KR20010076833A - 반도체 제조용 감광액 공급장치 - Google Patents

반도체 제조용 감광액 공급장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 감광액 공급장치에 관한 것으로써, 종래의 감광액 공급장치는 감광액 용기 바닥에 남아있는 여분의 감광액이 전부 사용되지 못하고 그대로 폐기되어 감광액 사용 효율이 저하되는 문제점이 있었던 바, 본 발명에 따른 감광액 공급장치는 회전도포 장치에 연결된 공급관이 각각 형성되며, 감광액이 채워진 제 1 및 제 2 감광액 용기와, 공급관에 인터록 동작되게 설치되어 제 1 또는 제 2 감광액 용기의 감광액을 회전도포 장치에 연속적으로 펌핑하여 공급하는 펌프 제어부와, 제 1 및 제 2 감광액 용기를 각각 지지하는 지지대와, 지지대를 상, 하측으로 각각 이동시켜 제 1 및 제 2 감광액 용기의 높낮이를 가변시키는 용기 이동수단과, 용기 이동수단에 의해 상측으로 이동되어 상기 회전도포 장치에 공급되고 남은 상기 제 1 또는 제 2 감광액 용기의 여분의 감광액이 수압에 의해 하측으로 이동된 제 1 또는 제 2 감광액 용기 내에 채워지도록 하는 감광액 채움수단을 포함하여 이루어져, 감광액 용기 바닥에 남아있는 감광액의 모두 사용할 수 있게 된다.

Description

반도체 제조용 감광액 공급장치{Apparatus for supplying photo resist}
본 발명은 반도체 제조용 감광액 공급장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 회전도포 장치에 공급되는 감광액이 감광액 용기 내부에 남지 않고 전부 사용할 수 있도록 하는 감광액 공급장치이다.
일반적으로 반도체 제조 공정 중 도포공정은 웨이퍼를 회전시킨 상태에서 감광액이 분사되어 원심력에 의해 감광액을 도포하고 있다.
이러한 회전도포장치는 감광액이 연속적으로 공급되지 않으면, 웨이퍼 회전도포의 불량 발생시키는 결정적인 요소로 작용하므로 감광액의 공급 연속성을 유지시키는 것이 매우 중요하다.
따라서, 감광액의 공급 연속성을 유지시키기 위해 도 1 및 도 2 에 도시된 바와 같은 감광액 공급장치를 사용하게 된다.
도 1 및 도 2 에 도시된 감광액 공급장치는 회전도포 장치 내에 공급될 감광액이 채워진 제 1 및 제 2 감광액 용기(10a,10b)와, 제 1 및 제 2 감광액 용기를 지지하는 지지대(11)와, 제 1 및 제 2 감광액 용기와 회전도포 장치를 연결하여 감광액이 공급되도록 하는 공급관(12a,12b)과, 공급관의 소정 위치에 설치되어 감광액을 펌핑하여 회전도포 장치에 공급하는 펌프 제어부(13a,13b)로 이루어진다.
여기서, 펌프 제어부(13a,13b)는 제 1 및 제 2 감광액 용기(10a,10b)내부의 감광액 량을 감지함과 동시에 감광액 용기 내의 감광액을 펌핑하여 회전도포 장치에 공급시키도록 작동하며, 서로 인터록(interlock)동작되어 한쪽의 감광액 용기에 채워진 감광액이 모두 펌핑되면 다른 쪽의 감광액 용기에 채워진 감광액이 회전도포 장치에 펌핑되어 공급되도록 작동한다.
이러한 구성으로 이루어진 감광액 공급장치에 의한 감광액 공급을 설명한다.
먼저, 펌프 제어부(13a)가 작동하여 제 1 감광액 용기(10a)내의 감광액을 펌핑하여회전도포 장치에 공급되도록 한다.
그리고, 소정 시간 감광액의 공급이 진행되어 감광액 용기 내의 감광액이 일정량 공급되면 펌프 제어부(13a)는 제 1 감광액 용기(10a)내부의 감광액이 모두 소진되었다고 판단하면 펌핑을 중단한다.
