KR20010084784A - Ａｃ 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 및 그제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 및 그 제조방법에 관한 것으로 종래 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 및 그 제조방법은 유지전극으로 금속 전극과 ITO 전극을 함께 사용하여 제조공정이 복잡하여 그 제조비용이 증가하는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 전도성 시드층의 상부에 사진식각공정을 통해 감광성 수지 패턴을 형성하는 단계와; 상기 감광성 수지 패턴을 마스크로 하여 노출된 전도성 시드층에만 전기도금 또는 무전해도금의 방식으로 유지전극을 형성하는 단계와; 상기 감광성 수지 패턴을 제거하고, 그 감광성 수지 패턴 하부의 전도성 시드층을 제거하는 단계로 상호 평행한 한 쌍의 제 1금속전극과, 상기 한 쌍의 제 1금속전극의 내측으로 소정거리 이격되어 상호 평행하게 위치하는 한 쌍의 제 2금속전극과, 상기 제 2금속전극과 인접한 제 1금속전극을 상기 제 1금속전극 및 제 2금속전극과 수직으로 교차하는 방향으로 접속하는 제 3금속전극을 구비하는 유지전극을 제조함으로써, 종래 ITO 전극과 금속 전극을 포함하는 유지전극의 구조를 가시광선을 차단하지 않는 미세패턴의 금속 전극으로 대체하여, ITO 전극의 형성공정을 제거하여 공정의 단순화와 아울러 제조비용을 절감하는 효과가 있다.

Description

ＡＣ 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 및 그 제조방법{SUSTAIN ELECTRODE IN AC THE FACE DISCHARGE TYPE PLASMA DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD FOR THEREOF}

본 발명은 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 및 그 제조방법에 관한 것으로 특히 유지전극으로 ITO를 쓰지않고 버스전극물질을 이용하여 유지전극을 형성하여 공정을 단순화함과 아울러 방전효율을 향상시키는데 적당하도록 한 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 및 그 제조방법에 관한 것이다.

도1은 종래 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 사시도로서, 이에 도시한 바와 같이 전면 유리층(FRONT PLATE,1)의 하부측에 일측방향으로 긴 형태를 갖으며, 상호 소정거리 이격된 ITO 전극(3)과; 상기 ITO 전극(3) 쌍의 내측하부에 위치하며 상호 소정거리 이격된 버스전극(2)을 포함하여 구성되며 상기 버스전극(2)과 ITO 전극(3) 만을 도2에 도시하였다.

상기와 같은 플라즈마 디스플레이는 가스방전에 의해 발생되는 자외선을 형광체에서 가시광선으로 변환시켜 디스플레이에 이용하는 것으로, 상기 설명한 전면 유리층(1), 버스전극(2), ITO 전극(3)과, 그 하부측의 보호층(4)과 유전층(5)을 포함하는 상판과, 베이스 플레이트(6)의 상부에 순차적으로 적층된 어드레스전극(7)과, 형광체층(8), 격벽(9)을 포함하는 배면판을 결합하여 형성한다.

또한, 이때의 ITO 전극(3)은 방전공간을 크게 하는 반면에 저항이 커서 그 상부에 저저항을 지니는 금속전극인 버스전극(2)을 형성시켜 유지전극을 형성하는 것이며, 이는 스퍼터링 또는 진공증착 등의 박막형성공정으로 ITO층을 형성하고, 그ITO층을 사진식각공정으로 패터닝하여 상기 도1 및 도2에 도시한 바와 같이 일측 방향으로 긴 형태의 ITO 전극(3)을 형성한 후, 다시 금속을 증착하고 전극 패턴을 형성하여 버스전극(2)을 형성함으로써, 공정이 복잡하여 상대적으로 제조비용이 증가하게 된다.

