KR200208210Y1 - 저압 기상증착 장비의 허브 구동장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 저압 기상증착 장비의 허브(Hub) 구동장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 챔버(Chamber)내에 허브를 회전가능하게 설치하므로 인한 회전구동부를 완벽하게 밀봉시킬 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 웨이퍼(3)를 반송시키기 위한 허브를 제 1 허브(2a)와 제 2 허브(2b)로 분할형성하여 상기 제 1 허브(2a)를 챔버(1)의 내부에 위치시키고 제 2 허브(2b)는 챔버의 하부에 위치시키며, 상기 제 1 허브(2a)의 하단과 제 2 허브(2b)의 상단에는 극성이 서로 다른 전자기 구동부재(12a)(12b)를 각각 고정하여 상기 전자기 구동부재에 전기적인 신호가 인가됨에 따라 척(4)이 방사상으로 고정된 제 1 허브(2a)가 일정각도씩 회전되도록 구성하여서 된 것이다.

Description

저압 기상증착 장비의 허브 구동장치

제1도는 종래의 장치를 나타낸 개략도.

제2도는 본 고안의 구성을 나타낸 개략도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 챔버 2a : 제 1 허브

2b : 제 2 허브 3 : 웨이퍼

4 : 척 12a,12b : 전자기 구동부재

본 고안은 저압 기상증착 장비의 허브(Hub) 구동장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 챔버(Chamber)내에 허브를 회전가능하게 설치하므로 인한 회전구동부를 완벽하게 밀봉시킬 수 있도록 한 것이다.

일반적으로 저압 기상증착 장비에서는 하나의 챔버내에 여러장의 웨이퍼를 동시에 넣은 다음 순차적으로 공정을 진행하기 때문에 공정중에 웨이퍼를 홀딩하는 여러개의 척(Chuck)을 허브에 방사상으로 고정하여 상기 척이 고정된 허브를 벨트에 의해 일정각도씩 회전시키면서 공정을 진행하게 된다.

첨부도면 제1도는 종래의 장치를 나타낸 개략도로써, 공정중에 진공상태를 유지하는 챔버(1)의 내부에 허브(2)가 회전가능하게 설치되어 있고 상기 허브의 외주면에는 웨이퍼(3)가 홀딩되는 복수개의 척(4)이 방사상으로 고정되어 있으며 챔버(1)의 하방으로 노출된 허브(2)에는 모터(6)에 의해 회전하는 벨트(5)가 연결되어 있다.

상기한 바와 같은 구조에 의해 챔버(1)의 내부는 공정중에 진공상태를 유지하고, 벨트(5)가 연결된 부위는 대기압상태이므로 챔버(1)와 허브(2)의 접속면을 디퍼렌셜 씰링((Differential Sealing)방식으로 씰링하고 있다.

상기 디퍼렌셜 씰링방식은 챔버(1)와 허브(2)의 접속면에 제 1 테프론(7)으로 1차 밀봉하고 그 상방으로는 제 2 테프론(8)으로 2차 밀봉함과 함께 상기 제 2 테프론에 진공라인(9)을 연결하여 공정중에 1차 밀봉부위의 미세한 틈새를 통해 챔버(1)의 내부로 대기중의 공기가 유입되는 것을 방지하도록 되어 있다.

그리고 제 2 테프론(8)의 상측은 제 3 테프른(10)으로 밀봉하고 밀봉부위에 아르곤(Ar)를 취입하는 가스관(11)을 연결하여 밀봉부위에 틈새가 발생되더라도 대기중의 공기가 미세한 틈새를 통해 챔버의 내부로 유입되지 않고 제 3 테프론(10)의 밀봉부위에 넣어진 불활성인 아르곤가스가 챔버(1)의 내부로 유입되도록 되어 있다.

