KR20010083072A - 열식 유체센서, 유체판별장치 및 그 방법, 플로센서, 및유량계측장치 및 그 방법 - Google Patents

열식 유체센서, 유체판별장치 및 그 방법, 플로센서, 및유량계측장치 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

마이크로히터(4)가 외부로부터의 구동전류에 의해 유체를 가열하면 마이크로히터(4)의 가열과 병행하여 상류측 서모파일(8)은 마이크로히터(4)에 의해 가열되기 전의 유체온도를 검출하여 제 1 온도검출신호를 출력하고, 하류측 서모파일(5)은 마이크로히터(4)에 의해 가열되기 전의 유체온도를 검출하여 제 2 온도검출신호를 출력하고, 이들 양 신호의 차신호에 의거하여 유량을 산출하지만, 그것에 대하여, 마이크로히터(4)에 대하여 유체의 흐름방향과 대략 직교방향에 배치된 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(13)에 의해 유체온도를 검출하여 우측온도검출신호 및 좌측온도검출신호를 출력시키고, 이에 의거하여 산출되는 유체의 물성값에 의거하여 산출된 유량을 보정할 수 있게 하였다.
이 때문에 계측대상유체의 종류나 조성이 변화하면 출력특성에 변화를 발생하는 플로센서에 의해서도 계측대상유체의 유량을 정도좋게 계측할 수 있다.

Description

열식 유체센서, 유체판별장치 및 그 방법, 플로센서, 및 유량계측장치 및 그 방법{THERMAL FLOW SENSOR, METHOD AND APPARATUS FOR IDENTIFYING FLUID, FLOW SENSOR, AND METHOD AND APPARATUS FOR FLOW MEASUREMENT}
도 9에 종래의 열형 마이크로플로센서 구성도를 표시한다. 마이크로플로센서(101)는 Si기판(102), 다이어프램(103), 다이어프램(103) 상에 형성된 마이크로히터(104), 마이크로히터(104) 하단에서 다이어프램(103) 상에서 형성된 하류측 서모파일(105), 마이크로히터(104)에 구동전류를 공급하는 전원단자(106A,106B), 마이크로히터(104) 상단에서 다이어프램(103) 상에 형성된 상류측 서모파일(108), 상류측 서모파일(108)에서 출력되는 제 1 온도검출신호를 출력하는 제 1 출력단자 (109A,109B), 하류측 서모파일(105)에서 출력되는 제 2 온도검출신호를 출력하는 제 2 출력단자(107A,107B)를 구비한다.
이와같이 구성된 마이크로플로센서(101)에 의하면 외부로부터의 구동전류에 의해 마이크로히터(104)가 마이크로히터(104) 주위에 존재하는 가스 등의 계측대상유체를 가열하여 마이크로히터(104)에서 하류측 서모파일(105)에 걸쳐진 것과, 마이크로히터(104)에서 상류측 서모파일(108)에 걸쳐진 것에 균등한 온도분포를 발생시킨다.
이 상태로 가스 등의 계측대상유체에 P에서 Q로 향한 흐름이 생기면 마이크로히터(104) 주위의 온도분포가 계측대상유체의 흐름의 하류측, 즉 하류측 서모파일(105)로 치우치기 때문에 상류측 서모파일(108)은 계측대상유체의 흐름이 발생하지 않은 유량 = 0일때 보다 낮은 온도를 검출하고 그 검출온도에 응한 값의 제 1 온도 검출신호를 출력한다.
이에 대해 하류측 서모파일(105)은 마이크로히터(104) 주위의 온도분포가 하류측으로 치우치는 분만큼 계측대상유체의 흐름발생이 없는 유량 = 0일때 보다 높은 온도를 검출하고, 그 검출온도에 응한 값의 제 2 온도검출신호를 출력한다. 이때문에 도시하지 않은 유체계측장치는 상류측 서모파일(108)로부터의 제 1 온도검출신호와 하류측 서모파일(105)로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호(差信號)에 의거하여 계측대상유체의 유량을 산출할 수 있다.
그러나, 도 9와 같이 종래의 마이크로플로센서에 있어서는 계측대상유체(이하, 유체라 함) 종류와 유체조성이 변하면 그 출력특성도 변화되는 문제가 있었다.
즉, 유체의 종류나 조성이 변하면 열전도율이나 비열, 점성, 밀도 등의 유체의 물성값이 변하기 때문에 마이크로히터로 가열된 유체의 온도분포가 변화하여 출력이 변화된다.
그래서, 이와같은 문제점을 해결하기 위하여 마이크로플로센서와는 별도로 가스분석센서를 배치하거나 또는 미리 유체의 특성값을 마이크로플로센서와 그 마이크로플로센서가 탑재된 장치에 인식시켜 두는 등의 방법이 채용되고 있다.
그러나, 예를 들면, 가스미터에 있어서는 같은 규격의 가스라도 로트에 의해 원료가스 조성이 미묘하게 다르고, 또 가스생산공정에서 행하는 열량 콘트롤을 위한 조성조정 정밀도에도 한계가 있으므로 예를 들면, 규격이 같은 가스라도 조성이 변할 수 있고, 그 때문에 유체와 특성값을 마이크로플로센서나 그 탑재장치에 미리 인식시켜 두기에는 한계가 있었다.
또, 가스분석센서를 별도로 배치할 경우는 가스미터가 대형화될 뿐더러 유량의 보정방법 등의 고려나 가스분석센서를 놓은 장소 등을 고려해야 하는 점이 많아 염가로 가스미터를 제작할 수 없었다.
본 발명은 유체의 종류 판별에 사용할 수 있는 유체센서, 이 유체센서에서 출력되는 온도검출신호에 의거하여 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별장치 및 그 방법, 유체계측으로 사용할 수 있는 유속센서(이하, 플로센서라 함)및 플로센서에서 출력되는 온도검출신호에 의거하여 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 플로센서 및 유량계측장치 및 그 방법에 대해서는 계측대상유체의 종류나 조성이 변화될 경우에 있어서도 정도(精度) 좋게 유체유량을 계측할 수 있는 플로센서 및 유량계측장치 및 그 방법에 관한 것이며, 또 유량계측장치 및 그 방법에 대해서는 유량의 계측범위가 넓은 경우에도 정도 좋게 유체유량을 계측할 수 있는 유량계측장치 및 그 방법에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 관한 마이크로플로센서의 구성도,
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 관한 마이크로플로센서의 단면도,
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 관한 마이크로플로센서를 이용한 유량계측장치의 구성 블록도,
도 4는 도 3의 유량계측장치에 의해 실현되는 유량계측방법을 나타내는 플로챠트,
도 5는 도 1의 마이크로플로센서가 출력하는 제 1 온도검출신호 및 제 2 온도검출신호 표시도,
도 6은 도 1의 마이크로플로센서가 출력하는 우측온도검출신호 및 좌측온도검출신호 표시도,
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 관한 마이크로플로센서의 구성도,
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 관한 마이크로플로센서를 사용한 유량계측장치의 구성블록도,
도 9는 종래의 열형 마이크로플로센서의 구성도.
"도면의 주요부분에 대한 부호의 설명"
1: 마이크로플로센서 2: Si기판
3: 다이어프램 4: 마이크로히터
본 발명은 상기 사정을 감안하여 행해진 것으로 그 목적은 계측대상유체의 종류나 조성이 변하면 출력특성에 변화를 낳는 플로센서에 의해서도 계측대상유체의 유량을 소형이고 염가로 정도좋게 계측할 수 있는 열식유체센서나, 유체판별장치 및 그 방법, 및 이들 열식유체센서와 유체판별장치 및 그 방법을 사용하여 계측대상유체의 유량을 계측하는데 이용하기 적합한 플로센서와, 유량계측장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
그리고, 상기 목적을 달성하기 위하여 청구항 1 기재의 본 발명의 열식유체센서는 외부로부터의 구동전류에 의해 유로를 흐르는 계측대상유체를 가열하는 히터와, 이 히터에 대하여 상기 계측대상유체의 흐름방향과 대략 직교방향에 배치되고, 상기 계측대상유체의 온도를 검출하여 온도검출신호를 출력하는 횡측온도센서와, 상기 히터 및 횡측 온도센서를 지지하는 지지기판을 구비한 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 6 기재의 본 발명의 유체판별장치는 청구항 1 기재의 본 발명의 열식유체센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별장치로서, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 10 기재의 본 발명의 유체판별장치는 청구항 1 기재의 본 발명의 열식유체센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별장치로서, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하는 유량측정수단과, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터 출력되어 얻은 상기 온도검출신호의 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류에 따라 서로 다른 기준범위를 상기 계측대상유체의 종류에 관련시킨 기준 범위 데이터가 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 복수종류 격납된 기준범위데이터 격납수단과, 상기 기준범위데이터 격납수단에 격납된 복수종류의 상기 기준범위데이터 중에서 상기 유량측정수단에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준범위 데이터를 산출하는 기준범위데이터 산출수단과, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호가 상기 기준범위데이터로 산출된 상기 기준범위데이터가 나타내는 상기 온도검출신호의 기준범위중, 어느 종류의 상기 계측대상유체에 관련된 기준범위에 속하는 지를 판별하는 해당 범위 판별수단을 구비하고, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호가 속하는 것으로 해당 범위판별수단에서 판별된 기준범위에 관련된 상기 계측대상유체의 종류를 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류라고 판별하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 11 기재의 본 발명의 유체판별방법은 청구항 1 기재의 본 발명의 열식유체센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별함에 있어서, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 15 기재의 본 발명의 유체판별방법은 청구항 1 기재의 본 발명의 열식유체센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별함에 있어서, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하는 유량측정스텝과, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서에서 출력되어 얻은 상기 온도 검출신호의 상기 유로로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류에 따라 서로 다른 기준범위를 상기 계측대상유체의 종류에 관련시킨 기준범위 데이터와, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 미리 복수종류로 정해진 기준범위데이터군중에서 상기 유량측정스텝에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준범위 데이터를 산출하는 기준범위데이터 산출스텝과, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호가 상기 기준범위데이터 산출스텝에서 산출된 상기 기준범위데이터가 나타내는 상기 온도검출신호의 기준범위중, 어느 종류가 상기 계측대상유체에 관련된 기준범위에 속하는 지를 판별하는 해당 범위 판별스텝을 포함하고, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호가 속하는 것으로서 상기 해당 범위판별스텝에서 판별된 기준범위에 관련된 상기 계측대상유체의 종류를 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류인 것으로 판별하도록 한 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 16 기재의 본 발명의 유체판별장치는 청구항 1 기재의 본 발명의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치로서, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하는 유량측정수단과, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여 상기 유량측정수단에서 측정된 계측대상유체의 유량을 보정하는 유량보정수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 18 기재의 본 발명의 유량계측장치는 청구항 1 기재의 본 발명의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치로서, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하는 유량측정수단과, 상기 유량측정수단의 측정결과에 의거하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량이 고유량상태 및 저유량상태중 어느 상태에 있는지를 판정하는 판정수단과, 상기 저유량상태인 것으로 상기 판정수단에서 판정되었을때 상기 유량측정수단의 출력하는 신호를 그대로 유량검출신호로서 출력하고, 상기 고유량상태인 것으로 상기 판정수단에서 판정되었을 때에 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호의 값에 의해 상기 유량측정수단의 출력신호값을 나눈 값의 신호를 상기 유량검출신호로서 출력하는 유량출력수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 19 기재의 본 발명의 유량측정장치는 청구항 1 기재의 본 발명의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치로서, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하고 그 측정값에 따른 값의 신호를 출력하는 유량측정수단과, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출수단과, 상기 유량측정수단의 출력신호값을 유량값으로 환산하는 파라미터가 복수종류 격납된 파라미터 기억수단과, 상기 유체물성값 산출수단에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 파라미터 기억수단에 기억된 복수종류의 상기 파라미터중에서 단일 파라미터를 선택하는 선택수단을 구비하고, 상기 선택수단에서 선택된 상기 단일 파라미터에 의해 상기 유량측정수단의 출력신호값에서 환산된 유량값을 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량계측값으로 하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 20 기재의 본 발명의 유량계측방법은 청구항 1 기재의 본 발명의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측함에 있어서, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하는 유량측정 스텝과, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측 온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여 상기 유량측정스텝에서 측정된 상기 계측대상유체의 유량을 보정하는 유량보정스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 22 기재의 본 발명의 유량계측장치는 청구항 1 기재의 본 발명의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측함에 있어서, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하고, 그 측정값에 따른 값의 신호를 취득하는 유량측정스텝과, 상기 유량측정스텝에서 취득된 신호의 값에 의거하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량이 고유량상태 및 저유량상태중 어느 상태에 있는지를 판정하는 판정스텝과 상기 저유량상태인 것으로 상기 판정스텝에서 판정되었을 때에 상기 유량측정스텝에서 취득된 신호를 그대로 유량검출신호로서 출력하고, 상기 고유량상태인 것으로 상기 판정스텝에서 판정되었을 때에 상기 열식유체센서내의 상기 횡측 온도센서로부터의 상기 온도검출신호의 값에 의해 상기 유량측정 스텝에서 취득된 신호값을 나눈 값의 신호를 상기 유량검출신호로서 