KR20020096527A - 반도체 제조 설비의 로더부를 무선으로 제어하기 위한무선 원격 제어 시스템 및 그 운영 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 반도체 제조 설비의 로더부를 무선으로 제어하기 위한 무선 원격 제어 시스템은 무선 송수신 기능을 갖는 로컬 컨트롤러와 이와 무선으로 접속되는 RF 송수신부를 구비한다. RF 송수신부는 로더부를 제어하기 위한 기계 제어부에 접속되어 로컬 컨트롤러에서 전송되는 원격 제어 신호를 기계 제어부로 제공하여 웨이퍼의 로딩 동작을 제어한다. 이 원격 제어 시스템은 반도체 제조 설비의 로더부의 제어를 무선으로 원격제어 할 수 있음으로 종래의 유선 원격 제어시 유선이 단선 되거나 하여 로더부가 손상되는 등의 제반 문제점 발생을 제거할 수 있으며, 유선 커넥터의 교체에 다른 공정 지연 등의 손실을 방지할 수 있다.

Description

반도체 제조 설비의 로더부를 무선으로 제어하기 위한 무선 원격 제어 시스템 및 그 운영 방법{WIRELESS REMOTE CONTROL SYSTEM FOR WIRELESS CONTROLLING LOADER PORTION CONTROLLER OF SEMICONDUCTOR PROCESS APPARATUS AND OPERATING METHOD THEREOF}

본 발명은 반도체 제조 장치의 로더부(loader portion)를 원격 제어하기 위한 제어 시스템에 관한 것으로, 구체적으로는 로더부를 무선 원격 제어(wireless remote control)하기 위한 무선 원격 제어 시스템에 관한 것이다.

반도체 장치는 여러 단계의 제조 공정을 통해 제조된다. 이러한 제조 공정으로 사진 공정(photo process), 확산 공정(diffusion process), 식각 공정(etching process) 등 다양한 공정들이 있다.

이중 확산 공정에 사용되는 반도체 제조 장치로서 확산 설비의 로더부(loader portion)는 크게 웨이퍼(wafer)를 캐리어(carrier)에서 보드(boat)로 이송 시켜주는 트랜스퍼(transfer)와 보트를 튜브(tube) 내부로 이동시키는 엘리베이터(elevator)로 구성된다. 현재, 이러한 확산 설비의 로더부는 유선 제어 시스템(wireless control system)에 의해 로컬 제어(local control)가 되고 있다.

이 유선 제어 시스템은 확산 설비의 기계적 제어 부분과 RS232C를 이용한 인터페이스(interface)로 연결되어 있는데, 이로 인하여 다음과 같은 문제점이 발생되고 있는 실정이다.

먼저, RS232C용 유선 케이블로 연결되어 있어 장기간 유선 제어 시스템을 사용하는 경우 기계적 제어 부분과의 연결 부분에서 쇼트가 발생하거나 심한 경우 라인이 단선 되어 시스템에 치명적인 손상이 발생되는 경우가 발생하게 된다. 또한,로더부의 고장 시에 별도의 로컬 컨트롤러(local controller)로 유선 제어 시스템을 대체하게 되는데 확산 설비의 후단에서는 그 사용이 용이하나 설비 내부에서 로더부를 제어하기에는 어려움이 있다.

예를 들어, 시스템의 유선 라인이 로더부에 감기거나 하여 로더부에 손상을 주거나 라인 단선 되는 경우가 발생하게 된다. 이런 경우, 로더부가 이상 동작을 하게되는 것뿐만 아니라 기계적 제어 부분에서도 이상이 발생하여 안전 사고가 발생할 수도 있게된다.

설비의 선단에서 유선 제어 시스템을 사용하려는 경우에는 유선 라인의 커넥터를 불리하여 다시 선단에 구비된 커넥터에 연결하여야 하는 번거로움이 있다. 게다가 각 설비 전용의 로컬 컨트롤러를 구비해야 하므로 설비를 구성하기 위한 원가가 상승의 문제점도 발생하게 된다.

이와 같이, 확산 설비의 로컬 컨트롤러의 유선 제어 시스템 뿐 아니라, 유선의 로컬 컨트롤러를 사용하는 반도체 제조 설비에 있어서 유선 제어는 이와 같은 문제점을 갖고 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서 반도체 제조 설비에서 로컬 컨트롤러를 사용하는 로더부를 무선으로 제어할 수 있는 무선 원격 제어 시스템을 제공하는데 있다.

