KR20010108752A - 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성유지 시스템 및 그 방법 - Google Patents

반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성유지 시스템 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는기록매체에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 다수의 서버로 분산되어 운영되는 반도체 라인관리용 통합자동화 시스템을 이용하여 로트의 생산현장 정보와 전산정보의 일관성 유지 작업을 해당 로트의 공정데이터와 로트의 전산정보 일치 요청의 입력을 통하여 자동으로 수행할 수 있는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 작업자가 런 시트와 로트의 전산정보가 일치하지 않는다는 사실을 인식하는 제 1단계; 런 시트와 로트의 전산정보 중 어떤 정보가 오류인지 판단하는 제 2단계; 상기 제 2단계의 판단결과, 로트의 전산정보 오류일 경우, 실제 로트의 공정데이터를 입력하여 로트 전산정보의 일치를 요청하고, 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 입력된 상기 로트의 공정데이터를 작업자 인터페이스 서버로 전송하는 제 3단계; 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 로트의 공정데이터를 기준으로 마스터 데이터베이스에서 해당 로트의 공정데이터를 확인하고, 해당 로트의 공정데이터를 정정하는 제 4단계; 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 해당 로트의 공정데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 5단계; 상기 셀 관리 서버가 해당 로트의 공정 데이터를 상기 마스터 데이터베이스에서 확인하고 마스터 데이터베이스를 정정한 후, 상기 해당 로트의 공정데이터를 로트 스케쥴 서버로 전송하는 제 6단계; 상기 셀 관리 서버가 해당 로트의 공정데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록하고, 이력 정보 서버에 메세지를 전송하는 제 7단계; 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 해당 로트의 공정데이터를 판독하여 취득하고, 이력 데이터베이스에서 해당 로트의 공정이력 데이터를 갱신하는 제 8단계; 및 상기 제 2단계의 판단결과, 런 시트의 오류일 경우, 작업자가 반도체 제조공정에서 공정을 진행하고 있는 실제 로트의 공정데이터를 기준으로 런 시트를 수정하는 제 9단계를 수행한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 반도체 생산정보의 일관성 유지에 이용됨.

Description

반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지 시스템 및 그 방법{SYSTEM FOR MAINTAINING CONSISTENCY FOR CREATED INFORMATION OF LOT IN MANUFACTURING SEMICONDUCTOR PROCESS AND METHOD USING FOR THE SAME}
본 발명은 반도체 제조공정에서 발생하는 로트의 전산정보를 관리하는 방법에 관한 것으로, 특히, 반도체 라인 관리용 통합자동화 시스템을 이용하여 로트의 전산정보가 일관성을 유지하지 못할 경우 오류가 발생한 정보를 수정하여 로트 전산정보의 일관성을 유지하는 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정에서 생산라인을 관리하기 위한 자동화시스템은 크게 MES(Manufacturing Execute System)부와 생산라인에서 작업자가 반도체 제조를 위해 사용하는 기본정보 예를들면, 장비, 로트 및 스토커 정보등을 관리하는 마스터(master)부가 있다.
이와같이, 반도체 생산라인을 관리하는 자동화시스템이 두 개의 시스템으로 나뉘어져 운영될 경우, MES부와 마스터부의 생산정보는 항상 일치해야 하지만, 자동화시스템의 MES부와 마스터부 사이의 통신 불안으로 시간초과 에러가 발생하여 생산현장의 정보가 갱신되지 못해 마스터부의 생산정보가 MES부의 로트공정 진행정보 및 장비이력 등의 정보와 일치되지 않으므로 실제로 생산 라인에서 진행되는 정보와 각종 보고 정보 예를들면 공정 진행정보, 장비 가동률, 생산수율 정보 등이 다르게 나타날 수 있다.
이에 따라, 반도체 생산라인을 관리하는 자동화시스템의 MES부와 마스터부의 로트 생산정보를 일치시키기 위한 방법이 필요하였다.
그러나, 종래의 로트 생산정보의 일관성을 유지방법은 다음과 같은 여러가지 문제가 있다.
