KR20020023462A - 공기정화 공조장치 및 공기정화 공조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 공기정화 공조장치 및 공기정화 공조방법은 가습에 필요한 열 에너지를 절약하여 온,습도를 제어함과 동시에, 피처리 공기중에 존재하는 가용성 가스 불순물 성분을 제거하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 공기정화 공조장치는 공기흐름을 형성하는 송풍기와, 이 공기흐름의 경로내에 배치되며, 기액 접촉에 의한 가습 및 가용성 가스 불순물 성분의 1차 제거를 실시하는 에어워셔와, 이 에어워셔의 하류에, 에어워셔에서 처리된 공기의 냉각을 수행하고 에어워셔에서 가습한 수분의 일부 제습 및 가용성 가스 성분의 2차 제거를 수행하는 냉각제습정화부를 구비하여 된 순환공기처리공조기를 포함하는 공기정화 공조장치에 있어서, 이 공기정화 공조장치가, 순환공기처리공조기의 냉각제습정화부에서 나오는 처리 공기의 온도를 소정 온도 또는 이슬점으로 제어하는 습도제어장치를 더 구비하며, 이 제어 장치에 의한 냉각제습정화부의 처리 공기 온도 또는 이슬점의 제어에 따라 공기순환계의 상대 습도 혹은 절대 습도를 조정하는 것을 특징으로 한다.

Description

공기정화 공조장치 및 공기정화 공조방법 {Air conditioning apparatus and air conditioning method for air purification}

본 발명은 공기정화 공조장치 및 공기정화 공조방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 예를 들면 적어도 순환계의 에어에 대해 온도 조정, 습도 조정 및 불순물 제거를 동시에 수행하여 클린 에어를 얻기에 적합하게 사용가능한 공기정화 공조장치 및 공기정화 공조방법에 관한 것이다.

반도체나 액정 등의 전자 디바이스 제품은 공기 온,습도 및 실내 압력을 일정하게 하고, 동시에 공기중의 부유 입자가, 한정된 청정도 레벨(일반적으로는 미국연방 규격 209D)로 관리된 환경, 소위 클린룸(이하, 단순히 'CR'이라 칭한다)에서 제조되고 있는 것은 이미 알려져 있다. 이와 같은 CR내의 환경에서는 전자 디바이스 제조장치나 CR내 공기를 청정하게 유지하기 위한 기기로부터 발생되는 발열이 많기 때문에, 동절기에도 냉방 부하로 되어 있다.

그리고, 최근 공기중에 ppb 레벨로 포함되는 NH₃이나 SO₂가스(이하, 가용성 가스 불순물이라 한다)를 서브 ppb 레벨까지 저하시켜 높은 청정도의 환경에 대해서도 엄격한 관리가 요구되게 되었다.

그런데, 가을부터 봄에 걸친 가습기(加濕期)의 가습은 종래부터 외기 처리계(외기를 처리하면서 CR내로 도입시키는 시스템)에서 이루어지고 있으며, 가습을 위한 가열이 필요로 되고 있다. 즉, 가습기의 가습은 외기 처리계에서 가습을 위한 열 에너지를 부가하고, 소정의 이슬점까지 가습을 행하여 공조 공간인 CR에 공급하고 있다. 이것은 가습기의 외기는 온도가 낮기 때문에 단순히 물과 기액 접촉을 시켜도 처리 공기가 소정의 이슬점이 되지 않기 때문이다.

또한, 외기를 가열한 결과, 처리되어 CR에 도입되는 외기의 엔탈피(enthalpy)가 증가하여, CR 순환공기 처리계에서 외기의 냉방 능력이 감소한다는 문제가 있었다. 즉, 가열 에너지는 동시에 본래 존재하고 있는 냉각 에너지를 소실시키게 되고, 결국 2배의 에너지를 소비하고 있는 셈이 되어 커다란 에너지 낭비를 초래한다.

또한, 가용성 가스 불순물의 제거는 이 외기 처리계의 가습 및 온도 제어,혹은 CR내 공기 순환계(CR내의 공기를 순환시키면서 필요한 처리를 하는 시스템)의 온도 제어(냉각)와는 독립된 수단, 예를 들면 케미컬필터에 의해 이루어지고 있었다. 또한, 제습기(除濕期)에는 외부 처리계의 제습부에서 가용성 가스 불순물의 제거가 약간 가능해지고 있다.

또, 일부 외기 처리계에서는 물 살포에 의한 가습(공기 세정) 및 가용성 가스 불순물의 제거를 수행하는 장치가 사용되고 있으며, 가습기에도 가용성 가스 불순물의 제거가 가능해지고 있다. 그러나, 이 경우에도 가습을 위한 가열이 필요한 것에는 변함이 없다.

한편, CR내 공기순환계에서는 습도제어는 결로를 발생시켜 실내 습도를 변동시키는 것을 방지하도록 되어 있다. 즉, 결로를 피할 제어가 이루어진 건식 열교환기, 즉 이슬점 이상에서 냉각 처리하는 열교환코일에 의한 냉각이 이루어지고 있다. 그러나, 상기의 건식 열교환기에서는 가용성 가스 성분을 전혀 제거할 수 없기 때문에, 순환계에 케미컬필터를 설치하여 가용성 가스 불순물 성분을 제거하고 있다.

이와 같이 가습기에는 CR내가 연간 냉방에도 불구하고 외기가 저온이기 때문에 일부러 기화열분을 온열원에 의해 외기 처리계에 공급하고 있으며, 이 때, 공급한 열은 CR내에서 새로운 열부하원이 되고 있다. 그 때문에, 가습에 필요한 열량분의 가열과 냉각에 적지 않은 운전비가 들며, 설비도 커지는 문제가 있었다.

또한, 가용성 가스 불순물 성분의 제거시 종래 사용되고 있던 케미컬필터는 고가이면서 수년마다 교환할 필요가 있기 때문에, CR의 공기 청정화 장치의 운영비를 크게 상승시키는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 가습에 필요한 열 에너지를 절약하여 온,습도를 제어함과 동시에, 피처리 공기중에 존재하는 가용성 가스 불순물을 제거하는 공기정화 공조장치 및 공기정화 공조방법을 제공하는 것에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 외기 처리계 및 CR내 순환공기 처리계에서 가용성 가스 불순물의 제거와 가습을 수행함과 동시에, 외기 처리계에서의 가습량을 최소한으로 제어하여 CR내 순환공기처리계에서의 가습을 주로 수행하도록 함으로써, 가습 에너지 및 공조 비용의 대폭적인 삭감을 달성하고, 가용성 가스 불순물의 제거 성능을 개선하는 공기정화 공조장치 및 공기정화 공조방법을 제공하는 것에 있다.

도 1은 본 발명에 따른 공기정화 공조장치의 기본 구성을 개략적으로 나타낸 구성 설명도이다.

도 2는 소정량의 신선한 외기가 도입되는 3층 구조의 클린룸동(棟)의 공기 순환계에 도 1에 도시된 공기정화 공조장치를 배치하여 내부 공기를 정화 공조하는 경우의 구체적인 배치 구조를 나타낸 구성 설명도이다.

도 3은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 공기정화 공조장치를 도 2와 동일하게 클린룸동에 설치한 경우의 구성 설명도이다.

도 4는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치를 도 2와 동일하게 클린룸동에 설치한 경우의 구성 설명도이다.

도 5는 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치를 도 2와 동일하게 클린룸동에 설치한 경우의 구성 설명도이다.

도 6은 본 발명의 제5 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치를 도 2와 동일하게 클린룸동에 설치한 경우의 구성 설명도이다.

도 7은 본 발명의 제6 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치를 도 2와 동일하게 클린룸동에 설치한 경우의 구성 설명도이다.

도 8은 본 발명의 제7 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치를 도 2와 동일하게 클린룸동에 설치한 경우의 구성 설명도이다.

도 9는 본 발명의 제8 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치를 소정량의 신선한 외기가 도입되는 3층 구조의 클린룸동에 설치하여 나타낸 구성 설명도이다.

도 10은 도 9에 도시된 제8 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치에 의한 가습기의 외기 및 CR내 순환 공기의 공조 처리 플로우를 나타낸 공기 선도(線圖)이다.

도 11은 본 발명의 제9 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치를 도 9와 동일하게 클린룸동에 설치한 경우의 구성 설명도이다.

도 12는 본 발명의 제10 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치를 도 9와 동일하게 클린룸동에 설치한 경우의 구성 설명도이다.

