KR102486947B1 - 자동반송시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법 - Google Patents

자동반송시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 상위 제어기의 제어에 따라 레일을 통해 이동하는 무인이송장치와의 RF통신을 통해 동작을 수행하는 패시브 장치의 프로그램 업데이트 정보를 무인이송장치와 물류반송정보를 송수신하는 동안 무인이송장치를 통해 전송하여 물류반송작업에 영향을 주지 않으면서 패시브 장치의 프로그램을 업데이트할 수 있도록 해 주는 기술에 관한 것이다.
본 발명에 따른 자동 반송 시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법은, 무인 이송장치에서 상위 제어기로부터 물류반송정보와 최신 프로그램 업데이트정보를 제공받는 제1 단계와, 무인 이송장치가 패시브 장치와의 통신 위치에 도달하면, 무인이송장치에서 패시브 장치로 물류반송정보를 전송하고, 이에 대해 패시브 장치로부터 물류반송 응답정보를 수신하여 물류반송통신을 수행하는 제2 단계, 무인 이송장치에서 해당 주기에서의 물류반송통신이 완료된 이후 해당 주기의 대기구간동안 패시브 장치로 업데이트 정보를 전송하고, 이에 대해 패시브 장치로부터 업데이트 응답정보를 수신하여 업데이트 통신을 수행하는 제3 단계 및, 패시브 장치에서 상기 제3 단계에서 무인 이송장치로부터 업데이트 정보가 모두 수신되면, 이를 근거로 최신 프로그램 업데이트를 실행하는 제3 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

자동반송시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법 {Method for program updating of passive device using automated guided vehicle in automated material handling system}
본 발명은 상위 제어기의 제어에 따라 레일을 통해 이동하는 무인이송장치와의 RF통신을 통해 동작을 수행하는 패시브 장치의 프로그램 업데이트에 관한 것으로, 프로그램 업데이트 정보를 무인이송장치와 물류반송정보를 송수신하는 동안 무인이송장치로부터 제공받아 물류반송작업에 영향을 주지 않으면서 패시브 장치의 프로그램을 업데이트할 수 있도록 해 주는 기술에 관한 것이다.
반도체 공장에서는 반도체의 원재료 웨이퍼(wafer)가 완제품이 되기까지 수 백 개의 공정과 수십만 건의 물류 이동이 발생한다. 이에, 인적 오류를 줄이고, 공장의 작업 효율을 높이기 위해 공정간의 물류 이송을 자동화하고 있다.
즉, 물류 이송을 OHS(OverHead Shuttle), OHT(Overhead Hoist Transport), AGV(Automated Guided Vehicle), RGV(Rail Guided Vehicle)와 같은 무인이송장치를통해 생산공정별 제조설비로 이동시키고, 웨이퍼가 담긴 FOUP(Front Opening Unified Pod) 또는 카세트(cassette)와 같은 캐리어(wafer carrier)를 제조 설비와의 핸드오프(handoff)과정을 통해 전달하는 자동반송시스템(AMHS : Automated Material Handling System)이 개발되어 이용되고 있다.
반도체 공장의 자동반송시스템에서는 무인이송장치가 레일을 따라 이동하거나, 제조 설비에 재료를 전달할 때, 특정한 통신 장치를 이용하여 통신하게 된다. 예컨대, 무인이송장치는 제조 설비와 RF 통신을 수행한다.
이러한 장치들은 프로그램에 오류가 발생하거나, 또는 고객사의 기능 개선 요구 등에 의해 프로그램 업데이트가 필요할 수 있다.
이때, 무인이송장치는 상위 시스템과 연결되는 액티브(Active) 장치로서, 이러한 액티브 장치들은 상위 시스템과의 통신을 통해 자동으로 프로그램 업데이트를 수행할 수 있으며, 이러한 프로그램 업데이트 방식은 일반적이다.
한편, 무인이송장치의 제어기나 상위 시스템과 직접적으로 연결되어 있지 않으면서, 무인이송장치와 통신에 의해 동작되는 장치 즉, 패시브(Passive) 장치들의 프로그램 업데이트는 현재 현장 작업자에 의해 수동으로 프로그램 업데이트가 이루어지고 있다.
패시브 장치로는 무인이송장치와 SEMI E84 통신을 수행하는 제조설비 장치와, 합류 충돌 위치에 설치되는 인터락 통신장치 및, 호이스트 장치 등이 있다.
그러나, 반도체 공장에서 패시브 장치의 프로그램 업데이트가 진행되는 경우, 업데이트 작업이 수행되는 동안에는 해당 장치의 사용이 불가하고 물류 반송이 중단되는 등의 문제가 발생된다. 예컨대, SEMI E84 통신을 수행하는 제조 설비 장치는 제조 설비가 정상 동작 중임에도 핸드오프 동작 수행이 불가하고, 합류 충돌 인터락(Interlock)장치는 무인 이송 차량의 레일 진입이 불가하여 우회 처리될 수 있으며, 호이스트(Hoist) 통신 장치는 호이스트 작업이 불가하다.