첫째, MES부의 데이터 용량이 방대하여 주기적인 갱신 및 유지관리가 되지 않을 경우, 데이터량이 데이터 기억장치의 용량을 초과하거나 데이터베이스의 구조가 깨지는 문제가 있으며, 시스템의 규모 및 데이터 용량이 방대하므로 그의 유지보수에 많은 시간과 인력이 소모되는 또 다른 문제가 있다.
둘째, MES부와 마스터부사이의 통신불안으로 시간초과 에러가 발생하여 생산현장의 정보가 즉시에 갱신되지 못해 마스터부 정보와 MES부의 정보가 일치하지 않거나, 누락되는 문제가 발생할 수 있다.
셋째, 마스터부의 정보가 MES부의 정보에 의존적으로 존재하기 때문에, 상기 MES부에 문제가 발생할 경우, 마스터부에 정보가 갱신되지 못하여 현재 공정을 진행하고 있는 로트의 정보와 상이하게 되므로써, 상기 MES부와 마스터부의 데이터를 일치시킬 때 까지 작업자는 전산처리를 할 수 없는 문제가 있다.
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 다수의 서버로 분산되어 운영되는 반도체 라인관리용 통합자동화 시스템을 이용하여 로트의 생산현장 정보와 전산정보의 일관성 유지 작업을 해당로트의 공정데이터와 로트 전산정보 일치 요청을 입력하여 자동으로 수행할 수 있는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1 은 본 발명이 적용되는 로트 전산정보를 관리하는 시스템의 일실시예 구성도.
도 2 는 본 발명에 따른 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지 방법을 수행하기 위한 일실시예 처리 흐름도.
도 3 은 상기 도 2 의 로트 전산정보의 일관성 유지 방법을 수행하기 위한 작업자 인터페이스 서버의 일실시예 상세 처리 흐름도.
도 4 는 상기 도 2 의 로트 전산정보의 일관성 유지 방법을 수행하기 위한 셀 관리 서버의 일실시예 상세 처리 흐름도.
도 5 는 상기 도 2 의 로트 전산정보의 일관성 유지 방법을 수행하기 위한 이력 정보 서버의 일실시예 상세 처리 흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
200 : 작업자 인터페이스 프로세스 202 : 작업자 인터페이스 서버
204 : 마스터 데이터베이스 206 : 셀 관리 서버
208 : 로트 스케쥴 서버 210 : 이력 정보 서버 큐 파일
212 : 이력 정보 서버 214 : 이력 데이터베이스
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지 시스템은, 작업자의 로트 전산정보 일치 요청 데이터의 입력 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 수단; 상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 데이터를 확인 및 전송하는 서버수단; 및 반도체 제조공정에서 발생하는 생산정보를 저장하며, 상기 서버수단이 데이터를 확인 및 갱신하는 저장수단으로 구성된다.
본 발명의 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지 방법은, 작업자가 각 장비의 터미널에 표시되는 로트의 정보를 통해 반도체 제조공정에서 실제 로트의 진행에 따라 수기하는 런 시트와 로트의 전산정보가 일치하지 않는다는 사실을 인식하는 제 1단계; 런 시트와 로트의 전산정보 중 어떤 정보가 오류인지 판단하는 제 2단계; 상기 제 2단계의 판단결과, 로트의 전산정보 오류일 경우, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 반도체 제조공정에서 공정을진행하고 있는 실제 로트의 공정데이터를 입력하여 로트 전산정보의 일치를 요청하고, 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 입력된 상기 로트의 공정데이터를 작업자 인터페이스 서버로 전송하는 제 3단계; 상기 실제 로트의 공정데이터를 작업자 인터페이스 프로세스로부터 수신한 작업자 인터페이스 서버가 상기 로트의 공정데이터를 기준으로 마스터 데이터베이스에서 해당 로트의 공정데이터를 확인하고, 해당 로트의 공정데이터를 정정하는 제 4단계; 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 해당 로트의 공정데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 5단계; 상기 셀 관리 서버가 해당 로트의 공정 데이터를 상기 마스터 데이터베이스에서 확인하고 마스터 데이터베이스를 정정한 후, 상기 해당 로트의 공정데이터를 로트 스케쥴 서버로 전송하는 제 6단계; 상기 셀 관리 서버가 해당 로트의 공정데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록하고, 이력 정보 서버에 메세지를 전송하는 제 7단계; 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 해당 로트의 공정데이터를 판독하여 취득하고, 이력 데이터베이스에서 해당 로트의 공정이력 데이터를 갱신하는 제 8단계; 및 상기 제 2단계의 판단결과, 런 시트의 오류일 경우, 작업자가 반도체 제조공정에서 공정을 진행하고 있는 실제 로트의 공정데이터를 기준으로 런 시트를 수정하는 제 9단계를 수행한다.
