KR20010110722A - 전기 전도도계 및 전기 전도도 측정용 전극과 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본체가 도전 금속으로 이루어지며, 표면이 산화 티탄층에 의해 전극면에 형성되어 있는 적어도 2개의 전기 전도도 측정용 전극과, 상기 전극의 전극면 사이에 형성된 피측정 물질 저류 공간과, 전극면에 빛을 조사하는 광조사 수단을 갖는 전기 전도도계. 전극면이 산화 티탄층에 의해 형성되어 있으므로, 측정계 내에 포함되는 유기물을 분해하여 전극면에의 부착이나 흡착을 자동적으로 저지할 수 있어, 실질적으로 클리닝을 행하는 일없이 항상 안정되고 정밀도 좋게 전기 전도도를 측정할 수 있다.

Description

전기 전도도계 및 전기 전도도 측정용 전극과 그 제조 방법 {ELECTRIC CONDUCTOMETER, ELECTRODE FOR MEASURING ELECTRIC CONDUCTIVITY, AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME}

전기 전도도는, 특히 수용액 속에서 이동 가능한 이온 농도의 측정을 위한 척도로서 이용되고 있고, 전기 전도도계는 많은 수용액 속의 이온 농도의 측정에 이용되고 있다. 전기 전도도계는 통상 적어도 2개의 전극을 가지고 있으며, 접액(接液)되는 적어도 2개의 전극 사이의 전류 혹은 전압을 측정함으로써, 전극 사이에 존재하는 수용액의 전기 전도도 혹은 저항을 측정하도록 되어 있다.

이 전기 전도도계의 전극은, 통상 수용액에 접촉하여도 산화되지 않도록 하기 위해서, 또한 전극면의 면적을 넓게 잡아 측정의 안정성을 확보하기 위해서, 백금의 미립으로 이루어지는 백금흑 혹은 단순히 백금, 백금 도금, 금 도금한 도전 금속이나, 스테인레스 스틸과 같은 내(耐)산화 부식성 도전 금속에 의해 구성되어 있다.

이와 같은 전기 전도도계에 있어서는, 통상 정확한 측정을 하기 위해서, 전극 표면을 정기적으로 클리닝하도록 하고 있다. 이 클리닝은 일반적으로 피측정 수용액 속에 많은 유기물이 포함되어 있고, 그것이 전극면에 부착 혹은 흡착하여 비도전성의 부착 유기물이 전극면에서 저항을 증대시켜 정확한 측정을 할 수 없게 되는 경우가 있으므로, 그와 같은 문제점을 회피하기 위해 정기적으로 행해지고 있다. 이러한 유기물의 부착이나 흡착은 전기 전도도계의 측정 원리에서, 즉 전극 표면에서 이온 교환을 행하므로, 종래 장치에서는 피할 수 없는 현상으로 되어 있다.

바꾸어 말하면, 전기 전도도의 측정에 있어서는 많든 적든 측정계 내에 전류가 흘러, 그 전류의 강도를 측정하게 되므로, 도전성의 전극, 즉 도전 금속으로 이루어지는 전극을 이용해야만 한다. 따라서, 도전 금속으로 이루어지는 전극의 표면에 있어서, 통전에 의해 이온 교환이 행해지면 상기 전극면에의 비도전성의 유기물의 부착이나 흡착이 발생된다. 그리고, 이와 같이 유기물의 부착이나 흡착이 발생되면, 저항이 상승하여 목표로 하는 측정용 전극면이 형성되지 않게 되어, 측정 정밀도의 저하를 초래하거나 측정의 재현성을 떨어뜨린다. 따라서, 이러한 문제점을 회피하기 위해서는 전극면의 빈번한 클리닝을 필요로 하게 된다.

본 발명은 전기 전도도계 및 전기 전도도 측정용 전극과 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 실질적으로 전극면의 클리닝 없이 전기 전도도를 정밀도 좋게 또한 재현성 좋고 안정되게 측정 가능한 장치와 제조 방법에 관한 것이다.

도1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 전기 전도도계의 분해 사시도이다.

도2는 도1 장치의 전기 전도도 측정용 전극의 확대 사시도이다.

도3은 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 전기 전도도계의 분해 사시도이다.

도4는 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 전기 전도도계의 분해 사시도이다.