또한 공장 가동 중 프로그램 업데이트를 위한 과정은 매우 복잡하고, 오랜 시간이 오래 소요되며, 현장 상황(인접 공간의 다른 작업 등으로 인한)에 따른 패치 작업 가부 여하에 따라 프로그램 업데이트 시간이 조정되어야 하는 경우가 발생한다.
특히, 일정 규모 이상의 공장에서 횡 전개(공장 전체 패치)가 필요한 경우, 패치 작업의 단독 승인이 불가하여 오랜 기간 대기하는 경우가 발생하게 되는 바, 기능 개선 요구 사항에 신속한 대처가 불가한 단점이 있다.
1. 한국등록특허 재10-1616706호 (명칭 : 자동 반송 시스템용 RF통신 시스템 및 방법)
이에, 본 발명은 상기한 사정을 감안하여 창출된 것으로, 무인이송장치와 패시브 장치가 물류 반송 작업을 수행하는 동안 무인이송장치를 이용하여 패시브 장치의 프로그램을 자동으로 업데이트시킴으로써, 물류 반송 작업에 전혀 영향을 미치지 않으면서 신속하고 안전하게 패시브 장치에 대한 업데이트를 수행할 수 있도록 해 주는 자동반송시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법을 제공함에 그 기술적 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 상위 제어기의 제어에 따라 레일을 통해 이동하는 다수의 무인이송장치와, 이 무인이송장치와의 RF통신을 통해 물류반송처리 동작을 수행하는 패시브 장치를 포함하여 구성되는 자동 반송 시스템의 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법에 있어서, 무인 이송장치에서 상위 제어기로부터 물류반송정보와 최신 프로그램 업데이트정보를 제공받는 제1 단계와, 무인 이송장치가 패시브 장치와의 통신 위치에 도달하면, 무인이송장치에서 패시브 장치와 일정 주기 단위로 물류반송정보를 전송하고, 이에 대해 패시브 장치로부터 물류반송 응답정보를 수신하여 물류반송통신을 수행하는 제2 단계, 무인 이송장치가 각 주기에서 패시브 장치와의 물류반송통신이 완료된 이후 다음 주기의 물류반송통신이 이루어지기 전까지 발생되는 대기구간동안 패시브 장치로 업데이트 정보를 전송하고, 이에 대해 패시브 장치로부터 업데이트 응답정보를 수신하여 업데이트 통신을 수행하는 제3 단계 및, 패시브 장치에서 상기 제3 단계에서 무인 이송장치로부터 업데이트 정보가 모두 수신되면, 이를 근거로 최신 프로그램 업데이트를 실행하는 제4 단계를 포함하여 구성되고, 상기 제3 단계에서 패시브 장치는 제1 무인이송장치와의 물류반송처리 동작이 종료될 때까지 발생되는 총 대기시간 동안 제1 무인이송장치로부터 업데이트 정보를 모두 수신하지 못한 경우, 다음 순서로 자신과 물류반송처리 동작을 수행하는 제2 무인이송장치로부터 업데이트 정보를 이어받는 방식으로, 다수의 무인이송장치로부터 업데이트 정보를 순차로 수신하여 저장하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법이 제공된다.
삭제
또한, 상기 제3 단계는 무인이송장치에서 프로그램 버전확인 요청정보를 패시브 장치로 전송하고, 패시브 장치에서 현재 프로그램 버전정보를 무인이송장치로 전송하는 프로그램 버전확인 단계와, 무인이송장치에서 패시브 장치의 현재 프로그램 버전와 최신 프로그램 버전이 일치하지 않으면 총 펌웨어 넘버를 포함하는 업데이트 유형 확인정보를 패시브 장치로 전송하고, 패시브 장치에서 기 저장된 펌웨어 넘버를 포함하는 프로그램 받기 정보를 무인이송장치로 전송하는 업데이트 유형확인 단계, 무인이송장치에서 패시브 장치로부터 수신된 펌웨어 넘버를 근거로 펌웨어 넘버와 펌웨어 코드를 포함하는 펌웨어 데이터를 패시브 장치로 전송하고, 패시브 장치에서 무인이송장치에서 수신된 펌웨어 데이터를 순차 저장함과 더불어, 펌웨어 넘버를 포함하는 펌웨어 데이터 응답정보를 무인 이송장치로 전송하는 펌웨어 데이터 받기 단계를 포함하고, 무인이송장치는 패시브 장치로부터 총 펌웨어 넘버와 동일한 펌웨어 넘버를 포함하는 펌웨어 데이터 응답정보를 수신하는 때까지 상기 펌웨어 데이터 받기 과정을 반복하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법이 제공된다.