또한, 본 발명의 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지 시스템에서, 작업자가 각 장비의 터미널에 표시되는 로트의 정보를 통해 반도체 제조공정에서 실제 로트의 진행에 따라 수기하는 런 시트와 로트의 전산정보가 일치하지 않는다는 사실을 인식하는 제 1기능; 런 시트와 로트의 전산정보 중 어떤정보가 오류인지 판단하는 제 2기능; 상기 제 2기능의 판단결과, 로트의 전산정보 오류일 경우, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 반도체 제조공정에서 공정을 진행하고 있는 실제 로트의 공정데이터를 입력하여 로트 전산정보의 일치를 요청하고, 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 입력된 상기 로트의 공정데이터를 작업자 인터페이스 서버로 전송하는 제 3기능; 상기 실제 로트의 공정데이터를 작업자 인터페이스 프로세스로부터 수신한 작업자 인터페이스 서버가 상기 로트의 공정데이터를 기준으로 마스터 데이터베이스에서 해당 로트의 공정데이터를 확인하고, 해당 로트의 공정데이터를 정정하는 제 4기능; 상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 해당 로트의 공정데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 5기능; 상기 셀 관리 서버가 해당 로트의 공정 데이터를 상기 마스터 데이터베이스에서 확인하고 마스터 데이터베이스를 정정한 후, 상기 해당 로트의 공정데이터를 로트 스케쥴 서버로 전송하는 제 6기능; 상기 셀 관리 서버가 해당 로트의 공정데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록하고, 이력 정보 서버에 메세지를 전송하는 제 7기능; 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 해당 로트의 공정데이터를 판독하여 취득하고, 이력 데이터베이스에서 해당 로트의 공정이력 데이터를 갱신하는 제 8기능; 및 상기 제 2기능의 판단결과, 런 시트의 오류일 경우, 작업자가 반도체 제조공정에서 공정을 진행하고 있는 실제 로트의 공정데이터를 기준으로 런 시트를 수정하는 제 9기능을 수행하기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히설명한다.
도 1 은 본 발명이 적용되는 로트의 전산정보를 관리하는 시스템의 일실시예 구성도로서, 작업자의 로트 전산정보 일치 요청 데이터의 입력 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 프로세스(200)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)에서 입력된 데이터를 확인 및 전송하는 작업자 인터페이스 서버(202)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 로트 전산정보 일치 요청 데이터를 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버(202)가 수신된 데이터를 확인하고 데이터를 갱신할 수 있도록 로트 정보, 카세트 정보, 장비 정보 및 공정 정보가 저장되어 있는 마스터 데이터베이스(204)와, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)로부터 로트 전산정보 일치 요청 데이터를 수신하여 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 해당 로트의 공정데이터를 확인하는 셀 관리 서버(206)와, 상기 셀 관리 서버(206)로부터 로트 전산정보 일치 요청 데이터를 수신하여 해당 로트에 대한 스케쥴 정보를 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 갱신하는 로트 스케쥴 서버(208)와, 상기 셀 관리 서버(206)가 로트 전산정보 일치 요청 데이터를 임시저장하는 이력 정보 서버 큐 파일(210)과, 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 관리하며 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신하는 로트 이력 정보 서버(212)와, 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 저장하는 이력 데이터베이스(214)로 구성된다.
상기와 같이 구성되어 동작하는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 생산정보 일관성 유지방법을 도 2 내지 도 5 를 참조하여 설명한다.
도 2 는 본 발명에 따른 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지 방법을 수행하기 위한 일실시예 처리 흐름도이다.