그래서, 본 발명의 목적은 측정계 내에 포함되는 유기물의 전극면에의 부착이나 흡착을 자동적으로 저지할 수 있어, 실질적으로 클리닝을 행하는 일없이 항상 안정되고 정밀도 좋게 전기 전도도를 측정할 수 있는 전기 전도도계 및 전기 전도도 측정용 전극과 그 제조 방법을 제공하는 데에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 전기 전도도 측정용 전극은 도전 금속으로 이루어지는 전극 본체의 표면에, 산화 티탄층에 의해 전극면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것으로 이루어진다.

또한, 본 발명에 관한 전기 전도도계는 본체가 도전 금속으로 이루어지며, 표면이 산화 티탄층에 의해 전극면에 형성되어 있는 적어도 2개의 전기 전도도 측정용 전극과, 상기 전기 전도도 측정용 전극의 전극면 사이에 형성된 피측정 물질저류 공간과, 전극면에 빛을 조사하는 광조사 수단을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 것으로 이루어진다. 피측정 물질로서는 일반적으로는 수용액이지만, 가스형이나 슬러리형인 것도 측정 대상으로 하는 것이 가능하다.

이 전기 전도도계에 있어서는 상기 광조사 수단에 의해 조사되는 빛이 상기 산화 티탄층의 광촉매 활성을 야기하는 파장을 갖는 것이 바람직하다. 예를 들어, 300 내지 400 nm 정도의 파장의 빛을 이용할 수 있다. 광조사 수단으로서는 블랙라이트 등의 자외선 조사 수단 등을 구성하는 광원을 직접 사용해도 좋고, 광조사 수단으로서 광원으로부터의 빛을 유도하는 도광체(예를 들어, 광섬유나 도광성 재료로 이루어지는 튜브 등)를 이용해도 좋다. 또한, 광원으로부터의 빛을 직접적으로 조사하는 동시에, 도광체로부터의 빛을 부가하도록 할 수도 있다.

또한, 상기 피측정 물질 저류 공간을 투광체에 의해 구획하고, 광조사 수단으로부터의 빛이 투광체(예를 들어, 유리)를 통해서 전극면에 조사되도록 구성할 수도 있다. 이 경우, 투광체의 피측정 물질 저류 공간측 표면(접액면)에 투광 가능하도록 산화 티탄 코팅을 실시해 두면, 산화 티탄 코팅층의 초(超)친수성이나 유기물 분해 성능에 의해, 이 투광체 표면에의 유기물 등의 부착도 방지할 수 있다.

또한, 전술한 본 발명에 관한 전기 전도도 측정용 전극은 다음과 같은 방법으로 제조할 수 있다. 즉, 본 발명에 관한 전기 전도도 측정용 전극의 제조 방법은 도전 금속으로 이루어지는 전극 본체의 표면에 스퍼터링이나 도금에 의해 산화 티탄층을 마련하여 전극면을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법으로 이루어진다. 또는, 전극 본체를 티탄 금속으로 구성하고, 티탄 금속으로 이루어진 전극 본체의 표면에 산소를 부여하여 산화 티탄층으로 이루어지는 전극면을 형성하는 방법도 채용할 수 있다. 산소를 부여하여 산화 티탄층을 형성하는 방법으로서는 전기 분해에 의한 방법 외에, 공기 산화에 의한 방법도 사용할 수 있다.

상기와 같은 본 발명에 관한 전기 전도도 측정용 전극 및 그를 이용한 전기 전도도계에 있어서는 도전 금속으로 이루어지는 전극 본체의 표면에 산화 티탄층이 형성되어 있으므로, 그 층에 적절한 파장의 빛(예를 들어, 자외선)이 조사됨으로써, 산화 티탄이 갖는 광촉매 활성이 발휘되어 상기 산화 티탄층에 접촉하는 혹은 상기 층 근방에 있는 물 속의 유기물이 분해되어, 산화 티탄층에의 부착이나 흡착이 자동적으로 저지된다. 따라서, 이 전극면을 정기적으로 클리닝할 필요가 없어져 전극면은 항상 유기물의 부착이나 흡착이 없는 바람직한 표면 상태로 유지되고, 또한 그 바람직한 표면 상태를 갖는 전극의 면적도 항상 초기 상태로 유지된다. 그 결과, 항상 안정되게 전기 전도도를 정밀도 좋게 측정할 수 있어, 측정 정밀도의 재현성도 문제없이 확보된다.

