KR20020072704A - 웨이퍼 분류장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 분류장치 및 그 방법에 관련되며, 좀 더 상세하게는 웨이퍼를 보다 빠른 시간내에 효율적으로 정렬하고 분류할 수 있는 웨이퍼 분류장치 및 그 방법에 관련된다.
본 발명은 분류할 다수의 웨이퍼를 보관하는 입력카세트와; 정렬이 끝난 웨이퍼를 보관하는 다수의 출력카세트와; 웨이퍼를 정렬하고 분류하는 정렬기와; 상기 입력카세트에 보관된 웨이퍼를 상기 정렬기의 회전척크로 운반하고 정렬이 완료된 웨이퍼를 지정된 출력카세트로 운반하기 위한 로봇 아암;을 포함하는 웨이퍼 분류장치에 있어서, 상기 정렬기의 회전척크에 놓여지는 웨이퍼를 임시로 적재하는 버퍼로더;를 포함하여 버퍼로더에 웨이퍼를 임시로 보관함으로써 웨이퍼의 분류속도를 높일 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 버퍼로더를 사용하여 정렬기와 로봇 아암의 대기 시간을 줄임으로써 웨이퍼 분류장치의 웨이퍼 정렬 및 분류시간을 획기적으로 단축할 수 있는 장점이 있으며, 따라서 단위 시간당 정렬 및 분류를 처리할 수 있는 웨이퍼의 갯수를 현저하게 늘릴 수 있는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 분류장치 및 그 방법{wafer sorting apparatus and method for the same}
본 발명은 웨이퍼 분류장치 및 그 방법에 관련되며, 좀 더 상세하게는 웨이퍼를 보다 빠른 시간내에 효율적으로 정렬하고 분류할 수 있는 웨이퍼 분류장치 및 그 방법에 관련된다.
웨이퍼 분류장치는 반도체의 모체가 되는 웨이퍼를 결정면이나 반도체 타입 등의 정해진 기준에 따라 다수의 웨이퍼를 각각 분류하는 장치이다. 웨이퍼 분류장치는 웨이퍼를 보관하는 입력카세트에서 로봇 아암을 이용하여 웨이퍼를 정렬기로 운반하고 정렬기에서 정렬 및 분류가 완료된 웨이퍼를 로봇 아암을 이용하여 출력카세트로 운반하는 식으로 처리되는 것이 일반적이다.
도 5 에 종래 일반적으로 사용되는 웨이퍼 분류장치의 개략적인 평면도가 도시되어 있다. 도시된 바와 같이 종래 웨이퍼 분류장치는 입력카세트(20), 다수의 출력카세트(30), 로봇 아암(40) 및 정렬기(100)를 포함한다.
입력카세트(20)는 분류되기 전의 웨이퍼(10)들을 보관하는 것이며 다수의 출력카세트(30)는 상기 정렬기(100)로부터 정렬 및 분류가 완료된 웨이퍼(10)를 분류별로 보관하는 것이다. 상기 입력카세트(20)가 다수개 올려지는 것도 가능하다. 이러한 카세트들(20,30)은 웨이퍼 분류장치의 오토네스트(Autonest)에 장착되고,이 오토네스트가 90도로 회전하여 상기 로봇 아암(40)이 수평으로 웨이퍼를 집을 수 있도록 할 수 있다.
로봇 아암(40)은 웨이퍼(10)를 운반하는 수단으로 카세트(20,30)와 정렬기(100)간에 웨이퍼(10)를 운반한다. 즉, 입력카세트(20)로부터 정렬기(100)로 웨이퍼(10)를 운반하고 정렬기(100)에서 정렬 및 분류가 완료된 웨이퍼(10)를 지정된 출력카세트(30)로 운반한다.
로봇 아암(40)에는 진공이 인가되는 노즐이 형성되어 웨이퍼(10)의 운반시 웨이퍼(10)를 고정시킨다. 로봇 아암(40)은 별도의 제어수단을 통하여 제어가 이루어지는데 이러한 로봇 아암(40)의 제어는 본 발명의 요지와 밀접한 관계가 없으므로 본 설명에서는 생략하기로 한다.
