KR20010069162A - 전주가공에 의한 섀도마스크의 제조방법과 그를 위한마스타 섀도마스크 - Google Patents

Abstract

본 발명은 섀도마스크를 제작하기 위한 마스타의 제조방법과 이를 이용하여 전주가공에 의하여 섀도마스크를 제작하는 제조방법에 대한 발명이다. 본 발명에서는 에칭 방법에 의하지 않고 전주가공 방법에 의하여 섀도마스크를 양산할수 있는 기술로서, 본 발명의 마스타에 전기의 음극을 연결하고 전기분해되어질 금속에 전기의 양극을 연결하면, 금속의 표면이 전기분해되어 이온화 된 상태에서 음전극으로 향하여 이동을 일으키며, 상기 이동되어지는 금속이온은 마스타의 표면에서 석출되어져서 새로운 형태의 형을 만들게 된다. 이러한 성질을 이용하여 새로운 방법으로 섀도마스크를 만드는 것이 본 발명의 기술이다. 종래에는 평판 형태의 에칭섀도마스크가 프레스작업을 통하여 도움형상으로 가공된 뒤 실제 장착이 되어지나, 본 발명에서는 최초의 섀도마스크를 평판형태가 아닌 도움형상의 섀도마스크로 처음부터 제작이 가능하다.

Description

전주가공에 의한 섀도마스크의 제조방법과 그를 위한 마스타 섀도마스크{MASTER SHADOW - MASK AND THE METHOD OF MANUFACTURING SHADOW - MASK BY THE PROCESS OF ELECTRIC FORMING}

본 발명은 섀도마스크의 제조를 목적으로하는 발명이다. 섀도마스크를 보다 저렴하게 양산할수 있는 기술의 개발을 목표로 하여 본 발명이 이루어 졌다. 종래에는 에칭방법에 의하여 섀도마스크를 생산하였는데 본 발명은 전기에 의하여 금속을 이온으로 분해하여 섀도마스크를 만들수 있는 본 발명의 마스타에 상기 이온을 석출시킴에 의하여 섀도마스크를 제작하는 기술이다. 전주가공의 기술적 특징을 살려서 다층의 이종금속으로 이루어 지는 섀도마스크를 만들수 있음은 물론이거니와 보다 빠른 시간에 양산을 할수가 있는 특징이 있다. 또한 평판형태의 섀도마스크 뿐만아니라 도움형상의 섀도마스크를 생산할수 있음으로 종래의 평판 형태의 섀도마스크를 프레스작업을 통하여 도움형상으로 가공하는 공정을 생략할수 있는 상당히 경제적으로 우수한 발명이라 하겠다.

본 발명은 섀도마스크를 제작하기 위한 마스타의 제조방법과 이를 이용하여 전주가공에 의하여 섀도마스크를 제작하는 제조방법에 대한 발명이다. 종래의 기술로서 섀도마스크를 제조하는 방법으로서는 에칭에 의한 부식법이 있다. 화학물질에 의하여 부식이 가능한 금속체상에 원하는 형상의 구멍을 화학물질에 노출시키게 되면 상기 화학물질이 상기 금속과 화학적 반응을 일으켜 상기 금속체에 원하는 형상의 구멍을 뚫게 된다. 이와 같은 에칭 기술을 이용하여 종래에는 섀도마스크를 생산해 왔었다. 그러나 본 발명에서는 에칭 방법에 의하지 않고 전주가공 방법에 의하여 섀도마스크를 양산할수 있는 기술로서, 본 발명의 마스타에 전기의 음극을 연결하고 전기분해되어질 금속에 전기의 양극을 연결하면, 금속의 표면이 전기분해되어 이온화 된 상태에서 음전극으로 향하여 이동을 일으키며, 상기 이동되어지는 금속이온은 마스타의 표면에서 석출되어져서 새로운 형태의 형을 만들게 된다. 이러한 성질을 이용하여 새로운 방법으로 섀도마스크를 만드는 것이 본 발명의 기술이다.

전주가공에 의하여 미세하고 복잡한 관통공이 형성되어진 섀도마스크를 양산할수 있도록 마스타를 만들고 , 상기 마스타를 사용하여 섀도마스크를 전주가공으로 양산할수 있는 기술을 개발하는 것이 본 발명의 기술적 과제이다.

또한 종래에는 평판 형태의 에칭섀도마스크가 프레스작업을 통하여 도움형상으로 가공된 뒤 실제 장착이 되어지므로, 본 발명에서는 최초의 섀도마스크를 평판형태가 아닌 도움형상의 섀도마스크로 처음부터 제작하고자 하며 이러한 기술적 시도 역시 본 발명의 기술적 과제의 하나로 한다.