본 발명은 공기정화 공조장치로서, 상술한 기술적 과제를 해결하기 위해 다음과 같은 구성으로 되어 있다. 즉, 본 발명은 공기흐름을 형성하는 송풍기와, 이 공기흐름의 경로내에 배치되며, 기액 접촉에 의한 가습 및 가용성 가스 불순물 성분의 일차 제거를 수행하는 에어워셔와, 및 이 에어워셔의 하류에, 상기 에어워셔에서 처리된 공기의 냉각을 수행하고 에어워셔에서 가습한 수분의 일부 제습 및 가용성 가스 불순물 성분의 2차 제거를 수행하는 냉각제습정화부를 구비하여 된 순환공기처리공조기를 포함하는 공기정화 공조장치에 있어서, 순환공기처리공조기의 냉각제습정화부에서 나오는 처리 공기의 온도를 소정 온도 또는 이슬점으로 제어하는 습도제어장치를 구비하며, 이 습도제어장치에 의한 냉각제습정화부에서의 처리공기 온도 또는 이슬점의 제어에 의해 공기 순환계의 상대 습도 또는 절대 습도를 조정하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 연간 냉방 설비인 공기정화 공조장치에 있어서, 실내에 공급하는 외기에 대해 가용성 가스 불순물의 제거 처리 및 가습 처리가 가능한 에어워셔를 구비하며 온도를 제어하는 외기처리공조기와, 실내를 순환하는 순환 공기에 대해 가용성 가스 불순물의 제거 처리 및 가습 처리가 가능한 에어워셔를 구비하고 온도를 제어하는 순환공기처리공조기로 구성되는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 구성의 공기정화 공조장치에서는 에어워셔에서 피처리 공기를 가습하고 또한 피처리 공기에 포함되는 가용성 가스 불순물 성분을 제거하기 위해 사용되는 물과 피처리 공기와의 기액 접촉 수단으로서, 물 분무 수단과 흡수성(吸水性) 또는 친수성의 제거기(eliminator)를 사용할 수 있으며, 이 제거기로서는 가습 성능 및 가스 흡수 성능을 갖는 흡수성 또는 친수성의 소재를 사용할 수 있다.

또한, 기액 접촉 수단으로서 사용되는 물 분무 수단에 의해 분무되는 가습 및 가용성 가스 불순물 성분 흡수용의 물은 상수, 공업용수, 혹은 우물물 등의 일반수를 이용할 수 있은데, 순수를 사용하는 것이 바람직하다.

본 발명의 공기정화 공조장치는 상술한 필수적인 구성 요소로 구성되는데, 그 구성 요소가 구체적으로 다음과 같은 경우에도 성립한다. 그 구체적 구성요소란, 공기정화 공조장치가 순환공기처리공조기의 냉각제습정화부에서 나오는 처리공기량을 제어하는 풍량제어장치를 더 구비하며, 이 풍량제어장치에 의한 냉각제습정화부의 처리 공기량 제어에 의해 공기 순환계의 온도를 제어하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 공기정화 공조장치에서는 습도 제어 장치가 순환공기처리공조기에 보내는 냉수량을 제어하고, 이 습도 제어는 풍량제어장치에 의한 실온의 제어와 독립적으로 수행하는 것이 바람직하다. 또, 순환공기처리공조기의 에어워셔에서의 가습용 열 에너지원으로서 공기 순환계로부터 발생하는 배출열을 순환 공기를 통해 이용하는 것이 바람직하다.

그리고 또한, 본 발명의 공기정화 공조장치에서는 외기처리공조기에서의 가습기의 외기 예열 혹은 재열(再熱) 열원으로서, 순환공기처리공조기의 배출열을 이용하는 것을 특징으로 한다. 이 배출열은 예를 들면 공조기가 인도하는 열매체에 의해 매개된다. 이 열매체로서는, 순환공기처리공조기에서 냉각 제습에 이용한 물을 사용하는 것이 바람직하다.

또, 본 발명의 공기정화 공조장치에서는 외기처리공조기의 에어워셔 및 순환공기처리공조기의 에어워셔 중 어느 한쪽 또는 양쪽에서 발생하는 가용성 가스 불순문 제거 처리수의 pH값을 소정 범위내로 제어해야만 하는 과잉 극성의 이온 성분을 제거하는 이온성분제거장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 공기정화 공조방법으로서, 상술한 기술적 과제를 해결하기 위해 다음과 같은 구성으로 되어 있다. 즉, 본 발명의 공기정화 공조방법은 실내에 공급하는 외기에 대해 가용성 가스 불순물의 제거 처리 및 가습 처리가 가능한에어워셔를 구비하고 온도를 제어하는 외기처리공조기와, 상기 실내를 순환하는 순환 공기에 대해 가용성 가스 불순물의 제거 처리 및 가습 처리가 가능한 에어워셔를 구비하고 온도를 제어하는 순환공기처리공조기로 구성되는 연간냉방설비인 공기정화 공조장치에 있어서, 가습기의 상기 외기처리공조기에서의 가습량을 처리수의 동결을 방지할 수 있는 범위내에서 저온 처리함으로써 최소량으로 억제하고, 가습기의 부족한 가습분을 상기 순환공기처리공조기의 상기 에어워셔에 의한 가습으로 보충하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명의 공기정화 공조방법에 있어서, 외기처리공조기에서의 가습기의 외기 예열 또는 재열 열원으로서 순환공기처리공조기의 배출열을 이용하는 것이 바람직하다. 그리고, 순환공기처리공조기의 배출열을 이용하는 수단으로서는, 순환공기처리공조기에서 냉각 제습에 이용한 물을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 순환공기처리공조기의 제어방법으로서는 실온 제어를 순환공기처리공조기의 처리 풍량에 의해, 또 습도를 순환공기처리공조기에 보내는 냉수량에 의해, 각각 독립적으로 제어하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 공기정화 공조방법에서는 외기처리공조기의 에어워셔 및 순환공기처리공조기의 에어워셔 중 어느 한쪽 또는 양쪽에서 발생하는 가용성 가스 불순물 제거 처리수의 과잉 극성 이온 성분을 제거하여 그 가용성 가스 불순물 제거 처리수의 pH값을 소정 범위내로 제어하는 것이 바람직하다.

본 발명의 공기정화 공조장치 및 공기정화 공조방법에 따르면, 가습에 필요한 열원으로서 피처리 공기가 갖는 열을 이용함으로써 이 피처리 공기로의 가습이이루어진다. 그 때, 가습방법은 물가습으로 하며, 가습수량보다 많은 물을 피처리 공기에 공급하여 기액 접촉시킨다. 이로 인해, 피처리 공기중의 가용성 가스 불순물 성분이 물에 흡수되어 1차 제거된다. 동시에, 가습량을 필요 가습량보다 많게 함으로써, 그 후에 형성된 냉각제습정화부에서 냉각 제습을 수행함과 함께 가용성 가스 불순물이 2차 제거된다.

이하, 본 발명의 공기정화 공조장치에 따른 실시 형태를 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

(제1 실시 형태)

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(10)의 기본 구성을 개략적으로 나타낸 구성 설명도이다. 이 공기정화 공조장치(10)는 순환공기처리공조기(11)를 구비한다. 이 순환공기처리공조기(11)의 주요한 구성으로서는, 피처리 공기를 받아들여 통과시키는 챔버(12)와, 이 챔버(12)를 통과하는 피처리 공기를 가습하고, 동시에 가용성 가스 불순물 성분의 1차 제거를 수행하기 위한 에어워셔(13)와, 이 에어워셔(13)에서 피처리 공기를 물과 기액 접촉시키기 위해 챔버(12)내로 물을 분무하는 물순환계(14)와, 에어워셔(13)에서 처리된 공기를 냉각하고, 에어워셔(13)에서 가습한 수분의 일부 제습 및 가용성 가스 불순물 성분의 2차 제거를 수행하는 냉각제습정화부(15)로 구성되어 있다.

순환공기처리공조기(11)의 구성요소인 에어워셔(13)는 챔버(12)내를 통과하는 피처리 공기와 물과의 기액 접촉 수단이다. 기액 접촉법으로서는 특별히 수단은 한정되지 않지만, 이 실시 형태에서는 물분무수단에 의한 물 분무와 흡수성 또는 친수성의 소재로 이루어진 제거기를 조합하여 구성되어 있다.

즉, 에어워셔(13)는 챔버(12)내에 설치된 다수의 분무 노즐을 구비하는 물분무수단(13a)과, 이 물분무수단(13a)의 하류측에 형성되며, 흡수성 또는 친수성의 소재로 형성된 제거기(13b)로 구성되어 있다. 이로 인해 분무수적면(噴霧水滴面) 및 제거기(13b)의 표면에 기액 접촉면이 형성되며, 피처리 공기의 가습 및 피처리 공기중에 포함되는 가용성 가스 불순물 성분의 흡수 1차 제거가 이루어진다. 제거기(13b)의 소재로서는, 예를 들면 부직포에 실리카를 첨착시킨 것이나 3차원 그물눈 구조체를 예시할 수 있다.

또한, 물순환계(14)는 챔버(12)내에 설치된 물분무수단(13a)에 물을 연속적으로 공급하기 위한 수단이며, 물분무수단(13a)에 의해 분무되어, 피처리 공기와의 기액 접촉에 의해 가용성 가스 성분을 흡수한 흡수액을 담아 저장하는, 챔버(12)내에 형성된 흡수수저장탱크(14a)를 구비하고 있다. 이 흡수수저장탱크(14a)에는 여기에 모인 흡수액을 다시 물분무수단(13a)에 공급하기 위해 배관(14b)의 일단이 접속되며, 그 타단은 물분무수단(13a)에 접속되고, 이로 인해 물순환계(14)가 구성되어 있다.

물순환계(14)를 구성하는 배관(14b)에는 도 1에 도시된 바와 같이 순환펌프(14c)가 형성되어 있으며, 이 순환펌프(14c)의 하류측에 배수용 배관(14d)이 접속되어, 물순환계(14)내를 순환하는 가습 및 가스 흡수수의 일부가 배수된다. 배수된 수량과 가습된 수량분은 새로이 보급수로서 물순환계(14)내로 보급되는데, 그 구성으로서는 일단이 흡수수저장탱크(14a)의 내부와 연통되고, 타단이 급수원(도시하지 않음)에 접속된 보급수 공급용의 배관(14e)이 형성되어 있다.