출력하는 유량출력스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 23 기재의 본 발명의 유량계측방법은 청구항 1 기재의 본 발명의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을계측함에 있어서, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하고, 그 측정값에 따른 값의 신호를 취득하는 유량측정스텝과, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출스텝과, 상기 유체물성값 산출스텝에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 유량측정스텝에서 취득된 신호의 값을 유량값으로 환산하기 위한 미리 정해진 복수종류의 파라미터 중에서 단일 파라미터를 선택하는 파라미터 선택 스텝을 포함하고, 상기 유량측정 스텝에서 취득된 신호의 값에서 상기 파라미터 선택스텝에서 선택된 상기 단일 파라미터에 의해 환산한 유량값을 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량계측값으로 하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 1 기재의 본 발명의 플로센서는 외부로부터의 구동전류에 의해 유로를 흐르는 계측대상유체를 가열하는 히터와, 이 히터에 대하여 상기 계측대상유체의 상류측에 배치되고, 상기 계측대상유체온도를 검출하고, 제 1 온도검출신호를 출력하는 상류측 온도센서와, 상기 히터에 대하여 계측대상유체의 하류측에 배치되고, 상기 계측대상유체의 온도를 검출하고, 제 2 온도검출신호를 출력하는 하류측 온도센서와, 상기 히터에 대하여 상기 계측대상유체의 흐름방향과 거의 직교방향으로 배치되어 상기 계측대상유체의 온도를 검출하고, 제 3 온도검출신호를 출력하는 횡측온도센서와, 상기 히터, 상기 상류측 온도센서, 상기 하류측 온도센서 및 상기 횡측온도센서를 지지하는 지지기판을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 31 기재의 본 발명의 유체판별장치는 청구항 24 기재의 본 발명의 상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별장치로서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출수단과, 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 기준값이 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 복수종류 격납된 기준값 기억수단수단과, 상기 기준값 기억수단에 기억된 복수종류의 상기 기준값 중에서 상기 유량산출수단에서 산출된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준값을 산출하는 기준값 산출수단과, 상기 기준값 산출수단에서 산출된 상기 기준값과 상기 플로센서내의 상기 횡측 온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 비를 산출하는 온도검출신호비 산출수단과, 상기 온도검출신호비 산출수단에서 산출된 상기 비에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는, 유체물성값 산출수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 32 기재의 본 발명의 유체판별장치는 청구항 24 기재의 본 발명의 상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별장치로서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출수단과, 상기 유량측정수단에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량 및 그 유량의 제곱근 중 어느 한쪽에 상기 플로센서내의 상기 횡측 온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호를 곱하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 34 기재의 본 발명의 유체판별장치는 청구항 24 기재의 본 발명의 상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별장치로서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출수단과, 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터 출력되어 얻은 상기 제 3 온도검출신호의 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류에 따라 서로 다른 기준범위를 상기 계측대상유체의 종류에 관련시킨 기준범위데이터가 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 복수종류 격납된 기준범위 데이터 격납수단과, 상기 기준범위 데이터 격납수단에 격납된 복수종류의 상기 기준범위데이터 중에서 상기 유량측정수단에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준범위데이터를 산출하는 기준범위데이터 산출수단과, 상기 플로센서내의 상기 횡측 온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호가 상기 기준범위데이터 산출수단에서 산출된 상기 기준범위데이터를 표시하는 상기 온도검출신호의 기준범위중, 어느 종류의 상기 계측대상유체에 관련시킨 기준범위에 속하는가를 판별하는 해당 범위 판별수단을 구비하고, 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호가 속하는 것으로 해당범위 판단수단에서 판별된 기준범위에 관련시킨 상기 계측대상유체의 종류를 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류임을 판별하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 35 기재의 본 발명의 유체판별방법은 청구항 24 기재의 본 발명의 상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별함에 있어서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출스텝과, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 미리 정해진 복수종류의 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 기준값 중에서 상기 유량산출스텝에서 산출된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준값을 산출하는 기준값 산출스텝과, 상기 기준값 산출스텝에서 산출된 상기 기준값과 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 비를 산출하는 온도검출신호비 산출스텝과, 상기 온도검출신호비 산출스텝에서 산출된 상기 비에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 36 기재의 본 발명의 유체판별방법은 청구항 24 기재의 본 발명의 상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별함에 있어서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출스텝과, 상기 유량측정스텝에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량 및 그 유량의 제곱근 중 어느 한쪽에 상기플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호를 곱하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 38 기재의 본 발명의 유체판별방법은 청구항 24 기재의 본 발명의 상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별함에 있어서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출스텝과, 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터 출력되어 얻은 상기 제 3 온도검출신호의 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류에 따라 서로 다른 기준범위를 상기 계측대상유체의 종류에 관련시킨 기준범위 데이터를 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 미리 복수 종류 결정한 기준범위 데이터군 중에서 상기 유량산출스텝에서 산출된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일한 기준범위 데이터를 산출하는 기준범위데이터 산출스텝과, 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호가 상기 기준범위데이터 산출스텝에서 산출된 상기 기준범위데이터를 표시하는 상기 온도검출신호의 기준범위중, 어느 종류의 상기 계측대상유체에 관련시킨 기준범위에 속하는지를 판별하는 해당 범위 판별 스텝을 포함하고, 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호가 속하는 것으로 해당 범위 판별 스텝에서 판별된 기준범위에 관련시킨 상기 계측대상유체의 종류를 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류임을 판별하게 한 것을특징으로 한다.
또한, 청구항 39 기재의 본 발명의 유량계측장치는 청구항 24 기재의 본 발명의 상기 플로센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치로서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출수단과, 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출수단과, 이 유체물성값 산출수단에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 유량산출수단에서 산출된 상기 계측대상유체의 유량을 보정하는 유량보정수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 청구항 41 기재의 본 발명의 유량계측장치는 청구항 24 기재의 본 발명의 상기 플로센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치로서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하고 그 산출값에 응한 값의 신호를 출력하는 유량산출수단과, 상기 유량산출수단의 출력하는 신호의 값에 의거하여 유기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량이 고유량(高流量)상태 및 저유량상태중 어느 상태에 있는지를 판정하는 판정수단과, 상기 저유량 상태에 있다고 상기 판정수단으로 판정될 때에 상기 유량측정수단의 출력하는 신호를 그대로 유량검출신호로서 출력하고, 상기 고유량 상태에 있다고 상기 판정수단으로 판정될 때에 상기플로센서내의 상기 횡측 온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 값에 의해 상기 유량산출수단의 출력신호값을 나눈 값의 신호를 상기 유량검출신호로서 출력하는 유량출력수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한 청구항 42 기재의 본 발명의 유량계측장치는 청구항 24 기재의 본 발명의 상기 플로센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치로서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는, 그 산출값에 응한 값의 신호를 출력하는 유량산출수단과, 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출수단과, 상기 유량산출수단의 출력신호값을 유량값을 환산하는 파라미터가 복수종류 격납된 파라미터 기억수단과, 상기 유체물성값 산출수단에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 파라미터 기억수단에 기억된 복수 종류의 상기 파라미터 중에서 단일 파라미터를 선택하는 선택수단을 구비하고, 상기 선택수단에서 선택된 상기 파라미터에 의해 상기 유량산출수단의 출력신호값에서 환산한 유량값을 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량계측값으로 하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 43 기재의 본 발명의 유량계측방법은 청구항 24 기재의 본 발명의 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측방법으로서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 상기하류측 온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출스텝과, 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출스텝과, 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 유량산출스텝에서 산출된 상기 계측대상유체의 유량을 보정하는 유량보정스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 45 기재의 본 발명의 유량계측방법은 청구항 24 기재의 본 발명의 상기 플로센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측방법으로서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는, 그 산출값에 응한 값의 신호를 취득하는 유량산출스텝과, 상기 유량산출스텝에서 취득된 신호의 값에 의거하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량이 고유량상태 및 저유량상태중 어느 상태에 있는지를 판정하는 판정스텝과, 상기 저유량상태인 것으로 상기 판정스텝에서 판정될때에 상기 유량산출스텝에서 취득된 신호를 그대로 유량검출신호로서 출력하고, 상기 고유량상태라고 상기 판정스텝에서 판정될때에 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 값에 의해 상기 유량산출스텝에서 취득된 신호값을 나눈 값의 신호를 상기 유량검출신호로서 출력시키는 유량출력스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 46 기재의 본 발명의 유량계측방법은 청구항 24 기재의 본 발명의 상기 플로센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측방법으로서, 상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는, 그 산출값에 응한 값의 신호를 취득하는 유량산출스텝과, 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출스텝과, 상기 유체물성값 산출스텝에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 유량산출스텝에서 취득된 신호의 값을 유량값으로 환산하기 위한 미리 정해진 복수종류의 파라미터 중에서 단일 파라미터를 선택하는 파라미터 선택스텝을 포함하고, 상기 유량산출스텝에서 취득된 신호의 값에서 상기 파라미터 선택스텝에 의해 선택된 상기 단일 파라미터에 의해 환산한 유량값을 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량의 계측값으로 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 1의 적합한 실시예에 의한 마이크로플로센서의 구체적 구성.
우선, 본 발명의 제 1 실시예에 관한 마이크로플로센서의 구성에 대하여 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.
도 1 중 인용부호 1로 도시되는 제 1 실시예의 마이크로플로센서는 Si기판(2), 다이어프램(3), 다이어프램(3) 상에 형성된 백금 등으로 되는 마이크로히터(4), 마이크로히터(4)의 하류측에서, 다이어프램(3)상에 형성된 하류측 서모파일(5), 마이크로히터(4)에 도시하지 않은 전원에서 구동전류를 공급하는 전원단자 (6A,6B), 마이크로히터(4)상의 상류측에서 다이어프램(3)상에 형성된 상류측 서모파일(8), 상류측 서모파일(8)에서 출력되는 제 1 온도검출신호를 출력하는 제 1 출력단자(9A,9B), 하류측 서모파일(5)에서 출력되는 제 2 온도검출신호를 출력하는 제 2 출력단자 (7A,7B)를 구비한다.
