KR20020072040A - 레티클 위치감지장치기능을 갖는 포크 암을 구비한 레이클이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 레티클 위치감지기능을 갖는 포크 암을 구비한 레티클 이송장치에 관한 것으로서, 이송수단에 의해 이송되어 레티클 카세트 내부에 수납되어 있는 레티클을 척킹하여 소정의 위치로 이송시키는 포크 암과, 상기 포크 암을 통해 이송된 레티클을 임시 보관하는 수평이송케리어와, 상기 포크 암에 설치되어 척킹 될 레티클의 포지션을 감지하는 위치감지수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 레티클을 척킹하는 포크 암에 상기 레티클의 포지션을 감지할 수 있는 위치감지수단을 구비시킴에 따라 레티클카세트 내의 레티클이 틀어져 있을 경우 상기 위치감지수단이 그 이상상태를 감지할 수 있도록 하여 이상상태에서 무리하게 척킹 동작이 진행되어 레티클에 데미지가 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.

또한, 포크 암에 이상상태로 척킹되어 수평이송케리어로 전달됨에 따라 상기 수평이송케리어의 고정범위를 벗어나게 되어 리미트 에러가 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.

Description

레티클 위치감지장치기능을 갖는 포크 암을 구비한 레이클 이송장치 {Reticle Sending Apparatus with Fork Arm having Reticle Position Sensing Ability}

본 발명은 레티클 위치감지기능을 갖는 포크 암을 구비한 레티클 이송장치에 관한 것으로서, 특히, 레티클을 척킹하는 포크 암에 레티클의 위치를 감지할 수 있는 위치감지수단을 구비시킴에 따라 이송과정에 있어 에러가 발생하거나 레티클에 데미지가 발생되는 것을 방지하는 레티클 위치감지기능을 갖는 포크 암을 구비한 레티클 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 레티클은 반도체 칩과 광원 사이에 위치되어 마치 필름과 같이 반도체 칩에 회로를 인쇄하는 데 사용되는 포토리소그래피법에서 포토마스크로 이용된다.

이러한 레티클(1)은 도 1에 도시된 바와 레티클카세트(3)에 의해 수납되어 카세트라이브러리(5)에 보관되며, 사용 시에는 도시되지 않은 이송수단에 의해 이송되는 포크 암(7)에 의해 상기 레티클카세트(3)로부터 취출(S1)되고, 상기 포크 암(7)에 의해 레티클카세트(3)로부터 취출된 레티클(1)은 수평이송케리어(9)로 이송(S2)되고, 상기 수평이송케리어(9)에 보관된 레티클(1)은 또다시 이송장치(미도시)에 의해 레티클노광스테이지(미도시)로 이송(S3)되어지는 단계를 거치게 된다.

상기 수평이송케리어(9)는 수평 이동 가능케 구성되어 상기 레티클(1)을 수납할 때에는 실선 표시된 위치로 전진하여 이송수단에 의해 상승된 포크 암(7)으로부터 레티클(1)을 잡을 수 있도록 대기상태를 이루게되며, 그 수납 과정을 마친 후에는 다시 후진하여 점선 표시된 위치로 복귀하도록 구성된다.

상기와 같이 수평이송케리어(9)로 전달된 레티클(1)은 다시 별도의 이송장치(미도시)로 전달되어 수평 이동되어 레티클노광스테이지(미도시)로 이송된다.

그러나, 종래에는 상기 레티클(1)이 레티클카세트(3)에 정상상태로 놓여 있지 못하고 이상상태로 수납된 상태에서 포크 암(7)이 레티클(1)을 척킹 할 경우 포크 암(7)에 척킹 된 레티클(1)의 위치가 바르지 못하게 되어 수평이송케리어(9)에서 레티클(1)을 받는 위치가 어긋나게 되어 리미트 에러가 발생하게 된다는 문제점이 있다.

