KR200158382Y1 - 웨이퍼 홀더의 구조 - Google Patents
웨이퍼 홀더의 구조Info
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Abstract
본 고안은 웨이퍼 홀더의 실린더 하부사이에 탄성부재가 내장되므로써, 웨이퍼의 로딩시 링척이 상승하여 웨이퍼가 히터블록스테이지에 접촉됨과 동시에 탄성부재가 팽창하여 웨이퍼 가장자리가 파손될 우려가 없을 뿐만 아니라, 스퍼터링 전후로 웨이퍼 홀더가 수평 및 수직위치로 동작전환을 하는 동안에도 웨이퍼가 히터 블록스테이지에서 이탈되지 않고 고정되어 있으며, 웨이퍼내의 국부적으로 스퍼터링이 되지 않는 현상을 방지할 수 있으므로 인해 장비의 효율성 및 신뢰성을 향상시킨 것이다.
이를 위해, 본 고안은 웨이퍼홀더(1)의 몸체내 하부측에 각각 삽이된 실린더(3)와, 각 실린더(3)내로 각각 승강가능하도록 설치된 로드(30)와, 상기 각 로드와 결합된 상태로써 웨이퍼(2)가 놓여지는 링척(4)과, 상기 로드의 상승에 의해 링척(4)에 놓여진 웨이퍼(2)가 접촉하는 히터블록스테이지(5)를 구비하여서 된 것에 있어서, 상기 로드를 최소 상,하 두개 이상의 부재(31)(32)로 각각 분할하고, 상기 분할된 각 로드의 부재(31)(32) 사이에는 웨이퍼(2)가 히터블록스테이지(5)에 접촉시 늘어나면서 이에 반하는 탄성력을 발생시키도록 스프링등과 같은 탄성부재(33)를 결합하여서 됨을 특징으로 하는 웨이퍼 홀더의 구조이다.
Description
본 고안은 웨이퍼 홀더(Wafer Holder)의 구조에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼를 스퍼터링 하는 웨이퍼 홀더상에 웨이퍼를 로딩 및 언로딩시 웨이퍼가 이탈 및 파손되는 것을 방지할 수 있도록 한 것이다.
종래의 웨이퍼 홀더로 웨이퍼를 스퍼터링 할 때에는 우선, 제1(a)도와 같은 상태에서 링척(4) 상부에 웨이퍼(2)가 놓여진다.
이후, 상기 링척(4)에 결합된 로드(Rod)(3a)가 도시하지 않은 별도의 이송수단에 의해 실린더(3)내로 삽입되고, 이와 같은 로드(3a)의 상승에 의해 웨이퍼(2)가 놓여진 링척(4) 역시 상승을 하게 된다.
이와 같이 하여 웨이퍼(2)가 웨이퍼홀더(1a)에 고정되면 스퍼터링을 행하기 위해 제1(b)도와 같이 웨이퍼홀더(1a)가 수평상태에서 수직으로 90회전을 하게 되며, 스퍼터링을 끝마치면 다시 웨이퍼홀더(1a)는 수직상태에서 제1(a)도와 같이 수평상태로 90회전을 한 후 상기 링척(4)이 하강하므로 웨이퍼(2)는 웨이퍼홀더(1a)로부터 이탈하게 되며, 링척(4)위에 놓여있던 웨이퍼(2)는 언로딩하게 된다.
상기와 같은 과정중 웨이퍼(2)가 링척(4)에 로딩된 후 로드(3a)의 상승에 따른 링척(4)이 상승할 때 웨이퍼(2)는 상기와 같은 링척(4)의 상승에 의해 웨이퍼홀더(1a) 하부중앙의 히터블록스테이지(5)에 놓이게 되는데, 이 경우 상기 링척(4)이 상승하는 힘에 의해 웨이퍼(2)가 히터블록스테이지(5)에 부딪쳐서 웨이퍼(2)의 가장자리가 파손되거나, 혹은 링척(4)이 상승하는 동안 각 로드(3a)의 좌,우 레벨이 맞지 않아서 웨이퍼(2)의 어느 한쪽이 먼저 상기 히터블록스테이지(5)에 접촉되므로써 웨이퍼(2)의 가장자리가 파손됨에 따라 이를 보완하기 위해 히터블록스테이지(5) 양측의 웨이퍼홀더(1a)에 스톱퍼(7)를 설치하여 2~4의 갭을 유지시키게 된다.