이 물순환계(14)에서 사용되는 물, 즉 물분무수단(13a)에 의해 분무되는 가습 및 가용성 가스 불순물 성분 흡수용 물은 상수, 공업용수, 혹은 우물물 등의 일반수를 이용할 수 있지만, 순수를 사용하는 것이 바람직하다. 전자의 일반수를 사용한 경우, 배수는 완전히 버리게 되지만, 후자의 순수를 사용한 경우에는 도 2에 도시된 바와 같이 배관(14d),(14e)을 각각 순수플랜트(16)에 접속하며, 배수를 순수플랜트(16)에 되돌려 재생하고, 다시 공급용 배관(14e)을 통해 물순환계(14)에 공급할 수 있다.

챔버(12)내에서 흡수수저장탱크(14a)보다 하류측에는 냉각제습정화부(15)가 설치되며, 이 냉각제습정화부(15)는 구체적으로는 냉각제습코일부로 구성할 수 있다. 이 냉각제습정화부로는 냉수순환계(22)에 의해 냉수가 공급되며, 이로 인해 냉각제습정화부(15)를 통과하는 1차 처리 공기의 제습이 이루어진다. 냉수순환계(22)는 냉수 공급관(22a)과 냉수 귀환관(22b)으로 주로 구성되어 있다.

그 때, 냉각제습정화부(15), 예를 들면 냉각제습코일부 표면에는 제습에 의한 결로수가 생기기 때문에, 이 결로수와 통과 공기와의 기액 접촉에 의해 1차 처리 공기중에 잔존하는 가용성 가스 불순물 성분의 흡수 제거(2차 제거)가 이루어진다. 냉각코일에 흐르는 열매체에 대해, 종래의 결로 방지를 위한 유량 제어가 아니라, 실내의 습도가 소정값이 되도록 제습을 위한 유량 제어를 수행하도록 되어 있다.

이 냉각제습정화부(15)보다 하류측의 챔버(12)는 상면, 하면, 양측부가 폐쇄되며, 한편 상류측은 피처리 공기의 유로가 개방되고, 챔버(12)의 하류측 공간에는 송풍기(17)가 설치되어 있다.

이로 인해 송풍기(17)가 작동되면, 피처리 공기는 챔버(12)의 일단 개방부로부터 내부로 도입되고, 에어워셔(13) 및 냉각제습정화부(15)를 순차적으로 통과하여 처리되며, 그 후 처리 공기는 챔버(12)의 하류측 공간부로부터 송풍기(17)에 의해 외부로 송출된다.

이 공기정화 공조장치(10)에서, 냉각 능력은 처리 풍량을 바꿈으로써 제어된다. 즉, 챔버(12)의 일단 개방부 부근에 설치한 온도센서(18)에 의해 검출되는 피처리 공기의 온도에 따라 풍량제어장치(19)가 송풍기(17)의 송풍량을 제어한다.

그 경우, 피처리 공기의 온도가 설정값보다 높을 경우에는, 송풍량을 늘려 냉방 능력을 증대시키고, 한편 피처리 공기의 온도가 설정값보다 낮을 경우에는 송풍기(17)에 의한 송풍량을 줄여(후술하는 팬필터유닛에 의한 공기 순환을 주로 하여) 냉방 능력을 감소시킨다. 또한, 이 공기정화 공조장치(10)에서는 송풍기(17)의 하류측에 설치한 온도센서(20)의 온도가 항상 일정해지도록 급기온도제어장치(21)를 통해 냉각제습정화부(15)를 구성하는 냉각제습코일부로 냉수순환계(22)에 의해 공급되는 냉수량을 제어함으로써 냉각제습정화부(15)에서의 냉각 제습 온도가 제어된다.

제1 실시 형태로서 설명한 이 공기정화 공조장치(10)는 본 발명의 기본적인 구성이며, 이와 같은 공기정화 공조장치(10)는 순환하는 공기흐름, 즉 공기 순환계내에 설치되어 사용된다.

도 2는 예를 들면 반도체 제조공장 등에서 사용되고 있는, 소정량의 신선한 외기가 도입되는 3층 구조의 클린룸동(25)의 공기 순환계에 상술한 공기정화 공조장치(10)의 순환공기처리공조기(11)를 배치하여 내부의 공기를 정화 공조하는 경우의 구체적인 배치 구조를 나타내는 구성 설명도이다. CR 동(25)내는 천정챔버(26), CR(27), 리턴플레넘(28)(이 예에서는 마루밑 공간), 및 리턴샤프트(29)로 구획지어져 있으며, 상술한 공기정화 공조장치(10)를 구성하는 순환공기처리공조기(11)와 다른 일부의 구성요소가 리턴플레넘(28)에 설치되어 있다.

그 때, 송풍기(17)의 송풍구에는 송기관(23)을 사이에 두고 분산급기헤더(24)가취부되어 있다. 이 분산급기헤더(24)는 리턴플레넘(return plenum)(28)으로부터 리턴샤프트(29)로 연통하는 부근에 배치되어 있다. 분산급기헤더(24)는 양단이 폐쇄된 중공 원통체의 둘레면에 다수의 송기구멍이 형성된 것으로, 리턴플레넘(28)의 깊이(앞쪽에서 뒷쪽까지의 길이) 방향으로 연장되어 있다. 송풍기(17)로부터 송기관(23)을 통해 분산급기헤더(24)에 송풍된 처리 공기는 다수의 송기구멍으로부터 리턴플레넘(28)내로 분산 송기(送氣)된다.

CR 동(25)내의 공기는 천정챔버(26)→CR(27)→리턴플레넘(28)→및 리턴샤프트(29)→천정챔버(26)로 되돌아가는 흐름으로 순환하며, 천정챔버(26)에 설치되어 있는 팬필터유닛(30)에 의해 먼지가 제거되고, 그로 인해 하류의 CR(27)이 가장 청정한 분위기로 유지되고 있다.

이 CR(27)내의 공기는 리턴플레넘(28)에 설치된 순환공기처리공조기(11)에도입되며, CR(27)내에서 발생한 배출열의 냉각 처리 및 가습기의 가습, 및 외기로부터 들여오거나, 또는 CR(27)내에서 발생된 가용성 가스 불순물 성분의 제거가 이루어진다. CR(27)에서는 제조 장치 등으로부터의 배기가 있기 때문에, 그것을 보급해야 하는 항상 신선한 외기가 외기처리공조기(31)를 통해 도입되고 있다.

제1 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(10)에서는 가습을 CR 동(25)의 리턴플레넘(28)에 설치한 순환공기처리공조기(11)에 의해 수행하기 때문에, 이 제1 실시 형태에 따른 외기처리공조기(31)에서는 가습을 수행하지 않는다. 그 결과, 가열원도 필요없기 때문에 가열 코일도 형성하지 않았다.

이 외기처리공조기(31)의 구체적인 구성으로서는, 통형상을 갖는 하우징의 축방향 일단으로 개방되어 있는 외기 취입구측으로부터 프리필터(32), 중성능필터(33), 냉각코일(34), 송풍기(35) 및 HEPA 필터(36)를 상류측(공기의 진행방향)을 향해 순차적으로 배치하여 구성되어 있다.

이 외기처리공조기(31)의 상류측 단부에는 도입관(37)을 통해 외기공급분산헤더(38)가 접속되어 있다. 이 외기공급분산헤더(38)는 상술한 분산급기헤더(24)와 구조적으로는 거의 동일한 것이다.

이 외기처리공조기(31)는 도 2에 도시된 바와 같이 CR 동(25)의 외부에 설치되며, 도입관(37)이 CR 동(25)의 리턴플레넘(28)의 상류측 공간 즉, 순환공기처리공조기(11)보다 상류측으로 뻗어나오며, 외기공급분산헤더(28)는 리턴플레넘(28)에 형성된 순환공기처리공조기(11)의 상류측에 설치되어 있다. 이로 인해, 상술한 바와 같이 CR(27)내의 제조 장치 등에 따른 배기분의 신선한 외기가외기처리공조기(31)를 통해 도입되어 보급된다.

이어, 이 공기정화 공조장치(10)의 동작에 대해 설명하면, CR 동(25)내의 공기는 상술한 순환 경로를 통과중에 그 일부가 순환공기처리공조기(11)에 도입되고, 여기서 CR 동(25)내에서 발생된 배출열을 처리하여 소정의 실온이 되도록 제어된다. 즉, 처리할 공기량은 처리 열량(실내에서 발생하는 처리해야할 배출열량)에 의해 결정된다.

그리고, 이 순환공기처리공조기(11)에서 냉각될 때의 냉각 온도는 CR(27)내의 설정 이슬점에 의해 결정되는 것으로, 항상 일정값이 된다. 따라서, 냉각량은 처리풍량을 바꿈으로써 제어하고 있다. 예를 들면, 처리 열량이 2/3으로 감소하면 처리 풍량도 약 2/3로 감소한다. 실제 제어방법으로서는 CR(27)내에 설치한 온도센서(18)에 의해 검지된 CR(27)내의 온도에 따라 풍량제어장치(19)가 송풍기(17)의 운전을 제어함으로써 이루어진다.