정렬기(100)는 웨이퍼(10)를 실질적으로 정렬하고 분류하는 수단으로 회전척크(110)와 다수개의 로드(120), 그리고 CCD 센서(130)를 포함할 수 있다. 회전척크(110)에 웨이퍼(10)가 올려지면 회전척크(110)가 회전하면서 CCD 센서(130)를 통하여 웨이퍼(10)의 가장자리와 웨이퍼(10)의 특정부, 예를 들면 웨이퍼(10)의 결정면이나 타입을 표시하는 플랫이나 V자 홈을 검출한다. 그리고, 다수개의 로드(120)가 움직여 전술한 웨이퍼(10)의 플랫이 일정한 방향을 향하도록 하고 중심을 정렬한다.
CCD 센서(130)는 라인 CCD로 구성될 수 있으며 웨이퍼(10)의 가장자리를 검출하고 판독된 웨이퍼(10)의 특정부를 기준으로 소정 위치에 표시되어 있는 웨이퍼(10) 식별정보를 CCD 카메라로 캡쳐한다. CCD 카메라에 의해 캡쳐된 영상정보는 영상인식 프로그램에 의해 판독되고 웨이퍼(10)의 고유 식별정보를 파악한다.
파악된 정보에 따라 로봇 아암(40)이 정렬 및 분류가 완료된 웨이퍼(10)를 지정된 출력카세트(30)로 운반하여 빈 슬롯에 삽입한다. 이러한 동작을 반복하므로써 웨이퍼(10)를 분류하는 것이다.
그러나, 종래 이러한 웨이퍼 분류장치는 로봇 아암(40)이 하나인 경우 하나의 웨이퍼(10)에 대한 분류가 완료될 때까지 로봇 아암(40)은 대기하고 있으며, 로봇 아암(40)이 웨이퍼(10)를 운반하고 있는 동안에는 정렬기(100)가 대기하고 있으므로 웨이퍼(10)의 정렬 및 분류속도가 늦어지는 문제점이 있었다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로 웨이퍼의 정렬 및 분류속도를 보다 빠르게 할 수 있는 웨이퍼 분류장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
좀 더 구체적으로 본 발명은 정렬기와 로봇 아암이 대기하는 낭비시간을 효율적으로 활용할 수 있는 분류 속도가 개선된 웨이퍼 분류장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정렬기와 버퍼로더의 개략적인 사시도.
도 2 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 버퍼로더의 동작을 설명하기 위한 도면.
도 3 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 버퍼로더의 적재부를 설명하기 위한 도면.
도 4 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 분류장치의 개략적인 평면도.
도 5 는 종래 웨이퍼 분류장치의 개략적인 평면도.
<도면의 주요 부호에 대한 설명>
10 : 웨이퍼 20 : 입력카세트
30 : 출력카세트 40 : 로봇 아암
100 : 정렬기 110 : 회전척크
120 : 로드 130 : CCD 센서
200 : 버퍼로더 210 : 적재부
211 : 진공노즐 212 : 진공연결노즐
220 : 승강부 221 : 나선축
본 발명의 바람직한 양상에 따르면, 본 발명은 분류할 다수의 웨이퍼를 보관하는 입력카세트와; 정렬이 끝난 웨이퍼를 보관하는 다수의 출력카세트와; 웨이퍼를 정렬하고 분류하는 정렬기와; 상기 입력카세트에 보관된 웨이퍼를 상기 정렬기의 회전척크로 운반하고 정렬이 완료된 웨이퍼를 지정된 출력카세트로 운반하기 위한 로봇 아암;을 포함하는 웨이퍼 분류장치에 있어서,
상기 정렬기의 회전척크에 놓여지는 웨이퍼를 임시로 적재하는 버퍼로더;를 포함하여 버퍼로더에 웨이퍼를 임시로 보관함으로써 웨이퍼의 분류속도를 높일 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 양상에 따르면, 본 발명은 전술한 버퍼로더가,