또한, 상기 레티클(1)이 상기 레티클카세트(3)에 이상상태로 놓여진 상태에 있더라도 상기 포크 암(7)이 상기 레티클(1)을 척킹하는 과정을 계속 진행하게 됨에 따라 상기 레티클(1)에 데미지가 발생하게 된다는 문제점이 있다.

상기에 있어 상기 레티클(1)이 레티클카세트(3)에서 틀어지는 요인으로는 레티클카세트(3)를 카세트라이브러리(5)에 수납하는 과정에서 작업자의 부주의로 인한 충격 등에 기인한다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출 된 것으로서, 레티클을 척킹하는 포크 암에 레티클의 포지션을 감지할 수 있는 위치감지수단을 구비시켜 포크 암이 레티클이 척킹하는 과정에서 에러가 발생하거나 레티클에 데미지를 발생시키는 것을 해소시키는 레티클 위치감지기능을 갖는 포크 암을 구비한 레티클 이송장치를 제공하는 데 있다.

또한, 포크 암에 척킹 된 레티클이 정상상태를 유지하여 수평이송케리어로 전달될 수 있도록 함으로써 수평이송케리어로 전달되는 과정에서 에러가 발생되는 것을 방지하여 전체 작업 공정이 원활하게 이루어질 수 있도록 하는 레티클 위치감지기능을 갖는 포크 암을 구비한 레티클 이송장치를 제공하는 데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 이송수단에 의해 이송되어 레티클 카세트 내부에 수납되어 있는 레티클을 척킹하여 소정의 위치로 이송시키는 포크 암과, 상기 포크 암을 통해 이송된 레티클을 임시 보관하는 수평이송케리어와, 상기 포크 암에 설치되어 척킹 될 레티클의 포지션을 감지하는 위치감지수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 종래의 레티클 이송설비에 의해 레티클이 이송되는 상태를 도시한 도면,

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 레티클 이송설비의 일부 구성을 도시한 도면,

도 3은 상기 도 2에 도시된 포크 암이 레티클을 척킹하는 상태를 도시한 도면,

도 4는 상기 도 2에 도시된 수평이송케리어가 포크 암으로부터 이송된 레티클을 잡는 상태를 도시한 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

21 : 레티클27 : 포크 암

29 : 수평이송케리어29a : 고정턱

29a : 받침턱30 : 위치감지수단

31 : 광센서

이하, 첨부된 도면 도 2 내지 도 4를 참조로 하여 본 발명의 일 실시 예에 의한 레티클 이송설비의 일부 구성 및 작용에 대해서 설명한다.

상기 도면에 도시된 바와 같이 내부에 레티클(21)이 안착된 레티클카세트(23)를 수납시키는 레티클라이브러리(25)가 있으며, 상기 레티클라이브러리(25)의 일측에는 도시되지 않은 이송수단에 의해 이송되어져 상기 레티클카세트(23)에 안착된 레티클(21)을 취출하는 포크 암(27)이 설치되며, 상기 레티클라이브러리(25)의 일측 상측에는 수평 이동되어 상기 포크 암(27)으로부터 전달되는 레티클(21)을 레티클노광스테이지(미도시)로 이송시키기 전에 임시 보관하는 수평이송케리어(29)가 설치된다.

상기 포크 암(27)에는 척킹 될 레티클(21)의 위치를 감지할 수 있는 위치감지수단(30)이 구비되며, 상기 위치감지수단(30)은 포크 암(27)의 삽입구 반대쪽에 설치된 복수개의 광센서(31)로 구성되며, 그 감도 조정은 미세하게 조정 가능하게 함이 바람직하다.

한편, 상기 위치감지수단(30)에 의해 레티클(21)이 감지된 상태가 되면, 그 이상상태를 알리도록 표시수단(미도시)을 추가로 구성함이 바람직하며, 그 표시수단은 경고음을 발생시키거나 표시램프를 깜박이는 등의 방법에 의한다.