작업자가 각 장비의 터미널에 표시되는 로트의 정보를 통해 반도체 제조공정에서 실제 로트의 진행에 따라 수기하는 런 시트(run sheet)와 로트의 전산정보가 일치하지 않는다는 사실을 인식하고(S300), 상기 런 시트와 로트의 전산정보중 어떤 정보가 오류인지를 판단한다(S302).
상기 S302의 판단결과, 로트의 전산정보 오류일 경우, 작업자는 작업자 인터페이스 프로세스(200)를 이용하여 반도체 제조공정에서 공정을 진행하고 있는 실제 로트의 공정데이터를 입력하고 로트 전산정보의 일치를 요청한다(S304). 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)는 작업자가 입력한 실제 로트의 공정데이터를 작업자 인터페이스 서버(202)로 전송한다.
상기 실제 로트의 공정데이터를 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 상기 로트의 공정데이터와 마스터 데이터베이스(204)를 확인하고, 수신된 로트의 공정데이터를 기준으로 상기 마스터 데이터베이스(204)에 저장된 해당 로트의 공정데이터를 정정한다(S306).
상기 마스터 데이터베이스(204)에서 해당 로트의 공정데이터를 확인 및 정w정한 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 상기 해당 로트의 공정데이터를 셀 관리 서버(206)로 전송한다(S308).
상기 작업자 인터페이스 서버(202)로부터 해당 로트의 공정데이터를 수신한 상기 셀 관리 서버(206)는, 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 수신된 해당 로트의 공정데이터를 확인하고 마스터 데이터베이스(204)를 정정한 후(S310), 상기 해당 로트의 공정데이터를 로트 스케쥴 서버(208)로 전송한다(S312). 이때, 상기 로트 스케쥴 서버(208)는 상기 해당 로트의 공정데이터를 기준으로 상기 마스터 데이베이스(204)에서 해당로트의 스케쥴을 확인 및 갱신한다(S314).
상기 셀 관리 서버(206)는 해당 로트의 공정데이터를 이력 정보 서버 큐 파일(210)에 기록하고(S316), 이력 정보 서버(212)에 해당 로트의 공정데이터를 이력 정보 서버 큐 파일(210)에 기록하였다는 메세지를 상기 이력 정보 서버(212)에 전송한다(S318).
상기 셀 관리 서버(206)로부터 메세지를 수신한 이력 정보 서버(212)는 상기 이력 정보 서버 큐 파일(210)에서 해당 로트의 공정데이터를 판독하여 취득하고, 이력 데이터베이스(214)에서 해당 로트의 공정이력 데이터를 갱신한다(S320).
상기 S302의 판단결과, 런 시트의 오류일 경우, 작업자는 반도체 제조공정에서 공정을 진행하고 있는 실제 로트의 공정데이터를 기준으로 런 시트를 수정한다(S322).
첨부된 도 3 은 상기 도 2 에서 작업자 인터페이스 서버(202)가 상기 로트의 공정데이터와 마스터 데이터베이스(204)를 확인하여 해당 로트의 공정데이터를 기준으로 상기 마스터 데이터베이스(204)에 저장된 해당 로트의 공정데이터를 정정하는 과정(S306)의 상세흐름도로서, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 수신한 로트의 공정데이터를 기준으로 마스터 데이터베이스(204)에서 해당 로트의 공정 정보, 단위공정 정보 및 로트의 진행보류 여부등을 확인하고(S400), 그 확인 결과를 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로 전송 가능한 데이터의 형태로 변환한다(S402).
상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 마스터 데이터베이스(204)의 반도체 제조공정을 진행하는 모든 로트의 로트 아이디, 해당 로트를 담고 있는 카세트 아이디, 로트 및 카세트의 위치, 로트의 상태등의 기본정보를 저장하고 있는 로트 정보 테이블에서 해당 로트의 기본정보를 획득하고(S404), 상기 마스터 데이터베이스(204)의 카세트 정보 테이블에서 해당 로트를 담고 있는 카세트의 정보 예를들면, 카세트가 위치한 장비그룹 아이디, 카세트의 위치, 카세트 상태 및 장비 아이디를 획득한다(S406).