웨이퍼를 흡착하기 위해 진공이 인가되는 흡기로가 내부에 형성되고 상기 흡기로와 연결된 노즐이 상부면에 적어도 하나 이상 형성된 적재부와; 상기 적재부를 승강시키는 승강부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 양상에 따르면, 본 발명은 전술한 웨이퍼 분류장치에 따른 웨이퍼 분류방법에 있어서,
상기 로봇 아암이 상기 입력카세트로부터 제1웨이퍼를 상기 정렬기의 회전척크로 운반하는 단계와; 상기 정렬기가 웨이퍼를 정렬하고 분류하는 단계와; 상기 버퍼로더가 정렬이 완료된 웨이퍼를 적재하여 상기 정렬기의 회전척크로부터 이탈시키는 단계와; 상기 로봇 아암이 상기 입력카세트로부터 제2웨이퍼를 상기 정렬기의 회전척크로 운반하는 단계와; 상기 로봇 아암이 상기 버퍼로더에 적재된 상기 제1웨이퍼를 지정된 출력카세트로 운반하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 양상에 따르면, 본 발명은 전술한 웨이퍼 분류방법이,
상기 로봇 아암이 상기 입력카세트로부터 제3웨이퍼를 상기 버퍼로더로 운반하는 단계와; 상기 로봇 아암이 상기 정렬기의 회전척크로부터 상기 제2웨이퍼를 지정된 출력카세트로 운반하는 단계와; 상기 버퍼로더가 적재된 상기 제3웨이퍼를상기 정렬기의 회전척크로 운반하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 당업자가 본 발명을 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.
도 1 은 본 발명을 설명하기 위한 도면으로 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정렬기(100)와 버퍼로더(200)를 나타낸 개략적인 사시도이다. 본 발명인 웨이퍼 분류장치는 도 1 에 도시된 것 외에 다른 구성요소가 있지만 정렬기(100)에 인접하여 형성되는 버퍼로더(200)가 본 발명의 핵심이므로 이에 대하여 먼저 설명하기로 한다.
도시된 바와 같이 버퍼로더(200)는 정렬기(100)의 일측으로 형성된다. 정렬기(100)의 회전척크(110)에 놓여지는 웨이퍼(10)를 임시로 적재하는 수단이므로 정렬기(100)에 인접하여 형성되는 것이 바람직하다. 정렬기(100)는 전술한 바와 같이 회전척크(110), 다수개의 로드(120), CCD 센서(130)를 포함한다.
버퍼로더(200)는 웨이퍼(10)를 임시로 적재하는 적재부(210)와 이 적재부(210)를 상하로 승강시키는 승강부(220)를 포함한다. 적재부(210)는 전술한 회전척크(110)보다 아래로 하강할 수 있는 구조를 가지는 것이 유리하다. 즉, 회전척크(110)나 다수개의 로드(120)가 관통할 수 있는 구조를 가지는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 도시된 바와 같이 안쪽으로 회전처크보다 큰 호를 가지는 포크의 구조를 가지는 적재부(210)를 상정하였다.
적재부(210)는 웨이퍼(10)가 적재되는 상부면에 공기를 흡입하여 적재된 웨이퍼(10)를 고정시키는 노즐(211)을 적어도 하나 이상 가지는 것이 바람직하다.웨이퍼(10)가 적재되면 진공노즐(211)은 웨이퍼(10)와 밀착되며 이 때 진공펌프를 이용하여 공기를 흡입하면 웨이퍼(10)가 진공노즐(211)을 통하여 적재부(210)에 고정된다.
승강부(220)는 상기 적재부(210)를 상하로 승강시키는 수단이다. 전술한 정렬기(100)의 회전척크(110)에 적재된 웨이퍼(10)를 회전척크(110)보다 아래에 위치하고 있던 적재부(210)가 상승하면서 웨이퍼(10)를 적재하게 된다. 승강위치는 로봇 아암(40)이 또 다른 웨이퍼(10)를 회전척크(110)에 적재하는데 방해가 되지 않을 정도의 적당한 높이로 승강하는 것이 바람직하다.
적재부(210)는 승강부(220)의 나선축(221)과 축 결합되고 나선축(221)이 회전함에 따라 승강하는 것이 바람직하다. 즉, 나선축(221)이 회전함에 따라 나선축(221)에 결합된 적재부(210)가 상하로 슬라이딩 되면서 승강하게 된다.