또한, 상기 프로그램 버전 확인 단계는 무인이송장치가 새로운 패시브 장치에 도달하는 때마다 수행하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법이 제공된다.
또한, 상기 업데이트 유형확인 단계는 패시브 장치에서 기 저장된 펌웨어 넘버가 없는 경우, 프로그램 신규 받기 요청정보를 무인이송장치로 전송하고, 기 저장된 펌웨어 넘버가 있는 경우, 프로그램 이어 받기 요청정보를 무인이송장치로 전송하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법이 제공된다.
또한, 상기 업데이트 정보는 명령어 영역과, 펌웨어 INFO 영역과 펌웨어 데이터 코드 영역을 포함하는 패킷구조로 생성되고, 명령어 영역은 무인이송장치와 패시브 장치에서 서로 다른 명령어로 정의되는 코드값으로 설정되되, 무인이송장치에서 패시브 장치로 전송되는 명령어 코드는 프로그램 버전 요청, 업데이트 유형 확인, 펌웨어 데이터 코드 전송, 펌웨어 데이터 코드 전송 완료를 포함하고, 패시브 장치에서 무인이송장치로 전송되는 명령어 코드는 프로그램 버전 ACK, 신규 받기, 이어 받기, 데이터 코드 ACK를 포함하며, 상기 펌웨어 INFO 영역은 펌웨어 총 넘버, 펌웨어 넘버, 프로그램 버전 값으로 설정되는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법이 제공된다.
또한, 상기 패시브 장치는 무인이송장치에 의해 이동된 캐리어 내부의 웨이퍼에 대한 공정처리를 수행하는 제조 설비에 설치되는 장치, 레일에 설치되는 합류 충돌 인터락(Interlock) 장치, 무인 이송장치에 설치되는 호이스트 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법이 제공된다.
또한, 상기 무인이송장치와 패시브 장치간 프로그램 업데이트를 수행하지 않는 경우, 무인이송장치와 패시브 장치간 물류반송통신을 수행하지 않는 대기구간에 무인이송장치가 패시브 장치로부터 로그정보를 수집하거나, 무인이송장치가 패시브 장치로 패시브 장치에 대한 유지관리정보를 전송하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법이 제공된다.
본 발명에 의하면, 무인이송장치와 패시브 장치간의 물류반송처리 동안 무인이송장치에서 프로그램 업데이트 정보를 패시브 장치에 전송하여 패시브 장치의 프로그램 업데이트를 수행하도록 함으로써, 물류 반송 처리 효율을 저하시키지 않으면서도 안정적으로 패시브 장치에 대한 프로그램 업데이트를 자동으로 수행할 수 있다.
도1은 본 발명이 적용되는 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 기능을 갖는 자동반송시스템의 개략적인 구성을 나타낸 도면.
도2는 도1에 도시된 패시브 장치(200)의 종류를 예시한 도면.
도3와 도4는 도1에 도시된 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)의 간의 RF 통신방식을 설명하기 위한 도면.
도5는 도4에 도시된 업데이트 정보구간에서 전송되는 펌웨어 패킷 구조를 설명하기 위한 도면.
도6은 본 발명에 따른 자동반송시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법을 설명하기 위한 도면.
도7은 도6에서 패시브 장치(200)가 업데이트 정보를 수신하는 서로 다른 경우를 예시한 도면.
도8은 도6의 ST500과 ST600 단계에서 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)간의 펌웨어 정보 송수신 과정을 상세히 설명하기 위한 도면.
본 발명에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예 및 도면에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
도1은 본 발명이 적용되는 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 기능을 갖는 자동반송시스템의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다.
도1을 참조하면, 본 발명이 적용되는 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 기능을 갖는 자동반송시스템은 무인이송장치(100)와, 이 무인이송장치(100)와 RF 통신을 수행하는 패시브 장치(200)를 포함한다.
여기서, 패시브 장치(200)는 무인이송장치(100)와의 통신에 의해 동작하는 장치로서, 도2에 도시된 바와 같이 무인이송장치(100)에 의해 이동된 캐리어 내부의 웨이퍼에 대한 공정처리를 수행하는 제조 설비에 설치되는 장치(A)이거나, 레일에 설치되는 합류 충돌 인터락(Interlock) 장치(B), 무인 이송장치에 설치되나 무인차 제어기와는 직접 통신하지 않는 호이스트 장치(C)를 포함한다. 이하에서는 패시브 장치(200)로서, 제조 설비에 설치되는 장치(A)를 예시하여 설명한다.
또한, 상기 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)는 기 약정된 통신 프로토콜 기반의 RF통신을 수행하며, 예컨대, SEMI E84 통신을 수행할 수 있다.
