KR200148906Y1 - 레이저 마킹기의 소재 공급장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체의 제조공정중에서도 제조되는 반도체 IC의 표면에 제조처 및 제품의 성능, 또는 상품명등율 레이저로 표시하기 위하여 사용되는 자동화된 레이저 마킹시스템에 있어 소재를 레이저 마킹공정라인으로 하나씩 자동으로 공급하도록 하는 것이며, 특히 공급되는 소재를 여러부분에서 흡착고정하여 정확하고도 안정되게 공급하도록 함으로서 오작동에 따른 불량률을 줄이도록 함과 동시에 생산성을 향상시키도록 한 레이저 마킹기의 소재 공급장치에 관한 것으로, 이는 레이저 마킹기의 프레임에 고정설치되고 실린더(120)의 작동에 의해 승강작동되면서 직사각형의 함체형상으로 구비되고, 그 일측에는 별도의 에어콤프레샤와 연결되어 공기를 흡입하는 흡입호우스(131)가 구비되며, 내부에는 상기 홉입호우스(131)와 연통되는 공기안내실(132) 및 이의 양측면에 한쌍의 고정턱(133)을 갖춘 작동부재(130)와; 상기 작동부재(130)의 저면 개구부를 통해 슬라이드식으로 삽탈되면서 고정턱(133)에 의해 고정설치되고 저면에는 공기안내실(132)과 연통되는 다수개의 공기흡입공(141)을 등간격으로 갖춘 흡착부재(140);로 구성된 것이다.

Description

레이저 마킹기의 소재 공급장치

제 1 도는 레이저 마킹기에 있어 종래의 소재 공급장치을 보인 구성도.

제 2도는 본 고안에 관한 소재 공급장치를 보인 정면구성도.

제 3 도는 본 고안에 관한 소재 공급장치를 보인 측면구성도.

제 4 도는 본 고안의 요부의 구성을 보인 분리사시도.

제 5도는 본 고안 제4도의 측단면결합구성도.

제 6도는 본 고안 제4도의 정단면결합구성도.

제 7도는 본 고안의 작동상태를 보인 구싱도로서, (a)는 작동전의 상태도이고, (b)는 작동되어 소재를 흡착한 상태도이며, (c)는 흡착된 소재를 가이드레일상에 안착시킨 상태도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

100 : 안착수단 110 : 지지대

120 : 실린더 121 : 피스톤로드

122 : 유입구 123 : 유출구

124 : 브라켓트 125 : 지지핀

126 : 완충스프링 130 : 작동부재

131 : 흡입호우스 132 : 안내실

133 : 고정턱 140 : 흡착부재

141 : 공기흡입공

본 고안은 례이저 마킹기의 소재 공급장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 반도체의 제조공정증에서도 제조되는 반도체 IC의 표면에 제조처 및 제품의 성능, 또는 상품명등을 레이저로 표시하기 위하여 사용되는 자동화된 레이저 마킹시스템에 있어 소재를 레이저 마킹공정라인으로 하나씩 자동으로 공급하도록 하는 것이며, 특히 공급되는 소재를 여러부분에서 흡착고정하여 정확하고도 안정되게 공급하도록 함으로서 오작동에 따른 불량률을 줄이도록 함과 동시에 생산성을 향상시키도록 한 것이다.