본 발명의 바람직한 양상에 따르면, 적재부(210)의 원활한 승강을 위하여 나선축(221)이 볼 스크류로 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 나선축(221)과 적재부(210)에 형성되는 나선홈에 강체로 형성된 볼이 위치하여 나선축(221)의 회전시 적재부(210)의 승강을 보다 원활하게 할 수 있다.
적재부(210)는 이동하는 거리가 짧으며 정확한 위치에 정지하는 것이 유리하므로 전술한 바와 같이 볼 스크류를 이용한 리니어 이송장치를 이용하는 것이 유리하다.
승강부(220)의 승강위치 조정은 리미트 센서를 이용하는 것도 가능하다. 정렬기(100)에서의 CCD 센서(130)와 다수개의 로드(120)를 이용한 웨이퍼(10)의 정렬과 분류는 전술한 종래 기술과 다름이 없으므로 본 설명에서는 이를 생략하기로 한다.
도 2 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 버퍼로더(200)의 작동을 설명하기 위한 정렬기(100)와 버퍼로더(200)의 측면도를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도시된 바와 같이 웨이퍼(10)가 정렬 및 분류를 위해 정렬기(100)의 회전척크(110) 위에 적재되기 전에 버퍼로더(200)의 적재부(210)는 상기 회전척크(110)보다 아래쪽에 위치하고 있다.
정렬기(100)에서 정렬 및 분류가 완료되면 승강부(220)에 의해 적재부(210)가 위쪽으로 상승하면서 회전척크(110)에 놓여진 웨이퍼(10)를 들어 올리게 된다. 이 때, 적재부(210)에 형성된 진공노즐(211)이 웨이퍼(10)의 하부면과 밀착하게 되고 진공을 가하게 되면 웨이퍼(10)가 적재부(210)에 고정된다.
웨이퍼(10)의 크기가 크기때문에 웨이퍼(10)는 정렬시 CCD 센서(130)의 내부까지 공간을 차지한다. 따라서, 승강부(220)는 적재부(210)를 CCD 센서(130)의 내부 상단까지 상승시키는 것이 바람직하다. 로봇 아암(40)에 의해 다음 웨이퍼(10)가 회전척크(110)에 적재되는데 방해가 되지 않을 만큼 충분한 공간을 제공할 수 있도록 상승하는 것이 바람직하며, 적재부(210)에 놓여진 웨이퍼(10)를 로봇 아암(40)이 출력카세트(30)로 운반시에도 CCD 센서(130)와 접촉하지 않도록 CCD 센서(130)의 내부 상단과도 충분한 공간을 가지도록 하는 것이 바람직하다.
버퍼로더(200)의 적재부(210)에 적재된 웨이퍼(10)를 정렬기(100)의 회전척크(110)에 적재하는 때에는 웨이퍼(10)가 적재된 적재부(210)가 승강부(220)에 의해 아래쪽으로 하강한다. 웨이퍼(10)가 회전척크(110)에 올려짐과 동시에 적재부(210)의 진공노즐(211)을 통해 인가되는 진공이 해제되고 회전척크(110)에 형성된 진공노즐(211)에 진공이 인가되어 웨이퍼(10)가 회전척크(110)에 고정된다. 적재부(210)는 회전척크(110)보다 아래쪽에 위치하며 다음 작업을 대기한다.
도 3a 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 버퍼로더(200)의 적재부(210)를 설명하기 위한 적재부(210)의 개략적인 평면도이다. 도시된 바와 같이 적재부(210)는 웨이퍼(10)를 적재하기 편리하도록 충분한 크기를 가지는 것이 바람직하다.
적재부(210)는 회전척크(110)의 아래쪽으로 하강하기 때문에 회전척크(110)가 적재부(210)를 관통할 수 있는 구조를 가지는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 회전척크(110)가 관통할 수 있도록 내부로 호를 가지는 포크 형상의 적재부(210)를 상정하였다.