이때, 상기 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)는 도3에 도시된 바와 같이 무인이송장치(100)에서 먼저 물류반송정보(T)를 패시브 장치(200)로 전송하고, 패시브 장치(200)는 무인이송장치(100)로부터 수신된 물류반송정보(T)에 대한 응답정보(P)를 무인이송장치(100)로 전송하는 방식으로 상호간 통신을 수행한다.
무인이송장치(100)는 액티브 장치로서, 무인차 제어기(110)와 무인차 통신부(120)를 포함한다.
무인차 제어기(110)는 상위 시스템(1)을 포함하는 외부 장치로부터 패시브 장치(200)의 최신 프로그램 업데이트정보를 수신하여 저장한다. 이때, 최신 프로그램정보는 무인차 통신부(120)에서 외부 장치로부터 수신할 수 있다.
최신 프로그램 업데이트정보는 패시브 장치(200) 즉, 패시브 통신부(210) 또는 패시브 제어기(220) 프로그램이 될 수 있으며, 프로그램 버전과, 펌웨어 총 No, 펌웨어 No 별 데이터 코드를 포함한다. 그리고, 프로그램 버전 정보는 패시브 장치 종류코드와 버전 No를 포함할 수 있다.
또한, 무인차 제어기(110)는 상위 시스템(1)으로부터 수신된 물류반송정보를 무인차 통신부(120)를 통해 패시브 장치(200)로 전송한다.
또한, 무인차 통신부(120)는 무인차 제어기(110)로부터 수신된 물류반송정보를 기 설정된 주기 단위로 패시브 장치(200)로 전송하고, 이에 대해 패시브 장치(200)로부터 수신되는 응답정보를 수신한다.
또한, 무인차 통신부(120)는 물류반송정보가 전송되지 않는 대기 구간 동안 프로그램 업데이트 정보를 패시브 장치(200)로 전송하고, 이에 대해 패시브 장치(200)로부터 수신되는 응답정보를 수신한다. 이때, 무인차 통신부(120)는 외부장치로부터 직접 프로그램 업데이트 정보를 제공받거나 무인차 제어기(110)로부터 프로그램 업데이트 정보를 제공받아 패시브 장치(200)로 전송할 수 있다.
한편, 패시브 장치(200)는 무인이송장치(100)로부터 수신되는 물류반송정보 및 프로그램 업데이트정보에 대한 응답신호를 무인이송장치(100)로 전송함과 더불어, 물류반송정보를 설비 제어기(220)로 전송한다. 그리고, 설비 제어기(220)는 패시브 장치(200)로부터 인가되는 물류반송정보에 따라 해당 제조설비 고유의 물류 반송 처리를 수행한다.
즉, 무인차 통신부(120)와 패시브 통신부(210)는 도4에 도시된 바와 같이 한 주기(25ms)를 물류반송정보를 송수신하는 물류반송정보 구간과, 업데이트정보 구간으로 나누어 사용한다. 이때, 물류반송정보 구간과 업데이트 정보구간은 일정하게 나누어지지 않고, 물류반송정보 구간은 해당 주기에서 이루어질 물류반송정보의 송수신이 완료된 구간으로 설정되고, 업데이트 정보구간은 해당 주기에서 물류반송정보의 송수신이 완료된 이후 다음 주기의 물류반송정보의 송수신을 수행하기 전까지의 대기구간으로 설정된다.
예컨대, 제1 주기에서는 물류이송정보 구간이 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)에서 상호 1회의 물류반송정보가 송수신되는 구간으로 설정되고, 업데이트정보 구간이 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)에서 상호 4회의 업데이트정보가 송수신되는 구간으로 설정된다. 그리고, 제2 주기에서는 물류이송정보 구간이 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)에서 상호 2회의 물류반송정보가 송수신되는 구간으로 설정되고, 업데이트정보 구간은 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)에서 상호 3회의 업데이트 정보가 송수신되는 구간으로 설정될 수 있다.
이때, 무인차 통신부(120)와 패시브 통신부(210)에서 상대측으로 전송되는 업데이트 정보는 도5와 같은 펌웨어 패킷구조로 구성된다.
도5 (A)를 참조하면, 펌웨어 패킷은 32바이트 크기로, I/O 패킷부(P)와 펌웨어 패킷부(AF,PF)로 이루어진다. 펌웨어 패킷부(AF)는 무인차 통신부(120)에서 패시브 통신부(210)로 전송되는 패킷 구성이고, 펌웨어 패킷부(PF)는 패시브 통신부(210)에서 무인차 통신부(120)로 전송되는 패킷 구성이다.
I/O 패킷부(P)는 12바이트(0~11)로 이루어지며, 무인차 통신부(120)와 패시브 통신부(210)간의 상호 식별코드와 통신자원정보를 포함한다.