또한, 본 발명에 관한 전기 전도도 측정용 전극의 제조 방법에 따르면, 상기 전기 전도도의 측정에 적합한 전극을 용이하게 또한 저렴하게 제조할 수 있다.

이하에, 본 발명의 바람직한 실시 형태를 도면을 참조하여 설명한다.

도1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 전기 전도도계를 도시하고 있다. 이 전기 전도도계(1)에 있어서는, 도2에 도시한 바와 같은 도전 금속으로 이루어지는 전극 본체(2)의 표면에, 산화 티탄층(3)에 의해 전극면이 형성된 전기 전도도 측정용 전극(4)이 이용되고 있다. 산화 티탄층(3)은 도전 금속으로 이루어지는 전극 본체(2)의 표면에, 스퍼터링, 도금 등의 표면 처리에 의해 형성되거나, 혹은 전극 본체(2)를 티탄 금속으로 구성하고, 그 표면을 산화함으로써 형성되어 있다. 산화는 전기 분해나 공기 산화에 의해 행해진다.

전기 전도도 측정용 전극(4)은 본 실시 형태에서는 3개 이용되어 도1에 도시한 바와 같이, 절연체로 이루어지는 전극 홀더(5)에, 전극면을 노출시킨 상태로 매설되어 있다. 3개의 전극(4)은 일렬로 배치되어, 양측의 전극(4a), 전극(4b)이 전원에 접속되는 전원용 전극, 중앙의 전극(4c)이 전기 전도도 검출용의 센서로서 기능하는 검출용 전극을 구성하고 있다.

전극 홀더(5)는 베이스(6)의 소정 위치에 고정된다. 베이스(6)에는 피측정 유체(예를 들어, 수용액)를 유입시키는 유입구(7) 및 유출시키는 유출구(8)와 전기 전도도 측정용의 유통 구멍(9) 및 유통 구멍(10)이 마련되어 있다. 전극 홀더(5)에는 유통 구멍(11)과 유통 구멍(12)이 마련되어 있고, 유통 구멍(11)은 베이스의 유통 구멍(9)과 유통 구멍(12)은 베이스의 유통 구멍(10)과 각각 연통하도록 배치되어 있다. 유입구(7)로부터 유입된 피측정 유체는 베이스(6)의 내부 통로(13), 유통 구멍(9), 전극 홀더(5)의 유통 구멍(11)을 통하여, 각 전극(4)의 전극면측에 형성되는 피측정 물질 저류 공간(14)으로 유입된다. 피측정 물질 저류 공간(14)은 피측정 유체의 전기 전도도 측정용 유로를 형성한다. 피측정 물질 저류 공간(14)으로부터의 유체는 전극 홀더(5)의 유통 구멍(12), 베이스(6)의 유통 구멍(10), 내부 통로(15)를 통하여 유출구(8)로부터 유출된다.

베이스(6)에는 각 전극(4a, 4b, 4c)에 대응한 위치에 관통 구멍(16a, 16b, 16c)이 뚫어 설치되어 있고, 관통 구멍(16a, 16b, 16c)을 통하여 필요한 전기 배선이 인출되도록 되어 있다.

피측정 물질 저류 공간(14)은 본 실시 형태에서는 시트형의 패킹(17)과 전극 홀더(5)에 패킹(17)을 거쳐서 간격을 두고 대향 배치된 투광체로서의 투명 유리판(18)에 의해 구획되어 있다. 이 유리판(18)의 피측정 물질 저류 공간(14)측 표면에 있어서도, 투광성을 손상하지 않을 정도로 산화 티탄 코팅이 실시되어 있는 것이 바람직하다. 이 피측정 물질 저류 공간(14) 내를 흐르는 유체의 전기 전도도가 측정된다.

전극 홀더(5), 패킹(17) 및 유리판(18)은 볼트(19)를 거쳐서 커버 부재(20)에 의해 베이스(6)의 일면측에 고정된다. 커버 부재(20)에는 투광용 창(21)이 개방 설치되어 있다. 이 창(21)을 통해서, 외부에 배치된 광조사 수단(22)으로부터의 빛이 조사된다. 조사된 빛은 창(21)으로부터 유리판(18)을 통해, 각 전극(4a, 4b, 4c)의 전극면을 형성하고 있는 산화 티탄층(3)에 조사된다. 조사되는 빛은 산화 티탄층(3)에 광촉매 활성을 발휘시키는 파장을 갖는 빛이 선택된다. 예를 들어, 특정 파장(예를 들어, 300 내지 400 nm의 파장)의 자외선을 사용할 수 있어 광조사 수단(22)으로서는 예를 들어 자외선을 발광하는 블랙라이트를 사용할 수 있다.