도 1은 일반적인 확산 설비의 로더부의 동작 과정을 예를 들어 설명하기 위한 도면;

도 2는 도 1의 확산 설비의 로더부와 로컬 컨트롤러의 유선 연결 상태를 보여주는 블록도;

도 3은 본 발명의 무선 원격 제어 시스템의 구성을 보여주는 블록도; 그리고

도 4는 본 발명의 무선 원격 제어 시스템의 운영 방법을 보여주는 플로우챠트이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10: 로더부12: 트랜스퍼

14: 엘리베이터20: 캐리어 카셋

22: 웨이퍼30: 보트

40: 기계 제어부50, 70: 로컬 컨트롤러

60: RF 송수신부

상술한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 특징에 의하면, 캐리어 카셋에 탑재된 다수의 웨이퍼를 보트로 이송하고, 이송된 웨이퍼를 탑재한 보트를 반도체 제조 설비의 튜브로 이송하는 로더부를 원격으로 제어하기 위한 제어 시스템은 기계 제어부, 로컬 컨트롤러, RF 송수신부를 구비한다.

기계 제어부는 상기 로더부의 기계적 동작을 제어하며, 로컬 컨트롤러는 상기 로더부를 제어하기 위한 무선의 원격 제어 신호를 발생한다. 상기 RF 수신부는 상기 로컬 컨트롤러와 무선으로 접속되고, 상기 로컬 컨트롤러에서 발생된 무선의 원격 제어 신호를 수신하여 상기 기계 제어부로 제공한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 RF 수신부는 해당 설비의 고유 코드를 갖고, 상기 고유 코드를 수신하는 경우 상기 로컬 컨트롤러로부터 수신된 원격 제어 명령을 기계 제어부로 제공한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 캐리어 카셋에 탑재된 다수의 웨이퍼를 보트로 이송하고, 이송된 웨이퍼를 탑재한 보트를 반도체 제조 설비의 튜브로 이송하는 로더부를 무선으로 원격 제어하기 위한 무선 제어 시스템의 운영 방법은: 로더부의 기계적 동작을 제어하기 위한 기계 제어부에 접속된 RF 송수신부의 전원을 온 시키는 단계; 로컬 컨트롤러를 통해 원격 제어를 수행하기 위한 해당 설비의 고유 코드를 입력하는 단계; 로컬 컨트롤러 이용하여 해당되는 설비의 로더부를 제어하는 단계; 로더부의 제어가 완료되면, RF 송수신부의 파워를 오프 하는 단계로 운영된다.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 명확하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

(실시예)

이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명의 신규한 무선 원격 제어 시스템은 반도체 제조 설비의 로더부와 로컬 컨트롤러를 무선으로 접속시켜 로더부의 제어를 무선으로 원격제어를 한다.

도 1은 일반적인 확산 설비의 로더부의 동작 과정을 예를 들어 설명하기 위한 도면이다.

도면을 참조하여, 로더부(10)는 트랜스퍼(12)와 엘리베이터(14)로 구성되며, 수평이동과 수직이동 동작을 수행한다. 캐리어 카셋(carrier cassette)(20)에 탑재된 다수의 웨이퍼(22)들은 트랜스퍼(12)에 의해 보트(30)로 이송된다. 웨이퍼가 적재된 보트(30)는 다시 엘리베이터(14)에 의해 튜브(미도시) 내부로 이송된다. 프로세스가 진행 완료되면, 다시 과정이 역순으로 진행되어 웨이퍼(22)들이 캐리어 카셋(20)에 탑재되어 후 공정으로 진행된다.

도 2는 도 1의 확산 설비의 로더부와 로컬 컨트롤러의 유선 연결 상태를 보여주는 블록 도이다.

도면을 참조하여, 상술한 바와 같이 구성된 로더부(10)는 로컬 컨트롤러(50)에 의해 유선으로 원격제어 되는데, 로컬 컨트롤러(50)는 기계 제어부(40)에 RS232C 인터페이스(52)에 의해 유선으로 연결된다. 기계 제어부(40)는 로컬 컨트롤러(50)의 제어에 따라 로더부(10)의 기계적인 동작을 제어한다.

본 발명에서는 상술한 바와 같은 유선 제어 시스템을 갖는 로더부에 무선 원격 제어 시스템을 새롭게 적용하여 로더부를 무선으로 원격 제어한다. 이를 위한 시스템 구성을 보여주는 블록도가 첨부도면 도 3에 도시되어 있다.