이때, 또다른 펌프 제어부(13b)는 인터록 제어되어 제 2 감광액 용기(10b) 내부의 감광액을 펌핑하여 회전도포 장치에 공급되도록 한다.
따라서, 연속적인 감광액의 공급이 가능하게 된다.
그리고, 감광액이 소진된 제 1 감광액 용기(10a)는 제 2 감광액 용기(10b)의 감광액이 공급되는 동안 새로운 감광액 용기로 교체되어 다음 감광액 공급을 위해 대기한다.
그러나, 이러한 종래의 감광액 공급장치는 감광액 용기와 회전도포 장치를 연결하는 공급관이 감광액 용기 바닥면 위치까지 설치되지 않아 감광액 용기에 채워진 감광액을 모두 회전도포 장치에 공급시키지 않는다.
즉, 공급관의 끝단과 감광액 용기 바닥면 사이는 소정 간격 이격된 상태이므로 펌프 제어부에서 감광액이 소진되었다고 판단하더라도 2~3% 정도의 감광액은 항상 남아 있는 상태이다.
따라서, 종래의 감광액 공급장치는 감광액 용기 내에 2~3% 정도의 감광액을 사용하지 않고 그대로 폐기처분하므로 감광액의 손실이 발생하게 된다.
이에 본 발명은 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로써 감광액 용기 내부에 미사용된 감광액을 전부 사용할 수 있는 감광액 공급장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
따라서, 상기의 목적을 달성하고자, 본 발명에 따른 감광액 공급장치는 회전도포 장치에 연결된 공급관이 각각 형성되며, 감광액이 채워진 제 1 및 제 2 감광액 용기와, 공급관에 인터록 동작되게 설치되어 제 1 또는 제 2 감광액 용기의 감광액을 회전도포 장치에 연속적으로 펌핑하여 공급하는 펌프 제어부와, 제 1 및 제 2 감광액 용기를 각각 지지하는 지지대와, 지지대를 상, 하측으로 각각 이동시켜 제 1 및 제 2 감광액 용기의 높낮이를 가변시키는 용기 이동수단과, 용기 이동수단에 의해 상측으로 이동되어 상기 회전도포 장치에 공급되고 남은 상기 제 1 또는 제 2 감광액 용기의 여분의 감광액이 수압에 의해 하측으로 이동된 제 1 또는 제 2 감광액 용기 내에 채워지도록 하는 감광액 채움수단을 포함한다.
도 1 은 종래의 반도체 제조용 감광액 공급장치에 대한 평면도.
도 2 는 종래의 반도체 제조용 감광액 공급장치에서 지지대가 절단된 상태의 정면도.
도 3 은 본 발명에 따른 반도체 제조용 감광액 공급장치에 대한 평면도.
도 4 는 본 발명에 따른 반도체 제조용 감광액 공급장치에서 지지대가 절단된 상태의 정면도.
도 5 는 도 3 의 <Ⅴ-Ⅴ'> 방향 단면도.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 ※
10,100 : 감광액 용기 11,104 : 지지대
12,102 : 공급관 13,103 : 펌프 제어부
110 : 이동수단 120 : 채움수단
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 감광액 공급장치에 대한 바람직한 일실시예를 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 감광액 공급장치는 회전도포 장치에 연결된 공급관(102a,102b)이 각각 형성되며, 감광액이 채워진 제 1 및 제 2 감광액 용기(100a,100b)와, 공급관에 인터록 동작되게 설치되어 제 1 또는 제 2 감광액 용기의 감광액을 회전도포 장치에 연속적으로 펌핑하여 공급하는 펌프 제어부(103a,103b)와, 제 1 및 제 2 감광액 용기(100a,100b)를 각각 지지하는 지지대(104a,104b)와, 지지대를 상, 하측으로 각각 이동시켜 제 1 및 제 2 감광액 용기의 높낮이를 가변시키는 용기이동수단(110)과, 용기 이동수단에 의해 상측으로 이동되어 상기 회전도포 장치에 공급되고 남은 상기 제 1 또는 제 2 감광액 용기(100a,100b)의 여분의 감광액이 수압에 의해 하측으로 이동된 제 1 또는 제 2 감광액 용기(100a,100b)내에 채워지도록 하는 감광액 채움수단(120)을 포함한다.