그러나, 이와같은 종래의 웨이퍼홀더(1a)는 히터블록스테이지(5)와 스톱퍼(7)와의 갭으로 인해 웨이퍼(2)가 히터블록스테이지(5)에서 이탈되어 그 부분이 스퍼터링이 되지 않게 되며, 이러한 경우에는 스퍼터링 완료 후 언로딩을 하기 위하여 수직위치에서 수평위치로 90회전할 때 웨이퍼의 파손, 불량 및 장비의 다운 타임이 발생하게 되는 등의 많은 문제점이 있었다.
본 고안은 상기한 제반문제점을 해결하기 위한것으로써, 본 고안은 웨이퍼를 스퍼터링하는 웨이퍼 홀더상에 웨이퍼를 로딩 및 언로딩시 웨이퍼가 이탈 및 파손되는 것을 방지할 수 있어서 장비의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 홀더의 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 고안은 웨이퍼홀더의 몸체내 하부측에 각각 삽입된 실린더와, 각 실린더내로 각각 승강가능하도록 설치된 로드와, 상기 각 로드와 결합된 상태로써 웨이퍼가 놓여지는 링척과, 상기 로드의 상승에 의해 링척에 놓여진 웨이퍼가 접촉하는 히터블록스테이지를 구비하여서 된 것에 있어서, 상기 로드를 최소 상,하 두개 이상의 부재로 각각 분할하고, 상기 분할된 각 로드의 부재 사이에는 웨이퍼가 히터블록스테이지에 접촉시 늘어나면서 이에 반하는 탄성력을 발생하도록 스프링등과 같은 탄성부재를 결합하여서 됨을 특징으로 하는 웨이퍼 홀더의 구조가 제공된다.
제1도는 종래의 웨이퍼 홀더를 나타낸 종단면도로서,
제1(a)도는 웨이퍼를 로딩 및 언로딩시의 상태도.
제1(b)도는 웨이퍼를 스퍼터링시의 상태도.
제2도는 본 고안을 나탄내 종단면도.
제3도는 제2도의 A부분 확대도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 웨이퍼홀더 2 : 웨이퍼
3 : 실린더 30 : 로드
31 : 상부로드 32 : 하부로드
33 : 탄성부재
이하, 본 고안의 일실시예를 첨부도면 제2도 및 제3도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
제2도는 본 고안을 나타낸 종단면도이고, 제3도는 제2도의 A부분 확대도로서, 웨이퍼홀더(1)의 하부에는 웨이퍼(2)의 로딩 및 언로딩시 웨이퍼홀더(1)의 실린더(3)내로 승강하는 로드(30)를 최소 상부 및 하부의 두 개 부재(31)(32)로 분할 형성하고, 상기 분할 형성된 상부로드(31) 및 하부로드(32)의 사이에는 탄성부재(33)를 삽입하여 두 로드(31)(32)를 서로 연결하며, 상기 하부로드(32)의 끝단에는 링척(4)을 설치한다.
이때, 상기 로드의 분할은 전술한 바와 같이 다수의 부재로 분할하여도 상관은 없으나 바람직 하기로는 상부 및 하부 두개의 부재로만 분할하는 것이 그 작동의 정확함을 얻을 수 있고, 상기 탄성부재는 링척(4)이 상승하여 웨이퍼(2)가 히터블록스테이지(5)에 접촉할 경우 탄력을 발생시키면서 늘어나는 스프링 등과 같은 부재로 구성하는 것이 바람직하다.
이와같이 구성된 본 고안의 작용을 도시한 제2도 및 제3도를 참조하여 더욱 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
우선, 웨이퍼홀더(1)의 링척(4) 상부에 웨이퍼(2)가 로딩된 상태에서 스퍼터링을 행하기 위하여 로드(30)가 실린더(3)측으로 상승하면서 상기 로드와 결합된 링척(4)을 상승시키게 된다.
이에 따라 상기 링척에 놓여져 있는 웨이퍼(2)는 웨이퍼홀더(1) 하부중앙의 히터블록스테이지(5)에 접촉함과 함께 게속적인 로드(20)의 상승에 따라 링척(4)에 놓여있는 웨이퍼(2)는 히터블록스테이지(5)에 점착적으로 그 밀착이 가중화된다.