그 경우, CR(27)내의 온도가 설정값보다 높은 경우에는, 풍량제어장치(19)를 통해 송풍기(17)의 송풍량을 늘려 냉각 능력을 증가시킨다. 역으로, CR(27)내의 온도가 설정값보다 낮아진 경우에는, 풍량제어장치(19)를 통해 송풍기(17)의 송풍량을 줄여 냉각 능력을 감소시킨다.

구체적으로는, 최초로 CR 동(25)내의 피처리 공기는 리턴플레넘(28)에 설치된 순환공기처리공조기(11)의 챔버(12)에 도입되어, 에어워셔(13)를 통과하며, 그 때 순수와 기액 접촉된다. 즉, 챔버(12)내에서는 순수가 물분무수단(13a)으로부터 연속적으로 분무되며, 챔버(12)를 유통하는 피처리 공기와 기액 접촉하고, 도입 공기의 온,습도보다 물가습되는 등 엔탈피가 변화하며, 상대 습도 75 내지 85%로 가습된다. 동시에, 이 에어워셔(13)에서 피처리 공기와 순수와의 기액 접촉에 의해 피처리 공기 중에 존재하고 있는 가용성 가스 불순물 성분의 일부가 순수중에 용해되어, 흡수 제거(1차 제거)된다.

분무된 순수는 하류측에 형성된 제거기(13b)에 도달하며, 이 제거기면(기류를 차단하는 면)을 적시고, 거기에서도 가습과 가용성 가스 불순물이 흡수 제거된다. 또한, 가습에 필요한 열(기화열)은 도입 공기가 갖는 열을 이용하고 있다. 이와 같이 하여 가용성 가스 불순물을 흡수한 순수는 흡수수저장탱크(14a)에 담아두며, 다시 물순환계(14)를 통해 물분무수단(13a)으로부터 분무된다. 요컨데, 순수 순환계(14)에서는 순수가 순환펌프(14c)에 의해 연속적으로 순환되고 있다.

이 순환을 반복하고 있는 중에, 물순환계(14)의 순수내 가용성 가스 농도는 시간이 경과함에 따라 높아짐과 동시에 그 수질이 산성 또는 알카리성 중 어느 한쪽으로 기울게 된다. 순수내의 가용성 가스 농도가 소정의 농도보다도 높아지면 순수의 가스 흡수 효율이 나빠지므로, 물순환계(14)내의 순수는 배수용 배관(14d)으로부터 소정량이 순수플랜트(16)로 되돌려진다. 따라서, 순수플랜트(16)에 되돌아간 수량과 가습하여 기화된 수량분은 새로이 보급수로서 순수플랜트(16)로부터 새로운 순수가 보급용 배관(14e)을 통해 계속 보급되고 있다. 이로 인해 순수내의 가용성 가스 농도는 거의 소정값 이하가 되도록 관리되고 있다.

에어워셔(13)에서 가습되고 또한 가용성 가스 불순물 성분이 1차 제거된 공기(1차 처리 공기)는 이어 냉각제습정화부(15)에 도입되고, 여기서 제습됨과 동시에 상술한 에어워셔(13)에서는 완전히 제거할 수 없어 잔존하는 가용성 가스 불순물 성분의 2차 제거가 이루어진다. 냉각 제습 온도(이슬점)는 상술한 바와 같이 CR 설정 온,습도에 의해 결정되는 것으로, 예를 들면 23℃에서, 상대 습도 45%의 설정이면 냉각 제습 온도는 약 10.5℃가 된다. 따라서, 냉각 제습 온도는 처리 풍량이 변동되더라도 항상 일정해지도록 제어 장치에 의해 제어되고 있다.

이 공기정화 공조장치(10)에서는 송풍기(17)의 하류측에 설치한 온도센서(20)의 온도가 항상 일정해지도록 습도 제어 장치(21)를 통해 냉각제습정화부(15)를 구성하는 냉각제습코일부로 냉수순환계(22)에 의해 공급되는 냉수량을 제어함으로써 냉각제습정화부(15)에서의 냉각 제습 온도가 제어된다. 또한, 본 실시 형태에서는 에너지 절약과 정밀 제어를 도모하기 위해, 자동 삼방향 밸브에 의한 공급수와 귀환수의 유량 바이패스 제어를 채택 사용하고 있다.

이 냉각제습정화부(15)에서 냉각 제습된 처리 공기는 송풍기(17)에 의해 분산급기헤더(24)에 송풍되고, CR 동(25)내의 리턴플레넘(28) 부근의 리턴샤프트(29)에 분산 급기되어, 순환 공기와 일정하게 혼합된다. 그 때의 급기 온도는 송풍기(17)에 의해 승온되기 때문에 냉각 제습후의 공기보다 1 내지 2℃정도 높아진다. CR(27)내의 공기 온도는 일반적으로는 23℃ 전후로 제어된다.

한편, 외기처리공조기(31)에서 먼지 제거와 냉각 제습 처리된 외기가 CR 동(25)내의 리턴플레넘(28)에 공급된다. 가습시에는, 도입 외기 온도가 이슬점 온도 이상인 경우에는 이슬점 온도까지 냉각코일(34)로 냉각되며, 도입 외기 온도가 이슬점 온도 이하인 경우에는 냉각하지 않고 급기된다. 또한, 이외기처리공조기(31)에 있어서, 종래와 같이 가열 처리나 가습 처리를 실시하더라도 성능상 특별히 문제는 없지만, 본 공기정화 공조장치(10)를 사용할 때 운영비의 저감 효과가 감소하게 된다.

또한, 도 2에 도시된 공기정화 공조장치(10)에서는 냉각제습정화부(15)에서 냉각 제습 온도를 제어하는 데에, 송풍기(17)의 하류측에 배치한 온도센서(20)를 사용하였는데, 그 대신에 이슬점 센서를 사용하여 이슬점 온도를 검출하도록 할 수도 있다. 또한, 공기정화 공조장치(10)의 순환공기처리공조기(11)를 CR 동(25)내의 리턴플레넘(28)에 설치하였는데, 이것을 리턴샤프트(29) 또는 기타 실내에 설치하여도 좋으며, 혹은 CR 동(25) 밖에 설치하고, 분산급기헤더(24)를 덕트 등을 통해 CR 동(25)내의 상술한 실내에 끌어들여 설치하여도 좋다. 또한, 송풍기(17)의 위치는 에어워셔(13)의 상류측에 위치시키고, 소위 압입형(壓入型)으로 구성할 수도 있다.

(제2 실시 형태)

도 3은 제2 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(40)를 도 2와 동일한 CR 동(25)에 설치한 경우의 구성 설명도이다. 제2 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(40)와 제1 실시 형태의 공기정화 공조장치(10)와의 차이점은 순환공기처리공조기(41)에 형성되어 있는 에어워셔(제1 실시 형태에서는 부호 13)의 구조에 있다. 즉, 제2 실시 형태의 공기정화 공조장치(40)의 경우, 순환공기처리공조기(41)의 에어워셔(42)는 흡수성 또는 친수성 소재(42a)의 상부보다 물순환계(14)로부터의 물을 직접 적용, 흡수시켜 젖은 면을 형성하고, 챔버(12)의 일단 개방부로부터 도입되는 피처리 공기를 이 흡수성 또는 친수성의 소재(42a)에 통과시킴으로써 가습과 가용성 가스 불순물 성분의 흡수를 행하도록 하고 있다. 소재(24)로의 물 공급은 예를 들면 구멍이 뚫린 흡수 팬을 통해 이루어진다.

이 제2 실시 형태의 공기정화 공조장치(40)에 있어서 상술한 순환공기처리공조기(41)의 에어워셔(42) 이외의 구성은 앞에서 설명한 제1 실시 형태의 공기정화 공조장치(10)와 실질적으로 동일하며, 따라서 동일 또는 상당하는 구성 부분에는 동일한 참조 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

이와 같은 공기정화 공조장치(40)에 따르면, 제1 실시 형태에 따른 순환공기처리공조기(11)에 비해 물분무수단(13a)을 구성하는 분무 노즐 등을 폐지할 수 있기 때문에 설비비가 싸고 또한 공간 절약화를 실현할 수 있다. 또, 공조성능 등에 대해서는 제1 실시 형태의 공기정화 공조장치(10)와 동일하다.

(제3 실시 형태)

도 4는 제3 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(50)를 도 2와 동일한 CR 동(25)에 설치한 경우의 구성 설명도이다. 제3 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(50)와 제1 실시 형태의 공기정화 공조장치(10)와의 차이점은 순환공기처리공조기(51)의 기액 접촉부인 에어워셔에 공급되는 물순환계(제1 실시 형태에서는 부호 14)의 구조에 있다.

즉, 제3 실시 형태의 공기정화 공조장치(50)에 형성된 순환공기처리공조기(51)의 물순환계(52)에서는 제1 실시 형태와 동일하게 챔버(12)내에서 제거기(13b)의 하류측에 흡수수저장탱크(52a)가 설치되며, 이 탱크(52a)에저장된 흡수수가 모두 배관(52b)에 의해 순수플랜트로 되돌아가며, 여기서 재생되어 다시 배관(52c)에 의해 에어워셔(13)의 물분무수단(13a)으로 공급되도록 구성되어 있다. 바꿔 말하면 에어워셔(13)에 공급되는 물의 순환은 소위 1패스 방식을 채택하고 있다.