펌웨어 패킷부(AF,PF)는 20바이트(12~31)로 이루어지며, 1바이트(12)의 명령어 영역과, 19바이트(13~31)의 펌웨어 정보영역으로 이루어지며, 펌웨어 정보영역은 2바이트(13,14)의 펌웨어 INFO영역, 16바이트(15~30)의 펌웨어 데이터 코드영역 및, 1바이트(31)의 CRC 영역으로 이루어질 수 있다.
여기서, 명령어는 아스키코드값으로 이루어질 수 있으며, 무인차 통신부(120)와 패시브 통신부(210)에서 각 코드값은 서로 다른 명령어로 정의된다.
즉, 도5 (B)에 도시된 바와 같이 무인차 통신부(120)에서 패시브 통신부(210)로 전송하는 펌웨어 패킷부(AF)의 명령어는 서로 다른 코드값에 대해 프로그램 버전 요청, 업데이트 유형 확인, 펌웨어 데이터 코드 전송, 펌웨어 데이터 코드 전송 완료, 강제 종료를 포함하도록 설정된다.
또한, 도5 (C)에 도시된 바와 같이 패시브 통신부(210)에서 무인차 통신부(120)로 전송하는 펌웨어 패킷부(PF)의 명령어는 서로 다른 아스키값에 대해 프로그램 버전 ACK, 신규 받기, 이어 받기, 데이터 코드 ACK, 종료 ACK, 펌웨어 업데이트 준비완료 알림을 포함하도록 설정된다.
또한, 펌웨어 INFO 영역은 도5 (B)와 (C)에 도시된 바와 같이, 펌웨어 총 No., 펌웨어 No. 프로그램 버전 값으로 설정된다.
이어, 상기한 구성으로 된 자동반송시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법을 도6에 도시된 흐름도를 참조하여 설명한다.
도6을 참조하면, 무인이송장치(100)는 상위 시스템(1)으로부터 이동 목적지 정보와 패시브 장치(200)에 전송할 물류반송정보, 패시브 장치(200)와 통신하기 위한 통신자원정보 및, 패시브 장치(200)의 최신 프로그램 업데이트 정보를 포함하는 무인이송정보를 수신하여 저장한다(ST100). 최신 프로그램 업데이트 정보는 프로그램 버전과, 펌웨어 총 No., 펌웨어 No. 별 데이터 코드를 포함한다.
그리고, 무인이송장치(100)은 상위 시스템(1)의 제어에 따라 목적지로 레일을 통해 이동한다.
이때, 무인이송장치(100)가 패시브 장치(200)와의 통신 위치에 도달하면, 무인이송장치(100)는 먼저 물류반송정보를 포함하는 물류반송패킷을 패시브 장치(200)로 전송한다(ST200). 이때, 물류반송패킷은 패시브 장치(200)에 대한 확인과 통신자원 설정을 포함하는 I/O 패킷부와 물류반송정보를 포함하는 물류반송패킷부로 이루어질 수 있다.
패시브 장치(200)는 물류반송패킷에 대응하여 물류반송응답정보를 무인이송장치(100)로 전송한다(ST300). 그리고, 패시브 장치(200)는 무인이송장치(100)로부터 수신된 물류반송정보를 근거로 해당 물류반송처리를 수행한다. 예컨대, 패시브 장치(200)는 제조 설비로서, 무인이송장치(100)를 통해 이송된 캐리어 내부의 웨이퍼에 대한 공정처리를 수행할 수 있다.
무인이송장치(100)는 해당 주기 동안 패시브 장치(200)로 전송할 물류반송정보가 존재하지 않는다고 판단되면(ST400), 무인이송장치(100)는 다음 주기 시작까지 남은 대기 구간이 존재하는지를 판단하고, 대기 구간이 존재하면, 펌웨어정보를 해당 패시브 장치(200)로 전송한다(ST500). 펌웨어정보는 패시브 장치(200)를 업데이트할 최신 프로그램정보이다.
그리고, 패시브 장치(200)는 펌웨어 정보에 대한 펌웨어 응답정보를 생성하여 무인이송장치(100)으로 전송한다(ST600). 이때, 패시브 장치(200)는 무인이송장치(100)로부터 수신한 펌웨어 정보를 저장한다.
이때, 무인이송장치(100)는 다음 주기가 시작되거나 또는 펌웨어 정보의 전송이 필요없다고 판단되는 등의 기 설정된 펌웨어정보 종료조건을 만족하는 때까지 상술한 ST600과 ST700 단계를 반복적으로 수행한다(ST700).
여기서, 무인이송장치(100)는 다음 주기가 시작되는 시점이라고 판단되는 경우에는 물류반송정보를 패시브 장치(200)로 전송하는 ST200 이후의 동작을 수행한다.