하지만 이 때에는 두 개의 상,하부로드(31)(32) 사이에 탄성부재(33)가 삽입되어 있으므로 인해 소정의 힘 즉, 탄성부재(30)가 가지고 있는 탄성력의 범위를 벗어나게 되면 더 이상 웨이퍼(2)와 히터블록스테이지(5)간의 밀착은 이루어지지 않게 됨과 함께 상기 탄성부재의 팽창만이 이루어지게 된다.
즉, 로드(30)가 실린더(3) 내로 삽입되면서 상승하는 동안 웨이퍼(2)와 히터블록스테이지(5)와의 접촉이 이루어지더라도 상기 로드는 계속적으로 상승하게 되지만 상기 로드를 구성하는 상,하부로드(31)(32) 사이의 탄성부재(33)가 그 탄성력을 발휘하면서 늘어남에 따라 상부로드(31)는 계속적인 상승을 행하지만 하부로드(32)는 더 이상의 상승이 이루어지지 않게 된다.
이에 따라 상기 웨이퍼는 히터블록스테이지(5)와 밀착된 상태를 이루게 되지만 그 밀착되는 힘은 탄성부재(33)의 탄성력에 의해 완화된 상태로써 적절히 이루어질 수 있게 되어 스퍼터링을 하기 위하여 웨이퍼홀더(1)가 수평위치에서 수직위치로 90회전하는 경우와 스퍼터링 완료후 수직위치에서 수평위치로 90회전하는 동안에도 웨이퍼(2)를 안전하게 상기 히터블록스테이지(5)상에 안전한 상태로써 고정시킬 수 있게 됨은 이해 가능하다.
이상에서와 같이, 본 고안은 웨이퍼홀더(1)의 실린더(2) 하부사이에 탄성부재(33)가 내장되므로써, 웨이퍼(2)의 로딩시 링척(4)이 상승하여 웨이퍼(2)가 히터블록스테이지(5)에 접촉됨과 동시에 탄성부재(33)가 팽창하여 웨이퍼(2)의 가장자리 파손을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 스퍼터링 전후로 웨이퍼홀더(1)가 수평 및 수직위치로 동작전환을 하는 동안에도 웨이퍼(2)가 히터블록스테이지(5)에서 이탈되지 않고 고정되어 있어서 웨이퍼(2)가 국부적으로 스퍼터링 되지 않는 현상을 방지할 수 있으므로 인해 장비의 효율성 및 신뢰성을 향상시킨 유용한 고안이다.
Claims (1)
- 웨이퍼홀더의 몸체내 하부측에 각각 삽입된 실린더와, 상기 각 실린더내로 각각 승강가능하도록 설치된 로드와, 상기 각 로드와 결합된 상태로써 웨이퍼가 놓여지는 링척과, 상기 로드의 상승에 의해 링척에 놓여진 웨이퍼가 접촉하는 히터블록스테이지를 구비하여서 된 것에 있어서, 상기 로드를 최소 상,하 두개 이상의 부재로 각각 분할하고, 상기 분할된 각 로드의 부재 사이에는 웨이퍼가 히터블록스테이지에 접촉시 늘어나면서 이에 반하는 탄성력을 발생시키도록 스프링등과 같은 탄성부재를 결합하여서 됨을 특징으로 하는 웨이퍼 홀더의 구조.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960003858U KR200158382Y1 (ko) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 웨이퍼 홀더의 구조 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960003858U KR200158382Y1 (ko) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 웨이퍼 홀더의 구조 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940023570U KR940023570U (ko) | 1994-10-22 |
| KR200158382Y1 true KR200158382Y1 (ko) | 1999-10-15 |
Family
ID=19352153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019960003858U KR200158382Y1 (ko) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 웨이퍼 홀더의 구조 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200158382Y1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101183717B1 (ko) * | 2009-02-16 | 2012-09-17 | 캐논 아네르바 가부시키가이샤 | 트레이, 트레이 지지 부재 및 진공 처리 장치 |
-
1993
- 1993-03-16 KR KR2019960003858U patent/KR200158382Y1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101183717B1 (ko) * | 2009-02-16 | 2012-09-17 | 캐논 아네르바 가부시키가이샤 | 트레이, 트레이 지지 부재 및 진공 처리 장치 |
| US8470128B2 (en) | 2009-02-16 | 2013-06-25 | Canon Anelva Corporation | Tray, tray support member, and vacuum processing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940023570U (ko) | 1994-10-22 |
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