상기 수평이송케리어(29)의 하단에는 좌우 대칭 된 방향으로 이동되어 상기 포크 암(27)으로부터 전달되는 레티클(21)을 잡거나 해제하는 받침턱(29a)과, 상기 받침턱(29a)의 사이에 설치되어 상기 수평이송케리어(29)의 중앙 방향으로 전·후진되어 상기 레티클(21)의 중앙부를 고정시켜주는 고정턱(29b)이 서로 대칭되게 설치되어 한 쌍을 이루도록 구성된다.

상기 받침턱(29a)이 이루는 거리는 해제 상태에서는 그 거리(D)가 상기 레티클(21)의 폭길이(d)보다 크게 벌어진 상태를 유지하고 있다가 상기 레티클(21)이 적정 위치에 놓이게 되면 상기 고정턱(29)이 화살표방향을 따라 좌우 대칭된 방향으로 이동되어 상기 레티클(21)을 받쳐 주도록 구성된다.(도 4참조)

한편, 상기 레티클카세트(23)의 내부에는 상기 레티클(21)을 소정의 높이를 유지시키며 안착시키도록 일자형안착돌기(23b) 및 ㄴ자형안착돌기(23a)가 각각 구성되며, 그 전면측에는 뚜껑(23c)이 개폐가능케 구성된다.(도 3참조)

다음은 이와 같이 구성된 본 발명에 의한 레티클 위치감지기능을 갖는 레티클 이송 포크 암의 작용에 대해서 설명한다.

먼저, 포크 암(27)이 이송수단에 의해 동작되어 레티클카세트(23)의 내부로 수평이동 된 후 레티클(21)을 잡기 위하여 도시되지 않은 이송수단에 의해 포크 암(27)이 업(up) 동작할 때에 상기 포크 암(27)에 설치된 위치감지수단(30)이 레티클(21)의 포지션을 먼저 인식하게 된다.

즉, 상기 레티클카세트(23)의 내부에 레티클(21)이 정상상태로 놓여진 경우(실선표시된 상태)에서는 레티클(21)이 포크 암(27)에 a상태로 놓이게 되어 상기 포크 암(27)에 구비된 위치감지수단(30)에 디텍팅(Detecting)되지 않게 됨에 따라 상기 포크 암(27)은 정상적인 진행과정에 따라 도시되지 않은 이송수단에 의해 상승하게 되어 상기 레티클(21)을 그 상면에 척킹하게 된다.(도 3참조)

상술한 내용에 있어, 레티클카세트(23)의 내부로 포크 암(27)이 삽입되는 과정에서 상기 레티클카세트(23)의 뚜껑(23c)은 도시되지 않은 뚜껑개폐수단에 의해 열리게 된다.

다음, 상기 포크 암(27)은 상기 레티클카세트(23)의 내부로 삽입되어 레티클(21)을 척킹한 후에는 상기 레티클카세트(23)로부터 빠져 나와서 다시 도시되지 않은 수직이송수단에 의해 이송되어 수평이송케리어(29)의 하단부측으로 상승동작을 하게 된다. 이때, 상기 수평이송케리어(29)는 직선 이동되어 상기 포크 암(27)으로부터 레티클(21)을 받는 위치에 대기한 상태로 있게 된다.

상기와 같이 상승동작을 계속 진행하여 레티클(21)이 수평이송케리어(29)의 소정의 위치에 있게되고, 상기 수평이송케리어(29)의 저면에 설치된 받침턱(29a)이 좌우 대칭된 방향으로 각각 이동하고, 그 받침턱(29a)의 대략 중앙에 설치된 고정턱(29b)이 안쪽으로 이동하여 상기 레티클(21)을 잡아준다. 한편, 상기 받침턱(29a) 및 고정턱(29b)에 의해 레티클(21)이 고정되는 순간 상기 레티클(21)의 저면을 척킹하고 있던 포크 암(27)이 그 척킹상태를 해제하고 다시 하강하게 되는 것이다.

상기의 내용에 있어 상기 받침턱(29a)의 초기상태는 그 거리(D)가 레티클(21)의 폭길이(d)이 보다 크게되어 레티클(21)이 포크암(27)으로부터 이송될 때 상기 받침턱(29a)에 걸리지 않게 되는 것이다.