도 3을 참조하여, 본 발명의 반도체 제조 설비의 로더부를 무선으로 제어하기 위한 무선 원격 제어 시스템은 무선 송수신 기능을 갖는 로컬 컨트롤러(70)와 이와 무선으로 접속되는 RF 송수신부(60)를 구비한다.

이 실시예에서는 무선 신호로 RF 주파수를 이용하였으나, 적외선을 이용한 방식도 가능함은 물론이다. RF 송수신부(60)는 로더부(10)를 제어하기 위한 기계 제어부(40)에 접속되어 로컬 컨트롤러(70)에서 전송되는 원격 제어 신호를 기계 제어부(40)로 제공한다.

RF 송수신부(60) 자신의 고유 코드를 구비하여, 자신의 고유 코드가 입력되는 경우 수신된 제어 명령을 기계 제어부(40)로 제공한다. 이와 같이 각 설비마다 고유 코드를 부여하면, 하나의 로컬 컨트롤러(70)를 이용하여 다수의 설비들을 원격 제어할 수 있다. 그럼으로 종래에 하나의 설비에 해당되는 로컬 컨트롤러를 한 대씩 구비하였던 것을 하나의 로컬 컨트롤러(70)만을 구비하고 각기 해당되는 RF 송수신부(60)를 구비하여 공동으로 사용할 수 있다.

이와 같이 구성된 원격 제어 시스템의 로더부(10)의 운영 방법을 보여주는 플로우챠트가 첨부 도면 도 4에 도시되어 있다.

먼저, 단계 S10에서 해당 설비에 연결된 RF 송수신부(60)의 전원을 온 시킨다. 단계 S12에서 로컬 컨트롤러(70)에서 원격 제어를 수행하기 위한 해당 설비의고유 코드를 입력한다. 이는 해당 설비를 제어하기 위한 패스워드로 사용될 수 있다. 단계 S14에서는 로컬 컨트롤러(70)를 이용하여 해당되는 설비의 로더부(10)를 제어한다. 로더부(10)의 제어가 완료되면, 단계 S16에서 RF 송수신부(60)의 파워를 오프 한다.

상술한 바와 같은, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 무선 원격 제어 시스템의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.

이상과 같은 본 발명에 의하면, 반도체 제조 설비의 로더부의 제어를 무선으로 원격제어 할 수 있음으로 종래의 유선 원격 제어시 유선이 단선 되거나 하여 로더부가 손상되는 등의 제반 문제점 발생을 제거할 수 있으며, 유선 커넥터의 교체에 다른 공정 지연 등의 손실을 방지할 수 있다.

Claims (3)

1. 캐리어 카셋에 탑재된 다수의 웨이퍼를 보트로 이송하고, 이송된 웨이퍼를 탑재한 보트를 반도체 제조 설비의 튜브로 이송하는 로더부를 원격으로 제어하기 위한 제어 시스템에 있어서:

   상기 로더부의 기계적 동작을 제어하는 기계 제어부;

   상기 로더부를 제어하기 위한 무선의 원격 제어 신호를 발생하는 로컬 컨트롤러;

   상기 로컬 컨트롤러와 무선으로 접속되고, 상기 로컬 컨트롤러에서 발생된 무선의 원격 제어 신호를 수신하여 상기 기계 제어부로 제공하는 RF 송수신부를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 원격 제어 시스템.
2. 제1 항에 있어서,

   상기 RF 수신부는 해당 설비의 고유 코드를 갖고, 상기 고유 코드를 수신하는 경우 상기 로컬 컨트롤러로부터 수신된 원격 제어 명령을 기계 제어부로 제공하는 것을 특징으로 하는 무선 원격 제어 시스템.
3. 캐리어 카셋에 탑재된 다수의 웨이퍼를 보트로 이송하고, 이송된 웨이퍼를 탑재한 보트를 반도체 제조 설비의 튜브로 이송하는 로더부를 무선으로 원격 제어하기 위한 무선 제어 시스템의 운영 방법에 있어서:

   로더부의 기계적 동작을 제어하기 위한 기계 제어부에 접속된 RF 송수신부의 전원을 온 시키는 단계;

   로컬 컨트롤러를 통해 원격 제어를 수행하기 위한 해당 설비의 고유 코드를 입력하는 단계;

   로컬 컨트롤러 이용하여 해당되는 설비의 로더부를 제어하는 단계;

   로더부의 제어가 완료되면, RF 송수신부의 파워를 오프 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 제어 시스템의 운영 방법.