상기와 같이 선상으로 패터닝된 ITO 전극(3)의 사이영역에서 초기방전이 발생하며, 그 초기방전이 확산되어 방전이 유지된다. 이와 같은 선형 구조에서는 ITO 전극(3)의 사이부분에서 방전이 집중적으로 발생하며, 이로 인해 방전공간이 좁아지고 그 방전효율이 저하되는 문제점이 있었다.

이와 같은 문제점을 감안하여 제안된 것이 일본국 특개평 11-149874에 기재된 바와 같이 ITO전극을 T형으로 형성함으로써 방전공간을 확장시켜 효율을 향상시키는 것으로, 이를 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.

도3은 종래 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극의 다른 실시예의 평면도로서, 이에 도시한 바와 같이 상호 소정거리 이격된 버스전극(2)과, 상기 버스전극(2) 쌍의 내측에서 상호 소정거리 이격되어 평행을 이루도록 위치하며 그 평행인 부분과 상기 버스전극(2)을 연결하는 영역을 구비하는 ITO 전극(3)으로 구성된다.

상기한 바와 같이 종래 다른 실시예는 선형의 ITO 전극의 문제점을 해결하기 위해 그 ITO 전극(3)의 형상을 T형으로 변형하여 그 방전공간을 늘려 방전 효율을 향상시킬 수 있게 된다.

그러나, 이와 같은 방법도 종래 선형의 유지 전극의 형성과 동일하게 ITO박막을 증착하고, 그 ITO박막을 T형으로 패터닝한 다음, 그 상부에 감광성 은 전극층을 얼라인시켜 버스전극을 형성하는 것으로, 공정의 복잡성을 여전히 남아있다.

상기 ITO 전극(3)을 사용하는 이유는 금속 전극 만을 이용하는 경우에는 형광체에서 발생되는 가시광선을 차단시켜 휘도 및 효율을 저하시게 되므로 이를 방지하기 위한 것이다.

상기한 바와 같이 종래 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 및 그 제조방법은 유지전극으로 금속 전극과 ITO 전극을 함께 사용하여 제조공정이 복잡하여 그 제조비용이 증가하는 문제점이 있었다.

이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 ITO 전극을 사용하지 않고 금속 전극만을 사용하여 유지전극을 형성할 수 있는 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.

도1은 종래 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 사시도.

도2는 도1에 있어서, 버스전극과 ITO전극인 유지전극의 평면도.

도3은 종래 유지전극의 다른 실시예를 보인 평면도.

도4는 본 발명 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이 유지전극의 평면도.

도5는 본 발명으로 제조된 유지전극의 상부에 유전층을 형성한 후, 광학 현미경으로 측정한 평면도.

도6은 본 발명으로 제조된 유지전극을 이용한 패널 제작후 방전한 경우의 평면도.

***도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명***

1~3: 제 1 내지 제 3금속전극

상기와 같은 목적은 전기도금법을 이용하여 10 내지 100 마이크로 미터의 선폭을 갖는 금속배선을 형성하고, 이를 유지전극으로 이용함으로써, ITO를 사용하지 않고도 가시광선이 차단됨을 방지함으로써 달성되는 것으로, 이와 같은 본 발명을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도4는 본 발명 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극의 평면도로서, 이에 도시한 바와 같이 종래 도3에 도시한 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극의 구조와 동일하나, ITO 박막을 사용하지 않고 T자형 전극도 버스전극과 동일한 물질로 형성한다. 즉, 상호 평행한 한 쌍의 제 1금속전극(1)과, 상기 한 쌍의 제 1금속전극(1)의 내측으로 소정거리 이격되어 상호 평행하게 위치하는 한 쌍의 제 2금속전극(2)과, 상기 제 2금속전극(2)과 인접한 제 1금속전극(1)을 상기 제 1금속전극(1) 및 제 2금속전극(2)과 수직으로 교차하는 방향으로 접속하는 제 3금속전극(3)으로 구성된다.