상기한 바와 같이 구성된 제1 실시 형태에 관한 전기 전도도계(1)에 있어서는 광조사 수단(22)에 의한 광조사에 의해, 각 전극(4a, 4b, 4c)의 표면에 설치된 산화 티탄층(3)이 광촉매 활성을 발휘하고, 피측정 물질 저류 공간(14)을 흐르게 되는 피측정 유체 중에 유기물이 포함되어 있는 경우에도, 상기 유기물이 광촉매 활성에 의해 분해된다. 따라서, 전기 전도도 측정시, 전극면에서 이온 교환이 행해지더라도 비도전성의 유기물이 전극면에 부착하거나 흡착되거나 하는 것은 방지된다. 그 결과, 종래에 행해졌던 전극면이 정기적인 클리닝은 불필요해져, 클리닝없이도 항상 안정되고 전기 전도도를 정밀도 좋게 측정할 수 있다. 또한, 그 정밀도가 좋은 측정의 재현성도 확보된다.

또한, 유리판(18)의 피측정 물질 저류 공간(14)측 표면에 산화 티탄 코팅을실시해 두면, 이 면측에서도 유기물의 부착이나 흡착이 저지되고, 피측정 물질 저류 공간(14) 내에의 유기물의 축적 등도 방지되어 양호한 측정 정밀도가 유지된다.

도1에 도시한 전기 전도도계(1)에 있어서의 산화 티탄층(3)에 의한 광촉매 활성 효과를 확인하기 위해서, 다음과 같은 시험 1, 2를 행했다.

<시험 1>

10 ppm의 폴리아크릴산나트륨을 함유하고, 황산나트륨과 황산을 첨가하여 전기 전도도가 약 1000 μS가 되는 용액을 조제했다. 도1에 도시한 전기 전도도계의 흡입측에 디개서를 접속한 펌프를 접속하여, 상기한 용액을 유속 0.5 ㎖/분으로 흘렸다. 접속한 전도도계의 측정치를 0점으로 클램프하여 레인지를 올려 감도를 조정했다. 10 마이크로 레인지에서 감도 2로 하여(레코더는 1 볼트로 풀스팬 5 μS가 되도록 조정했음) 측정을 개시했다. 광조사 수단(22)으로서 자외선 블랙라이트를 이용하여, 블랙라이트를 점등한 상태에서 펌프를 멈추고 레코더로 기록을 계속한 결과, 1 시간에 0.24 μS의 전도도의 상승을 볼 수 있었다. 다시 펌프를 작용시켜 블랙라이트를 소등하고, 15분 후에 펌프를 정지하여 레코더로 기록을 계속했다. 1 시간 동안에는 전기 전도도의 상승은 확인할 수 없었다. 이 점으로부터, 전극의 산화 티탄층에 빛을 조사하여 광촉매 활성을 발휘시킨 경우, 전극 표면의 산화 티탄에 의해 폴리아크릴산이 분해되어, 전기 전도도가 상승하고 있는 것을 알 수 있다. 한편, 소등하고 있는 경우는 광촉매 활성이 발휘되지 않아, 전극 표면에서 분해가 일어나지 않아 전기 전도도의 변화가 없다는 것을 알 수 있다.

<시험 2>

시험 1과 동일한 용액을 사용하여 점등한 상태의 전기 전도도계를 통과하는 송액 유속을 바꿔, 시험 1과 동일한 조건으로 전기 전도도의 상승 정도를 측정했다. 1 ㎖/분의 유속에서의 전기 전도도를 기준으로 하면, 0.1 ㎖/분일 때 0.12 μS의 전기 전도도의 상승을 확인할 수 있었다. 또 유속을 낮추어 0.05 ㎖/분으로 하면, 대략 2배의 0.21 μS의 전기 전도도의 상승을 확인할 수 있었다. 이 시험 2에 의해서도 전극 표면의 산화 티탄층에서 유기물의 분해가 일어나, 전기 전도도의 상승을 확인할 수 있어 광촉매 활성 효과를 확인할 수 있었다.