또한, 무인이송장치(100)는 펌웨어 정보의 전송이 완료되는 등의 이유로 펌웨어 정보의 전송이 필요없다고 판단되는 경우에는 이후 주기부터 물류반송정보만을 패시브 장치(200)로 전송한다.
즉, 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)는 도7의 (A)에 도시된 바와 같이 제1 내지 제3 주기에서는 물류이송정보(X)와 펌웨어정보(Y)를 송수신하고, 제4 주기 이후부터는 물류이송정보(X)만을 송수신한다.
한편, 무인이송장치(100)가 해당 패시브 장치(200)로 전송할 물류반송정보가 존재하지 않아 해당 패시브 장치(200)와의 물류 반송 통신이 종료되면(ST800), 무인이송장치(100)는 상위 제어기(1)의 제어에 따라 레일을 통해 다음 목적지로 이동한다.
또한, 패시브 장치(200)는 무인이송장치(100)과의 통신이 종료되면, 상기 ST500 단계에서 펌웨어 정보의 받기가 완료되었는지를 확인한다. 여기서, 패시브 장치(200)는 해당 펌웨어 총No.와 현재 수신된 펌웨어 No.를 비교하여 펌웨어 받기 완료 여부를 판단한다.
그리고, 패시브 장치(200)는 받기 완료된 펌웨어를 이용하여 패시브 장치(200)의 시스템 리셋을 자동 수행함으로써, 펌웨어 업데이트를 실행한다(ST900). 이후 패시브 장치(200)는 새로운 버전으로 동작한다.
한편, 상기 ST900 단계에서, 패시브 장치(200)는 펌웨어 받기 완료가 되지 않은 상태라고 판단되면, 이후 새롭게 통신을 시작하는 타 무인 이송장치와 상술한 동작을 수행하여 펌웨어 정보를 이어서 수신하고, 이를 순차 저장한다. 그리고, 펌웨어 받기가 완료되면 ST900 단계의 펌웨어 업데이트 동작을 수행한다.
즉, 도7의 (B)에 도시된 바와 같이, 패시브 장치(200)는 제1 내지 제3 무인이송장치(100-1, 100-2, 100-3)와의 통신을 통해 펌웨어 정보를 순차적으로 이어받기 함으로써, 펌웨어 정보 전체를 수신할 수 있다.
한편, 도8은 도6의 ST500과 ST600 단계에서 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)간의 펌웨어 정보 송수신 과정을 상세히 설명하기 위한 도면이다.
도8을 참조하면, 도6에서 무인이송장치(100)에서 패시브 장치(200)로 물류반송정보를 전송하고, 이에 대하여 패시브 장치(200)에서 물류반송확인정보를 무인이송장치(100)로 전송한 상태에서, 무인이송장치(100)는 먼저 프로그램 버전 요청정보를 패시브 장치(200)로 전송한다(ST610). 이러한 동작은 무인이송장치(100)에서 새로운 패시브 장치(200)에 도달하여 처음으로 펌웨어 정보를 전송하는 때마다 수행한다. 무인이송장치(100)는 명령어 코드가 "1"로 설정(도5 참조)된 펌웨어 패킷(AF)을 생성하여 패시브 장치(200)로 전송한다.
패시브 장치(200)는 현재 실행중인 자신의 프로그램 버전 정보를 포함하는 프로그램버전 응답정보를 무인이송장치(100)로 전송한다(ST620). 패시브 장치(200)는 명령어 코드가 "1"로 설정(도5 참조)된 펌웨어 패킷(PF)을 생성하여 무인이송장치(100)로 전송한다.
이어, 무인이송장치(100)는 기 저장된 최신 프로그램 버전과 상기 ST620 단계에서 수신된 프로그램 버전을 비교하여 일치하지 않으면, 펌웨어 총 No.를 포함하는 업데이트 유형 확인정보를 패시브 장치(200)로 전송한다(ST630). 무인이송장치(100)는 명령어 코드가 "2"로 설정(도5 참조)된 펌웨어 패킷(AF)을 생성하여 패시브 장치(200)로 전송한다.
상기 ST630 단계에서 무인이송장치(100)는 최근 프로그램 버전과 패시브 장치(200)로부터 수신된 프로그램 버전이 일치하는 경우, 업데이트 유형 확인정보를 패시브 장치(200)로 전송하지 않는다. 즉, 무인이송장치(100)는 ST630 이후의 과정을 수행하지 않는다.
패시브 장치(200)는 ST630 단계에서 업데이트 유형 확인정보가 수신되면, 이에 대응되는 프로그램 받기 정보를 생성하여 무인이송장치(100)로 전송한다(ST640).