반도체 IC는 물론이고 트랜지스터등과 같은 각종 전자부품을 제조한 후에는 이의 표면에 제조처는 물론이고 제품의 성능 및 상품명등을 표시하는 것이 필연적으로 요구되고 있는 것이었고, 이에 따라 근래에는 레이저를 발진시켜 물품의 표면에 각종 표시내용을 각인하는 방법이 널리 사용되고 있는 것이었다. 상기와 같은 반도체등의 부품은 그 크기가 극히 소형이면서도 정밀한 부품으로서 취급의 주의를 요하는 것이기 때문에 대체적으로 자동화된 기계적인장치를 이용하여 마킹공정을 행하고 있는 것이었고, 이와 같은 자동화된 레이저 마킹기는 종래에도 이미 알려져 사용되고 있는 것이었다. 즉, 상기와 같은 레이저 마킹기의 공정과정은 크게 구분하여 별도의 공정라인에서 제조된 소재, 다시말해서 리드프레임에 집적된 회로를 보호하기 위하여 패키지 몰딩된 소재를 마킹공정라인으로 수직공급하는 공급공정과, 마킹공정라인에서 공급되는 소재를 레이저 발진기의 발진부재가 구비된 위치까지 수평 이송시키는 이송공정과, 상기 이송공정으로 이송된 소재의 표면상에 레이저를 발진시켜 설정된 각종 표시를 각인하는 각인공정과, 각인이 완료된 소재를 수평이송시켜 회수하는 회수공정으로 구성되어 있는 것이었다. 본 고안에서는 상기와 같은 레이저 마킹기에 있어서도 소재를 수직공급하는 공 급공정에 관한 것이고, 이는 다수개로 적층된 소재를 수평이송공정의 가이드 레일상에 하나씩 공급하기 위한 것으로서, 이러한 공겅으로 가이드 레일상에 공급되는 소재는 수평이송장치의 작동으로서 레이저 각인공정으로 이송된 다음 여기서 레이저의 발진으로 각종 내용이 각인되어 일련의 작동이 이루어지게 되는 것이다. 상기한 수평이송장치와 레이저 각인장치에 따른 구조는 본 출원인이 실용신안 등록출원 제94-34208호와 제94-34209호로서 선출원한 바 있다. 또한, 전술한 소재 공급공정에 따른 장치는 종래에도 이미 알려져 사용되고 있는 것이며, 이러한 종래의 소재 공급장치의 구성을 일예를 들어 살펴보면, 이는 첨부도면의 제1도에서 보는 바와 같다. 종래의 소재공급장치는 한쌍으로 이루어지는 가이드 레일(1)의 하부에 다수개의 소재가 적층된 상태에서 별도의 승강장치에 의해 공급되도록 구성되어 있고, 가이드 레일(1)의 직상부에는 공급되는 소재를 가이드레일(1)에 하나씩 안착시키는 안착수단(10)이 구비되어 있다. 또한, 상기 안착수단(10)은 가이드 레일(1)의 직상부 위치에 고정설치되는 것이며, 이는 상부에 전체를 상,하승강작동시키도록 하는 실린더(11)가 구비되어 있고, 이의 실린더(11)의 피스톤로드(12)에는 호울더(13)가 구비되어 있으며, 이의 호울더(13)에는 횡방향으로 설치되는 가이드봉(14)에 지지되어 좌,우슬라이드 작동되는 한쌍의 흡착부(15)(15a)가 구비되어 있다. 상기 흡착부(15)(15a)에는 가이드봉(14)을 따라 좌,우슬라이드 작동됨으로서 그 위치를 설정할 수 있도록 구성되어 있고, 이들의 하부에는 별도의 에어콤프레샤와 흡입호우스(16)와 연결되어 이의 작동에 의해 흡입력을 제공받는 흡착부재(17)가 각각 구비되어 있는 것이다.

따라서, 가이드 레일(1)의 하부에 구비되는 별도의 승강작동에 의해 다수개로 적 층된 소재들이 가이드 레일(1)의 하부 위치까지 공급되어지면, 안착수단(10)의 실린더(11)의 작동에 의해 호울더(13)가 소재의 상면까지 하강을 하게 되면서 양흡착부 (15)(15a)의 흡착부재(IT)가 각각 소재의 표면에 밀착되어 지는 것이고, 이때 에어 콤프레셔가 작동되어 공기를 흡입하게 됨으로서 이의 흡입력에 의해 하나의 소재가 흡착부재(17)들에 흡착되어 진다. 이같이 하나의 소재를 흡착한 안착수단(10)는 다시 상승하여 흡착된 소재를 양 가이드 레일(1)의 사이로 이송시켜 이들 사이에 안착시킨 후 원위치되어 지는 것이며, 계속해서 수평이송장치가 작동되어 소재를 가이드 레일(1)을 통해 레이저 각인 공정으로 이송시키게 되는 것이다.