이 제3 실시 형태의 공기정화 조정장치(50)에 있어서 상술한 순환공기처리공조기(51)의 물순환계(52) 이외의 구성은 앞에서 설명한 제1 실시 형태의 공기정화 공조장치(10)와 실질적으로 동일하며, 따라서 동일 또는 상당하는 구성 부분에는 동일한 참조 부호를 붙여 그 설명을 생략한다. 이와 같은 공기정화 공조장치(50)의 공조성능 등에 대해서는 제1 실시 형태의 공기정화 공조장치(10)와 동일하다.

(제4 실시 형태)

도 5는 제4 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(60)를 도 2와 동일한 CR 동(25)에 설치한 경우의 구성 설명도이다. 제4 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(60)와 제1 실시 형태의 공기정화 공조장치(10)와의 차이점은 외기처리방법에 있다. 도 5에 도시된 공기정화 공조장치(60)에서는 외기처리공조기로서 종래 방식의 것이 사용되며, 가열 및 가습 기능을 갖고 있다.

즉, 이 외기처리공조기(61)는 통형상의 하우징내에 주요한 구성 요소가 수납되어 구성되어 있다. 구체적으로는 이 외기처리공조기(61)는 도 2에 도시된 제1 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(10)의 외기처리공조기(31)와 동일하게 하우징의 축방향 일단으로 개방되어 있는 외기 취입구측으로부터 프리필터(32), 중성능필터(33), 냉각코일(34), 송풍기(35), 및 HEPA 필터(36)를 상류측을 향해 순차적으로배치하여 구성되며, 또한 중성능필터(33)와 냉각코일(34) 사이에 가열 코일(62)이, 또 냉각코일(34)과 송풍기(35) 사이에 가습기(63) 및 재가열 코일(64)이 각각 배치되어 구성되어 있다.

또한, 이 외기처리공조기(61)의 타단에는 도입관(37)이 접속되며, 이 도입관(37)의 단부에는 외기공급분산헤더(38)가 취부되어 있는 것은 제1 실시 형태에 따른 외기처리공조기(31)와 동일하다.

이와 같은 종래 방식의 외기처리공조기(61)를 사용한 공기정화 공조장치(60)의 경우는 가습을 위해 쓸데없는 가열 및 그 냉각이 필요하게 되며, 따라서 열원 비용의 저감 효과는 없어지게 된다. 그러나, 이 공기정화 공조장치(60)에서도 공기정화 공조장치(10)에서의 가용성 가스 불순물 성분 제거효과는 상술한 실시 형태와 동일하게 존재하기 때문에, 케미컬필터를 사용한 시스템보다는 운영비를 대폭 저감할 수 있으며, 전체 비용 면에서는 종래의 공기정화 공조시스템보다는 상당히 유효하다.

이 제4 실시 형태의 공기정화 공조장치(60)에서 상술한 외기처리공조기(61) 이외의 구성은 앞에서 설명한 제1 실시 형태의 공기정화 공조장치(10)와 실질적으로 동일하며, 따라서 동일 또는 상당하는 구성 부분에는 동일한 참조 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

(제5 실시 형태)

도 6은 제5 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(70)를 도 2와 동일한 CR 동(25)에 설치한 경우의 구성 설명도이다. 제5 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(70)와 제1 실시 형태의 공기정화 공조장치(10)와의 차이점은 순환공기 처리 공조기(71)의 기액 접촉부인 에어워셔(13)에 공급되는 물순환계(제1 실시 형태에서는 부호 14)의 구조에 있다.

즉, 제5 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(70)의 순환공기 공조기(71)로의 물순환계(72)에서는 제1 실시 형태와 동일하게 피처리 공기와의 기액 접촉에 의해 가용성 가스 불순물 성분을 흡수한 흡수액을 저장해 두는 챔버(12)내에 형성된 흡수수저장탱크(72a)와, 이 흡수수저장탱크(72a)에 모인 흡수액을 다시 에어워셔(13)의 물분무수단(13a)에 공급하기 위한 배관(72b)과, 이 배관(72b)에 형성되어 있는 순환펌프(72c)와, 순환수의 일부를 순수플랜트(16)에 되돌여 재생하고, 이것을 다시 흡수수저장탱크(72a)에 되돌리는 배관(72d),(72e)으로 주로 구성되어 있다.

이 배관(72b)에는 pH 제어장치(73)가 직관부와 병렬로 설치되며, 순환수의 pH값을 소정 범위가 되도록 제어하고 있다. 이와 같이 물순환계(72)에 pH 제어장치(73)를 형성함으로써, 산계(酸系) 가용성 가스 불순물 성분 및 알카리계 가용성 가스 불순물 성분의 제거 성능을 제어하는 것이 가능해진다. 또한, pH 제어장치(73) 앞에 자동 밸브를 취부하여도 좋다.

예를 들면 산계 가용성 가스 불순물 성분이 많은 경우 순환수는 보다 산성쪽으로 기울게 되므로, 가용성 가스 불순물 성분 제거 성능은 저하된다. 이에 비해, pH 제어장치(73)를 형성함으로써 순환수의 pH값을 중성쪽으로 되돌림으로 인해 산계 가용성 가스성분 제거성능의 저하를 방지할 수 있으며, 안정된 가용성 가스 불순물 제거 성능을 얻을 수 있다.

(제6 실시 형태)

도 7은 제6 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(80)를 도 2와 동일한 CR 동(25)에 설치한 경우의 구성 설명도이다. 제6 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(80)와 제1 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(10)와의 차이점은, 순환공기 처리 공조기(81)의 에어워셔(13)에 물순환계(14)에서 공급하는 물로서, 상수나 공업용수, 우물물 등 일반수를 사용하고 있는 점에 있다. 그 이외는 도 2에 도시된 공기정화 공조장치(10)와 실질적으로 동일하며, 따라서 동일 또는 상당하는 구성 부분에 동일한 참조 부호를 붙여 설명을 생략한다.

이와 같은 공기정화 공조장치(80)에 따르면, 도 2에 도시된 공기정화 공조장치(10)에 비해 순수보다 일반수 쪽이 비용이 싸기 때문에, 토탈 운영비를 조금 저감시킬 수 있는데, 에어워셔(13), 즉 기액 접촉부의 오염으로 인한 메인터넌스비는 조금 증가한다.

(제7 실시 형태)

도 8은 제7 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(90)를 도 2와 동일한 CR 동(25)에 설치한 경우의 구성 설명도이다. 제7 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(90)와 제6 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(80)를 비교했을 때, CR 동(25)에 설치되는 순환공기처리공조기 그 자체는 실질적으로 동일하며, 또 외기처리공조기는 도 5에 도시된 제4 실시 형태의 외기처리공조기(61)와 실질적으로 동일하다.

이 제7 실시 형태의 공기정화 공조기(90)에서는 외기처리공조기(91)와 헤더의 위치관계에 특징이 있다. 즉, 이 외기처리공조기(91)의 하류측단으로부터 뻗는 도입관(37)의 단부는 순환공기처리공조기(11)로부터 뻗어나온 분산급기헤더(24)에 접속되며, 공기 분배/취출 기능을 공용하고 있다.

이와 같이 외기처리공조기(91)를 통한 외기가 CR 동(25)내에 도입될 때에 사용되는 헤더를 순환공기처리공조기(11)로부터 뻗어나오는 분산급기헤더(24)와 공유한 것 이외는 도 5의 제4 실시 형태와 도 7의 제6 실시 형태를 조합시킨 것과 실질적으로 동일하며, 따라서 동일 또는 상당하는 구성 부분에 동일한 참조부호를 붙여 설명을 생략한다.

이와 같은 공기정화 공조장치(90)에 따르면, 헤더가 하나만 있으면 되기 때문에 구성 부재의 수를 저감할 수 있으며, 또한 외기와 환기의 혼합을 촉진시킬 수 있고, 공기의 성질과 상태를 보다 균일화할 수 있다. 또한, 이 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(90)에서는 도 5에 도시된 제4 실시 형태의 공기정화 공조장치(60)와 동일하게, 가습을 위해 쓸데없는 가열 및 그 냉각이 필요하게 되므로, 열원 비용의 저감 효과는 없어진다.

그러나, 이 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(90)에서도 가용성 가스 불순물 성분의 제거 효과는 동일하기 때문에, 케미컬필터를 사용한 종래의 공기 정화 장치보다는 운영비를 대폭 저감할 수 있으며, 전체 비용 면에서는 역시 종래 시스템보다는 상당히 유효한 공기정화 공조장치라 할 수 있다.

또한, 기액 접촉에 제공하는 물은 온도가 높으면 가용성 가스 불순물의 흡수 정도가 높아진다. 그 때문에 가열원을 형성하면 운영비가 높아지기 때문에, 보급수 관로에 배출열을 회수하는 열교환기를 형성하면 효과적이다.

(제8 실시 형태)

도 9는 제8 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(100)를 도 2와 동일한 CR 동(25)에 설치한 경우의 구성 설명도이다. 이 제8 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(100)를 구성하는 순환공기 처리 공조기(110)는 제1 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(10)의 순환공기처리공조기(11)와 실질적으로 동일하다.