또, 마이크로히터(1)는 마이크로히터(4)에 대하여 유체의 흐름방향(P에서 Q로의 방향)과 대략 직교방향으로 배치되고, 유체의 물성값을 검출하고, 우측온도검출신호(제 3 온도검출신호에 대응)를 출력하는 우측서모파일(11), 이 우측서모파일 (11)에서 출력되는 우측온도검출신호를 출력하는 제 3 출력단자(12A,12B), 마이크로히터(4)에 대하여 유체의 흐름방향과 대략 직교방향에 배치되고, 유체의 물성값을 검출하고, 좌측온도검출신호(제 3 온도검출신호에 대응)를 출력하는 좌측서모파일(13), 이 좌측서모파일(13)에서 출력되는 좌측온도검출신호를 출력하는 제4 출력단자(14A,14B)와, 유체온도를 얻기 위한 저항(15,16), 이 저항(15,16)으로부터의 유체온도신호를 출력하는 출력단자(17A,17B)를 구비한다. 우측서모파일(11)및 좌측서모파일(13)은 온도센서를 구성한다.
상류측 서모파일(8), 하류측 서모파일(5), 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(13)은 열전대로 구성된다. 이 열전대는 P ++- Si 및 Al에 의해 구성되고, 냉접점과 온접점을 가지며, 열을 검출하고, 냉접점과 온접점의 온도차에서 열기전력이 발생함으로써 온도검출신호를 출력하게 되어 있다.
또, 도 2와 같이 Si기판(2)에는 다이어프램(3)이 형성되어 있고, 이 다이어프램(3)에는 마이크로히터(4), 상류측 서모파일(8), 하류측 서모파일(5), 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(13)의 각 온접점이 형성되어 있다.
이와같이 구성된 마이크로플로센서(1)에 의하면, 마이크로히터(4)가 외부로부터의 구동전류에 의해 가열을 개시하면 마이크로히터(4)에서 발생한 열은 유체를 매체로하여 하류측 서모파일(5)과 상류측 서모파일(8)의 각 온접점에 전달된다. 각 서모파일의 냉접점은 Si기체(Si기판)상에 있으므로 기체온도로 되어 있고, 각 온접점은 다이어프램상에 있으므로 전달된 열에 의해 가열되고, Si기체온도 보다 온도가 상승한다. 그리고 각 서모파일은 온접점과 냉접점의 온도차에 의해 열기전력을 발생하고 온도검출신호를 출력한다.
유체를 매체로하여 전달되는 열은 유체의 열확산효과와 P에서 Q로 향하여 흐르는 유체의 유속과의 상승효과에 의해 각 서모파일에 전달된다. 즉, 유속이 없을 경우에는 열확산에 의해 상류측 서모파일(8)과 하류측 서모파일(5)로 균등하게 전달되고, 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호와 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호는 영이 된다.
한편, 유체에 유속이 발생하면 유속에 의해 하류측 서모파일(5)의 온접점에 전달되는 열량이 많아지고, 상기 제 2 온도검출신호와 상기 제 1 온도검출신호의 차신호는 유속에 응한 정치(正値)가 된다.
또, 마이크로히터(4)가 외부로부터의 구동전류에 의해 가열을 개시하면, 마이크로히터(4)에서 발생한 열은 유체의 유속의 영향을 거의 받지 않고 유체의 열확산만의 효과에 의해 마이크로히터(4)에 대하여 유체의 흐름방향과 대략 직교방향에 배치된 우측 서모파일(11)에 전달된다. 또, 마이크로히터(4)에 대하여 유체의 흐름방향과 대략 직교방향에 배치된 좌측 서모파일(13)에도 동일한 열이 전달된다. 이 때문에 우측 서모파일(11)의 기전력에 의해 제 3 출력단자(12A,12B)에서 출력되는 우측 온도검출신호 및/또는 좌측 서모파일(12)의 기전력에 의해 제4 출력단자(14A,14B)에서 출력되는 좌측 온도검출신호에 의거하여 열전도와 열확산, 비열등에 의해 결정되는 열확산 정수 등의 유체의 물성값을 산출할 수 있게 되어 있다.
또한 마이크로플로센서(1)에 의하면, 다이어프램(3)상에 마이크로히터(4), 상류측 서모파일(8), 하류측 서모파일(5), 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(13)을 형성했기 때문에 이들 열용량을 작게하여 소비전력을 저감할 수 있다. 또, 마이크로플로센서(1)의 구성이 간단하므로 염가로 제작할 수 있는 효과가 있다.
다음에, 상기 마이크로플로센서(1)를 사용하여 유체의 종류나 조성이 변화될 경우라도 이에 관계없이 항상 유체의 유량을 정도 좋게 계측할 수 있는 유량계측장치에 대하여 설명한다.
도 3은 제 1 실시예에 관한 마이크로플로센서를 사용한 유량계측장치의 구성 블록도이다. 이 유량계측장치는 예를 들면, 가스 등의 유체의 유량을 계측하는 것으로, 마이크로플로센서(1)내의 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와, 마이크로플로센서(1)내의 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 차신호를 증폭하는 차동앰프(33)와, 마이크로플로센서(1) 내의 우측 서모파일(11)로부터의 우측 온도검출신호를 증폭하는 앰프(35a)와, 마이크로플로센서(1)내의 좌측 서모파일(13)로부터의 좌측 온도검출신호를 증폭하는 앰프(35b)와, 마이크로컴퓨터(40)를 구비하여 구성된다.
마이크로컴퓨터(40)는 앰프(35a)로부터의 우측 온도검출신호와 앰프(35b)로부터의 좌측 온도검출신호를 가산하는 가산부(45)와, 차동앰프(33)로 얻은 제 2 온도검출신호와 제 1 온도검출신호의 차신호를 가산부(45)가 출력하는 가산신호에 의해 나누는 제산부(除算部;47)와, 이 제산부(47)가 출력하는 제산신호에 의거하여 유체의 유량을 산출하는 유량산출부(41)와, 가산부(45)가 출력하는 가산신호에 의거하여 유체의 열전도율이나 비열, 점성, 밀도 등의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출부(43)를 구비하여 구성된다.
다음에 도 4의 플로챠트를 참조하여 제 1 실시예에 관한 유량계측장치에 의해 실현되는 유량계측방법을 설명한다.
우선, 외부로부터의 펄스신호에 의한 구동전류에 의해 마이크로히터(4)를 가열하면(스텝(S11)), 하류측 서모파일(5)에서 제 2 온도검출신호가 출력되고, 상류측 서모파일(8)에서 제 1 온도검출신호가 출력된다(스텝(S13)). 제 2 온도검출신호는 차동 앰프(33)에 출력되고, 제 1 온도검출신호는 차동앰프(33)에 출력된다. 또, 도 5에 제 1 온도검출신호 및 제 2 온도검출신호의 펄스신호에 대한 응답을 도시한다.
다음에, 차동앰프(33)는 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 차신호를 증폭한다(스텝(S15)).
그리고, 가산부(45)는 앰프(35a)로부터의 우측 온도검출신호와 앰프(35b)로부터의 좌측 온도검출신호를 가산하여 가산신호를 얻는다(스텝(S17)). 도 6에 우측 온도검출신호, 좌측 온도검출신호 및 가산신호의 타이밍차트를 도시한다. 다음에 제산부(47)는 스텝(S15)에서 얻은 증폭후의 차신호를 스텝(S17)에서 얻은 가산신호로 나누어 제산신호를 얻는다(스텝(S19)).
이어서, 유량산출부(41)는 스텝(S19)에서 얻은 제산신호에 의거하여 유체의 정확한 유량을 산출한다(스텝(S21)). 또한, 유체물성값 산출부(43)는 스텝(S17)에서 얻은 가산신호와 스텝(S21)에서 산출한 유체의 정확한 유량에 의거하여 유체의 열전도율이나 비열, 점성, 밀도 등의 유체의 물성값을 산출한다(스텝(S23)).
이와같이 유체의 흐름방향에 대하여 직교하는 방향에 배치된 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(13)이 유체의 물성값을 검출함으로써 유체의 열전도성을 계측하게 된다. 유체의 유속이 0일때는 유체에 의한 열의 전도속도는 열전도율과 열확산, 비열 등에 의해 결정되는 열확산 정수(유체의 물성값의 하나)에 의한다. 유속이 0일때는 우측 서모파일(11), 좌측 서모파일(13)과 마이크로히터 (4)의 온도차에 의해 열확산정수가 구해진다. 이 온도차가 클수록 열확산 정수가 작다.
이 열확산 정수의 대소는 상류측 서모파일(8)이 출력하는 제 1 온도검출신호와 하류측 서모파일(5)이 출력하는 제 2 온도검출신호에도 영향을 주고, 이들 값이 열확산 정수의 대소에 응하여 변한다. 따라서, 원리적으로는 제 1 온도검출신호나 제 2 온도검출신호를 또는 이들의 차를 열확산 정수로 나눔으로써 열확산 정수가 다른 유체라도 즉, 어떤 종류의 유체라도 정확한 유량을 산출할 수 있게 된다.
이에 대해 유량이 0이 아닐때는 유체의 흐름에 의해 열은 하류로 운반되어 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(13)에 도달하는 열량은 거기에 따라 감소한다. 즉, 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(12) 주의의 열확산이 유체흐름에 따라 커진다. 여기서, 그 열확산의 증가율은 유체 유속의 제곱근에 비례하는 것이 일반적으로 알려져 있기 때문에, 원리적으로는 유체의 열확산정수는 그 유체의 유량을 어떤 방법으로든 알수만 있다면 어떤 유량일때라도 예측할 수 있다.
한편, 상류측 서모파일(8) 및 하류측 서모파일(5)의 주위에도 유체의 흐름에 따라 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(13) 주위와 같은 열확산의 증가(마이크로히터(4)에서 이동하는 열량의 감소)가 발생하므로 유체의 유량이 커지면 그에 따른 열확산의 증가때문에 하류측 서모파일(5) 주위의 유체온도와 상류측 서모파일(8) 주위의 유체온도의 차가 작아진다.
이 때문에 본래대로라면, 유체의 유속증가에 비례하여 커져야 할 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 차신호가 열확산 증가의 영향으로 작아지고, 유체의 유량이 너무 커지면 유속 증가에 의한 증가분을 열확산 증가에 의한 감소분이 웃돌아 유량이 증가하고 있음에도 불구하고 제 2 온도검출신호와 제 1 온도검출신호의 차신호가 감소할 수도 있다.
그래서, 유량이 0일 때의 우측 서모파일(11)이 출력하는 우측 온도검출신호와 좌측 서모파일(13)이 출력하는 좌측 온도검출신호의 가산값을「1」이라고 생각하여 이에 대한 유량이 어떤 경우의 우측 온도검출신호와 좌측 온도검출신호의 가산값 비를, 이동하는 열량의 변화율을 나타내는 계수로 보고, 이 계수를 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 곱하는 조작을 한다.
즉, 제 2 온도검출신호와 제 1 온도검출신호의 차신호를 우측 온도검출신호와 좌측 온도검출신호의 가산값로 나눔으로써 열확산 변화의 영향을 배제한 유량산출이 가능하고, 정확하고 분해능이 높은 유량을 구할 수 있게 된다.
또, 상기 실시예에서는 차동 앰프(33)에서 얻는 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 증폭후의 차신호를 제산부(47)에 있어서, 앰프(35a)로부터의 우측 온도검출신호와 앰프(35b)로부터의 좌측 온도검출신호를 가산부(45)에서 가산하여 얻은 가산신호에 의해 나눔으로써 열확산 변화의 영향을 배제한 유량산출을 가능하게 하고 있다.