그러나 이와 같은 종래의 소재공급장치에 있어서는 첨부된 도면에서도 보는 바 와 같이 소재를 흡착하는 흡착부재(15)(15a)가 각각 한쌍으로 구비되어 있고 또한 이들은 원통형의 소형으로 구비되어 있음에 따라 소재를 점접촉방식으로 흡착하게 됨으로서 소재를 정확하게 흡착하지 못하여 오작동이 밭생하게 되는 문제점이 있다. 즉, 소재는 패키지 몰딩된 부분이 등간격으로 여러개가 구비되어 있음에 따라 양흡착부재(17)가 정확히 이들 몰딩된 부분에 밀착되어져야만 소재를 파지할 수가 있게 되는 것이나, 두개의 흡착부재(17)중에 그 어느하나가 소재를 정확히 흡착하지 않을 경우에는 소재를 안정되게 파지하지 못하여 오작동이 발생되어 지는 문제점이 있는 것이었다. 특히, 소재의 전체길이와 몰딩된 부분의 위치에 따라서는 양흡착부재(17)의 위치를 정확히 셋팅하여야 하여야 하는 것이나, 이러한 셋팅작업이 번거럽고 까다로 물뿐아니라 공급되는 소재에 따라서는 매번 상기와 같은 셋팅작업을 행하여야 하는 등의 문제점이 있는 것이었다.

따라서 본 고안은 상기와 같은 문제점을 고려하여 이루어진 것으로, 그 목적은 레이저 마킹기에 있어 소재를 안정되고도 정확히 공급할 수 있도록 하여 오작동을 방지하면서도 소재의 일정 크기내에서는 별도의 셋팅작업을 행하지 않고도 사용이 가능하도록 하여 사용의 호환성을 갖도록 함은 물론 생산성을 향상시키도록 하는 레이저 마킹기의 소재공급장치를 제공함에 있다. 이러한 목적은 레이저 마킹기에 있어 소재를 공급하는 소재공급장치를 개선함 으로서 달성되는데, 즉, 그 구성을 간단히 하여 제조성을 좋게하면서도 작동을 단순화하고, 또한 소재를 흡착하는 흡착부재를 하나의 기다란 단일체로 구성하면서도 이의 흡착부재에 다수개의 공기흡입구멍을 구비하여서 소재를 전체적인 면으로 흡착하여 파지할 수 있도록 하는 것이 특징인 것이다.

