여 정확한 스캐닝이 이루어지도록 한다. 또한, 스캐닝부(300)가 움직임에 따라 노광대상물(10)에 조사되는 광의 양은 노광대상물밑에 있는 센서(미도시)를 통하여 실시간으로 측정하여 미리 설정한 값과 비교하여 차이가 있을 경우, 워엄(330)의 회전을 달리하여 스캐닝속도를 제어하게 된다.

본 고안은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

상술한 바와 같이, 본 고안에 따른 노광장치는, 베이스에 고정되며 광을 출사하는 조명부와, 베이스의 측부에 고정되어 베이스면에 평행하게 광을 출사하는 조명부, 베이스 면에 대해 평행하게 이송되며 조명부에서 출사된 광을 노광대상물로 순차적으로 반사시키는 스캐닝부를 채용하며, 상기 스캐닝부가 이송되면서 대형의 노광대상물에 광을 조사하므로 조명부의 용량이 크거나 또한, 노광대상물을 이송시키는 이송장치가 필요하지 않게 된다. 따라서, 소형의 노광장치를 구현할 수 있으며, 대형의 노광대상물을 노광할 수 있다. 또한, 상기한 조명부에서 출사되는 광에서 열이 제거된 상태이므로, 노광되는 노광대상물이 열적 변형으로 인하여 소정하는 패턴이 형성되지 않고 이로 인해 해상력이 저하되는 것을 방지하여 해상도를 향상시킨다는 효과가 있다.

Claims

패턴이 형성되는 노광대상물이 올려지는 베이스(100); 상기 베이스(100)의 측방에 설치되어 그 베이스(100)에 대해 평행하게 조사광을 발생하는 것으로서, 광원(210)과, 그 광원(210)에서 발생된 광에서 열을 흡수한 후 반사하는 제1콜드미러(220)와, 상기 제1콜드미러(220)에서 반사된 광을 고르게 혼합하는 플라이 아이렌즈(230)와, 상기 플라이 아이렌즈(230)를 통과한 광을 평행하게 만드는 콜리메이팅수단을 포함하는 조명부(200); 상기 베이스(100)면에 대해 평행하게 이송되면서 상기 조사광을 상기 베이스(100)에 대해 수직 방향으로 순차적으로 상기 노광대상물로 반사시키는 것으로서, 상기 조명부(200)에서 출사되는 광을 상기 노광대상물로 반사시키는 스캐닝미러(310)와, 상기 스캐닝미러(310)가 상기 베이스(100)면에 대해 소정거리를 유지하도록 하는 미러지지대(320)와, 상기 베이스(100)에 설치되어 상기 미러지지대(320)를 이송시키는 이송수단으로 구성된 스캐닝부(300);를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
제1항에 있어서, 상기 베이스에는, 상기 노광대상물의 상부에 소정의 패턴이 형성된 마스크가 위치되는 마스크 안착부가 설치된 것을 특징으로 하는 노광장치.
제1항에 있어서, 상기 베이스에는, 그 베이스가 소정의 각도로 경사지게 위치할 수 있도록 경사조절부가 설치된 것을 특징으로 하는 노광장치.