이어서, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 마스터 데이터베이스(204)의 단위공정 진행 정보 테이블에서 해당로트의 공정진행 정보를 획득한다(S408).
상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 수신한 로트의 공정데이터와 상기 마스터 데이터베이스(204)의 로트 정보 테이블, 카세트 정보 테이블 및 단위공정 진행 정보 테이블의 해당 로트의 데이터를 비교한 후, 비교한 결과를 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로 전송 가능한 데이터로 변환하여 전송한다(S410).
상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 작업자 인터페이스 프로세스(202)로부터 수신한 로트의 공정데이터와 상기 마스터 데이터베이스(204)의 진행중인 제품정보 테이블, 진행중인 공정정보 테이블 및 단위 공정정보 테이블의 해당 로트에 관한 정보가 일치하는지를 확인한다(S412).
상기 S412의 확인결과, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 수신한로트의 공정데이터와 마스터 데이터베이스(204)의 진행중인 제품정보 테이블, 진행중인 공정정보 테이블 및 단위공정 정보 테이블의 정보가 일치하지 않을 경우, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 마스터 데이터베이스(204)의 장비그룹 정보 테이블, 개별 장비 정보 테이블, 로트 및 카세트 정보 테이블을 상기 작업자 인터페이스 프로세스(202)로부터 수신한 로트의 공정데이터를 기준으로 갱신한다(S414).
상기 S412의 확인결과, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 수신한 로트의 공정데이터와 마스터 데이터베이스(204)의 진행중인 제품정보 테이블, 진행중인 공정정보 테이블 및 단위공정 정보 테이블의 정보가 일치할 경우, 리턴한다.
첨부된 도 4 는 상기 도 2 에서 작업자 인터페이스 서버(202)로부터 해당 로트의 공정데이터를 수신한 셀 관리 서버(206)가 마스터 데이터베이스(204)에서 상기 수신된 해당 로트의 공정데이터를 확인하고 상기 마스터 데이터베이스(204)를 정정하는 과정(S310)의 상세흐름도로서, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)로부터 해당 로트의 공정데이터를 수신한 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(204)에서 해당 로트가 진행하기로 예약된 공정의 장비그룹과 해당 로트가 실제로 현재 위치한 공정의 장비그룹이 일치하지 않는가를 판단한다(S500).
상기 S500의 판단결과, 해당 로트가 진행하기로 예약된 공정의 장비그룹과 해당 로트가 실제로 현재 위치한 공정의 장비그룹이 일치하지 않을 경우, 상기 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(204)에서 해당 로트의 예약된 공정정보를 삭제하고(S502), 실제 반도체 제조공정에서 해당 로트의 공정정보를 삽입한 후(S504), 다음 과정을 진행한다.
상기 S500의 판단결과, 해당 로트가 진행하기로 예약된 공정의 장비그룹과 해당 로트가 실제로 현재 위치한 공정의 장비그룹이 일치할 경우, 다음 과정을 진행한다.
첨부된 도 5 는 상기 도 2 의 로트 전산정보의 일관성 유지 방법을 수행하기 위한 이력 정보 서버의 일실시예 상세 처리 흐름도이다.
상기 이력 정보 서버(212)는 이력 정보 서버 큐 파일(210)에서 획득한 해당 로트의 공정데이터를 상기 이력 데이터베이스(214)의 로트 상태 이력 테이블의 데이터와 일치 여부를 확인한다(S600).
상기 S600의 확인결과, 수신된 해당 로트의 공정데이터와 이력 데이터베이스(214)의 해당 로트 공정데이터와 일치하지 않을 경우, 상기 이력 정보 서버(212)는 수신된 해당 로트의 공정데이터를 기준으로 상기 이력 데이터베이스(214)의 로트 상태 이력 테이블을 갱신하고(S602), 이력 데이터베이스(214)의 해당 로트의 이력 테이블에 로트 전산정보 일치 작업 이력을 삽입한 후(S604), 해당 로트의 공정진행 정보를 상기 이력 데이터베이스(214)에서 갱신한다(S606).
