CN218036465U - 一种芯片外观光学检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种芯片外观光学检测装置，包括：支撑架，包括底板，在底板的侧边设置有多根竖直的支撑杆，在支撑杆的上方设置有芯片放置台，所述芯片放置台设有中空的放置槽；光学显微镜，位于所述支撑架的内部，通过连接杆与所述支撑杆连接，且所述光学显微镜的镜头正对所述放置槽；本实用新型设置有芯片放置台，还设置有用于将芯片翻转的翻转装置，翻转装置包括推动气缸、旋转气缸和夹持部，推动气缸驱动夹持部靠近芯片，夹持住芯片后，通过旋转气缸将芯片转动180度，再松开夹持部，将芯片放回原位，推动气缸复位，完成对芯片的自动翻转，在此过程中，无需对芯片进行转移，有效避免了芯片在转移过程中受污染和损坏的问题。

Description

一种芯片外观光学检测装置

技术领域

本实用新型涉及芯片检测技术领域，尤其涉及一种芯片外观光学检测装置。

背景技术

国内半导体行业起步较晚，晶圆芯片产品外观检测通常采用的是光学检测的方式，芯片的上下表面均需要进行外观检测，现有对芯片上下面检测需要将芯片放置在不同的工位上进行观察，因此需要对芯片进行转移，然而芯片在转移过程中容易受到污染或损坏。

因此，需要设计一种芯片外观光学检测装置以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种芯片外观光学检测装置，用于解决现有技术中对芯片外观测试过程中，需要对芯片转移至不同工位上进行观察，容易对芯片造成污染或损坏的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供以下技术方案：芯片外观光学检测装置，包括：

支撑架，包括底板，在底板的侧边设置有多根竖直的支撑杆，在支撑杆的上方设置有芯片放置台，所述芯片放置台设有中空的放置槽；

光学显微镜，位于所述支撑架的内部，通过连接杆与所述支撑杆连接，且所述光学显微镜的镜头正对所述放置槽；

翻转装置，外设于所述支撑架，包括依次设置的推动气缸、旋转气缸和夹持部，所述芯片放置台设有供夹持部翻转的缺口。

进一步的，所述夹持部的夹持面设置有柔性垫片。

进一步的，所述柔性垫片由聚氨酯材料制成。

进一步的，所述夹持部包括第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板分别连接于双向驱动气缸的两个输出端。

进一步的，所述连接杆可滑动连接于所述支撑杆，通过调节连接杆的高度实现对光学显微镜焦距的调节。

进一步的，在所述芯片放置台的下方设置环形光源，所述环形光源的光束朝向放置槽。

进一步的，所述支撑杆的数量为三根，且三根支撑杆呈三角形布置。

与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：

本实用新型设置有芯片放置台，还设置有用于将芯片翻转的翻转装置，翻转装置包括推动气缸、旋转气缸和夹持部，推动气缸驱动夹持部靠近芯片，夹持住芯片后，通过旋转气缸将芯片转动180度，再松开夹持部，将芯片放回原位，推动气缸复位，完成对芯片的自动翻转，在此过程中，无需对芯片进行转移，有效避免了芯片在转移过程中受污染和损坏的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例的整体结构示意图；

图2是本实用新型实施中翻转装置的示意图；

图3是图2中A处的放大图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。可以理解的是，附图仅仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。附图中显示的连接关系仅仅是为了便于清晰描述，并不限定连接方式。

需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件时，它可以是直接连接到另一个组件，或者可能同时存在居中组件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

还需要说明的是，本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

本申请公开了一种芯片外观光学检测装置，旨在解决现有技术在在外观检测转移过程中容易对芯片造成污染和损坏的问题。

请参阅图1至图3，芯片外观光学检测装置，包括：

支撑架100，其包括底板101，在底板101的侧边设置有多根竖直的支撑杆102，在支撑杆102的上方设置有芯片放置台200，所述芯片放置台200设有中空的放置槽201；