그리고, 웨이퍼(10)의 정렬에 사용되는 다수개의 로드(120) 또한 적재부(210)의 하강시에 적재부(210)보다 높이 위치하므로 로드(120)가 위치하는 곳도 적재부(210)가 관통하는 구조를 가지는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 다수개의 로드(120)가 적재부(210)의 외측에 위치하지만 적재부(210)의 내부에 위치하는 경우에는 적재부(210)에 관통부를 형성하는 것이 바람직하다.
적재부(210)는 승강시에 적재되는 웨이퍼(10)를 견고하게 고정할 수 있도록 적어도 하나 이상의 진공노즐(211)을 가지는 것이 바람직하다. 진공노즐(211)은 적재부(210) 내에 형성되는 흡기로와 연결되며, 웨이퍼(10)와의 접촉시 밀착과 완충이 용이한 재질로 형성되는 것이 바람직하다.
도 3b 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 버퍼로더(200)의 적재부(210)를 설명하기 위한 는 적재부(210)의 개략적인 저면도이다. 도시된 바와 같이 적재부(210)의 저면에는 적재부(210)의 내부에 형성된 흡기로에 진공을 인가하기 위한 진공연결노즐(212)이 형성된다.
진공연결노즐(212)은 진공펌프에 연결되며 진공연결노즐(212)을 통하여 적재부(210)의 흡기로에 진공이 인가된다. 진공펌프는 반도체장비에 일반적으로 사용되는 것으로 다양한 공지 기술이 있으므로 본 설명에서는 생략하기로 한다.
도 4 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼(10) 분류방법을 설명하기 위한 웨이퍼 분류장치의 개략적인 평면도이다. 도시된 바와 같이 본 실시예는 입력카세트(20), 출력카세트(30), 로봇 아암(40), 정렬기(100) 및 버퍼로더(200)를 포함한다. 이들에 대한 설명은 전술한 바와 같다.
도4 를 참조하여 웨이퍼 분류장치의 동작을 설명하면, 로봇 아암(40)이 입력카세트(20)로부터 첫번째 웨이퍼(10)를 정렬기(100)의 회전척크(110)에 적재한다. 정렬기(100)는 전술한 바와 같이 회전척크(110)와 로드(120)를 사용하여 웨이퍼(10)의 특정부와 중심을 정렬하고 CCD 센서(130)를 이용하여 웨이퍼(10)의 식별정보를 파악한다.
웨이퍼(10)의 정렬 및 분류가 완료되면 버퍼로더(200)가 구동된다. 버퍼로더(200)의 승강부(220)가 적재부(210)를 상승시키고 적재부(210)는 웨이퍼(10)를 적재하여 상승한다. 이와 동시에 로봇 아암(40)은 입력카세트(20)로부터 두번째웨이퍼(10)를 정렬기(100)의 비어있는 회전척크(110)에 적재한다.
정렬기(100)가 두번째 웨이퍼(10)를 정렬 및 분류하는 동안 로봇 아암(40)은 정렬 및 분류가 완료되어 버퍼로더(200)의 적재부(210)에 적재된 첫번째 웨이퍼(10)를 지정된 출력카세트(30)로 운반한다.
정렬이 완료된 두번째 웨이퍼(10)를 로봇 아암(40)이 지정된 출력카세트로 운반하고 동시에 상승되어 있던 버퍼로더(200)의 적재부(210)가 하강하여 회전척크(110)보다 아래쪽에 위치하면 한 번의 주기가 끝난다. 전술한 단계를 반복하여 수행함으로써 웨이퍼(10) 분류속도를 획기적으로 개선할 수 있다.
본 발명의 추가적인 양상에 따르면, 본 발명은 전술한 단계에 이어, 즉 로봇 아암(40)이 첫번째 웨이퍼(10)를 출력카세트(30)로 운반한 다음 세번째 웨이퍼(10)를 입력카세트(20)로부터 버퍼로더(200)의 상승된 적재부(210)로 운반하여 또 다른 방법으로 웨이퍼(10)를 분류하는 것도 가능하다.
이 경우에는 로봇 아암(40)이 두번째 웨이퍼(10)를 출력카세트(30)로 운반하기 전에 세번째 웨이퍼(10)를 버퍼로더(200)의 상승되어 있는 적재부(210)에 적재한다. 로봇 아암(40)이 첫번째와 세번째 웨이퍼(10)를 운반하는 동안 정렬이 완료된 두번째 웨이퍼(10)를 로봇 아암(40)이 지정된 출력카세트(30)로 운반한다.