다음으로, 상기 이력 정보 서버(212)는 이력 데이터베이스(214)의 로트 명령 이력 테이블에 해당 로트의 로트의 전산정보 일치 명령을 삽입하고(S608), 반환된다.
상기 S600의 확인결과, 수신된 해당 로트의 공정데이터와 이력 데이터베이스(214)의 해당 로트 공정데이터와 일치할 경우, 반환된다.
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다.
상기와 같은 본 발명은, 반도체 라인관리용 통합 자동화 시스템에서 로트의 생산 및 공정데이터의 일관성 유지작업을 로트 생산정보 일치명령이라는 단위작업으로 실시하므로써 생산정보의 일관성을 유지작업의 시간을 효과적으로 단축할 수 있으며, 그 작업시간동안 작업자는 또 다른 전산작업을 수행할 수 있으므로 작업의 능률을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 반도체 자동화시스템의 MES부가 대부분 관리하던 공정데이터를 다수의 서버로 분산시켜 관리하므로써, 데이터베이스의 안정성 및 그의 유지보수에 투입되는 인력과 시간을 줄일 수 있으며, 반도체 자동화시스템의 통신불안으로 시간초과 에러가 발생하더라도 생산현장의 정보가 누락되지 않아 정확한 생산정보의 관리를 수행할 수 있는 효과가 있다.

Claims (11)

  1. 반도체 제조공정의 생산정보를 관리하는 반도체 자동화시스템에 있어서,
    작업자의 로트 전산정보 일치 요청 데이터의 입력 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 수단;
    상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 데이터를 확인 및 전송하는 서버수단; 및
    반도체 제조공정에서 발생하는 생산정보를 저장하며, 상기 서버수단이 데이터를 확인 및 갱신하는 저장수단
    을 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 서버수단은,
    상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 로트 전산정보 일치 요청 데이터를 확인 및 전송하는 작업자 인터페이스 서버;
    상기 작업자 인터페이스 서버로부터 로트 전산정보 일치 요청 데이터를 수신하여 상기 저장수단에서 확인하고, 저장 및 전송하는 셀 관리 서버;
    상기 셀 관리 서버로부터 로트 전산정보 일치 요청 데이터를 수신하여 해당로트에 대한 스케쥴 정보를 갱신하는 로트 스케쥴 서버; 및
    로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 관리하며, 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신하는 로트 이력 정보 서버를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지 시스템.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 저장수단은,
    상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 수신한 로트 전산정보 일치 요청 데이터를 확인하고, 그 데이터를 기준으로 갱신할 수 있도록 로트 정보, 카세트 정보, 장비 정보 및 공정 정보가 저장되어 있는 마스터 데이터베이스;
    상기 셀 관리 서버가 로트 전산정보 일치 요청 데이터를 임시저장하는 이력 정보 서버 큐 파일; 및
    상기 이력 정보 서버가 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 확인하고 저장하는 이력 데이터베이스를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지 시스템.
