KR0132416Y1 - 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링(11)에 관한 것으로, 가압면(11b)의 웨이퍼 누름 각도를 1° 20’이하로 비교적 작게 하고, 그 가압면(11b)과 경사 지지면(11d)이 만나는 모서리 부위의 곡률을 RO.3 MAX 비교적 크게 하여, 웨이퍼를 스크래치 없이 보다 안정하게 클램핑하도록 한 것이다.

Description

웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링
제1도는 종래 기술에 의한 옥사이드 에처장비의 캐소우드부 및 애노드부의 정단면도.
제2도의 (a) 및 (b)는 종래 기술에 의한 웨이퍼 클램프 링의 평면도 및 저면도.
제3도는 제2도 (b)의 A-A선 단면도.
제4도는 제3도의 B부 확대도.
제5도의 (a) 및 (b)는 본 고안에 의한 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링의 평면도 및 저면도.
제6도는 제5도 (b)의 C-C선 단면도.
제7도는 제6도의 D선 확대도.
제8도는 제7도의 E부 확대도.
제9도는 제5도 (a)의 F-F선 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링
11a : 중공 11b : 가압면
11c : 가압부 11d : 경사 지지면
본 고안은 옥사이드 에처장비(oxide etcher)의 웨이퍼 스트래치(wafer scratch) 방지용 클램프 링(clamp ring)에 관한 것으로, 특히 웨이퍼를 스크래치 없이 보다 안정하게 클램핑할 수 있게 한 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링에 관한 것이다.
종래 기술에 의한 옥사이드 에처(oxide etcher) 장비의 일례로서 TE 8500 옥사이드 에처가 알려지고 있다.
알려진 바와 같은 옥사이드 에처는, 제1도에 도시한 바와 같이, 세라믹(ceramic) 재질의 웨이퍼 클램프 링(1)이 장착된 캐소우드부(cathode part)(2)와, 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 척(3)이 구비되고 상,하 방향으로 승강 운동을 하는 애노드부(anode part)(4)로 구성되어 있다.
상기 웨이퍼 클램프 링(1)은, 공정 챔버(chamber) 내의 웨이퍼 로딩후, 공정중에 웨이퍼의 무빙(moving) 방지 및 RF 파워(power)에 의한 웨이퍼 버닝(burning) 방지를 위한 헬륨 리크(helium leak)를 최소로 줄이기 위하여 웨이퍼를 눌러주는 조임쇠 역할을 한다.
상기 웨이퍼 클램프 링(1)의 형상을 보다 상세하게 설명하면, 제2도 내지 제4도에 도시한 바와 같이, 중간부에 중공(1a)이 형성되어 있고, 그 중공(1a)의 내주연부에 웨이퍼의 상면 주연부를 누르는 가압면(1b)이 형성된 환상(環狀)의 가압부(1c)가 형성되어 있으며, 그 가압부(1c)의 하측 주연부에는 웨이퍼의 외주면이 지지되는 경사 지지면(1d)이 형성되어 있다.
상기한 종래 기술에 의한 옥사이드 에처는, 먼저 캐소우드부(2)의 하부에 웨이퍼 클램프 링(1)을 장착하고, 애노드부(4)의 웨이퍼 척(3)에 웨이퍼를 정확하게 안착한 다음, 상기 애노드부(4)를 통상적인 구동원에 의하여 상승시키게 되면, 애노드부(4)의 웨이퍼 척(3)에 안착된 웨이퍼가 캐소우드부(2)의 웨이퍼 클램프 링(1)에 의하여 눌려지게 됨으로써 공정중의 헬륨 리크를 최소로 줄이게 된다.