그러나 이러한 종래의 장치는 척(4)이 고정된 허브(2)를 벨트(5)의 동력전달에 의해 회전시키기 때문에 벨트(5)의 마모 및 장력의 가변에 따라 허브의 회전각도를 정확히 일치시킬 수 없어 웨이퍼의 반송에 많은 어려움이 수반되었음은 물론 밀봉부위를 제 1,2 3 테프론을 이용하여 챔버의 내부를 외부와 격리시키고 있지만, 장기간 사용으로 인해 접속면이 마모되어 틈새가 발생될 경우에는 공정중에 챔버의 내부로 대기중의 공기가 유입되므로 양질의 웨이퍼를 생산하지 못하게 된다.

본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 허브의 구동수단을 달리하여 공정중에 챔버의 내부를 외부와 완전히 격리시킴과 동시에 외부의 동력이 허브에 정확히 전달될 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 웨이퍼를 반송시키기 위한 허브를 제 1 허브와 제 2 허브로 분할형성하여 상기 제 1 허브를 챔버의 내부에 위치시키고 제 2 허브는 챔버의 하부에 위치시키며, 상기 제 1 허브의 하단과 제 2 허브의 상단에는 극성이 서로 다른 전자기 구동부재를 각각 고정하여 상기 전자기 구동부재에 전기적인 신호가 인가됨에 따라 척이 방사상으로 고정된 제 1 허브가 일정각도씩 회전되도록 구성함을 특징으로 하는 저압 기상증착 장비의 허브 구동장치가 제공된다.

본 고안을 일 실시예로 도시한 첨부된 도면 제2도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제2도는 본 고안의 구성을 나타낸 개략도로써, 본 고안은 웨이퍼(3)를 반송시키기 위한 허브가 제 1 허브(2a)와 제 2 허브(2b)로 분할형성되어 있어 상기 제 1 허브(2a)를 챔버(1)의 내부에 위치시키고 제 2 허브(2b)는 챔버의 하부에 위치시키도록 되어 있다

그리고 상기 제 1 허브(2a)의 하단과 제 2 허브(2b)의 상단에는 극성이 서로 다른 전자기 구동부재(12a)(12b)가 각각 고정되어 있어 상기 전자기 구동부재에 전기적인 신호가 인가됨에 따라 척(4)이 방사상으로 고정된 제 1 허브(2a)가 일정각도씩 회전하도록 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 본 고안의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 챔버(1)의 내부에 위치된 각각의 척(4)에 증착하고자 하는 웨이퍼(3)를 홀딩시킨 상태에서 공정의 진행에 따라 제 1 허브(2a)를 회전시키고자 할 경우에는 제 2 허브(2b)의 상단에 고정된 전자기 구동부재(12b)에 전기적인 신호를 가해 극성을 변환시켜 주면 제 1 허브(2a)의 하단에 고정된 전자기 구동부재(12a)의 위치가 가변되므로 결국 상기 전자기 구동부재와 고정된 제 1 허브(2a)가 전기적인 신호가 가해지는 만큼 회전하게 된다.

이에 따라 상기 제 1 허브(2a)의 외주면에 방사상으로 고정된 척(4)의 위치가 가변되므로 상기 척(4)에 홀딩된 웨이퍼(3)의 위치를 가변시키면서 공정을 수행하게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 고안은 공정중에 진공상태인 챔버(1)의 내부와 챔버의 외부를 완전히 격리시킨 상태에서 웨이퍼(3)가 홀딩된 척(4)의 각도를 가변시키게 되므로 회전각도를 정확히 조절할 수 있게 되는 효과를 얻게 된다.

Claims (1)

1. 웨이퍼틀 반송시키기 위한 허브를 제 1 허브와 제 2 허브로 분할형성하여 상기 제 1 허브를 챔버의 내부에 위치시키고 제 2 허브는 챔버의 하부에 위치시키며, 상기 제 1 허브의 하단과 제 2 허브의 상단에는 극성이 서로 다른 전자기 구동부재를 각각 고정하여 상기 전자기 구동부재에 전기적인 신호가 인가됨에 따라 척이 방사상으로 고정된 제 1 허브가 일정각도씩 회전되도륵 구성함을 특징으로 하는 저압 기상증착 장비의 허브 구동장치.