  4. 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보 일관성 유지 방법에 있어서,
    작업자가 각 장비의 터미널에 표시되는 로트의 정보를 통해 반도체 제조공정에서 실제 로트의 진행에 따라 수기하는 런 시트와 로트의 전산정보가 일치하지 않는다는 사실을 인식하는 제 1단계;
    런 시트와 로트의 전산정보 중 어떤 정보가 오류인지를 판단하는 제 2단계;
    상기 제 2단계의 판단결과, 로트의 전산정보 오류일 경우, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 반도체 제조공정에서 공정을 진행하고 있는 실제 로트의 공정데이터를 입력하여 로트 전산정보의 일치를 요청하고, 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 입력된 상기 로트의 공정데이터를 작업자 인터페이스 서버로 전송하는 제 3단계;
    상기 실제 로트의 공정데이터를 작업자 인터페이스 프로세스로부터 수신한 작업자 인터페이스 서버가 상기 로트의 공정데이터를 기준으로 마스터 데이터베이스에서 해당 로트의 공정데이터를 확인하고, 해당 로트의 공정데이터를 정정하는 제 4단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 해당 로트의 공정데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 5단계;
    상기 셀 관리 서버가 해당 로트의 공정 데이터를 상기 마스터 데이터베이스에서 확인하고 마스터 데이터베이스를 정정한 후, 상기 해당 로트의 공정데이터를 로트 스케쥴 서버로 전송하는 제 6단계;
    상기 셀 관리 서버가 해당 로트의 공정데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록하고, 이력 정보 서버에 메세지를 전송하는 제 7단계;
    상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 해당 로트의 공정데이터를 판독하여 취득하고, 이력 데이터베이스에서 해당 로트의 공정이력 데이터를 갱신하는 제 8단계; 및
    상기 제 2단계의 판단결과, 런 시트의 오류일 경우, 작업자가 반도체 제조공정에서 공정을 진행하고 있는 실제 로트의 공정데이터를 기준으로 런 시트를 수정하는 제 9단계
    를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제 4단계는,
    상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트의 공정데이터를 수신하는 제 10단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 수신된 로트의 공정데이터를 기준으로 마스터 데이터베이스에서 해당 로트의 공정 정보, 단위공정 정보 및 로트의 진행보류 여부등을 확인하는 제 11단계;
    상기 제 11단계의 확인 결과를 상기 작업자 인터페이스 프로세스로 전송 가능한 데이터의 형태로 변환하는 제 12단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스의 로트 정보 테이블,카세트 정보 테이블 및 단위공정 진행 정보 테이블에서 해당 로트의 정보를 획득하는 제 13단계;
    상기 제 11 단계 내지 제 13단계에서 획득된 데이터를 마스터 데이터베이스와 확인 후, 작업자 인터페이스 프로세스로 전송 가능한 형태로 변환하는 제 14단계; 및
    상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스의 진행중인 제품정보 테이블, 진행중인 공정정보 테이블 및 단위공정 진행 정보 테이블에서 해당 로트의 정보를 확인하는 제 15단계;
    상기 제 15단계의 확인결과, 상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 수신한 로트의 공정데이터와 마스터 데이터베이스의 진행중인 제품정보 테이블, 진행중인 공정정보 테이블 및 단위공정 정보 테이블의 정보가 일치하지 않을 경우, 상기 마스터 데이터베이스의 장비그룹 정보 테이블, 개별 장비 정보 테이블, 로트 및 카세트 정보 테이블을 상기 작업자 인터페이스 프로세스부터 수신한 로트의 공정데이터를 기준으로 갱신 제 16단계를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 13단계는,
    상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스의 반도체 제조공정을진행하는 모든 로트의 로트 아이디, 해당 로트를 담고 있는 카세트 아이디, 로트 및 카세트의 위치, 로트의 상태등의 기본정보를 저장하고 있는 로트 정보 테이블에서 해당 로트의 기본정보를 획득하는 제 17단계; 및
    상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스의 카세트 정보 테이블에서 해당 로트를 담고 있는 카세트의 정보 예를들면, 카세트가 위치한 장비그룹 아이디, 카세트의 위치, 카세트 상태 및 장비 아이디를 획득하는 제 18단계를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지방법.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 제 14단계는,
    상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 수신한로트의 공정데이터와 상기 마스터 데이터베이스의 로트 정보 테이블, 카세트 정보 테이블 및 단위공정 진행 정보 테이블의 해당 로트의 데이터를 확인하는 제 19단계; 및
    상기 제 19단계에서 확인한 결과를 상기 작업자 인터페이스 프로세스로 전송 가능한 데이터로 변환하여 전송하는 제 20단계를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지방법.