그리고, 상기 실시예는 제산부(47)에 있어서의 제산신호의 취득을 유량산출부(41)에 의한 유량의 산출보다 먼저 행하고 있으나, 이것은 제 2 온도검출신호와 제 1 온도검출신호의 증폭후의 차신호에 나타나는 열확산 변화의 영향을 배제하기 위하여는 유체의 물성값을 열전도율이나 비열, 점성, 밀도와 같은 엄밀한 정밀도의 값으로 파악할 필요가 없기 때문이다.
즉, 상기 실시예는 열확산 상태를 고정밀도로 파악하지 않으면 측정할 수 없는 유체의 열전도율이나 비열, 점성, 밀도를 물성값으로서 유체물성값 산출부(43)에서 산출하기 위하여 열확산 변화의 영향을 배제한 유체의 정확한 유량을 유량산출부(41)에 의해 사전에 산출해 두고, 이것을 유체물성값 산출부(43)에 의한 물성값 산출에 반영시키고 있다.
그러나, 물성값으로서 유체물성값 산출부(43)에서 산출하는 팩터의 종류에따라서는 유체물성값 산출부(43)에 의한 물성값 산출을 사전해 행해두고, 이것과 차동앰프(33)로부터의 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 증폭된 차신호에 의거하여 열확산 변화의 영향을 배제한 유체의 정확한 유량을 뒤에 산출하게 하여도 된다.
이와같이 제 1 실시예에 관한 마이크로플로센서를 사용한 유량계측장치에 의하면, 마이크로히터(4)에 대하여 유체의 흐름방향과 대략 직교방향으로 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(13)을 배치하고, 우측 온도검출신호 및 좌측 온도검출신호를 출력하도록 구성했기 때문에 유체의 흐름방향의 영향을 받지않고 우측 온도검출신호 및 좌측 온도검출신호에 의거하여 열확산정수 등의 유체의 물성값을 정확히 산출할 수 있다.
그리고, 산출된 유체의 물성값에 의거하여 유량산출부(41)에서 산출된 유체의 유량을 보정하게했기 때문에 특별한 노력을 하지 않고 유체의 종류나 조성이 변화될 경우에도 정확히 유량을 계측할 수 있다.
또, 마이크로플로센서(1)의 출력을 우측 서모파일(11) 및/또는 좌측 서모파일(13)의 출력으로 나눈 값을 새로운 출력으로 함으로써 예를 들면, 연료가스의 미묘한 성분 변화에 대하여 더욱 간단하게 유량-출력 특성을 유체성분에 의존하지 않게하는 것이 충분히 가능하고 정확히 유량을 계측할 수 있다.
본 발명의 적합한 제 2 실시예에 의한 마이크로플로센서의 구체적 구성.
다음에 본 발명의 제 2 실시예에 관한 마이크로플로센서의 구성에 대하여 도 7 및 도 8을 참조하여 설명한다.
도 7 중 인용부호 1a로 도시되는 제 1 실시예의 마이크로플로센서는 Si기판(2), 다이어프램(3), 마이크로히터(4), 하류측 서모파일(5), 전원단자 (6A,6B), 제 1 출력단자(7A,7B), 상류측 서모파일(8), 제 2 출력단자(9A,9B)를 구비한다.
또, 마이크로플로센서(1a)는 마이크로히터(4)에 대하여 유체의 흐름방향(P에서 Q 방향)과 대략 직교방향에 배치되고, 유체온도를 검출하고, 우측 온도검출신호를 출력하는 우측측온저항(右側測溫抵抗)(21), 이 우측측온저항(21)에서 출력되는 우측 온도검출신호를 출력하는 제 3 출력단자(12A,12B), 마이크로히터(4)에 대하여 유체의 흐름방향과 대략 직교방향으로 배치되고, 유체온도를 검출하고, 좌측 온도검출신호를 출력하는 좌측측온저항(23), 이 좌측측온저항(23)에서 출력되는 좌측온도검출신호를 출력하는 제4 출력단자(14A,14B)와, 저항(15,16), 출력단자(17A,17B)를 구비한다. 우측측온저항(21) 및 좌측 측온저항(23)은 온도센서를 구성하고, 마이크로히터(4)와 같이 백금 등으로 된다.
이와같이 제 2 실시예에 관한 마이크로플로센서(1a)에 의하면, 도 1에 도시한 제 1 실시예에 관한 마이크로플로센서(1)의 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(13)에 대신 우측측온저항(21) 및 좌측측온저항(23)을 배치하고, 우측측온저항 (21)은 유체온도를 검출하고, 우측온도검출신호를 제 3 출력단자(12A,12B)에 출력한다. 또, 마이크로히터(4)에 대하여 유체의 흐름방향과 대략 직교방향으로 배치된 좌측측온저항 (23)은 유체온도를 검출하고 좌측온도검출신호를 제4 출력단자 (14A,14B)에 출력한다.
이 때문에 우측온도검출신호 및 좌측온도검출신호에 의거하여 열전도율과 열확산, 비열 등에 의해 결정되는 열확산 정수 등의 유체의 물성값을 산출할 수 있게 된다.
또, 이 마이크로플로센서(1a)를 사용하여 유량을 계측하는 유량계측장치는 도 8에 도시된 바와같이 마이크로플로센서(1a)내의 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와, 마이크로플로센서(1a)내의 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 차신호를 증폭하는 차동앰프(33)와, 마이크로플로센서(1a)내의 우측측온저항(21) 및 좌측측온저항(23)을 저항값이 같은 2개의 고정저항(38a,38b)에 의해 대향시켜서 브리지 접속한 브리지회로(39)를 구비하여 구성된다.
또한, 이 유량계측장치는 브리지회로(39)의 우측측온저항(21)과 고정저항 (38b)의 접속점 및 좌측측온저항(23)과 고정저항(38a)의 접속점 사이에 정전압을 인가하는 정전압원(37)과, 브리지회로(39)의 우측측온저항(21)과 고정저항(38a)의 접속점(A), 및 좌측측온저항(23)과 고정저항(38b)의 접속점(B) 사이의 전위를 차동증폭하는 차동앰프(36)와, 마이크로컴퓨터(40)를 구비하여 구성된다. 마이크로컴퓨터는 제산부(또는 파라미터 선정부; 49)와 유량산출부(41)와, 유체물성값 산출부(43)를 구비하여 구성된다.
이와같은 구성의 제 2 실시예에 관한 마이크로플로센서를 사용한 유량계측장치에 의하면 우측측온저항(21)의 온도가 상승하면 우측측온저항(21) 및 고정저항 (38a)의 접속점(A) 전위가 오르고, 좌측측온저항(23)의 온도가 상승하면 좌측측온저항(23) 및 고정저항(38b)의 접속점(B)의 전위가 오른다. 그래서 접속점(B)의 전위에서 접속점(A) 전위를 감소시키도록 차동앰프(36)로 차동증폭을 행하면 우측측온저항(21)으로부터의 우측온도검출신호와 좌측측온저항(23)으로부터의 좌측온도검출신호의 가산값을 증폭한 증폭후의 가산신호가 차동앰프(36)에서 얻어진다.
그래서, 제산부(또는 파라미터 선정부; 49)에 있어서, 차동앰프(33)로부터의 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 증폭된 차신호를 차동앰프(36)에서의 증폭후의 가산신호에 의해 나누어 제산신호를 얻고, 이 제산신호에 의거하여 유량산출부(41)가 유체의 정확한 유량을 산출함과 동시에, 이 유량산출부(41)가 산출한 유체의 정확한 유량과 차동앰프(36)로부터의 증폭후의 가산신호에 의거하여 유체물성값 산출부(43)가 유체의 열전도율이나 비열, 점성, 밀도 등의 유체의 물성값을 산출한다.
따라서, 특별한 궁리를 하지 않고 유체의 종류나 조성에 의하지 않고 정확하게 유량을 계측할 수 있고, 제 1 실시예에 관한 마이크로플로센서를 사용한 유량계측장치와 같은 효과가 얻어진다.
또, 본 발명은 제 1 실시예 및 제 2 실시예에 관한 마이크로플로센서(1,1a) 및 그들을 사용한 유량계측장치 및 그 방법에 한정되는 것은 아니다. 제 1 실시예에 관한 마이크로플로센서(1)는 온도센서로서 서모파일을 예시하고 제 2 실시예에 관한 마이크로플로센서(1a)는 온도센서로서 백금 저항 등으로 되는 측온저항을 예시하였으나 이들에 한정되는 것은 아니며, 온도센서로는 예를 들면, 초전체(焦電體), 서미스터 등 통상 사용되는 온도센서라면 무엇이든지 상관 없다.
또, 제 1 실시예 및 제 2 실시예에 관한 마이크로플로센서(1,1a)는 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(13)과 마이크로히터(4)로 되는 유체의 물성값을 검출하기 위한 열식유체센서를 하류측 서모파일(5) 및 상류측 서모파일(8)과 마이크로히터(4)로 되는 유체의 유속(유량)을 계측하는 마이크로플로센서(1,1a)로 일체화 할 경우를 예로 들어 설명하였으나, 이 마이크로플로센서(1,1a)와 분리하여서 우측 서모파일(11) 및 좌측 서모파일(13)과 마이크로히터(4)로 되는 열식유체센서를 구성하여도 된다.
그리고, 그와같이 구성할 경우, 우측 서모파일(11)의 기전력에 의해 제 3 출력단자(12A,12B)에서 출력되는 우측 온도검출신호 및/또는 좌측 서모파일(13)의 기전력에 의해 제4 출력단자(14A,14B)에서 출력되는 좌측온도검출신호에 의거하여 마이크로컴퓨터(40)의 유체물성값 산출부(43)에 의해 산출되는 유체의 물성값에서 또한 그 유체의 종류를 마이크로컴퓨터(40)로 산출하도록 구성하여도 된다.
또, 제 1 실시예의 최후에 설명한 바와같이 유체물성값 산출부(43)에 의한 물성값 산출을 사전에 행해두고, 이와 차동앰프(33)로부터의 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호의 증폭된 차신호에 의거하여 열확산의 변화 영향을 배제한 유체의 정확한 유량을 뒤에 산출하게 할 경우는 마이크로컴퓨터(40)로 산출한 유체의 종류에 따른 보정계수를 미리 정해두고, 이 보정계수에 응해 차동앰프(33)로부터의 증폭된 차신호를 보정하여 유량을 산출하도록 구성하여도 된다.
예를 들면, 그리하면 유체의 종류와 보정계수 등을 링크한 테이블을 마이크로컴퓨터 (40)의 내부메모리(ROM)나 마이크로컴퓨터(40)에 이어지는 외부메모리(불휘발성이 바람직하다)에 격납해 두고, 산출한 유체의 종류에 대응하는 보정계수 등을 내부메모리(ROM) 또는 외부메모리에서 판독하여 차동앰프(33)로부터의 증폭된 차신호에 곱하는 등하면 유량산출이 완료하게 되므로 처리상의 부담을 경감할 수 있다.
또, 유체물성값 산출부(43)에 의한 물성값 산출을 사전에 행하여 열확산 변화의 영향을 배제한 유체의 정확한 유량을 뒤에 산출하게 할 경우, 보정계수 대신 유체의 물성값이 그 물성값에서 산출한 종류와 이들 물성값 또는 종류에 대응하는 차동앰프(33)로부터의 증폭된 차신호에서 유체의 유량을 구하는데 이용되는 유량환산식을 링크한 테이블을 마이크로컴퓨터(40)의 내부메모리(ROM)나 마이크로컴퓨터 (40)에 이어지는 외부메모리(불휘발성이 바람직하다)에 격납해 두어도 된다.