상기 ST640 단계에서 패시브 장치(200)는 펌웨어 정보를 저장하는 저장 영역에 펌웨어 No.가 존재하지 않으면 신규 받기 명령어와 펌웨어 No."0"를 포함하는 프로그램 신규 받기정보를 생성하고, 현재 저장된 펌웨어 No.가 존재하면 이어 받기 명령어 및 현재 저장된 펌웨어 No.를 포함하는 프로그램 이어받기 정보를 생성하여 무인이송장치(100)으로 전송한다. 패시브 장치(200)는 명령어 코드가 "2"인 프로그램 신규 받기 펌웨어 패킷(PF, 도5 참조)을 생성하거나 명령어 코드가 "3"인 프로그램 이어받기 펌웨어 패킷(PF, 도5 참조)을 생성하여 무인이송장치(100)로 전송한다.
무인이송장치(100)는 상기 ST640 단계에서 수신한 펌웨어 No. 정보에 대응되는 펌웨어 No. 및 펌웨어 데이터 코드를 포함하는 펌웨어 데이터를 패시브 장치(200)로 전송한다(ST650). 예컨대, 무인이송장치(100)는 명령어 코드가 "3"으로 설정(도5 참조)된 펌웨어 패킷(AF)을 생성하여 패시브 장치(200)로 전송하며, 무인이송장치(100)에서 패시브 장치(200)로부터 "펌웨어 No.3"을 수신한 경우, 무인이송장치(100)는 해당 패시브 장치(200)에 펌웨어 No.3까지 저장된 것으로 판단하여 그 이후 펌웨어 데이터에 해당하는 "펌웨어 No.4를 패시브 장치(200)로 전송한다.
패시브 장치(200)는 ST650 단계에서 수신된 펌웨어 데이터를 해당 저장 영역에 펌웨어 No.에 대응되게 순차 저장함과 더불어, 현재 수신된 펌웨어 No.를 포함하는 펌웨어 데이터 응답정보를 무인이송장치(100)으로 전송한다(ST660).
이때, 무인이송장치(100)는 패시브 장치(200)로 펌웨어 총 No.에 해당하는 펌웨어 데이터를 모두 전송할 때까지 상술한 ST650,ST660의 단계를 반복적으로 수행한다.
무인이송장치(100)는 패시브 장치(200)로부터 총 No.와 동일한 펌웨어 No.를 포함하는 펌웨어 데이터 응답정보를 수신하면, 펌웨어 데이터 전송 완료정보를 패시브 장치(200)로 전송한다(ST670).
그리고, 패시브 장치(200)는 펌웨어 업데이트 준비완료 알림정보를 무인이송장치(100)로 전송한다(ST690). 이후, 패시브 장치(200)는 무인이송장치(100)와 물류반송통신이 종료되면, 저장 영역에 기 저장된 펌웨어 정보를 이용하여 자동으로 프로그램 업데이트를 실행한다.
한편, 도8에는 하나의 특정 패시브 장치(200)에 대해 하나의 무인 이송장치(100)와 펌웨어 정보를 모두 전송하는 것으로 도시되어 있으나, 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)간의 총 통신 시간 또는 펌웨어 정보량에 따라 도7 (B)와 같이 다수의 무인이송장치(100)와 펌웨어 데이터 이어 받기를 통해 펌웨어 정보를 모두 수신하여 저장할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서는 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)간 프로그램 업데이트를 수행하지 않는 경우, 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)간 물류반송통신을 수행하지 않는 대기구간에 무인이송장치(100)는 패시브 장치(200)로부터 로그정보를 수집할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서는 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)간 프로그램 업데이트를 수행하지 않는 경우, 무인이송장치(100)와 패시브 장치(200)간 물류반송통신을 수행하지 않는 대기구간에 무인이송장치(100)는 패시브 장치(200)로 패시브 장치(200)에 대한 유지관리정보를 전송하도록 실시할 수 있다. 이때, 무인이송장치(100)는 패시브 장치(200)에 대한 유지관리정보를 상위 제어기(1)를 포함한 외부장치로부터 제공받을 수 있다.
100 : 무인이송장치, 110 : 무인차 제어기,
120 : 무인차 통신부, 200 : 패시브 장치,
210 : 패시브 통신부, 220 : 패시브 제어기.

