KR20020062045A - 흡착장치 - Google Patents
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Abstract
Description
인가전압 (V) | 흡착력 (gf/㎠) | |
유전체층이 있음 | 유전체층이 없음 | |
300050008000 | 150300360 | 230450520 |
Claims (14)
- 판형상의 기체와,상기 기체표면에 서로 절연된 상태로 배치되는, 제 1 전압이 인가되는 제 1 전극과, 상기 제 1 전압과는 다른 크기의 제 2 전압이 인가되는 제 2 전극을 갖는 것을 특징으로 하는 흡착장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 전극표면은 노출된 것을 특징으로 하는 흡착장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 흡착장치의 상기 제 1, 제 2 전극이 배치된 표면에 기판을 배치하면, 상기 기판은 상기 제 1, 제 2 전극과 접촉하도록 구성된 것을 특징으로 하는 흡착장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 기체의 표면과 상기 제 1, 제 2 전극의 표면은 동일평면에 구성된 것을 특징으로 하는 흡착장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 전극 사이에는 절연성 돌출부가 배치된 것을 특징으로 하는 흡착장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 전극은 표면에 보호막을 가지며, 상기 보호막이 노출된 것을 특징으로 하는 흡착장치.
- 제 6 항에 있어서, 상기 흡착장치의 상기 제 1, 제 2 전극이 배치된 표면에 기판을 배치하면, 상기 기판은 상기 제 1, 제 2 전극에 형성된 상기 보호막과 접촉하도록 구성된 것을 특징으로 하는 흡착장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이의 거리는 2 ㎜ 이하로 된 것을 특징으로 하는 흡착장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 전극의 폭은 각각 4 ㎜ 이하로 된 것을 특징으로 하는 흡착장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극이 복수개 배치된 흡착장치로서, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극이 번갈아 배치된 영역을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 흡착장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 전압과는 다른 제 3 전압이 인가되는 제 3 전극을 갖는 것을 특징으로 하는 흡착장치.
- 진공조를 가지며, 이 진공조내에 제 2 항에 기재된 흡착장치가 배치된 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 제 12 항에 있어서, 전원을 가지며, 이 전원에 의해 상기 제 1, 제 2 전극 사이에 1.0 ×106V/m 이상의 전계를 형성할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 제 13 항에 있어서, 상기 흡착장치 주위에 보호판이 배치되고, 상기 흡착장치상에 기판을 배치하면, 상기 기판은 상기 보호판내에 수용되도록 구성된 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020010003261A KR100750835B1 (ko) | 2001-01-19 | 2001-01-19 | 흡착장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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KR100750835B1 KR100750835B1 (ko) | 2007-08-22 |
Family
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Family Applications (1)
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