또한, 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 차신호를 증폭한 차동앰프(33)의 출력에 의거하여 유량산출부(41)로 산출되는 유체의 유량과, 그 유량에 대응하는 우측 서모파일(11)이나 좌측 서모파일(13)로부터의 제 2 온도검출신호의 기준값을 링크한 테이블을 마이크로컴퓨터(40)의 내부메모리(ROM)나 마이크로컴퓨터(40)에 이어지는 외부메모리(불휘발성이 바람직하다)에 격납해 두어도 된다.
이 경우 마이크로컴퓨터(40)의 유체물성값 산출부(43)는 유량산출부(41)로 산출되는 유체 유량을 어드레스 포인터로서 외부메모리에서 취출(取出)한, 그 유량에 대응하는 제 3 온도검출신호의 기준값과, 실제로 우측 서모파일(11)이나 좌측 서모파일(13)에서 취득되는 제 3 온도 검출신호의 비에서 유체의 물성값을 산출하게 된다.
그리고, 그 경우의 유체의 물성값 산출을 실제로 우측 서모파일(11)이나 좌측 서모파일(13)에서 취득되는 제 3 온도검출신호와, 외부메모리에서 취출한 제 3 온도검출신호의 기준값과의 비를 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 차신호를 증폭한 차동앰프(33)의 출력에 곱함으로써 행할 수 있다.
또, 제 1 실시예 및 제 2 실시예는 유체의 물성값을 검출하기 위한 온도센서를 마이크로히터(4)에 대하여 우측과 좌측에 설치하였으나 예를 들면, 온도센서를 마이크로히터(4)에 대하여 우측 또는 좌측 한쪽에 설치하여 유체온도를 검출하여 유체의 물성값을 산출하여도 된다.
그리고, 제 1 실시예 및 제 2 실시예와 같이 온도센서를 마이크로히터(4)에 대하여 우측과 좌측에 설치할 경우는 그들 양 온도센서로부터의 출력신호의 평균값을, 또 한쪽의 온도센서만을 설치할 경우는 그 온도센서로부터의 출력신호의 값을, 유체의 물성값을 검출하는 기초로 하면 좋다.
또한, 제산부(47)에 의한 제산(나눗셈)은 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 차신호를 증폭한 차동앰프(33)의 출력값에 응하여 선택적으로 행하여도 된다.
특히, 본 발명자등이 행한 실험에 따르면 하류측 서모파일(8)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호는 비교적 유량이 낮은 영역에서는 유량에 비례하여 출력신호값이 상승하기는 하나 비교적 유량이 높은 영역에서는 유량에 비례하여 출력신호값이 상승하지 않고, 출력이 포화로 향하는 경향이 있다.
그래서, 출력 신호값이 유량에 비례하여 상승하는 비교적 저유량의 영역에서는 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 차동앰프(33)에 의해 증폭된 차신호를 그대로 유량신호로 취급하고 출력신호값이 유량에 비례하여 상승하지 않고 둔화되는 비교적 고유량의 영역에 있어서는 증산부(蒸散部;49)에 있어서, 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 차동앰프(33)에 의해 증폭된 차신호를 우측서모파일(11)이나 좌측서모파일(13)로부터의 제 3 온도검출신호의 평균값 또는 이들중 어느 한쪽의 제 3 온도검출신호의 값으로 나누어 온도검출신호의 포화 영향을 제거하고 이것을 유량신호로 취급하여도 된다.
예를 들면, 그와같이 구성하면 출력포화에 의해 신뢰성이 낮아지기 때문에, 비교적 고유량 영역에서의 유량계측에는 이용되지 않았던 하류측 서모파일(5)로부터의 제 2 온도검출신호와 상류측 서모파일(8)로부터의 제 1 온도검출신호의 차동앰프(33)에 의해 증폭된 차신호를 우측서모파일(11)이나 좌측 서모파일(13)로부터의 제 3 온도검출신호의 평균값 또는 이들중 어느 한쪽의 제 3 온도검출신호의 값과 함께, 비교적 고유량의 영역에서의 유량계측에 이용될 수 있게 하여 정확히 유량을 계측할 수 있는 유량계측범위(레인지)를 종래의 100배 단위에서 10000배 단위까지 확대하고, 예를 들면, 가스미터에 있어서의 각종 누설상태를 하나의 센서에 의해 검출할 수 있도록 할 수 있다.
이 밖에 본 발명의 기술적 사상을 일탈하지 않는 범위내에서 각종으로 변형하여 실시 가능하다는 것은 물론이다.
이상 설명한 제 1 및 제 2 각 실시예로도 분명하듯이 본 발명의 열식유체센서에 의하면 지지기판에 지지된 상태로 히터는 외부로부터의 구동전류에 의해 계측대상유체를 가열한다. 이 히터의 가열과 병행하여 히터에 대하여 계측대상유체의 흐름방향과 대략 직교방향으로 배치된 횡측온도센서는 계측대상유체의 열전도도를 검출하여 온도검출신호를 출력하기 때문에 이 온도검출신호에 의거하여 유체의 물성값을 산출할 수 있다.
또, 본 발명의 열식유체센서에 의하면, 계측대상유체의 열전도도 검출을 계측대상유체의 흐름방향과 대략 직교방향에 있어서의 히터 양측에 각각 배치한 두 횡측온도센서에 의해 행함으로써 흐름방향과 대략 직교방향에 있어서의 유로내의 계측대상유체의 흐름에 편차가 있더라도 양 횡측온도센서로부터의 온도검출신호에 의거하여 유체의 물성값을 정확히 산출할 수 있다.
또한, 본 발명의 열식유체센서에 의하면 다이어프램부상에 히터 및 횡측온도센서를 형성함으로써 히터, 온도센서의 열용량을 작게하여 소비전력을 저감할 수 있다.
또, 본 발명의 열식유체센서에 의하면, 횡류측 온도센서가 서모파일이기 때문에 온도검출신호의 온도에 의존하는 특성변화가 작아져서 정확한 유량계측이 쉬워진다. 또, 자기발열이 발생하지 않기 때문에 보정할 필요가 없다. 또, 자기기전력에 의한 출력신호이므로 전류를 소비하지 않는다.
또한, 본 발명의 열식유체센서에 의하면 횡류측 온도센서가 초전체이기 때문에 온도검출신호의 출력에 대한 응답속도, 감도가 높아져서 유량계측이 신속하게 된다. 또, 자기기전력에 의한 출력신호이므로 전류를 소비하지 않는다.
또, 본 발명의 유체판별장치에 의하면 본 발명의 열식유체센서의 횡측온도센서가 출력하는 온도검출신호에서 계측대상유체의 물성값을, 유체물성값 산출수단이 산출하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변하는 유량센서의 출력 보정용으로 제공하거나, 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류나 조성이 변화한 것에 대한 판별용으로 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 유체판별장치에 의하면, 기준값 기억수단에 기억된 열식유체센서내의 횡측온도센서로부터의 온도검출신호의 복수종류의 기준값 중에서 기준값 산출수단에 의해 산출된 유량측정수단에서 측정한 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준값과, 열식유체센서내의 횡측온도센서로부터의 온도검출신호의 온도검출신호비 산출수단에 의해 산출되는 비에 의거하여 유로를 흐르는 계측대상유체의 물성값을, 유체물성값 산출수단에 의해 쉽게 산출할 수 있다.
또, 본 발명의 유량판별장치에 의하면, 유량측정수단에 의해 측정된 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량 및 그 유량의 제곱근중 어느 한쪽에 열식유체센서로부터의 온도검출신호를 곱함으로써, 유로를 흐르는 계측대상유체의 물성값을, 유체물성값 산출수단으로 쉽게 산출할 수 있다.
또한, 본 발명의 유체판별장치에 의하면, 유량센서의 출력보정용이나, 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류나 조성의 변화판별용에 종류판별수단이 판별하는 계측대상유체의 종류를 제공할 수 있다.
또, 본 발명의 유체판별장치에 의하면, 기준 범위 데이터 격납수단에 격납된 복수종류의 기준범위 데이터 중에서 기준범위데이터 산출수단에 의해 산출된 유량측정수단에서 측정된 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준 범위데이터를 나타내는 열식유체센서내의 횡측온도센서로부터 출력되어 얻은 온도검출신호의 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류에 따라 서로 다른 기준범위중 열식유체센서내의 횡측온도센서로부터의 온도검출신호가 속하면 해당 범위 판별수단에 의해 판별된 기준범위에 의거하여, 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류를 쉽게 판별하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변화되는 유량센서의 출력보정용이나 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류나 조성의 변화판별용으로 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 유체판별방법에 의하면, 본 발명의 열식유체센서의 횡측온도센서가 출력하는 온도검출신호에 의거하여 유로를 흐르는 계측대상유체의 물성값을, 유체물성값 산출스텝에 의해 쉽게 산출하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변화되는 유량센서의 출력 보정용이나 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류나 조성 변화판별용으로 제공할 수 있다.
또, 본 발명의 유체판별방법에 의하면, 유체물성값 산출스텝에 의해 산출된 물성값에서 계측대상유체의 종류를 판별하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변화되는 열식유체센서의 출력 보정용으로 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 유체판별방법에 의하면, 미리 정해진 복수종류의 열식유체센서 횡측온도센서로부터의 온도검출신호의 기준값 중에서 기준값 산출스텝에 의해 산출된 유량측정스텝에 있어서 측정된 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준값과, 열식유체센서내의 횡측온도센서로부터의 온도검출신호의 온도검출신호비 산출스텝에 의해 산출되는 비에 의거하여 유로를 흐르는 계측대상유체의 물성값을, 유체물성값 산출스텝에 의해 쉽게 산출할 수 있다.
또, 본 발명의 유체판별방법에 의하면, 유량측정스텝에 의해 측정된 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량 및 그 유량의 제곱근 중 어느 한쪽에 열식유체센서내의 횡측온도센서로부터의 온도검출신호를 곱함으로써 유로를 흐르는 계측대상유체의 물성값을, 유체물성값 산출스텝에 의해 쉽게 산출할 수 있다.
또한, 본 발명의 유체판별방법에 의하면, 본 발명의 열식유체센서내의 횡측온도센서로부터의 온도검출신호가 기준범위 데이터군 중에서 기준범위데이터 산출스텝에 의해 산출된 유량측정스텝에 있어서 측정된 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준범위데이터를 표시하는 온도검출신호의 기준범위 중, 어느 종류의 계측대상유체에 관련시킨 기준범위에 속하는지를 그 범위판별스텝에 의해 판별함으로써 그 판별결과에 의거하여 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류를 쉽게 판별하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변화되는 유량센서의 출력보정용이나 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류나 조성의 변화판별용으로 제공할 수 있다.
또, 본 발명의 유량계측장치에 의하면, 본 발명의 열식유체센서의 횡측온도센서가 출력하는 온도검출신호에 의거하여 유량측정수단에서 측정된 계측대상유체의 유량을 유량보정수단이 보정하므로 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 계측대상유체의 정확한 유량을 계측할 수 있다.
또한, 본 발명의 유량계측장치에 의하면, 유량측정수단이 출력하는 계측대상유체의 유량 측정값에 따른 값의 신호를 열식유체센서의 횡측온도센서가 출력하는 온도검출신호의 값으로 나눔으로써 유량측정수단에서 측정된 계측대상유체 유량의 유량보정수단에 의한 보정을 쉽게 행할 수 있다.