Claims (8)

  1. 상위 제어기의 제어에 따라 레일을 통해 이동하는 다수의 무인이송장치와, 이 무인이송장치와의 RF통신을 통해 물류반송처리 동작을 수행하는 패시브 장치를 포함하여 구성되는 자동 반송 시스템의 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법에 있어서,
    무인 이송장치에서 상위 제어기로부터 물류반송정보와 최신 프로그램 업데이트정보를 제공받는 제1 단계와,
    무인 이송장치가 패시브 장치와의 통신 위치에 도달하면, 무인이송장치에서 패시브 장치와 일정 주기 단위로 물류반송정보를 전송하고, 이에 대해 패시브 장치로부터 물류반송 응답정보를 수신하여 물류반송통신을 수행하는 제2 단계,
    무인 이송장치가 각 주기에서 패시브 장치와의 물류반송통신이 완료된 이후 다음 주기의 물류반송통신이 이루어지기 전까지 발생되는 대기구간동안 패시브 장치로 업데이트 정보를 전송하고, 이에 대해 패시브 장치로부터 업데이트 응답정보를 수신하여 업데이트 통신을 수행하는 제3 단계 및,
    패시브 장치에서 상기 제3 단계에서 무인 이송장치로부터 업데이트 정보가 모두 수신되면, 이를 근거로 최신 프로그램 업데이트를 실행하는 제4 단계를 포함하여 구성되고,
    상기 제3 단계에서 패시브 장치는 제1 무인이송장치와의 물류반송처리 동작이 종료될 때까지 발생되는 총 대기시간 동안 제1 무인이송장치로부터 업데이트 정보를 모두 수신하지 못한 경우, 다음 순서로 자신과 물류반송처리 동작을 수행하는 제2 무인이송장치로부터 업데이트 정보를 이어받는 방식으로, 다수의 무인이송장치로부터 업데이트 정보를 순차로 수신하여 저장하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제3 단계는 무인이송장치에서 프로그램 버전확인 요청정보를 패시브 장치로 전송하고, 패시브 장치에서 현재 프로그램 버전정보를 무인이송장치로 전송하는 프로그램 버전확인 단계와,
    무인이송장치에서 패시브 장치의 현재 프로그램 버전와 최신 프로그램 버전이 일치하지 않으면 총 펌웨어 넘버를 포함하는 업데이트 유형 확인정보를 패시브 장치로 전송하고, 패시브 장치에서 기 저장된 펌웨어 넘버를 포함하는 프로그램 받기 정보를 무인이송장치로 전송하는 업데이트 유형확인 단계,
    무인이송장치에서 패시브 장치로부터 수신된 펌웨어 넘버를 근거로 펌웨어 No.와 펌웨어 코드를 포함하는 펌웨어 데이터를 패시브 장치로 전송하고, 패시브 장치에서 무인이송장치에서 수신된 펌웨어 데이터를 순차 저장함과 더불어, 펌웨어 No.를 포함하는 펌웨어 데이터 응답정보를 무인 이송장치로 전송하는 펌웨어 데이터 받기 단계를 포함하고,
    무인이송장치는 패시브 장치로부터 총 펌웨어 넘버와 동일한 펌웨어 넘버를 포함하는 펌웨어 데이터 응답정보를 수신하는 때까지 상기 펌웨어 데이터 받기 과정을 반복하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 프로그램 버전 확인 단계는 무인이송장치가 새로운 패시브 장치에 도달하는 때마다 수행하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 업데이트 유형확인 단계는 패시브 장치에서 기 저장된 펌웨어 넘버가 없는 경우, 프로그램 신규 받기 요청정보를 무인이송장치로 전송하고, 기 저장된 펌웨어 넘버가 있는 경우, 프로그램 이어 받기 요청정보를 무인이송장치로 전송하는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 업데이트 정보는 명령어 영역과, 펌웨어 INFO 영역과 펌웨어 데이터 코드 영역을 포함하는 패킷구조로 생성되고,
    명령어 영역은 무인이송장치와 패시브 장치에서 서로 다른 명령어로 정의되는 코드값으로 설정되되, 무인이송장치에서 패시브 장치로 전송되는 명령어 코드는 프로그램 버전 요청, 업데이트 유형 확인, 펌웨어 데이터 코드 전송, 펌웨어 데이터 코드 전송 완료를 포함하고, 패시브 장치에서 무인이송장치로 전송되는 명령어 코드는 프로그램 버전 ACK, 신규 받기, 이어 받기, 데이터 코드 ACK를 포함하며,
    상기 펌웨어 INFO 영역은 펌웨어 총 넘버, 펌웨어 넘버, 프로그램 버전 값으로 설정되는 것을 특징으로 하는 자동 반송 시스템에서 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 패시브 장치는 무인이송장치에 의해 이동된 캐리어 내부의 웨이퍼에 대한 공정처리를 수행하는 제조 설비에 설치되는 장치, 레일에 설치되는 합류 충돌 인터락(Interlock) 장치, 무인 이송장치에 설치되는 호이스트 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 무인이송장치와 패시브 장치간 프로그램 업데이트를 수행하지 않는 경우, 무인이송장치와 패시브 장치간 물류반송통신을 수행하지 않는 대기구간에 무인이송장치가 패시브 장치로부터 로그정보를 수집하거나, 무인이송장치가 패시브 장치로 패시브 장치에 대한 유지관리정보를 전송하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 무인이송장치를 이용한 패시브 장치의 프로그램 업데이트 방법.
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