도3은 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 전기 전도도계(31)를 도시하고 있다. 본 실시 형태에서는 광조사 수단(32)으로서, 도광체를 구성하는 광섬유가 사용되고 있다. 광원으로서 자외선의 블랙라이트(33)가 이용되어, 돔형 집광 렌즈(34)에 의해 집광된 빛이 광섬유(32)의 입사단부에 입사되고, 광섬유(32) 내를 유도된 빛이 반대측의 출사단부로부터 출사되도록 되어 있다.

본 실시 형태에서는 판형의 전극 본체(35a, 35b)가 티탄 금속으로 구성되고, 그 중앙부에 뚫어 설치된 구멍(36a, 36b)의 내주면에 산화 티탄층(37)이 형성되어 있다. 전극 본체(35a, 35b)는 중앙부에 구멍(39a, 39b, 39c)을 갖는 절연 시트(38a, 38b, 38c) 사이에 협지되어 절연되어 있고, 전극 본체(35a, 35b) 사이에 전기 전도도 측정용의 전류가 흐르도록 되어 있다.

이들 각 전극 본체(35a, 35b) 및 절연 시트(38a, 38b, 38c)의 적층체는 양측으로부터 보유 지지체(40a, 40b)에 의해 협지되어 있다. 전극 본체(35a, 35b)의 구멍(36a, 36b) 및 절연 시트(38a, 38b, 38c)의 구멍(39a, 39b, 39c)에 의해 피측정 유체의 전기 전도도 측정용의 피측정 물질 저류 공간이 형성되어 있다. 유지체(40a)에는 광섬유(32)의 출사단부측이 일용된 상태로 삽입되어 있고, 피측정 물질 저류 공간을 향해 빛을 조사할 수 있도록 되어 있다. 보유 지지체(40a)의 유입구(41)로부터 유입된 피측정 유체는 피측정 물질 저류 공간을 통해, 보유 지지체(40b)의 유출구(42)로부터 유출된다.

또, 상기 실시 형태에서는 한 쪽의 보유 지지체(40a) 측으로만 광섬유(32)에 의해 빛을 조사하도록 했지만, 피측정 물질 저류 공간이 비교적 긴 경우에는 반대측의 보유 지지체(40b) 측으로부터도 빛을 도입시키도록 해도 좋다.

이와 같이, 전기 전도도계에 있어서의 도전 금속의 배치, 전극면의 산화 티탄층의 배치, 피측정 물질 저류 공간의 구성은 임의의 형태로 설계하는 것이 가능하다.

도4는 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 전기 전도도계(51)를 도시하고 있다. 본 실시 형태에서는 3개의 전극(52a, 52b, 52c)이 설치되고, 예를 들어 양측의 전극(52a, 52b)이 전원에 접속되는 전원용 전극, 그들 사이에 배치된 전극(52c)이 전기 전도도 검출용의 센서로서 기능하는 검출용 전극을 구성하고 있다. 각 전극(52a, 52b, 52c)의 중앙부에는 관통 구멍(53a, 53b, 53c)이 개방되어, 각 구멍(53a, 53b, 53c)의 내면에 산화 티탄층이 형성되어 있다. 각 전극(52a, 52b, 52c)의 양측에는 투광성의 절연 재료(예를 들어, 4 불화 에틸렌)로 이루어지는 스페이서(54a, 54b, 54c, 54d)가 배치되어 있고, 각 전극과 각 스페이서는 서로 적층되어 있다. 스페이서(54a, 54b, 54c, 54d)의 중앙부에도 관통 구멍(55a, 55b,55c, 55d)이 개방되어 있다. 양측 스페이서(54a, 54d)의 외측에는 지지체(56a, 56b)가 배치되고, 전극(52a, 52b, 52c)과 스페이서(54a, 54b, 54c, 54d)의 적층체가 양측으로부터 협지되어 있다. 지지체(56a, 56b)의 중앙부에도 관통 구멍(57a, 57b)이 개방되어 있으며, 각 구멍(57a, 57b)에는 피측정 유체를 도입하는 튜브(58a)의 일단부 및 피측정 유체를 도출하는 튜브(58b)의 일단부가 각각 삽입, 고정되어 있다.