상기 제 1 및 제 2 감광액 용기(100a,100b)는 바닥면(101)의 형태를 원추형으로 형성하여 회전도포 장치에 공급되고 남은 여분의 감광액이 감광액 용기의 바닥면 중심에 모이도록 한다.
상기 펌프 제어부(103a,103b)는 제 1 및 제 2 감광액 용기(100a,100b)내부의 감광액 량을 감지함과 동시에 감광액 용기 내의 감광액을 펌핑하여 회전도포 장치에 공급시키도록 작동하며, 서로 인터록(interlock)동작되어 제 1 또는 제 2 감광액 용기의 감광액이 모두 펌핑되면 다른 제 1 또는 제 2 감광액 용기의 감광액이 회전도포 장치에 펌핑되어 공급되도록 작동한다.
상기 지지대(104a,104b)는 제 1 및 제 2 감광액 용기(100a,100b)를 수용하여 지지하도록 원추형 지지면(105)이 형성되며, 지지면 중심에 관통홀(106)을 형성하여 감광액 용기 바닥의 중심이 관통홀(106)에 위치되도록 한다.
상기 이동수단(120)은 지지대(104a,104b)에 일측이 연결된 연결봉(111a,111b)과, 연결봉이 이동하는 이동홈(113)이 형성된 가이드 레일(112a,112b)과, 가이드 레일의 하단에 부착되어 구동축(115a,115b)이 연결봉(111a,111b)에 연결되어 구동축에 의해 연결봉이 이동홈(113)을 따라 이동되도록 하는 구동실린더(114a,114b)로 이루어진다.
상기 감광액 채움수단(120)은 지지대의 관통홀(106)에 의해 노출된 감광액 용기 바닥(101)에 콕(120)을 설치하고, 감광액 용기 상부에 연결구(122)를 각각 형성하며, 콕(120)과 연결구(22)에 양단이 각각 연결되는 플렉시블관(123)으로 이루어진다.
따라서, 감광액은 콕(120)의 개폐에 의해 플렉시블관(123)으로 공급되어 연결구(122)를 거쳐 채워진다.
이와 같은 구성으로 이루어진 감광액 공급장치는 감광액 용기에서 회전도포 장치에 공급되면서 남은 여분의 감광액을 전부 사용할 수 있다.
이에 대해 설명하면, 본 발명에 따른 감광액 공급장치는 제 1 감광액 용기(100a)에서 감광액이 펌프 제어부(103a)의 펌핑에 공급관(102a)를 거쳐 회전도포 장치로 공급되면서 감광액이 소진되면, 제 2 감광액 용기(100b)에서 감광액이 펌핑 제어부(103b)의 펌핑에 의해 연속적으로 공급된다.
이와 같이 제 1 감광액 용기(100a)에서 감광액 공급이 중단됨과 동시에 제 2 감광액 용기(100b)를 통해 감광액 공급이 이루어지는 과정으로 회전도포 장치에 연속적인 감광액 공급이 가능하게 된다.
이 과정에서 제 1 감광액 용기(100a)는 구동실린더(114a)의 구동축(115a)이 연결봉(111a)을 상방향으로 밀면서 지지대(104a)를 연동시켜 제 2 감광액 용기(100b)보다 높은 위치로 이동된다.
이 상태에서 제 1 감광액 용기(100a)의 바닥에 형성된 콕(120)과 제 2 감광액 용기(100b)의 상부에 형성된 연결구(122)를 플렉시블관(123)으로 연결하고, 콕(120)을 열어 제 1 감광액 용기(100a)의 원추형 바닥면(101) 중심에 모여있는 여분의 감광액이 플렉시블관(123)을 통해 제 2 감광액 용기(100b)에 채워지게 된다.