계속해서 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 첨부도면의 제2도 및 제3도는 본 고안이 적응되는 레이저 마킹기의 소재 공급에 따른 구성을 상세히 보인 구성도로서, 이는 레이저 마킹기의 일측에 구비되어 다수개로 적층된 소재를 하나씩 공정라인으로 공급하도록 하는 장치를 나타내고 있다. 즉, 마킹기에 횡방향으로 설치되는 가이드 레일(1)(1a)의 일측 하부에는 별도의 공정에서 제조된 소재를 다수개로 적층하였다가 제어부의 신호에 따라 엘레베이터 방식이나 또는 실린더방식으로 그 상부의 가이드 래일(1)(1a)의 사이로 수직공급하게 되는 공급수단이 구비되어 있고, 상기 가이드 레일(1)(1a)의 상부에는 공급되는 소재를 하나씩 파지하여 가이드 레일(1)(1a)에 안착시키는 안착수단이 구비되어 있다. 본 고안은 이의 안착수단에 관한 것이며, 상기 안착수단은 도면의 부호 100으로 표시하고 있으며, 이의 안착수단(100)은 마킹기의 프레임에 고정설치되는 지지대(110)와, 상기 지지대(110)의 전단에 구비되는 실린더(120)와, 이의 실린더(120)의 피스톤로드(121)에 구비되어 승강작동되는 작동부재(130)로 구성되어 있다. 상기 실린더(120)는 공기압에 의해 작동되는 공압실린더로서, 이의 일측면에는 공기가 유입 및 유출되는 유입구(122)와 유출구(123)가 각각 구비되어 있고, 피스톤로드(121)에는 브라켓트(124)가 설치되어 있다. 또한 상기 브라켓트(124)의 하부에는 지지핀(125)에 의해 지지되는 작동부재 (130)가 구비되어 있음과 동시에 이들 사이에는 완층을 위한 완층스프링(126)이 체결되어 있다. 상기 작동부재(130)는 대략 직사각령의 함체형상으로 구비되면서도 그 일측에는 공기를 흡입하는 흡입호우스(131)가 연결되어 있다. 또한 상기 작동부재(130)는 그 하부가 개구되면서도 내부에는 공기를 안내하는 안내실(132)이 구비되어 있음과 동시에 하부 개구부의 양측면에는 후술할 흡착부재가 체결되어 고정되는 고정턱(133)이 구비되어 있다. 상기 흡착부재는 첨부도면의 제4도에서 더욱 상세히 나타내고 있으며 이의 도면에서 부호 140으로 표시하고 있다. 상기 흡착부재(140)는 대략 사각형상으로 구비되면서도 양측면에는 전술한 작동부재(130)의 양고정턱(133) 사이에 삽입되어 고정되는 것이고, 또한 이는 합성수지재질로 구성되면서 그 내부의 중심부에는 길이방향으로 다수개의 공기흡입공(141) 들이 등간격으로 천공되어 있는 것이다. 이때, 상기 흡착부재(140)는 하나의 실시예에 지나지 않는 것이며, 이에 구비되는 공기흡입공(141)의 갯수나 위치들을 달리하여 소재의 크기나 종류에 따라 교체 하여 사용할 수 있음은 당연하다 할 것이다.

이와 같이 구성되는 본 고안의 작용 및 효과를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설 명하면 다음과 같다. 본 고안은 통상에서와 같이 레이저 마킹기의 일측, 가이드 레일(1)(1a)의 상부 측에 설치되는 것으로서, 레이저 마킹기의 제어부의 신호에 따라 본 고안의 실린더 (120)가 작동되어 브라켓트(124)를 하강시키게 되고, 이에 따라 브라켓트(124)가 완충스프링(126)에 의해 환층되면서 작동부재(130)가 하강하여 양가이드 레일 (1)(1a)의 사이로 하강하여 위치를 잡게 된다. 이러한 상태에서 소재가 다수개로 적층된 공급수단이 작동하여 소재가 가이드 레일(1)(1a)의 하부 위치, 즉, 작동부재(130)의 하부에 고정된 흡착부재(140)의 저면상에 접면되는 위치까지 상승하계 된다. 계속해서 도면에는 미도시되어 있지만 에어콤프레샤가 작동되고, 이의 작용에 따른 흡입력이 흡입호우스(131)를 통해 작동부재(130)내의 안내실(132)로 작용하게 되는 것이며, 이에 따라 흡착부재(140)의 공기흡입공(141)을 통하여 외부의 공기가 흡입되어짐으로서 이의 흡입력으로 흡착부재(140)의 저면상에 밀착되어 있는 소재가 흡착부재(140)의 저면에 흡착되어 지는 것이다. 이때, 상기 흡착부재(140)의 저면상에는 다수개의 공기흡입공(141)이 등간격으 로 구비되어 있기 때문에 소재의 각 몰딩부분의 여러부분을 흡착하게 되는 것이고, 이에 따라 소재는 흡착부재(140)에 거의 유동없이 완전하계 흡착되어 지는 것이다. 한편, 공급되는 소재에 따라서는 소재의 몰딩부분과 상기한 흡착부재(140)의 공기홉입공(141)의 위치가 상호 일치하지 않을 경우에는 공기흡입공(141)이 다른 간 격으로 구비된 별도의 홉착부재(140)를 사용함으로서 이를 수용할 수가 있게 되는 것이고, 이때에는 상기 흡착부재(140)가 작동부재(130)의 저면상에 고정턱(133)에 의해 고정된 구성임으로서 간단히 슬라이드식으로 삽탈할 수가 있게 된다. 이같이 흡착부재(140)가 하나의 소재를 완전히 흡착하게 되면 실린더(120)의 작동으로 작동부재(130)가 상승되어 파지한 소재를 양가이드레일(1)(1a) 사이에 안착 시키게 된다. 소재가 양가이드레일(1)(1a)상에 안착이 완료되면 양가이드레일(1)(1a)의 단부에 구비되는 파지편이 별도치 장치에 의해 작동되어 소재를 잡아주게 됨과 동시에 콤프레샤의 작동이 중지되고, 이에 따라 흡착부재(140)는 파지하고 있던 소재를 놓게 됨과 아울러 원위치로 상숭하게 된다. 이와 같은 일련의 작동으로 소재가 가이드레일(1)(la)상에 공급완료되면 다음공정에 따른 장치에 의해 소재는 가이드레일(1)(1a)을 타고 레이저 발진기가 구비된 위치로 이송되어 각인공정이 이루어지게 되는 것이다.