전극(52a, 52b, 52c)과 스페이서(54a, 54b, 54c, 54d)의 적층에 의해 접속되는 구멍(55a, 53a, 55b, 53c, 55c, 53b, 55d)에 의해 피측정 유체의 유로가 형성된다. 튜브(58a)를 통하여 도입된 피측정 유체는 이 유로 내부를 흐른 후, 튜브(58b)를 통하여 배출된다. 이들 튜브(58a, 58b)는 투광성의 재료(예를 들어, 4 불화 에틸렌)로 구성되어 있으며, 광조사 수단으로서의 블랙라이트(59)로부터 소정 파장의 자외광이 조사된다. 조사된 자외광은 튜브(58a, 58b)를 투과하는 동시에 튜브 내에서 확산 반사를 반복하므로, 튜브(58a, 58b)에 따라 자외광이 유도되어, 양측의 구멍(57a, 57b) 부분으로부터 전극(52a, 52b, 52c) 내의 산화 티탄층으로 이루어지는 내면으로 도광된다. 또한, 각 스페이서(54a, 54b, 54c, 54d)도 투광성의 재료로 구성되어 있으므로, 블랙라이트(59)로부터의 자외광은 각 스페이서를 투과하여, 확산, 반사를 이용하면서 전극(52a, 52b, 52c)의 내면으로 조사된다. 특히, 각 전극이나 각 스페이서를 비교적 얇게 형성해 둠으로써(예를 들어, 각 전극의 두께를 0.2 mm 정도, 각 스페이서의 두께를 1 mm 정도), 각 전극과 각 스페이서에 의해 형성되는 유로는 비교적 짧은 것으로 이루어지므로, 광섬유와 같은 특별한 도광체를 이용하지 않더라도, 상기와 같은 투광성의 튜브(58a, 58b)에 따른 도광 및 투광성의 스페이서(54a, 54b, 54c, 54d)를 거친 도광에 의해, 측정을 위한 충분한 광량이 소정의 전극면에 조사된다. 따라서, 본 실시 형태에서는 보다 간소하고 소형인 장치로 구성할 수 있다.

본 발명의 전기 전도도계에 있어서는 전극면이 산화 티탄층에 의해 형성되어 있으므로, 측정계 내에 포함되는 유기물을 분해하여 전극면에의 부착이나 흡착을 자동적으로 저지할 수 있어, 실질적으로 클리닝을 행하는 일없이 항상 안정되고 정밀도 좋게 전기 전도도를 측정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 관한 전기 전도도계는 고정밀도의 전기 전도도의 측정이 요구되는 모든 분야에, 예를 들어 각종 물처리계나, 오물 처리계, 가스계 등에 적합하게 이용할 수 있다.

Claims (9)

1. 도전 금속으로 이루어지는 전극 본체의 표면에, 산화 티탄층에 의해 전극면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 전도도 측정용 전극.
2. 본체가 도전 금속으로 이루어지며, 표면이 산화 티탄층에 의해 전극면에 형성되어 있는 적어도 2개의 전기 전도도 측정용 전극과, 상기 전기 전도도 측정용 전극의 전극면 사이에 형성된 피측정 물질 저류 공간과, 전극면에 빛을 조사하는 광조사 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 전기 전도도계.
3. 제2항에 있어서, 상기 광조사 수단에 의해 조사되는 빛은 상기 산화 티탄층의 광촉매 활성을 야기하는 파장을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 전도도계.
4. 제2항에 있어서, 상기 광조사 수단은 광원으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 전도도계.
5. 제2항에 있어서, 상기 광조사 수단은 광원으로부터의 빛을 유도하는 도광체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 전도도계.
6. 제2항에 있어서, 상기 피측정 물질 저류 공간은 투광체에 의해 구획되어 있고, 광조사 수단으로부터의 빛은 투광체를 통해 전극면에 조사되는 것을 특징으로 하는 전기 전도도계.
7. 제6항에 있어서, 상기 투광체의 피측정 물질 저류 공간측 표면에 투광 가능한 산화 티탄 코팅이 실시되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 전도도계.
8. 도전 금속으로 이루어지는 전극 본체의 표면에 스퍼터링 또는 도금에 의해 산화 티탄층을 마련하여 전극면을 형성하는 것을 특징으로 하는 전기 전도도 측정용 전극의 제조 방법.
9. 티탄 금속으로 이루어지는 전극 본체의 표면에 산소를 부여하여 산화 티탄층으로 이루어지는 전극면을 형성하는 것을 특징으로 하는 전기 전도도 측정용 전극의 제조 방법.