즉, 제 1 감광액 용기(100a)에 공급되고 남은 여분의 감광액은 제 1 및 제 2 감광액 용기의 높이 차에 의한 수압에 의해 자동적으로 제 2 감광액 용기(100b)에 채워진다.
따라서, 제 1 감광액 용기(100a)에서 회전도포 장치에 공급되고 남은 여분의 감광액을 전부 제 2 감광액 용기(100b)에 채워 감광액을 전부 소진시킬 수 있게 된다.
그리고, 제 1 감광액 용기(100a)의 감광액이 모두 소진되면 제 1 감광액 용기는 구동실린더(114a)에 의해 역방향으로 제 2 감광액 용기(100b)와 동일한 위치로 이동되어 새로운 감광액 용기로 교체되고, 제 2 감광액 용기의 감광액 공급이 중단되면 연속적으로 감광액을 공급시키기 위해 대기한다.
또한, 제 2 감광액 용기(100b)에 남은 여분의 감광액은 제 2 감광액용기를 제 1 감광액 용기(100a)보다 높은 위치로 이동시켜 상기와 동일한 과정으로 전부 소진시키면 된다.
상기에서 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 감광액 공급장치는 펌프 제어부에서 감광액을 모두 소진하였다고 판단하더라도 감광액 용기 내부에 남아있는 여분의 감광액을 전부 사용할 수 있게 된다.
따라서, 본 발명은 감광액의 사용량을 감소시켜 효율적인 감광액 관리가 가능하며, 원가 절감에 크게 기여하게 된다.

Claims (4)

  1. 회전도포 장치에 연결된 공급관이 각각 형성되며, 감광액이 채워진 제 1 및 제 2 감광액 용기와;
    상기 공급관에 인터록 동작되게 설치되어 상기 제 1 또는 제 2 감광액 용기의 감광액을 상기 회전도포 장치에 연속적으로 펌핑하여 공급하는 펌프 제어부와;
    상기 제 1 및 제 2 감광액 용기를 각각 지지하는 지지대와;
    상기 지지대를 상, 하측으로 각각 이동시켜 상기 제 1 및 제 2 감광액 용기의 높낮이를 가변시키는 용기 이동수단과;
    상기 용기 이동수단에 의해 상측으로 이동되어 상기 회전도포 장치에 공급되고 남은 상기 제 1 또는 제 2 감광액 용기의 여분의 감광액이 수압에 의해 하측으로 이동된 상기 제 1 또는 제 2 감광액 용기 내에 채워지도록 하는 감광액 채움수단을 포함하여 이루어지는 감광액 공급장치.
  2. 청구항 1 에 있어서,
    상기 감광액 용기의 바닥과 상기 지지대의 상기 감광액 용기 지지면은 원추형으로 형성된 것이 특징인 감광액 공급장치.
  3. 청구항 1 에 있어서,
    상기 감광액 채움수단은,
    상기 제 1 및 제 2 감광액 용기의 바닥면 외측에 형성된 콕과;
    상기 제 1 및 제 2 감광액 용기의 상부 외측에 형성된 연결구 와;
    상측으로 이동된 상기 제 1 또는 제 2 감광액 용기의 콕과 하측으로 이동된 상기 제 1 또는 제 2 감광액 용기의 연결구에 연결되는 플렉시블관으로 이루어진 것이 특징인 감광액 공급장치.
  4. 청구항 1 에 있어서,
    상기 이동수단은,
    상기 지지대에 일측이 부착된 연결봉과;
    상기 연결봉의 이동홈이 형성된 가이드 레일과;
    상기 연결봉의 타측에 구동축이 부착되어 상기 구동축이 상기 연결봉을 밀어 상기 이동홈을 따라 상하로 이동시키는 실린더로 이루어진 것이 특징인 감광액 공급장치.
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