상술한 바와 같이 레티클(21)이 레티클카세트(23)의 내부에서 정상상태에 있는 경우에는 에러가 발생되지 않고 순조롭게 이송과정이 진행하게 된다.

한편, 작업자의 부주의로 인해 레티클카세트(23)를 레티클라이브러리(25)에 수납할 때에 충격 등이 가해지게 되어 상기 레티클(21)이 정상상태에 놓여 있지 못하고, 도 3의 점선 표시된 상태와 같이 레티클카세트(23)에 이상상태로 안착되는 경우가 생길 수 있다.

이와 같은 경우에 상기 포크 암(27)이 상기 레티클카세트(23)의 내부로 삽입되면 상기 레티클(21)이 상기 포크 암(27)에 형성된 위치감지수단(30)을 가리게 되어 b상태로 척킹되게 된다.

따라서, 상기 위치감지수단(30)인 광센서(31)가 동작되어 공지의 원리에 의해 광센서(31)의 투광부에서 방사된 펄스 변조광이 검출영역에 들어감에 따라 수광소자에의 입사광이 감소하게 되어 입사광의 정류신호레벨이 동작레벨에 도달하여 출력을 내게 된다.

따라서, 그 출력에 따라 이상상태를 알리는 경고음이나, 표시등이 깜박이게 되고, 포크 암(27)이 상기 레티클카세트(23)로부터 빠져 나와 초기상태에 있게 된다.

그러면, 작업자는 그 레티클카세트(23)의 내부에 안착된 레티클(21)의 위치를 다시 정리한 후 다시 상술한 과정을 거쳐 레티클(21)을 이송할 수 있게 되는 것이다.

만일, 상기 레티클(21)이 포크암(27)에 이상상태로 척킹되어 다음 단계인 수평이송케리어(29)로 전달되는 상태가 된다면, 상기 레티클(21)은 도 4에 도시된 바와 같이 점선 표시된 상태로 이송됨에 따라 상기 고정턱(29a)등에 걸리게 되는 “리미트 에러”가 발생하거나 레티클(21)이 손상되는 문제점을 유발하게 되는 것이다.

따라서, 본 발명은 포크 암(27)에 위치감지수단(30)을 설치하여 상술한 바와 같은 리미트 에러가 발생하거나 레티클(21)이 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있도록 한다.

상술한 바와 같이 레티클을 척킹하는 포크 암에 상기 레티클의 포지션을 감지할 수 있는 위치감지수단을 구비시킴에 따라 레티클카세트 내의 레티클이 틀어져 있을 경우 상기 위치감지수단이 그 이상상태를 감지할 수 있도록 하여 이상상태에서 무리하게 척킹 동작이 진행되어 레티클에 데미지가 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.

또한, 포크 암에 이상상태로 척킹되어 수평이송케리어로 전달됨에 따라 레티클이 상기 수평이송케리어의 적정범위를 벗어나게 되어 에러가 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.

Claims (3)

1. 이송수단에 의해 이송되어 레티클 카세트 내부에 수납되어 있는 레티클을 척킹하여 소정의 위치로 이송시키는 포크 암;

   상기 포크 암을 통해 이송된 레티클을 임시 보관하는 수평이송케리어;

   상기 포크 암에 설치되어 척킹 될 레티클의 포지션을 감지하는 위치감지수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 위치감지기능을 갖는 포크 암을 구비한 레티클 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 위치감지수단은 포크 암의 삽입구 반대쪽에 설치된 복수개의 광센서인 것을 특징으로 하는 레티클 위치감지기능을 갖는 포크 암을 구비한 레티클 이송장치.
3. 제 1 항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 위치감지수단에 레티클이 탐지될 경우 에러신호를 표시하는 표시수단을 추가로 구비함을 특징으로 하는 레티클 위치감지기능을 갖는 포크 암을 구비한 레티클 이송장치.