이 실시 형태의 공기정화 공조장치(100)와 제1 실시 형태의 공기정화 공조장치(10)와의 차이점은 이 공기정화 공조장치(100)를 구성하는 외기처리공조기(101)의 구조와 이 공기정화 공조장치(100)의 제어 방법에 있다. 즉, 이 제8 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(100)를 구성하는 외기처리공조기(101)에서는 통형상을 갖는 하우징의 축방향 일단으로 개방되어 있는 외기 취입구측으로부터 프리필터(102), 예열 코일(103), 중성능필터(104), 냉각코일(105), 에어워셔(106), 재열 코일(107), 송풍기(108) 및 HEPA 필터(109)를 하류측(공기의 진행방향)을 향해 순차적으로 배치하여 구성되어 있다.

외기처리공조기(101)의 에어워셔(106)는 상술한 순환공기처리공조기(11)의 에어워셔(13)와 실질적으로 동일한 구성이며, 물순환계(113)를 구성하는 순환펌프(113b)에 의해 흡수수저장탱크(113a)내의 물을 물분무수단에 연속적으로 공급하고, 외기와의 기액 접촉을 수행케 하도록 되어 있다.

이 외기처리공조기(101)는 도 9에 도시된 바와 같이 CR 동(25)의 외부에 설치되며, 이 외기처리공조기(101)의 타단에 접속된 도입관(110)이 CR 동(25)의 리턴플레넘(28)내의 상류측 공간, 즉 순환공기처리공조기(11)보다 상류측에 설치되어 있다. 이로 인해, 상술한 바와 같이 CR(27)내의 각종 제조 장치 등에 의해 배기된 분만큼의 신선한 외기가 외기처리공조기(101)를 통해 CR 동(25)내에 도입되어 보급된다.

이 공기정화 공조장치(100)에서도, 냉각 능력은 처리 풍량을 바꿈으로써 제어된다. 즉, 도 9에 도시된 바와 같이 CR(27)내에 설치한 온도센서(18)에 의해 검출되는 피처리 공기의 온도에 따라, 풍량제어장치(19)와 온도 제어 장치(21)가 일체적으로 형성되거나 또는 구성된 온,습도 제어장치(111)가 송풍기(17)의 송풍량을 제어한다. 이 제어는 제1 실시 형태와 동일하며, 피처리 공기의 온도가 설정값보다 높은 경우에는 송풍량을 늘려 냉방 능력을 증대시키고, 한편 피처리 공기의 온도가 설정값보다 낮은 경우에는 송풍기(17)에 의한 송풍량을 줄여 냉방 능력을 감소시킨다.

또한, 이 공기정화 공조장치(100)에서는 CR(27)내에 설치한 습도 센서(112)의 습도가 항상 일정해지도록 온,습도 제어장치(111)를 통해 냉각제습정화부(15)를 구성하는 냉각 제습 코일로 냉수순환계(22)에 의해 순환되는 냉수량을 제어함으로써 냉각제습정화부(15)에서의 냉각제습온도가 제어된다.

이 제8 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(100)에서는 가습은 CR 동(25)의 리턴플레넘(28)에 설치된 순환공기처리공조기(11)에 의해 주로 수행하기 때문에, 본 실시 형태에서 도시된 외기처리공조기(101)에서의 가습 처리는 최소한이다. 즉, 일본에서는 가을부터 봄에 걸친 가습기에는 외기처리공조기(101)에서의 가습량을, 처리수의 동결이 일어나지 않는 범위내에서의 저온 처리에 의해 최소량으로 억제하며, 해당 가습기의 부족 가습분을 상술한 순환공기처리공조기(11)에서 수행하여 보충한다.

이어, 이 공기정화 공조장치(100)의 동작을 보다 구체적으로 설명한다. 단, 순환공기처리공조기(11)에서의 순환공기 처리방법은 제1 실시 형태의 경우와 실질적으로 동일하기 때문에 생략한다. 외기처리공조기(101)를 통해 CR 동(25)내에 보강되는 신선한 외기는 각종 필터에 의한 먼지 제거, 및 에어워셔(106)에 의한 가용성 가스 불순물의 제거 및 소정의 급기 온도가 되도록 온도조절 제어된다. 그 때, 가습기의 에어워셔(106)에서의 외기 가습은 처리 온도의 저하로 인한 동결을 방지할 수 있는 범위내에서 최소 가습량이 되도록 예열 코일(103)에 의해 에어워셔(106)보다 상류 공기의 온도를 제어한다.

가습후, 공기 온도는 저하되기 때문에, 외기를 공급하는 CR(27)내가 이슬점 온도 이하가 되지 않도록 재열 코일(107)에서 재열을 수행하고 있다. CR내 순환공기처리계내의 순환공기처리공조기(11)에 의한 온,습도의 제어는, 온도는 처리공기량의 제어에 의해, 또 습도는 냉수량의 제어에 의해 수행함으로써, 서로 독립된 제어를 하며, 이로 인해 높은 제어 성능을 얻을 수 있다.

여기서, CR(27)내의 온,습도 제어방법에 대해 더 상세하게 설명한다. CR(27)내의 온도는 CR(27)내에 설치한 온도센서(18)에서 모니터되며, 설정 온도에 대해 순환공기처리공조기(11)의 송풍량을 온,습도 제어장치(111)에 의해 피드백 제어한다. 예를 들면, CR(27)내의 온도가 설정 온도보다 높아진 경우에는송풍기(17)의 풍량을 증가시킨다.

처리 공기의 취출 온도는 설정 온도보다 항상 낮기 때문에(예를 들면, 설정 온,습도가 23℃, 45%에서는 취출 온도 12∼15℃), 풍량이 증가하면, 냉각 능력이 증가하고, 실온은 저하된다. CR(27)내의 온도가 설정 온도인 경우에는 풍량은 그대로 유지된다.

역으로, CR(27)내의 온도가 설정 온도보다 낮아진 경우에는 송풍기(17)에 따른 송풍량을 감소시키고(요컨데, 팬필터유닛(30)에 취부되어 있는 송풍기에 의한 공기 순환을 주로 함으로써 공기를 순환시키고), 냉각 능력을 떨어뜨려 실온을 상승시킨다.

이어, 가습기의 외기 및 CR내 순환공기의 공조 처리 플로우를 도 10에 나타낸 공기 선도로 설명한다. 도 10의 공기선도에는 a점∼k점의 각 상태점이 도시되며, a점은 CR(27)내의 설정 조건, b점은 리턴플레넘(28) 상류 공간의 공기 상태, c점은 외기 혼합후의 순환공기 상태, d점은 가습 세정후의 공기 상태, e점은 냉각 제습후의 공기 상태, f점은 순환공기처리공조기(11)에서 처리된 공기 상태, g점은 순환공기처리공조기(11)에서 처리된 공기와 순환 공기의 혼합후 상태, h점은 외기 상태, i점은 외기처리공조기(101)의 에어워셔 상류의 예열후 공기 상태, j점은 외기처리공조기(101)에서의 에어워셔후 최소 가습후의 공기 상태, k점은 외기처리공조기 출구에서의 재열후 공기 상태를 나타낸다.

저온 저습의 외기(상태점 h)는 예열 코일(103)에서 상태점 i까지 예열된 후, 에어워셔(106)에서 상태점 j까지 가습된다. 상태점 i의 예열 온도(이 경우는 9℃)는 상태점 j의 온도가 동결하지 않는 온도(0℃ 이상으로, 이 경우는 2℃이상으로 하고 있다)가 되도록 설정한다. 실제 예열 온도는 설치 지역의 기상 조건에 의해 각각 결정한다. 가습 공기(상태점 j)는 상태점 k까지 재열 코일(107)에 의해 재열된다. 상태점 k의 재열 온도는 CR(27)내의 설정 이슬점 온도(예를 들면, 23℃, 45%이면, 10.5℃)이상으로 한다. 이 경우는 조금 여유를 두어 12℃로 하고 있다. 상태점 k가 외기처리공조기(101)의 CR(27)내로의 공급공기조건이 된다.

CR 순환공기 처리계에서는 상태점 a가 설정 온,습도가며, 이것은 CR(27)내 온,습도 센서 설치 지점의 조건이다. CR(27)내의 공기는 실내 제조장치 등의 발열 부하에 의해 상태점 b까지 상승하며, 리턴플레넘(28)으로 송풍된다. 리턴플레넘(28)에서는 처리 외기(상태점 k)와 혼합되어 상태점 c가 된다. 혼합후의 순환공기(상태점 c)의 일부가 순환공기처리공조기(11)에 도입되고, 먼저 에어워셔(13)에서 가습되어 상태점 d가 된다.

이어, 냉각제습정화부(15)에서 냉각 제습되어 상태점 e가 된다. 상태점 e는 CR내 순환공기의 가습량에 의해 결정하며, 가습량이 많은 경우에는 냉수량을 증가시켜 제습량을 적게 한다. 역으로 가습량이 적은 경우에는 냉수량을 줄이고 제습량을 많게 한다. 제습후의 공기 온도는 송풍기 발열이나 송풍 마찰 등에 의해 조금 상승하여 상태점 f가 된다.

