KR20020094513A - 포토 스피너 설비의 인터락 제어방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 포토 스피너(photo spinner) 설비에 적용되는 인터락(interlock) 제어 방법에 관한 것이다. 반도체 웨이퍼에 도포공정을 하기 위한 본 발명의 설비는 인터락 제어방법을 구비한다. 상기 인터락 제어 방법은 설비에서 이상이 발생하였을 시 발생되는 경보음(alarm)을 분석하고, 상기 경보음이 웨이퍼에 이상을 발생할 수 있는 경우를 판단하여 설비에 인터락(interlock) 을 발생시켜 다음 공정으로의 흐름을 차단시키고 조치를 취함으로서, 경보음 발생시마다 공정사고로 웨이퍼를 폐기하여 발생되던 손실을 최소화 할 수 있다.
Description
본 발명은 반도체 웨이퍼 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 포토 스피너 설비의 인터락 제어 방법에 관한 것이다.
포토 스피너 설비는 반도체 웨이퍼에 감광제(photo resist)를 도포하는 공정을 수행한다.
도 1은 종래의 포토 스피너 설비의 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 포토 스피너 설비는 로트(lot)가 트랙인(track-in) 되서 공정진행(10)을 하여 로트가 트랙아웃(track-out)(50)되면 새로운 로트가 들어가는 공정을 수행한다. 상기 공정중 설비의 이상으로 인하여 경보음(20)이 발생하고, 작업자에 의하여 경보음이 제거되는 단계(30)를 거쳐 공정진행(40)이 계속진행된다.
상기 공정이 진행되는 동안 설비의 이상으로 발생되는 경보음은 종래의 공정 설비에서는 웨이퍼에 이상을 주는 경보음인지를 분석 및 판단하지 못하여 경보음 발생시마다 해당 로트를 폐기하여 웨이퍼의 손실이 발생하는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 상기한 문제점을 고려하여 이루어진 것으로, 공정 흐름이 이루어지는 도중 발생하는 경보음을 분석하고 설비의 인터락(interlock)유무를 결정하여 설비확인 및 조치를 취함으로서 웨이퍼의 손실을 최소화 하고자 한 포토 스피너의 인터락 제어 방법에 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 포토 스피너 공정 순서를 나타내는 플로우 차트이다.
도 2는 본 발명에 의한 포토 스피너 설비에 있어서 인터락 제어방법의 공정순서를 나타내는 플로우 차트이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 반도체 웨이퍼에 감광제를 도포하는 포토 스피너 설비는 인터락 제어 방법을 구비한다. 상기 인터락 제어 방법을 갖는 포토 스피너 설비는 도포 공정을 수행하는 단계와 설비의 이상 상태를 감지하여 경보음을 발생하는 단계, 상기 이상 신호를 분석하여 웨이퍼의 손상 여부를 판단하는 단계, 만일 웨이퍼의 손상을 일으키는 경보음으로 판단된 경우 상기 도포 공정을 인터락하여 공정을 중단하는 단계, 공정 중단후 작업자에 의해 설비 이상 유무를 처리하고 경보음을 제거하는 단계, 상기 이상 상태 신호 분석 단계에서 웨이퍼에 손상을 주지 않는 경우 또는 상기 경보음을 제거한 경우에는 상기 공정을 정상적으로 진행하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 반도체 웨이퍼에 감광제를 도포하는 포토 스피너 설비는 인터락 제어 방법을 구비한다. 상기 인터락 제어 방법을 갖는 포토 스피너 설비는 도포 공정중에 이상 상태 신호를 검출 및 분석하여 웨이퍼의 손상여부를 판단하는 단계와, 상기 웨이퍼의 손상을 확인한 경우에는 상기 설비의 작동을 중단하는 단계를 포함한다.
이와 같은 본 발명의 인터락 제어 방법을 갖는 포토 스피너 설비에 의하면, 설비의 이상시 발생되는 경보음이 웨이퍼에 손상을 일으키는지의 분석이 가능하므로, 경보음 발생시마다 경보음의 분석없이 웨이퍼를 폐기하여서 발생되는 손실을 줄일 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 인터락 제어 방법을 갖는 포토 스피너 설비에 대해 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 인터락 제어 방법을 갖는 포토 스피너 설비의 공정 순서를 설명하기 위한 플로우 챠트이다.
도 2를 참조하면, 반도체 웨이퍼에 감광제를 도포하기 위한 포토 스피너 설비는 먼저 로트가 트랙인되서 공정진행(110) 단계를 수행한다. 상기 공정진행중 설비에 이상이 발생하면 경보음 발생(120) 단계에 의해 이상상태 신호를 감지하여 경보음을 발생시키고, 상기 이상상태 신호에 대응하는 상기 경보음이 웨이퍼에 손상을 미치는지의 여부를 판단하는 경보음 분석(130) 단계를 수행한다. 상기 경보음 분석(130) 단계에서 경보음이 웨이퍼에 이상을 일으킨다고 판단된 경우에는 인터락 발생(140) 단계를 거쳐 제어시스템(미도시된)에서 인터락 신호를 발생시키고, 이어공정중단(150) 단계가 수행되어 상기 인터락 신호에 의해 공정이 중단된다. 상기공정중단(150) 단계에서 작업자에 의한 설비확인 및 조치(160) 단계에서 손상된 웨이퍼의 폐기가 이루어지고, 이어 경보음 제거(170) 단계를 거쳐 정상적으로 공정진행(180)이 이루어진다. 상기 공정중 경보음 분석에서 웨이퍼에 손상을 미치지 않는다고 판단되는 경우와 경보음이 발생되지 않을시는 정상적인 공정진행 단계(110)(180)를 수행한다.
이와 같은 본 발명의 인터락 제어 방법을 갖는 포토 스피너 설비에 의하면, 공정중 발생되는 경보음이 웨이퍼의 이상에 영향을 미치는지를 판단하여 설비를 중단시켜 작업자가 확인 및 조치를 취할 수 있게 함으로서, 경보음 발생시 웨이퍼의 이상 유무의 확인없이 폐기시킴으로서 발생되는 손실을 최소화 할 수 있다.
Claims (2)
- 포토 스피너 설비의 인터락 제어 방법에 있어서:상기 포토 스피너 설비의 도포 공정을 수행하는 단계와,이상 상태 신호를 감지하여 경보음을 발생하는 단계와,만일 경보음이 발생시, 상기 이상 상태 신호를 분석하여 웨이퍼의 손상 여부를 판단하는 단계와,만일 웨이퍼의 손상으로 판단되는 경우 상기 도포공정을 인터락하여 공정을 중단하는 단계와,공정 중단후 작업자에 의해 설비 이상유무를 처리하고 경보음을 제거하는 단계와,상기 이상 상태 신호 분석 단계에서 웨이퍼에 손상을 주지 않은 경우 또는 상기 경보음을 제거한 경우에는 상기 공정을 정상적으로 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 방법.
- 포토 스피너 설비의 인터락 제어 방법에 있어서;상기 포토 스피너 설비의 도포 공정중에 이상 상태 신호를 검출 및 분석하여 웨이퍼의 손상 여부를 판단하는 단계와,상기 웨이퍼의 손상을 확인한 경우에는 상기 설비의 작동을 중단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터락 제어 방법.
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| KR1020010032778A KR20020094513A (ko) | 2001-06-12 | 2001-06-12 | 포토 스피너 설비의 인터락 제어방법 |
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2001
- 2001-06-12 KR KR1020010032778A patent/KR20020094513A/ko not_active Application Discontinuation
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