이와 같은 유지전극은 티타늄과 구리가 적층된 전도성 시드층의 상부에 사진식각공정을 통해 감광성 수지 패턴을 형성하는 단계와; 상기 감광성 수지 패턴을 마스크로 하여 노출된 전도성 시드층에만 전기도금 또는 무전해도금의 방식으로 유지전극패턴을 형성하는 단계와; 상기 감광성 수지 패턴을 제거하고, 그 감광성 수지 패턴 하부의 전도성 시드층을 제거하는 단계로 제조한다.

그리고, 상기 전기도금 또는 무전해도금으로 형성하는 유지전극 패턴은 그 패턴의 재료로 구리, 은 또는 금을 사용하거나 상기 나열한 원소의 합금을 사용하여 유지전극을 형성한다.

또한, 구리를 사용하는 경우에는 노출되는 표면에 크로뮴이나 코발트, 은, 금 등을 전기도금이나 무전해도금에 의해 형성하여 이후의 공정에서 유전체소성공정에서, 전극재의 변화를 방지한다.

이와 같이 ITO 전극을 사용하지 않고, 금속 전극만으로 가시광선을 차단하지 않는 선폭으로 유지전극을 형성할 때의 이점은 ITO박막의 형성을 위해 진공증착 또는 스퍼터링공정을 사용하지 않고, 또한 ITO 전극과 소다라임 그라스의 반응을 억제하기 위해 산화막을 증착하는 단계를 사용하지 않고, 그 ITO 전극의 형성을 위해 사진식각공정을 사용하지 않음으로써 공정단계가 단순화되고 제조비용을 절감할 수 있게 된다.

도5는 본 발명으로 제조된 유지전극의 상부에 유전층을 형성한 후, 광학 현미경으로 측정한 평면도이고, 도6은 패널 제작후 방전한 경우의 평면도로서, 도금법을 이용하여 금속을 10 내지 100 마이크 미터의 폭으로 형성함으로써, 금속만으로 가시광선을 차단하지 않는 유지전극을 형성하여도 그 방전특성에 영향을 주지않으며 공정을 단순화하게 된다.

상기한 바와 같이 본 발명 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 및 그 제조방법은 종래 ITO 전극과 금속 전극을 포함하는 유지전극의 구조를 가시광선을 차단하지 않는 미세패턴의 금속 전극으로 대체하여, ITO 전극의 형성공정을 제거하여 공정의 단순화와 아울러 제조비용을 절감하는 효과가 있다.

Claims (7)

1. 기판위에 평행하게 형성된 한쌍의 유지전극을 갖는 플라즈마 디스플레이에 있어서, 상기 유지전극은 금속인 것을 특징으로 하는 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극.
2. 제 1항에 있어서, 상기 유지전극과 한쌍의 유지전극에는 상호 대향하는 위치에 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극.
3. 제 2항에 있어서, 상기 돌출부는 서로 마주보는 T자형인 것을 특징으로 하는 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극.
4. 제 1항에 있어서, 상기 유지전극은 은, 구리, 금 또는 그들의 합금중 선택된 하나의 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극.
5. 기판위에 전도성 시드층을 형성하는 단계와; 상기 전도성 시드층의 상부에 전극형성을 위해 감광성 수지패턴을 형성하는 단계와; 상기 감광성 수지패턴에 의해 상기 시드층위에 금속전극을 전기도금법 또는 무전해도금법에 의해 형성하는 단계를포함하여 된 것을 특징으로 하는 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 제조방법.
6. 제 5항에 있어서, 상기 감광성 수지패턴 형성단계는 상기 전도성 시드층위에 감광성 수지층을 형성하는 단계와; 상기 감광성 수지층을 사진식각공정에 의해 서로 마주보는 돌출부를 갖는 스트라이프형의 패턴을 갖도록 패터닝하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 제조방법.
7. 제 6항에 있어서, 돌출부는 서로 마주보는 T자형으로 형성된 것을 특징으로 하는 AC 면방전형 플라즈마 디스플레이의 유지전극 제조방법.