光学显微镜300，位于所述支撑架100的内部，通过连接杆301与所述支撑杆102连接，且所述光学显微镜300的镜头正对所述放置槽201，用于对放置槽上的芯片进行外观检测；

翻转装置400，外设于所述支撑架100，其包括依次设置的推动气缸401、旋转气缸402和夹持部403，所述芯片放置台200设有供夹持部403翻转的缺口202，夹持部在缺口处翻转后，通过推动气缸的驱动，将芯片重新放置在放置槽201上，完成对芯片的翻转。

在本实施例中，所述夹持部的夹持面设置有柔性垫片4033，具体的，所述柔性垫片4033由聚氨酯材料制成，聚氨酯材料弹性好，耐磨，在对芯片夹持时不易对芯片产生损坏。

如图2和图3所示，所述夹持部403包括第一夹板4031和第二夹板4032，所述第一夹板4031和所述第二夹板4032分别连接于双向驱动气缸4034的两个输出端，双向驱动气缸的运行更加稳定。

在本实施例子，所述连接杆301可滑动连接于所述支撑杆102，通过调节连接杆301的高度实现对光学显微镜300焦距的调节。

如图1所示，在所述芯片放置台200的下方设置环形光源，所述环形光源的光束朝向放置槽，提高了观察芯片的亮度，可以检测得更加仔细。

在本实施例子，所述支撑杆102的数量为三根，且三根支撑杆呈三角形布置，使其结构更加稳定。

在使用时，先将芯片放置在放置槽201上，光学显微镜300检测芯片的外观是否存在瑕疵，检测完毕后，通过翻转装置400，将芯片翻转至另一面，光学显微镜300检测芯片的另一一面，在检测芯片不同面的外观时，无需对芯片的工作进行转移，有效避免了芯片在转移过程中受污染、损坏的问题。

本申请的说明书和权利要求书中，词语“包括/包含”和词语“具有/包括”及其变形，用于指定所陈述的特征、数值、步骤或部件的存在，但不排除存在或添加一个或多个其他特征、数值、步骤、部件或它们的组合。

本实用新型的一些特征，为阐述清晰，分别在不同的实施例中描述，然而，这些特征也可以结合于单一实施例中描述。相反，本实用新型的一些特征，为简要起见，仅在单一实施例中描述，然而，这些特征也可以单独或以任何合适的组合于不同的实施例中描述。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包括在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种芯片外观光学检测装置，其特征在于，包括：

支撑架，包括底板，在底板的侧边设置有多根竖直的支撑杆，在支撑杆的上方设置有芯片放置台，所述芯片放置台设有中空的放置槽；

光学显微镜，位于所述支撑架的内部，通过连接杆与所述支撑杆连接，且所述光学显微镜的镜头正对所述放置槽；

翻转装置，外设于所述支撑架，包括依次设置的推动气缸、旋转气缸和夹持部，所述芯片放置台设有供夹持部翻转的缺口。

2.根据权利要求1所述的芯片外观光学检测装置，其特征在于，所述夹持部的夹持面设置有柔性垫片。

3.根据权利要求2所述的芯片外观光学检测装置，其特征在于，所述柔性垫片由聚氨酯材料制成。

4.根据权利要求1所述的芯片外观光学检测装置，其特征在于，所述夹持部包括第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板分别连接于双向驱动气缸的两个输出端。

5.根据权利要求1至4任一所述的芯片外观光学检测装置，其特征在于，所述连接杆可滑动连接于所述支撑杆，通过调节连接杆的高度实现对光学显微镜焦距的调节。

6.根据权利要求1至4任一所述的芯片外观光学检测装置，其特征在于，在所述芯片放置台的下方设置环形光源，所述环形光源的光束朝向放置槽。

7.根据权利要求1至4任一所述的芯片外观光学检测装置，其特征在于，所述支撑杆的数量为三根，且三根支撑杆呈三角形布置。

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