로봇 아암(40)이 두번째 웨이퍼(10)를 운반하여 회전척크(110)가 비게 되면 세번째 웨이퍼(10)를 적재하고 상승되어 있던 버퍼로더(200)의 적재부(210)가 하강하여 회전척크(110)에 세번째 웨이퍼(10)를 적재한다.
세번째 웨이퍼(10)의 정렬 및 분류가 완료되면 로봇 아암(40)이 세번째 웨이퍼(10)를 지정된 출력카세트(30)로 운반한다. 전술한 바와 같은 프로세스를 반복하여 진행함으로써 로봇 아암(40)과 정렬기(100)의 대기시간을 줄여 웨이퍼(10)의 정렬 및 분류를 고속으로 진행할 수 있다.
전술한 구성에 따라 본 발명은 정렬기와 로봇 아암이 각각 대기하는 시간을 줄임으로써 보다 효율적으로 웨이퍼 분류장치를 구동시킬 수 있는 장점이 있으며, 따라서 한 개의 아암을 가지는 로봇으로 구성되는 웨이퍼 분류장치의 웨이퍼 정렬 및 분류시간을 획기적으로 단축할 수 있는 장점이 있다.
그러므로, 단위 시간당 정렬 및 분류를 처리할 수 있는 웨이퍼의 갯수를 현저하게 늘릴 수 있는 효과가 있으며, 그에 따라 웨이퍼의 분류에 소모되는 시간과 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양하고 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서, 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형예들을 포함하도록 기술된 특허청구범위에 의해 해석되어져야 한다.

Claims (4)

  1. 분류할 다수의 웨이퍼를 보관하는 입력카세트와;
    정렬이 끝난 웨이퍼를 보관하는 다수의 출력카세트와;
    웨이퍼를 정렬하고 분류하는 정렬기와;
    상기 입력카세트에 보관된 웨이퍼를 상기 정렬기의 회전척크로 운반하고 정렬이 완료된 웨이퍼를 지정된 출력카세트로 운반하기 위한 로봇 아암;
    을 포함하는 웨이퍼 분류장치에 있어서,
    상기 정렬기의 회전척크에 놓여지는 웨이퍼를 임시로 적재하는 버퍼로더;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분류장치.
  2. 청구항 1 에 있어서, 상기 버퍼로더가,
    웨이퍼를 흡착하기 위해 진공이 인가되는 흡기로가 내부에 형성되고 상기 흡기로와 연결된 노즐이 상부면에 적어도 하나 이상 형성된 적재부와;
    상기 적재부를 승강시키는 승강부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분류장치.
  3. 청구항 1 또는 2 의 웨이퍼 분류장치에 따른 웨이퍼 분류방법에 있어서,
    상기 로봇 아암이 상기 입력카세트로부터 제1웨이퍼를 상기 정렬기의 회전척크로 운반하는 단계와;
    상기 정렬기가 웨이퍼를 정렬하고 분류하는 단계와;
    상기 버퍼로더가 정렬이 완료된 웨이퍼를 적재하여 상기 정렬기의 회전척크로부터 이탈시키는 단계와;
    상기 로봇 아암이 상기 입력카세트로부터 제2웨이퍼를 상기 정렬기의 회전척크로 운반하는 단계와;
    상기 로봇 아암이 상기 버퍼로더에 적재된 상기 제1웨이퍼를 지정된 출력카세트로 운반하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분류방법.
  4. 청구항 3 에 있어서, 상기 웨이퍼 분류방법이,
    상기 로봇 아암이 상기 입력카세트로부터 제3웨이퍼를 상기 버퍼로더로 운반하는 단계와;
    상기 로봇 아암이 상기 정렬기의 회전척크로부터 상기 제2웨이퍼를 지정된 출력카세트로 운반하는 단계와;
    상기 버퍼로더가 적재된 상기 제3웨이퍼를 상기 정렬기의 회전척크로 운반하는 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분류방법.
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