또, 본 발명의 유량계측장치에 의하면, 본 발명의 열식유체센서의 횡측온도센서가 출력하는 온도검출신호의 값에 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량이 비교적 영향을 미치기 쉬운 저유량상태인지, 아니면 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량이 비교적 영향을 미치기 어려운 고유량 상태인지에 따라 유량출력수단이 유량측정수단의 출력하는 신호를 그대로 유량 검출신호로서 출력하는지, 아니면 열식유체센서내의 횡측온도센서로부터의 온도검출신호의 값으로 나눈 값의 신호를 유량검출신호로서 출력하는지를 전환하기 때문에 유량측정수단에 의한 측정결과를 사용한 계측대상유체의 유량계측을 정도 좋게 또 종래보다 큰 유량에까지 미치는 넓은 범위로 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 유량계측장치에 의하면, 유체물성값 산출수단에서 산출된 계측대상유체의 물성값에 의거하여 파라미터 기억수단에 기억된 복수종류의 파라미터 중에서 선택수단에 의해 선택되는 단일 파라미터를 사용하여 유량측정수단의 출력신호에서 환산한 유량값이 계측대상유체의 유량계측값이 되기 때문에 계측대상유체의 물성값을 결정하는 종류나 조성에 응하여 계측대상유체의 정확한 유량을 계측할 수 있다.
또, 본 발명의 유량계측방법에 의하면, 본 발명의 열식유체센서의 횡측온도센서가 출력하는 온도검출신호에 의거하여 유량측정스텝에 있어서 측정된 계측대상유체의 유량이 유량보정스텝에 의해 보정되기 때문에 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 계측대상유체의 정확한 유량을 계측할 수 있다.
또한, 본 발명의 유량계측방법에 의하면, 유량측정스텝에 의해 취득되는 계측대상유체의 유량측정값에 따른 값의 신호를 열식유체센서의 횡측온도센서가 출력하는 온도검출신호의 값으로 나눔으로써 유량측정스텝에 의해 취득된 계측대상유체 유량의 유량보정스텝에 있어서의 보정을 쉽게 행할 수 있다.
또, 본 발명의 유량계측방법에 의하면, 본 발명의 열식 유체센서의 횡측온도센서가 출력하는 온도검출신호의 값에 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량이 비교적 영향을 미치기 쉬운 저유량상태인지 아니면 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량이 비교적 미치기 어려운 고유량 상태인지에 따라 유량출력스텝이 유량측정스텝에 의해 취득되는 신호를 그대로 유량검출신호로서 출력하는지, 아니면 열식유체센서내의 횡측온도센서로부터의 온도검출신호의 값으로 나눈 값의 신호를 유량검출신호로서 출력하는지를 전환하기 때문에 유량측정스텝에 의해 취득되는 측정결과를 이용한 계측대상유체의 유량계측을 정도좋게 또한 종래보다 큰 유량에까지 미치는 넓은 범위에서 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 유량계측방법에 의하면, 유량물성값 산출스텝에 의해 산출된 계측대상유체의 물성값에 의거하여 유량측정스텝에서 취득된 신호의 값을 유량값으로 환산하기 위한 미리 정해진 복수종류의 파라미터 중에서, 파라미터 선택스텝에 의해 선택된 단일 파라미터를 사용하여 유량 측정스텝에서 취득된 신호의 값에서 환산한 유량값이 계측대상유체의 유량계측값이 되기 때문에 계측대상유체의 물성값을 결정하는 종류나 조성에 응하여 계측대상유체의 정확한 유량을 계측할 수 있다.
또, 본 발명의 플로센서에 의하면, 지지기판에 지지된 상태로 히터는 외부로부터의 구동전류에 의해 계측대상유체를 가열한다. 이 히터의 가열과 병렬하여 상류측 온도센서는 히터에 의해 가열되기 전의 계측대상유체의 온도를 검출하고, 제 1 온도검출신호를 출력한다. 하류측 온도센서는 히터에 의해 가열된 후의 계측대상유체의 온도를 검출하고, 제 2의 온도검출신호를 출력하므로 제 1 온도검출신호와 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 유량을 산출할 수 있다. 또, 히터에 대하여 계측대상유체의 흐름방향과 대략 직교방향으로 배치된 횡측온도센서는 계측대상유체의 온도를 검출하고, 제 3 온도검출신호를 출력하므로 이 제 3 온도검출신호에 의거하여 유체의 물성값을 산출할 수 있다.
또한, 본 발명의 플로센서에 의하면, 계측대상유체의 열전도도 검출을 계측대상유체의 흐름방향과 대략 직교방향에 있어서의 히터 양측에 각각 배치한 두개의 횡측온도센서에 의해 행함으로써 흐름방향과 대략 직교방향에 있어서의 유로내의 계측대상유체의 흐름에 편차가 있더라도 양 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호에 의거하여 유체의 물성값을 정확하게 산출할 수 있다.
또, 본 발명의 플로센서에 의하면, 다이어프램부 상에 히터, 상류측 온도센서, 하류측 온도센서 및 횡측온도센서를 형성함으로써 히터, 온도센서의 열용량을 작게하여 소비전력을 저감할 수 있다.
또한, 본 발명의 플로센서에 의하면, 상류측 온도센서 및 하류측 온도센서가 서모파일이기 때문에 제 1 온도검출신호와 제 2 온도검출신호의 차치(差値)의 온도특성이 작아지고, 정확한 유량계측이 쉬워진다. 또, 자기발열이 발생하지 않으므로 보정할 필요가 없다. 또, 자기기전력에 의한 출력신호이기 때문에 전류를 소비하지 않는다.
또, 본 발명의 플로센서에 의하면, 상류측 온도센서 및 하류측 온도센서가 초전체이기 때문에 제 1 온도검출신호나 제 2 온도검출신호의 출력에 대한 응답속도, 감도가 높아지고, 유량계측이 신속해진다. 또, 자기 기전력에 의한 출력신호이기 때문에 전류를 소비하지 않는다.
또한, 본 발명의 플로센서에 의하면, 횡측온도센서가 서모파일이므로 제 3 온도검출신호의 온도특성이 작아지고 정확한 유체의 물성값 산출이 쉬워진다. 또, 자기발열이 발생하지 않으므로 보정할 필요가 없다. 또, 자기기전력에 의한 출력신호이기 때문에 전류를 소비하지 않는다.
본 발명의 플로센서에 의하면, 횡측온도센서가 초전체이기 때문에 제 3 온도검출신호의 출력에 대한 응답속도, 감도가 높아지고, 유량계측이 신속해진다. 또, 자기 기전력에 의한 출력신호이기 때문에 전류를 소비하지 않는다.
또한, 본 발명의 유체판별장치에 의하면, 기준값 기억수단에 기억된 본 발명의 플로센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호의 복수종류의 기준값 중에서 기준값 산출수단에서 산출된 플로센서내의 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 하류측 온도센서로부터로 제 1 온도검출신호의 차신호에 의거하여 유량산출수단에서 산출된 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준값과, 플로센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도 검출신호의 온도검출신호비 산출수단에 의해 산출되는 비에 의거하여 유로를 흐르는 계측대상유체의 물성값을, 유체물성값 산출수단에 의해 쉽게 산출하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변화되는 유량센서의 출력보정용으로 제공하거나, 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류나 조성이 변화한 것에 대한 판별용으로 제공할 수 있다.
또, 본 발명의 유체판별장치에 의하면, 본 발명의 플로센서내의 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 하류측 온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 유량산출수단에서 산출된 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량 및 그 산출된 유량의 제곱근 중 어느 한쪽에 플로센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호를 곱함으로써 유로를 흐르는 계측대상유체의 물성값을, 유체물성값 산출수단에 의해 쉽게 산출하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변하는 유량센서의 출력 보정용으로 제공하거나, 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류나 조성이 변화한 것에 대한 판별용으로 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 유체판별장치에 의하면, 유체물성값 산출수단에 의해 산출된 물성값에서 종류판별수단에 의해 계측대상유체의 종류를 판별하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변하는 플로센서에 출력보정용으로 제공할 수 있다.
또, 본 발명의 유체판별장치에 의하면, 기준범위데이터 격납수단에 격납된복수종류의 기준범위데이터중에서 기준범위데이터 산출수단에 의해 산출된 유량측정수단에서 측정된 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준범위데이터를 표시하는 본 발명의 플로센서내의 횡측온도센서로부터 출력되어 얻은 제 3 온도검출신호의 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류에 따라 서로 다른 기준범위중, 플로센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호가 속한다고 그 범위 판별수단에 의해 판별된 기준범위에 의거하여, 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류를 쉽게 판별하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변하는 유량센서의 출력조정용으로 제공하거나, 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류나 조성이 변화한 것에 대한 판별용으로 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 유체판별방법에 의하면, 미리 정해진 복수종류의 본 발명의 플로센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호의 기준값 중에서 기준값 산출스텝에 의해 산출된 플로센서내의 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 하류측 온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 유량산출스텝에 있어서 산출된 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준값과, 플로센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호의 온도검출신호비 산출스텝에 의해 산출되는 비에 의거하여 유로를 흐르는 계측대상유체의 물성값을, 유체물성값 산출스텝에 의해 쉽게 산출하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변하는 유량센서의 출력보정용으로 제공하거나 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류나 조성이 변화한 것에 대한 판별용으로 제공할 수 있다.
또, 본 발명의 유체판별방법에 의하면, 본 발명의 플로센서내의 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 하류측온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 유량측정스텝에 의해 산출된 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량 및 그 산출된 유량의 제곱근 중 어느 한쪽에 플로센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호를 곱함으로써 유로를 흐르는 계측대상유체의 물성값을, 유체물성값 산출스텝에 의해 쉽게 산출하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변하는 유량센서의 출력보정으로 제공하거나, 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류나 조성이 변화한 것에 대한 판별용으로 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 유체판별방법에 의하면, 유체물성값 산출스텝에 의해 산출된 물성값에서 종류판별스텝에 의해 계측대상유체의 종류를 판별하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변하는 플로센서의 출력보정용으로 제공할 수 있다.
또, 본 발명의 유체판별방법에 의하면, 본 발명의 플로센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호가 기준범위데이터군 중에서 기준범위데이터 산출스텝에 의해 산출된 유량측정스텝에 있어서 측정된 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준범위데이터라 표시하는 제 3 검출신호의 기준범위중 어느 한 종류의 계측대상유체의 관련된 기준범위에 속하는지를 그 범위 판별스텝에 의해 판별함으로써 그 판별결과에 의거하여 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류를 쉽게 판별하여 계측대상유체의 종류나 조성에 응하여 변하는 유량센서의 출력 보정용으로 제공하거나, 유로를 흐르는 계측대상유체의 종류나 조성이 변화한 것에 대한 판별용으로 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 유량계측장치에 의하면, 유량산출수단이 본 발명의 플로센서내의 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 하류측 온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 계측대상유체의 유량을 산출하면 유체물성값 산출수단은 플로센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호에 의거하여 계측대상유체의 물성값을 산출하는, 유량보정수단은 유체물성값 산출수단에서 산출된 계측대상유체의 물성값에 의거하여 유량산출수단에서 산출된 계측대상유체의 유량을 보정하므로 유체의 종류나 조성이 변화할 경우에도 정도 좋은 유량계측이 행해진다.
또, 본 발명의 유량계측장치에 의하면, 플로센서내의 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도와 하류측 온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호를 플로센서의 횡측온도센서가 출력하는 제 3 온도검출신호의 값으로 나눔으로써 유량산출수단에서 산출된 계측대상유체 유량의 유량보정수단에 의한 보정을 쉽게 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 유량계측장치에 의하면, 본 발명의 플로센서의 횡측온도센서가 출력하는 제 3 온도검출신호의 값에 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량이 비교적 영향을 미치기 쉬운 저유량상태인지, 아니면 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량이 비교적 영향을 미치기 어려운 고유량 상태인지에 따라 유량출력수단이 유량산출수단이 출력하는 신호를 그대로 유량검출신호로 출력할지, 아니면 플로센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호의 값으로 나눈 값의 신호를 유량검출신호로 출력할지를 전환하기 때문에 유량산출수단에 의한 산출결과를 사용한 계측대상유체의 유량계측을 정도 좋게 또 종래보다 큰 유량에까지 미치는 넓은 범위로 행할 수 있다.