그러므로 이와 같이된 본 고안은 레이저 마킹기의 공급되는 소재를 공기의 흡입 력으로 하나씩 흡착하여 가이드 레일에 안착시키는 것에 있어 소재의 흡착구성을 여러 지점을 흡착하여 파지하도록 함으로서, 즉, 소재의 전체면을 통하여 흡착파지하도록 함으로서 소재를 안전하고도 정확하게 안착시킬 수 있는 효과를 가지게 되는 것이다. 이러한 효과는 소재를 레이저 마킹기로 공급함에 있어 오작동을 줄일 수 있는 장점과 더불어 생산성의 향상을 기할 수 있는 것이고, 또한 일정크기를 갖는 범위 내의 소재들은 별도의 셋팅작업없이 수용이 가능하게 되는 장점도 가지게 된다. 그리고, 소재의 크기나 종류에 따라 흡착부재를 교체사용할 경우에도 간단히 흡착부재를 슬라이드식으로 교체할 수가 있음으로서 셋팅작업에 따른 작업성도 향상 되어 지는 등의 효과를 가지게 되는 것이다.

Claims (1)

1. 반도체 제조공정중 제조되는 제품의 표면에 제조처,상품명 및 성능등의 각종 표시부를 레이저 마킹하도록 하는 레이저 마킹시스템의 소재를 공급하도록 하는 소재공급장치에 있어서, 상기 소재공급수단은 레이저 마킹기의 프레임에 고정설치되고 실린더(120)의 작동에 의해 승강작동되면서 직사각형의 함체형상으로 구비되고, 그 일측에는 별도의 에어콤프레샤와 연결되어 공기를 흡입하는 흡입호우스(131)가 구비되며, 내부에는 상기 흡입호우스(131)와 연통되는 공기안내실(132) 및 이의 양측면에 한쌍의 고정턱(133)을 갖춘 작동부재(130)와: 상기 작동부재(130)의 저면 개구부를 통해 슬라이드식으로 삽탈되면서 고정턱(133)에 의해 고정설치되고 저면에는 공기안내실(132)과 연통되는 다수개의 공기흡입공(141)을 등간격으로 갖춘 흡착부재(140):로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 마킹기의 소재 공급장치.