순환공기처리공조기(11)의 처리 공기(상태점 f)와 순환 공기(상태점 c)가 혼합되면, 상태점 g가 된다. 상태점 g∼상태점 a로의 온도 상승은 CR 동(25)내의 생산 장치 외, 천정부에 장착되어 있는 팬필터유닛(30)이나 조명 기구 등의 발열에의한다.

이와 같은, 가습기의 외기 및 CR내 순환 공기의 공조 처리 플로우로부터도 알 수 있는 바와 같이, 이 제8 실시 형태의 공기정화 공조장치(100)에서는 가습기의 외기처리공조기(101)에서의 가습량을, 처리수의 동결을 방지할 수 있는 범위내에서 저온 처리함으로써 최소량으로 억제하고, 가습기의 부족 가습분을 순환공기처리공조기(11)의 에어워셔(13)에 의한 가습으로 보충하도록 함으로써, CR내의 최적의 온,습도 조정과 정화를 수행하면서, 종래 외기 처리계에서 필요로 하였던 가열 에너지의 대폭적인 삭감을 달성할 수 있다.

(제9 실시 형태)

도 11은 제9 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(120)를 CR 동(25)에 대해 설비한 경우의 구성 설명도이다. 제9 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(120)를 구성하는 순환공기처리공조기와 외기처리공조기는 제8 실시 형태의 것과 실질적으로 동일한 구조이므로 동일한 참조부호를 붙여 그 상세한 설명을 생략한다.

제9 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(120)와 제8 실시 형태의 공기정화 공조장치(100)의 차이점은 순환공기처리공조기(11) 냉수순환계의 냉수 귀환(수온 12∼17℃)을, 외기처리공조기(101)에서의 가습기의 외기 예열 및 재열의 열원으로서, 혹은 제습기의 외기 예냉으로서 이용하는 점이다.

구체적인 구성으로서는 냉동기(121)가 설치되며, 이 냉동기(121)의 냉수도출구가 순환공기처리공조기(11)의 냉각제습정화부(15)로의 냉수순환계(22)를 구성하는 냉수 공급관(22a)에 접속되며, 냉수 귀환관(22b)은 냉동기(121)의 냉수 도입구에 접속되어 있다. 이 냉수 귀환관(22b)은 분기하며, 그 분기관(122)이 외기처리공조기(101)의 예열 코일(103)과 재열 코일(107)에 접속되고, 냉각제습정화부(15)에서 나온 냉수가 이들 예열 코일(103)과 재열 코일(107)에 보내지게끔 되어 있다.

예열 코일(103)과 재열 코일(107)의 각 냉수 출구에는 각각 배관(123)의 일단이 접속되며, 이들 배관의 타단은 합류하여 냉동기(121)의 냉수 도입구에 직접 접속되거나 또는 냉수 귀환관(22b)(분기관(114)의 분기점보다 하류측의 관부)에 접속되어 있다. 또한, 냉동기(121)로부터 냉각제습정화부(15) 및 외기처리공조기(101)로의 냉수순환계(22)의 적절한 장소에 밸브를 형성할 수 있다.

이와 같이 구성함으로써, 가습기에는 CR(27)의 배출열을 가열원으로 함으로써 가열 에너지의 절감을 도모할 수 있으며, 또 제습기에는 귀환되는 냉수 온도보다 높은 공기를 예냉한 외기를 사용함으로써 냉수의 온도차를 크게 하고, 송수(送水) 동력의 삭감을 달성할 수 있다. 또한, 외기의 처리 및 CR 동(25)내 순환 공기의 처리 플로우는 제8 실시 형태의 경우와 동일하므로 설명을 생략한다.

(제10 실시 형태)

도 12는 제10 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(130)를 CR 동(25)에 설치한 경우의 구성 설명도이다. 제10 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(130)를 구성하는 순환공기처리공조기와 외기처리공조기는 제8 실시형태의 것과 실질적으로 같은 구조이므로 동일한 참조 부호를 붙여 그 상세한 설명을 생략한다.

제10 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(130)와 제8 실시 형태의 공기정화 공조장치(100)와의 차이점은 순환공기처리공조기(11)와 외기처리공조기(101)의 각에어워셔(13),(106)를 통과하는 순환수의 pH값을 소정의 범위내로 제어하기 위한 pH 제어 장치(131)를 물순환계(14)에 형성한 것이다.

구체적인 구성으로서, 순환공기처리공조기(11)에서는 물순환계(14)를 구성하는 배관(14b)에 형성된 순환펌프(14c)와 병렬로 pH 제어장치(131)가 설치되며, 또 외기처리공조기(101)에서는 물순환계(113)를 구성하는 흡수수저장탱크(113a)를 통해 에어워셔(106)에 물을 순환시키는 순환펌프(113b)와 병렬로 pH 제어장치(131)가 설치되어 있다.

그런데, 이전에, 본 발명자들은 에어워셔를 통과하는 순환수의 pH값이 소정의 범위로부터 치우친 경우에, 부족한 쪽의 극성 이온 성분을 pH 조정약으로서 첨가하여 제어하는 기술을 개발하였다. 그러나, 이 실시 형태의 공기정화 공조장치(130)에서 사용하는 pH 제어장치(131)로서는 부족한 쪽의 극성 이온 성분을 pH 조정약으로서 첨가하여 제어하는 방식과는 전혀 반대의 수단, 즉 과잉인 쪽의 극성 이온을 분리 배제함으로써 pH값을 소정의 범위로 제어함으로 인해, pH 제어와 동시에 순환수의 오염 레벨 개선을 도모한 것이다.

이로 인해, 결과적으로 가용성 가스 불순물의 제거 성능 제어와 함께 사용수량(보급수량)의 삭감도 달성할 수 있다. 일반적으로는 외기중에 산계 가스 성분이 많고, 그 때문에 외기 처리계인 외기처리공조기(101)의 에어워셔(106)에서의 순환수의 pH값은 산성쪽으로 기운다. 따라서, 이와 같은 경우에는 순환수내에 포함되는 음이온 성분(anion)을 pH 제어장치(131)에 의해 분리 제거함으로써 순환수의 pH값이 산성쪽으로 크게 치우치지 않도록 제어한다.

한편, CR 동(20)내를 순환하는 공기중에는 암모니아 가스 등의 알카리성 가스 성분이 많이 포함되는 경향이 있으며, 그 때문에 CR내 순환공기처리계인 순환공기처리공조기(11)의 에어워셔(13)에서의 순환수 pH값은 알카리성측으로 치우치는 경우가 많다. 따라서, 에어워셔(13)에 사용하는 순환수 중에 포함되는 양이온(cation)을 pH 제어장치(131)에 의해 분리 제거함으로써 순환수의 pH값이 알카리성측으로 치우치지 않도록 제어한다.

또한, 이 제10 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(130)는 순환공기처리공조기(11) 및 외기처리공조기(101)에 형성되는 각 에어워셔(13),(106)의 방식이나 형태로 한정되는 것은 아니다. 왜냐하면, 분무의 유무, 젖은 면을 크게 하기 위한 충진재의 유무, 혹은 흡수성 제거기의 유무 등은 본 발명의 효과에 영향을 미치는 것이 아니기 때문이다.

또, 순환공기처리공조기(11) 및 외기처리공조기(101)에 형성되는 송풍기의 위치도, 본 발명의 효과에 영향을 미치는 것은 아니기 때문에, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 이와 같은 송풍기는 순환공기처리공조기(11)에서는 에어워셔(13)와 냉각제습 정화부(15)와의 사이나 최상류부, 외기처리공조기(101)에서는 에어워셔(106)와 재열 코일(107) 사이나 최상류부에 설치되어 있어도 좋다.

순환공기처리공조기(11)의 풍량 제어 방법은 인버터에 의한 회전수 제어 혹은 전동 댐퍼에 의한 제어 등, 그 방식에 대해 한정되는 것은 아니다. 또, 냉수량의 제어는 2방향 밸브 혹은 3방향 밸브 중 어느쪽을 사용하여도 좋으며, 취부 위치도 냉수의 공급측 또는 귀환측 중 어느쪽이어도 상관없다. 온,습도 센서의 위치는, 상술한 제1 실시 형태에서는 CR(27)내에 설치하고 있지만, 리턴플레넘(28), 리턴샤프트(29), 천정챔버(26) 중 어느 곳에 설치하여도 성능을 바꾸는 것은 아니다.

또한, 순환공기처리공조기(11)의 설치 위치도, 리턴플레넘(28) 혹은 리턴샤프트(29) 중 어느쪽이어도 좋다. 그리고, 외기처리공조기에서 처리된 외기의 CR 동(25)으로의 공급 장소로서는 상술한 제8 실시 형태에서는 리턴플레넘(28)의 순환공기처리공조기(11)보다 상류측으로 하고 있지만, 순환공기처리공조기(11)의 하류측 또는 리턴샤프트(29)내나 천정챔버(26)내이어도 좋다.

또한, 도 9에 대표적으로 표시되어 있지만, 제8 내지 제10 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치(100),(120),(130)에서는 외기처리공조기(101)의 예열 코일(103)의 하류측에 온도센서(114)를 형성하며, 이 온도센서(114)를 이용하여 예열 코일(103)을 통과하는 외기가 예를 들면 항상 9℃가 되도록 가열량을 제어하는 것도 바람직하다. 혹은 이와 같은 수단 대신에, 흡수수저장탱크(113a)내에 온도센서(114)를 배치하여 이 수온이 예를 들면 5℃ 이하가 되지 않도록 예열 코일(103)의 가열량을 제어하는 것도 바람직하다.