그러나, 상기와 같은 종래 기술에 의한 옥사이드 에처의 웨이퍼 클램프 링(1)를 이용하여 웨이퍼를 클램핑함에 있어서는, 제4도에 도시한 바와 같이, 웨이퍼를 눌러주는 가압면(1b)의 각도가 1° 30’로서 비교적 클 뿐만 아니라, 그 가압면(1b)과 경사 지지면(1d)이 만나는 모서리 부위의 곡률이 RO.05 - 0.08MAX로 비교적 작아 웨이퍼의 클램핑시, 웨이퍼의 상면 주연부 및 외주면, 즉 웨이퍼의 플랫 존(flat zone) 및 에지(edge) 부분이 스크래지(scratch)를 일으켜 손상을 입게 되는 문제점이 있었다.
본 고안의 목적은 웨이퍼의 클램핑시, 웨이퍼의 스크래치에 의한 손상을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링을 제공함에 있다.
상기한 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 가압면의 웨이퍼 누름 각도를 1° 20’이하로 비교적 작게 하고, 그 가압면과 경사 지지면이 만나는 모서리 부위의 곡률을 RO.3 MAX로 비교적 크게 하여 구성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링이 제공된다.
이하, 본 고안에 의한 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링을 첨부도면에 도시한 실시례에 따라서 설명하면 다음과 같다.
제5도의 (a) 및 (b)는 본 고안에 의한 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링의 평면도 및 저면도이고, 제6도는 제5도 (b) C-C선 단면도이며, 제7도는 제6도의 D선 확대도이고, 제8도는 제7도의 E부 확대도이며, 제9도는 제5도 (a)의 F-F선 단면도이다.
이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링(11)은, 중간부에 중공(11a)이 형성되어 있고, 그 중공(11a)의 내주연부에 웨이퍼의 상면 주연부를 누르는 가압면(11b)이 형성된 환상(環狀)의 가압부(11c)가 형성되어 있으며, 그 가압부(11c)의 하측 주연부에는 웨이퍼의 외주면이 지지되는 경사 지지면(11d)이 형성된 전체적인 형상은 기존의 웨치퍼 클램프 링의 형상과 동일하다.
본 발명에 의한 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링(11)은, 상기 가압면(11b)의 웨이퍼 누름 각도를 1° 20’이하로 비교적 작게 하고, 그 가압면(11b)과 경사 지지면(11d)이 만나는 모서리 부위의 곡률을 RO.3 MAX로 비교적 크게 하여 구성한 것이다.
이와 같이 구성되는 본 고안에 의한 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링(11)은, 가압면(11b)의 웨이퍼 누름 각도가 1° 20’이하로 비교적 작게 형성되어 하고, 그 가압면(11b)과 경사 지지면(11d)이 만나는 모서리 부위의 곡률을 RO.3 MAX로 비교적 크게 형성되어 있으므로, 그 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링(11)을 제1도에 도시한 캐소우드부(2)의 하부에 장착하고, 애노드부(4)의 웨이퍼 척(3)에 웨이퍼를 정확하게 안착한 다음, 상기 애노드부(4)를 통상적인 구동원에 의하여 상승시키게 되면, 애노드부(4)의 웨이퍼 척(3)에 안착된 웨이퍼의 상면 주연부가 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링(11)의 가압면(11b)에 압착되는 동시에, 가압면(11b)과 경사 지지면(11d)이 만나서 이루는 모서리 부위에 웨이퍼의 외주면이 안착됨으로서 웨이퍼를 스크래치 없이 보다 안정하게 클램핑하게 되는 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 스크래치 방지용 클램프 링은, 웨이퍼 가압면의 웨이퍼 누름 각도를 1° 20’이하로 비교적 작게 하고, 그 가압면과 경사 지지면이 만나는 모서리 부위의 곡률을 RO.3 MAX로 비교적 크게 하여, 웨이퍼의 클램핑시, 웨이퍼의 스크래치에 의한 손상을 방지하는 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 가압면(11b)의 웨이퍼 누름 각도를 1° 20’이하로 비교적 작게 하고, 그 가압면(11b)과 경사 지지면(11d)이 만나는 모서리 부위의 곡률을 RO.3 MAX 비교적 크게 하여 구성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스크래치 방지용 클램핑 링.
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