또, 본 발명의 유량계측장치에 의하면, 유체물성값 산출수단에서 산출된 계측대상유체의 물성값에 의거하여 파라미터 기억수단에 기억된 복수종류의 파라미터 중에서 선택수단에 의해 선택된 단일 파라미터를 사용하여 유량산출수단의 출력신호값에서 환산한 유량값이 계측대상유체의 유량계측값으로 됨으로써 계측대상유체의 물성값을 결정하는 종류나 조성에 응하여 계측대상유체의 정확한 유량을 계측할 수 있다.
또한, 본 발명의 유량계측방법에 의하면, 본 발명의 플로센서내의 상류측 온도센서로부터의 제 1 온도검출신호와 하류측 온도센서로부터의 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 계측대상유체의 유량을 산출하는, 플로센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호의 의거하여 계측대상유체의 물성값을 산출하는, 산출된 계측대상유체의 물성값에 의거하여 유량산출스텝에서 산출된 계측대상유체의 유량을 보정하기 때문에 유체의 종류나 조성이 변화될 경우에도 정도 좋은 유량계측이 행해진다.
또 본 발명의 유체판별방법에 의하면, 유량산출스텝에 의해 취득되는 계측대상유체의 유량 측정값에 따른 값의 신호를 열식유체센서의 횡측온도센서가 출력하는 온도검출신호의 값으로 나눔으로써 유량측정스텝에 의해 취득된 계측대상유체 유량의 유량보정스텝에 있어서의 보정을 쉽게 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 유체판별방법에 의하면, 본 발명의 플로센서의 횡측온도센서가 출력하는 제 3 온도검출신호의 값에 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량이 비교적 영향을 미치기 쉬운 저류량상태인지 아니면 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량이 비교적 영향을 미치기 어려운 고유량상태인지에 따라 유량출력스텝이 유량산출스텝에 의해 취득된 신호를 그대로 유량검출신호를 출력할지, 아니면 열식유체센서내의 횡측온도센서로부터의 제 3 온도검출신호의 값으로 나눈 값의 신호를 유량검출신호로 출력할지를 전환하기 때문에 유량산출스텝에 의해 취득되는 산출결과를 이용한 계측대상유체의 유량계측을 정도좋게, 또 종래보다 큰 유량에까지 미치는 넓은 범위로 행할 수 있다.
또, 본 발명의 유량계측방법에 의하면, 유체물성값 산출스텝에 의해 산출된 계측대상유체의 물성값에 의거하여 유량산출스텝에서 취득된 신호의 값을 유량값으로 환산하기 위한 미리 정해진 복수종류의 파라미터 중에서 파라미터 선택 스텝에 의해 선택된 단일 파라미터를 사용하여 유량산출스텝에서 취득된 신호의 값에서 환산한 유량값이 계측대상유체의 유량계측값으로 되기 때문에 계측대상유체의 물성값을 결정하는 종류나 조성에 응하여 계측대상유체의 정확한 유량을 계측할 수 있다.

Claims (46)

  1. 외부로부터의 구동전류에 의해 유로를 흐르는 계측대상유체를 가열하는 히터와,
    이 히터에 대하여 상기 계측대상유체의 흐름방향과 대략 직교방향으로 배치되고, 상기 계측대상유체의 온도를 검출하고, 온도검출신호를 출력하는 횡측온도센서와,
    상기 히터 및 상기 횡측온도센서를 지지하는 지지기판을 구비한 것을 특징으로 하는 열식유체센서.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 계측대상유체의 흐름방향과 대략 직교방향에 있어서의 상기 히터 양측에 상기 횡측온도센서를 각각 배치한 것을 특징으로 하는 열식유체센서.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 지지기판은 주변부분이 고정된 다이어프램부를 가지고, 이 다이어프램부에는 상기 히터 및 상기 횡측온도센서가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 열식유체센서.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 횡측온도센서는 서모파일인 것을 특징으로 하는 열식유체센서.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 횡측온도센서는 초전체인 것을 특징으로 하는 열식유체센서.
  6. 청구항 1 기재의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별장치에 있어서,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유체판별장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하는 유량측정수단과, 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호의 기준값이 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 복수종류 격납된 기준값 기억수단과, 그 기준값 기억수단에 기억된 복수종류의 상기 기준값 중에서 상기 유량측정수단에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준값을 산출하는 기준값 산출수단과, 그 기준값 산출수단에서 산출된 상기 기준값과 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호의 비를 산출하는 온도검출신호비 산출수단을 구비하고, 상기 유체물성값 산출수단은 상기 온도검출신호비 산출수단에서 산출된 상기 비에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 것을 특징으로 하는 유체판별장치.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 유체물성값 산출수단은 상기 유량측정수단에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량 및 그 유량의 제곱근 중 어느 한쪽에 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호를 곱하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하도록 구성된 것을 특징으로 하는 유체판별장치.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 유체물성값 산출수단에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값을 의거하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 종류판별수단을 다시 구비한 것을 특징으로 하는 유체판별장치.
  10. 청구항 1 기재의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별장치에 있어서,
    상기 유로를 흐르는 계측대상유체의 유량을 측정하는 유량측정수단과,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터 출력되어 얻은 상기 온도검출신호의 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류에 따라 서로 다른 기준범위를 상기 계측대상유체의 종류에 관련시킨 기준범위데이타가 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 복수종류 격납된 기준범위데이터 격납수단과,
    상기 기준범위데이터 격납수단에 격납된 복수종류의 상기 기준범위데이터 중에서 상기 유량측정수단에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준범위데이터를 산출하는 기준범위데이터 산출수단과,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호가 상기 기준범위데이터 산출수단에서 산출된 상기 기준범위데이터를 표시하는 상기 온도검출신호의 기준범위중, 어느 종류의 상기 계측대상유체에 관련시킨 기준범위에 속하는지를 판별하는 해당 범위 판별수단을 구비하고,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호가 속하는 것으로 해당 범위 판별수단에서 판별된 기준범위에 관련된 상기 계측대상유체의 종류를 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류라고 판별하는 것을 특징으로 하는 유체판별장치.
  11. 청구항 1 기재의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 계측대상유체를 판별하는 유체판별방법에 있어서,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체판별방법.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 유체물성값 산출스텝에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 종류판별 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체판별방법.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하는 유량측정스텝과, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 미리 정해진 복수종류의 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호의 기준값 중에서 상기 유량계측스텝에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준값을 산출하는 기준값 산출스텝과, 그 기준값 산출스텝에서 산출된 상기 기준값과 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호의 비를 산출하는 온도검출신호비 산출스텝을 포함하고, 상기 유체물성값 산출스텝에 의해 상기 온도검출신호비 산출스텝에서 산출된 상기 비에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하도록한 것을 특징으로 하는 유체판별방법.
  14. 제 11 항에 있어서, 상기 유체물성값 산출스텝에 의해 상기 유량측정스텝에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량 및 그 유량의 제곱근 중 어느 한쪽에 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호를 곱하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하도록 한 것을 특징으로 하는 유체판별방법.
  15. 청구항 제 1 기재의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 계측대상유체를 판별하는 유체판별방법으로서,
    상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하는 유량측정스텝과,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터 출력될 수 있는 상기 온도검출신호의 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류에 따라 서로 다른 기준범위를, 상기 계측대상유체의 종류에 관련시킨 기준범위 데이타를, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 미리 복수종류 정한 기준범위데이터군 중에서, 상기 유량측정스텝에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준범위데이터를 산출하는 기준범위데이터 산출스텝과,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호가 상기 기준범위데이터 산출스텝에서 산출된 상기 기준범위데이터를 표시하는 상기 온도검출신호의 기준범위중 어느 한 종류의 상기 계측대상유체에 관련된 기준범위에 속하는지를 판별하는 해당범위 판별스텝을 포함하고,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호가 속하는 것으로 해당 범위 판별스텝에서 판별된 기준범위에 관련된 상기 계측대상유체의 종류를 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체라고 판별하게 한 것을 특징으로 하는 유체판별방법.
  16. 청구항 1 기재의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치에 있어서,
    상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하는 유량측정수단과,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여 상기 유량측정수단에서 측정된 상기 계측대상유체의 유량을 보정하는 유량보정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유량계측장치.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 유량측정수단은 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량측정값에 따른 값의 신호를 출력하도록 구성되어 있고, 상기 유량보정수단은 상기 온도검출신호의 값에 의해 상기 유량측정수단의 출력신호값을 나눈 값의 신호를 유량검출신호로서 출력함으로써 상기 유량측정수단에서 측정된 상기 계측대상유체의 유량 보정을 행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유량계측장치.
  18. 청구항 1 기재의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치에 있어서,
    상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량측정수단과,
    상기 유량측정수단의 측정결과에 의거하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량이 고유량상태 및 저유량상태중 어느 상태에 있는지를 판정하는 판정수단과,
    상기 저유량상태인 것으로 상기 판정수단으로 판정될때에 상기 유량측정수단의 출력하는 신호를 그대로 유량검출신호로서 출력하고, 상기 고유량상태인 것으로 상기 판정수단으로 판정될 때에 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호의 값에 의해 상기 유량측정수단의 출력신호값을 나눈 값의 신호를 상기 유량검출신호로서 출력하는 유량출력수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유량계측장치.
  19. 청구항 1 기재의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치에 있어서,
    상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하고 그 측정치에 응한 값의 신호를 출력하는 유량측정수단과,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출수단과,
    상기 유량측정수단의 출력신호값을 유량값으로 환산하는 파라미터가 복수종류 격납된 파라미터 기억수단과,
    상기 유체물성값 산출수단에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 파라미터 기억수단에 기억된 복수종류의 상기 파라미터 중에서 단일 파라미터를 선택하는 선택수단을 구비하고,
    상기 선택수단에서 선택된 상기 단일 파라미터에 의해 상기 유량측정수단의 출력신호값에서 환산한 유량값을 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량계측값으로 하는 것을 특징으로 하는 유량계측장치.
  20. 청구항 1 기재의 상기 열식유체센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측방법에 있어서,
    상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하는 유량측정스텝과,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여, 상기 유량측정스텝에서 측정된 상기 계측대상유체의 유량을 보정하는 유량보정스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계측방법.
  21. 제 20 항에 있어서, 상기 유량측정스텝에 의해 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량측정값에 따른 값의 신호를 취득시키고, 상기 유량보정스텝에 있어서의, 상기 온도검출신호의 값에 의해 상기 유량측정스텝에서 취득된 신호값을 나눈 값의 신호를 유량검출신호로 출력하는 것을 특징으로 하는 유량계측방법.
  22. 청구항 1 기재의 상기 열식유체센서를 사용하여, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측방법에 있어서,
    상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하고, 그 측정값에 따른 값의 신호를 취득하는 유량측정스텝과,
    상기 유량측정스텝에서 취득된 신호의 값에 의거하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량이 고유량상태 및 저유량상태중 어느 상태에 있는지를 판정하는 판정스텝과,
    상기 저유량상태인 것으로 상기 판정스텝에서 판정될 때에 상기 유량측정스텝에서 취득된 신호를 그대로 유량검출신호로서 출력하고, 상기 고유량상태인 것으로 상기 판정스텝에서 판정되었을 때에 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호의 값에 의해 상기 유량측정스텝에서 취득된 신호값을 나눈 값의 신호를 상기 유량검출신호로서 출력하는 유량출력스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계측방법.