이 밖에, 외기처리공조기(101)에서 제습 정화 처리된 외기를 CR 동(25)내에 도입하는 도입관(110)내에 온도센서(114)를 형성하고, 예를 들면 12℃(실온 23℃, 습도 45%인 경우. 단, 클린룸 설계 조건에 따라 다르다)이 되도록, 도입관(110)으부터의 취출 외기의 온,습도를 제어하는 것도 바람직하다. 이와 같은 도입관(110)으로부터의 취출 외기의 온,습도 제어는 CR 동(25)내로 돌출되는 도입관(110)의 토출부에서의 결로 발생을 방지할 수 있다.

이와 같은 제8 내지 제10 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치에 따르면, 실내에 외기를 도입하는 외기처리공조기에 가용성 가스 불순물 성분의 제거 처리와 가습 처리가 가능한 에어워셔를 형성하고, 또 실내를 순환하는 공기를 처리하는 순환공기처리공조기에도 동일한 에어워셔를 형성하며, 가습기의 가습에 관해 외기 처리계의 에어워셔에서는 동결하지 않을 정도의 최소 가습량으로 억제하고, 배출열 이용이 용이한 순환공기처리공조기의 에어워셔에서의 가습을 주로 수행함으로써, 종래 외기 처리계에서 요구하고 있던 가열 에너지의 대폭적인 삭감을 달성할 수 있다.

또한, 제8 내지 제10 실시 형태에 따른 공기정화 공조장치에 의한 공기정화 공조방법에 따르면, 상술한 가열 에너지의 대폭적인 삭감과 동시에, 외기의 가열을 삭감한 분만큼, 공급 외기의 냉각 능력이 증가하기 때문에 순환공기처리공조기에서 사용하는 냉각 에너지도 절약할 수 있다.

또, CR내의 가용성 가스 불순물 성분 농도에 관해서도, 외기 처리계 및 CR내 순환공기 처리계에서 제거를 수행하도록 하였기 때문에, 가용성 가스 불순물 성분의 최대 삭감 효과를 얻을 수 있다. 덧붙여, 외기처리공조기에서 최소 가습시의 가열원으로서, 순환공기처리공조기에서 사용한 귀환 냉수를 이용하도록 하였으므로, 결과적으로 CR내의 배출열을 이용할 수 있으며, 가열 에너지의 더 많은 삭감을 달성할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 공기정화 공조장치 및 공기정화 공조방법에 따르면, 종래 필요로 하던 가습을 위한 가열 에너지를 절약할 수 있음과 동시에, 동량의 냉각 부하 처리 에너지도 절약할 수 있다.

또한, 본 발명의 공기정화 공조장치에 따르면, 가습량에 관계없이 항상 CR 설정 이슬점 온도 이상으로 기액접촉부에서 가습하고, 그 뒤의 냉각 제습부에서 설정 이슬점 온도까지 제습함으로써, 항상 일정한 이슬점 온도로 제어할 수 있다.

게다가, 본 발명의 공기정화 공조장치 및 공기정화 공조방법에서는 이와 같은 일정 이슬점 온도로의 제어뿐만 아니라, 처리 공기중의 가용성 가스 불순물 성분의 제거도 수행할 수 있기 때문에, 종래부터 가용성 가스 불순문 성분의 제거에 사용되고 있는 고가이면서 정기적으로 교환할 필요가 있는 케미컬필터를 사용할 필요가 없어지기 때문에 대폭적인 운영비의 저감을 달성할 수 있다.

또한, 본 발명의 공기정화 공조장치 및 공기정화 공조방법에 따르면, 종래 외기 처리계에서 필요로 하던 가열 에너지의 대폭적인 삭감을 달성할 수 있고, 외기의 가열을 삭감한 분만큼, 공급 외기의 냉각 능력이 증가하기 때문에 순환공기처리공조기에서 사용하는 냉각 에너지도 절약할 수 있다.

Claims (13)

1. 공기흐름을 형성하는 송풍기와, 상기 공기흐름의 경로내에 배치되며, 기액 접촉에 의한 가습 및 가용성 가스 불순물 성분의 1차 제거를 수행하는 에어워셔와, 및 이 에어워셔의 하류에, 상기 에어워셔에서 처리된 공기의 냉각을 수행하고 상기 에어워셔에서 가습한 수분의 일부 제습 및 가용성 가스 불순물 성분의 2차 제거를 수행하는 냉각제습정화부를 구비하여 된 순환공기처리공조기를 포함하는 공기정화 공조장치에 있어서,

   상기 공기정화 공조장치가, 상기 순환공기처리공조기의 상기 냉각제습정화부에서 나오는 처리 공기의 온도를 소정 온도 또는 이슬점으로 제어하는 습도제어장치를 구비하고, 이 제어 장치에 따른 상기 냉각제습정화부의 처리 공기 온도 또는 이슬점의 제어에 의해 상기 공기 순환계의 상대 습도 혹은 절대 습도를 조정하는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조장치.
2. 연간 냉방 설비인 공기정화 공조장치에 있어서,

   실내에 공급하는 외기에 대해 가용성 가스 불순물의 제거 처리 및 가습 처리가 가능한 에어워셔를 구비함과 동시에 온도를 제어하는 외기처리공조기와,

   상기 실내를 순환하는 순환 공기에 대해 가용성 가스 불순물의 제거 처리 및 가습 처리가 가능한 에어워셔, 및 이 에어워셔에서 처리된 공기의 냉각을 수행하고, 상기 에어워셔에서 가습한 수분의 일부 제습 및 가용성 가스 불순물 성분의 2차 제거를 수행하는 냉각제습정화부를 구비함과 동시에 온도 제어를 수행하는 순환공기처리공조기로 구성되는 공기정화 공조장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 공기정화 공조장치가, 상기 순환공기처리공조기의 상기 냉각제습정화부에서 나오는 처리 공기량을 제어하는 풍량제어장치를 더 구비하며, 이 풍량제어장치에 의한 상기 냉각제습정화부의 처리공기량 제어에 따라 상기 공기순환계의 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 냉각제습 정화부에는 냉수가 도입되며, 상기 습도제어장치가, 상기 순환공기처리공조기로 보내는 냉수량을 제어하고, 이 습도 제어는 상기 풍량제어장치에 의한 실온 제어와 독립적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조장치.
5. 제 1 항 내지 제 4 항들 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 순환공기처리공조기의 상기 에어워셔에서의 가습용 열 에너지원으로서, 상기 공기순환계로부터 발생하는 배출열을, 상기 순환공기를 통해 이용하는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조장치.
6. 제 2 항에 있어서,

   상기 외기처리공조기가, 가습기의 외기 예열 혹은 재열 열원으로서, 상기 순환공기처리공조기의 배출열을 이용하는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조장치.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 순환공기처리공조기의 배출열을 이용하는 수단으로서, 상기 순환공기처리공조기에서 냉각 제습에 이용한 물을 사용하는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조장치.
8. 제 2 항 내지 제 7 항들 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 외기처리공조기의 상기 에어워셔 및 상기 순환공기처리공조기의 상기 에어워셔 중 어느 한 쪽 또는 양쪽에서 발생하는 가용성 가스 불순물 제거처리수의 pH값을 소정 범위내로 제어해야하는 과잉 극성의 이온 성분을 제거하는 이온성분제거장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조장치.
9. 실내에 공급하는 외기에 대해 가용성 가스 불순물의 제거 처리 및 가습 처리가 가능한 에어워셔를 구비하며 온도를 제어하는 외기처리공조기와, 상기 실내를 순환하는 순환 공기에 대해 가용성 가스 불순물의 제거 처리 및 가습 처리가 가능한 에어워셔를 구비하며 온도를 제어하는 순환공기처리공조기로 구성되는 연간 냉방 설비인 공기정화 공조장치에 있어서,

   가습기의 상기 외기처리공조기에서의 가습량을, 처리수의 동결을 방지할 수있는 범위내에서 저온 처리함으로써 최소량으로 억제하며, 가습기의 부족 가습분을 상기 순환공기처리공조기의 상기 에어워셔에 의한 가습으로 보충하는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조방법.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 외기처리공조기에서 가습기의 외기 예열 혹은 재열 열원으로서, 상기 순환공기처리공조기의 배출열을 이용하는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조방법.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 순환공기처리공조기의 배출열을 이용하는 수단으로서, 상기 순환공기처리공조기에서 냉각 제습에 이용한 물을 사용하는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조방법.
12. 제 9 항 내지 제 11 항들 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 순환공기처리공조기의 제어방법으로서, 실온 제어를 상기 순환공기처리공조기의 처리풍량에 의해, 또 습도를 상기순환공기처리공조기로 보내는 냉수량에 의해, 각각 독립적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조방법.
13. 제 9 항 내지 제 12 항들 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 외기처리공조기의 상기 에어워셔 및 상기 순환공기처리공조기의 상기에어워셔 중 어느 한쪽 또는 양쪽에서의 발생하는 가용성 가스 불순물 제거 처리수의 과잉 극성 이온 성분을 제거하여 그 가용성 가스 불순물 제거 처리수의 pH값을 소정의 범위내로 제어하는 것을 특징으로 하는 공기정화 공조방법.