  8. 제 4항에 있어서,
    상기 제 6단계는,
    상기 셀 관리 서버가 상기 작업자 인터페이스 서버로부터 해당 로트의 공정데이터를 수신하는 제 21단계;
    상기 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 로트가 진행하기로 예약된 공정의 장비그룹과 해당 로트가 실제로 현재 위치한 공정의 장비그룹이 일치하지 않는가를 판단하는 제 22단계;
    상기 제 22단계의 판단결과, 해당 로트가 진행하기로 예약된 공정의 장비그룹과 해당 로트가 실제로 현재 위치한 공정의 장비그룹이 일치하지 않을 경우, 상기 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 로트의 예약된 공정정보를 삭제하는 제 23단계;
    상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 수신한 해당 로트의 공정정보를 이용하여 마스터 데이터베이스에 로트의 공정정보를 삽입하는 제 24단계;
    상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 수신한 해당 로트의 공정정보를 로트 스케쥴 서버로 전송하는 제 25단계; 및
    상기 제 22단계의 판단결과, 해당 로트가 진행하기로 예약된 공정의 장비그룹과 해당 로트가 실제로 현재 위치한 공정의 장비그룹이 일치할 경우, 상기 제 25단계를 수행하는 제 26단계를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지방법.
  9. 제 4항에 있어서,
    상기 제 7단계는,
    상기 셀 관리 서버가 해당 로트의 공정데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록하는 제 27단계; 및
    상기 셀 관리 서버가 이력 정보 서버로 해당 로트의 공정데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록하였다는 메세지를 전송하는 제 28단계를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트 전산정보의 일관성 유지방법.
  10. 제 4항에 있어서,
    상기 제 8단계는,
    상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에서 획득한 해당 로트의 공정데이터를 상기 이력 데이터베이스의 로트 상태 이력 테이블의 데이터와 일치 여부를 확인하는 제 29단계;
    상기 제 29단계의 확인결과, 수신된 해당 로트의 공정데이터와 이력 데이터베이스의 해당 로트 공정데이터와 일치하지 않을 경우, 상기 이력 정보 서버가 수신된 해당 로트의 공정데이터를 기준으로 상기 이력 데이터베이스의 로트 상태 이력 테이블을 갱신하는 제 30단계;
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스의 해당 로트의 이력 테이블에 로트 전산정보 일치 작업 이력을 삽입하는 제 31단계;
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스에서 해당 로트의 공정진행 정보를 갱신하는 제 32단계; 및
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스의 로트 명령 이력 테이블에 해당 로트의 전산정보 일치 명령을 삽입하는 제 33단계를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 로트의 전산정보 일관성 유지방법.
  11. 마이크로 프로세서를 구비한 로트의 전산정보 일관성 유지 시스템에,
    작업자가 각 장비의 터미널에 표시되는 로트의 정보를 통해 반도체 제조공정에서 실제 로트의 진행에 따라 수기하는 런 시트와 로트의 전산정보가 일치하지 않는다는 사실을 인식하는 제 1기능;
    런 시트와 로트의 전산정보 중 어떤 정보가 오류인지를 판단하는 제 2기능;
    상기 제 2기능의 판단결과, 로트의 전산정보 오류일 경우, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 반도체 제조공정에서 공정을 진행하고 있는 실제 로트의 공정데이터를 입력하여 로트 전산정보의 일치를 요청하고, 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 입력된 상기 로트의 공정데이터를 작업자 인터페이스 서버로 전송하는 제 3기능;
    상기 실제 로트의 공정데이터를 작업자 인터페이스 프로세스로부터 수신한 작업자 인터페이스 서버가 상기 로트의 공정데이터를 기준으로 마스터 데이터베이스에서 해당 로트의 공정데이터를 확인하고, 해당 로트의 공정데이터를 정정하는 제 4기능;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 해당 로트의 공정데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 5기능;
    상기 셀 관리 서버가 해당 로트의 공정 데이터를 상기 마스터 데이터베이스에서 확인하고 마스터 데이터베이스를 정정한 후, 상기 해당 로트의 공정데이터를 로트 스케쥴 서버로 전송하는 제 6기능;
    상기 셀 관리 서버가 해당 로트의 공정데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록하고, 이력 정보 서버에 메세지를 전송하는 제 7기능;
    상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 해당 로트의 공정데이터를 판독하여 취득하고, 이력 데이터베이스에서 해당 로트의 공정이력 데이터를 갱신하는 제 8기능; 및
    상기 제 2기능의 판단결과, 런 시트의 오류일 경우, 작업자가 반도체 제조공정에서 공정을 진행하고 있는 실제 로트의 공정데이터를 기준으로 런 시트를 수정하는 제 9기능
    을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.
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