  23. 청구항 1 기재의 상기 열식유체센서를 사용하여, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측방법에 있어서,
    상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 측정하고, 그 측정값에 따른 값의 신호를 취득하는 유량측정스텝과,
    상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체에 물성값을 산출하는 유체물성값 산출스텝과,
    상기 유체물성값 산출스텝에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 유량측정스텝에서 취득된 신호의 값을 유량값으로 환산하기 위한 미리 정해진 복수종류의 파라미터 중에서 단일 파라미터를 선택하는 파라미터 선택스텝을 포함하고,
    상기 유량측정스텝에서 취득된 신호의 값에서 상기 파라미터 선택스텝에서 선택된 상기 단일 파라미터에 의해 환산한 유량값을 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량계측값으로 하는 것을 특징으로 하는 유량계측방법.
  24. 외부로부터의 구동전류에 의해 유로를 흐르는 계측대상유체를 가열하는 히터와,
    이 히터에 대하여 상기 계측대상유체의 상류측에 배치되고, 상기 계측대상유체의 온도를 검출하고, 제 1 온도검출신호를 출력하는 상류측 온도센서와,
    상기 히터에 대하여 상기 계측대상유체 하류측에 배치되고, 상기 계측대상유체의 온도를 검출하고, 제 2 온도검출신호를 출력하는 하류측 온도센서와,
    상기 히터에 대하여 상기 계측대상유체의 흐름방향과 대략 직교방향에 배치되고, 상기 계측대상유체의 온도를 검출하고, 제 3 온도검출신호를 출력하는 횡측온도센서와,
    상기 히터, 상기 상류측 온도센서, 상기 하류측 온도센서 및 상기 횡측온도센서를 지지하는 지지기판을 구비한 것을 특징으로 하는 플로센서.
  25. 제 24 항에 있어서, 상기 계측대상유체의 흐름방향과 대략 직교방향에 있어서의 상기 히터 양측에 상기 횡측온도센서를 각각 배치한 것을 특징으로 하는 플로센서.
  26. 제 24 항에 있어서, 상기 지지기판은 주변부분이 고정된 다이어프램부를 가지고, 이 다이어프램부에는 상기 히터, 상기 상류측 온도센서, 상기 하류측 온도센서 및 상기 횡측온도센서가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플로센서.
  27. 제 24 항에 있어서, 상기 상류측 온도센서 및 하류측 온도센서는 서모파일인 것을 특징으로 하는 플로센서.
  28. 제 24 항에 있어서, 상기 상류측 온도센서 및 하류측 온도센서는 초전체인 것을 특징으로 하는 플로센서.
  29. 제 24 항에 있어서, 상기 횡측온도센서는 서모파일인 것을 특징으로 하는 플로센서.
  30. 제 24 항에 있어서, 상기 횡측온도센서는 초전체인 것을 특징으로 하는 플로센서.
  31. 청구항 24 기재의상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별장치에 있어서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와, 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출수단과,
    상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 기준값이 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 복수종류 격납된 기준값 기억수단과,
    상기 기준값 기억수단에 기억된 복수종류의 상기 기준값 중에서, 상기 유량산출수단에서 산출된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준값을 산출하는 기준값 산출수단과,
    상기 기준값 산출수단에서 산출된 상기 기준값과 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 비를 산출하는 온도검출신호비 산출수단과,
    상기 온도검출신호비 산출수단에서 산출된 상기 비에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유체판별장치.
  32. 청구항 24 기재의 상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별장치에 있어서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와, 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출수단과,
    상기 유량측정수단에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량 및 그 유량의 제곱근 중 어느 한쪽에 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호를 곱하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유체판별장치.
  33. 제 31 항에 있어서, 상기 유체물성값 산출수단에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 종류판별수단을 더구비한 것을 특징으로 하는 유체판별장치.
  34. 청구항 24 기재의 상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별장치에 있어서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와, 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출수단과,
    상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터 출력되어 얻은 상기 제 3 온도검출신호의 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류에 따라 서로 다른 기준범위를 상기 계측대상유체의 종류에 관련시킨 기준범위데이터가 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 복수종류 격납된 기준범위데이터 격납수단과,
    상기 기준범위데이터 격납수단에 격납된 복수종류의 상기 기준범위데이터 중에서 상기 유량측정수단에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준범위데이터를 산출하는 기준범위데이터 산출수단과,
    상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호가 상기 기준범위데이터 산출수단에서 산출된 상기 기준범위데이터를 표시하는 상기 온도검출신호의 기준범위중, 어느 종류의 상기 계측대상유체에 관련된 기준범위에 속하는지를 판별하는 해당 범위 판별수단을 구비하고,
    상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호가 속한다고 상기 해당 범위 판별수단에서 판별된 기준범위에 관련된 상기 계측대상유체의 종류를 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류라고 판별하는 것을 특징으로 하는 유체판별장치.
  35. 청구항 24 기재의 상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별방법에 있어서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출스텝과,
    상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 미리 정해진 복수종류의 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 기준값중에서 상기 유량산출스텝에서 산출된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준값을 산출하는 기준값 산출스텝과,
    상기 기준값 산출스텝에서 산출된 상기 기준값과 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 비를 산출하는 온도검출신호비 산출스텝과,
    상기 온도검출신호비 산출스텝에서 산출된 상기 비에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체판별방법.
  36. 청구항 24 기재의 상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별방법에 있어서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출스텝과,
    상기 유량측정스텝에서 측정된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량 및 그 유량의 제곱근중 어느 한쪽에 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호를 곱하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체판별방법.
  37. 제 35 항에 있어서, 상기 유체물성값 산출스텝에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 종류판별스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체판별방법.
  38. 제 24 기재의 상기 플로센서를 사용하여 상기 계측대상유체의 종류를 판별하는 유체판별방법에 있어서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출스텝과,
    상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터 출력되어 얻은 상기 제 3 온도검출신호의 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류에 따라 서로 다른 기준범위를, 상기 계측대상유체의 종류에 관련시킨 기준범위데이터를, 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하여 미리 복수종류로 정해진 기준범위데이터군중에서 상기 유량측정스텝에서 산출된 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량에 대응하는 단일 기준범위데이터를 산출하는 기준범위데이터 산출스텝과,
    상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호가, 상기 기준범위데이터 산출스텝에서 산출된 상기 기준범위데이터를 표시하는 상기 온도검출신호의 기준범위중 어느 종류의 상기 계측대상유체에 관련된 기준범위에 속하는지를 판별하는 해당범위 판별스텝을 포함하고,
    상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호가 속하는 것으로 해당범위 판별스텝에서 판별된 기준범위에 관련된 상기 계측대상유체의 종류를 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 종류라고 판별하게 한 것을 특징으로 하는 유체판별방법.
  39. 청구항 24 기재의 상기 플로센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치에 있어서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출수단과,
    상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출수단과,
    상기 유체물성값 산출수단에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 유량산출수단에서 산출된 상기 계측대상유체의 유량을 보정하는 유량보정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유량계측장치.
  40. 제 39 항에 있어서, 상기 유량보정수단은 상기 제 3 온도검출신호의 값으로 상기 차신호의 값을 나눈 값의 신호를 유량검출신호로서 출력함으로써 상기 유량산출수단에서 산출된 상기 계측대상유체의 유량보정을 행하도록 구성된 것을 특징으로 하는 유량계측장치.
  41. 청구항 24 기재의 상기 플로센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치에 있어서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와, 상기 하류측온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는, 그 산출값에 응한 값의 신호를 출력하는 유량산출수단과,
    상기 유량산출수단이 출력하는 신호의 값에 의거하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량이 고유량상태 및 저유량상태중 어느 상태에 있는지를 판정하는 판정수단과,
    상기 저유량상태인 것으로 상기 판정수단으로 판정될때에 상기 유량측정수단의 출력하는 신호를 그대로 유량검출신호로서 출력하고, 상기 고유량상태인 것으로 상기 판정수단으로 판정될때에 상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 값으로 상기 유량산출수단의 출력신호값을 나눈 값의 신호를 상기 유량검출신호로서 출력하는 유량출력수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유량계측장치.
  42. 청구항 24 기재의 상기 플로센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측장치로서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와, 상기 하류측온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는, 그 산출값에 응한 값의 신호를 출력하는 유량산출수단과,
    상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출수단과,
    상기 유량산출수단의 출력신호값을 유량값으로 환산하는 파라미터가 복수종류 격납된 파라미터 기억수단과,
    상기 유체물성값 산출수단에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 파라미터 기억수단에 기억된 복수종류의 상기 파라미터 중에서 단일 파라미터를 선택하는 선택수단을 구비하고,
    상기 선택수단에서 선택된 상기 파라미터에 의해 상기 유량산출수단의 출력신호값에서 환산한 유량값을 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량의 계측값으로 하는 것을 특징으로 하는 유량계측장치.
  43. 청구항 24 기재의 상기 플로센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측방법에 있어서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와, 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는 유량산출스텝과,
    상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유량물성값 산출스텝과,
    상기 유량물성값 산출스텝에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 유량산출스텝에서 산출된 상기 계측대상유체의 유량을 보정하는 유량보정스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계측방법.
  44. 제 43 항에 있어서, 상기 유량산출스텝에 의해 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량 산출값에 응한 값의 신호를 취득시키고, 상기 유량보정스텝에 있어서의 상기 제 3 온도검출신호의 값에 의해 상기 유량산출스텝에 의해 취득된 신호값을 나눈 값의 신호를 유량검출신호로서 출력하는 것을 특징으로 하는 유량계측방법.
  45. 청구항 24 기재의 상기 플로센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측방법으로서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 유량을 산출하는, 그 산출값에 응한 값의 신호를 취득하는 유량산출스텝과,
    상기 유량산출스텝에서 취득된 신호의 값에 의거하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량이 고유량상태 및 저유량상태중 어느 상태에 있는지를 판정하는 판정스텝과,
    상기 저유량상태인 것으로 상기 판정스텝에서 판정될 때에 상기 유량산출스텝에서 취득된 신호를 그대로 유량검출신호로서 출력하고, 상기 고유량상태인 것으로 상기 판정스텝에서 판정될 때에 상기 열식유체센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호의 값으로 상기 유량산출스텝에서 취득된 신호값을 나눈 값의 신호를 상기 유량검출신호로서 출력시키는 유량출력스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계측방법.
  46. 청구항 24 기재의 상기 플로센서를 사용하여 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량을 계측하는 유량계측방법에 있어서,
    상기 플로센서내의 상기 상류측 온도센서로부터의 상기 제 1 온도검출신호와 상기 하류측 온도센서로부터의 상기 제 2 온도검출신호의 차신호에 의거하여 상기계측대상유체의 유량을 산출하는, 그 산출값에 응한 값의 신호를 취득하는 유량산출스텝과,
    상기 플로센서내의 상기 횡측온도센서로부터의 상기 제 3 온도검출신호에 의거하여 상기 계측대상유체의 물성값을 산출하는 유체물성값 산출스텝과,
    상기 유체물성값 산출스텝에서 산출된 상기 계측대상유체의 물성값에 의거하여 상기 유량산출스텝에서 취득된 신호의 값을 유량값으로 환산하기 위한 미리 정해진 복수종류의 파라미터 중에서 단일 파라미터를 선택하는 파라미터 선택스텝을 포함하고,
    상기 유량산출스텝에서 취득된 신호의 값에서 상기 파라미터 선택 스텝에 의해 선택된 상기 단일 파라미터에 의해 환산한 유량값을 상기 유로를 흐르는 상기 계측대상유체의 유량의 계측값으로 하는 것을 특징으로 하는 유량계측방법.
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