제 1 도는 섀도마스크의 단면도이다

제 2 도는 섀도마스크의 관통공의 상세도이다

제 3 도는 마스타를 만드는 제 1 공정 설명도이다

제 4 도는 마스타를 만드는 제 2 공정 설명도이다

제 5 도는 마스타를 만드는 제 3 공정 설명도이다

제 6 도는 마스타를 만드는 제 4 공정 설명도이다

제 8 도는 마스타를 이용하여 섀도마스크를 생산하기 위한 제 1 공정 설명도

제 9 도는 마스타를 이용하여 섀도마스크를 생산하기 위한 제 2 공정 설명도

제 10 도는 마스타를 이용하여 섀도마스크를 생산하기 위한 제 2 공정이 완료된 상태의 마스타 상태도

제 11 도는 마스타를 이용하여 섀도마스크를 생산하기 위한 제 3 공정설명도

제 12 도는 뿌리형상 마스타를 만들기 위한 제 1 공정 설명도

제 13 도는 뿌리형상 마스타를 만들기 위한 제 2 공정 설명도

제 14 도는 뿌리형상 마스타를 만들기 위한 제 3 공정 설명도

제 15 도는 뿌리형상 마스타를 만들기 위한 제 4 공정 설명도

제 16 도는 뿌리형상 마스타를 만들기 위한 제 5 공정 설명도

제 17 도는 도움형의 섀도마스크의 단면도

제 18 도는 도움형의 마스타의 설명도

제 19 도는 도움형 뿌리형상 마스타의 설명도

제 20 도는 도움형 뿌리형상 마스타에 의한 도움형 섀도마스크의 제조 공정도

제 21 도는 도움형 뿌리형상 마스타에 니켈이 석출된 상태도

제 22 도는 전주가공에 의하여 도움형 뿌리형상 마스타로 생산한 도움형 섀도마스크의 구성도

제 23 도는 마스타를 이용하여 섀도마스크를 생산하기 위한 장치의 설명도

제 24 도는 마스타 설치대축에 형성한 캠홈에 대한 설명도

《 도면의 주요부분에 대한 설명 》

1:박막 2:관통구멍 3:상경부 4:중경부 5:하경부 6:도전체

7:에칭섀도마스크 8:성형물질 9:성형물질 10:절연체 11:마스타

12:고체니켈 13:액체니켈 14:플러스전극 15:마이너스전극

16:탱크 17:금속니켈 18:도전체 19:뿌리부 20:성형물질

21:뿌리형 성형물질 22:뿌리형상 마스타 23:도전체 24:절연체

25:성형물질 26:절연체 27:도전체 28:성형물질 29:고정테

30:캠홈 31:다각형 마스타 설치대

본 발명은 전주가공법에 의하여 섀도마스크를 제작하는 방법과 마스타 섀도마스크에 대한 것이다. 에칭에 의하여 제작한 에칭섀도마스크를 이용하여 전주가공법에 의하여 섀도마스크를 만들기 위한 마스타를 제작하며, 상기 마스타에 전주가공을 시행하여 반복적으로 섀도마스크를 양산할수 있도록 하는 기술에 대한 것이다. 이에 대하여 도면을 바탕으로 상세히 설명하겠다.

제 1 도는 일반적인 섀도마스크의 단면도이다. 극히 얇은 박막(1)에 관통구멍(2)을 다수 형성한 것이다. 얇은 박막이라 하더라도 단 한번의 부식에 의한 에칭에 의하여서는 관통공이 형성되어 지지않으므로 상부 및 하부 양쪽에서 에칭을 실시하여 관통구멍을 형성한다. 얇은 박막에 무수히 많은 미세공이 형성되어 있는데 이들을 어떻게 형성시키는가 하는 것이 섀도마스크에서 핵심적 기술이라 하겠다.

제 2 도는 상기의 제 1 도에서 보인 섀도마스크의 하나의 광통공의 단면을 상세히 설명하는 상세도이다. 위로부터 상경부(3) 중경부(4) 하경부(5)로 편의상 명명하며, 상경부 중경부 하경부의 구멍의 크기가 각각 다른 것이 일반적이다.

제 3 도는 전주가공에 의하여 섀도마스크를 생산하기 위한 마스타를 만드는 제 1 공정에대한 설명도로서 이는 도전체(6)에 에칭섀도마스크(7)를 밀착위치 시키는 것을 설명하는 설명도이다. 에칭에 의하여 제작이 되어진 에칭섀도마스크(7)를 도전체(6) 위에 밀착시켜 올려 놓은 상태이다. 여기서 도전체란 전류를 통할수 있는 금속종류가 이상적이며 본 발명에서 가장 대표적인 실시예로서는 스텐레스평판을 들수가 있다.

제 4 도는 마스타를 만드는 제 2 공정의 설명도로서 이는 제 1 공정의 에칭섀도마스크(7) 표면과 관통공에 성형물질(8)을 도포시키는 것을 설명하는 설명도이다. 제 4 도는 편의상 일부분에 대하여서만 확대하여 설명한 설명도이다. 도전체(6) 위에 위치된 에칭섀도마스크(7)위에 성형물질(8)을 부어서 성형물질로 에칭홀을 가득히 채우며 또한 상기 성형물질이 도전체에 접착되게 한 상태이다.

제 5 도는 마스타를 만드는 제 3 공정의 설명도로서 이는 제 2 공정에서 에칭섀도마스크(7) 위에 존재하는 여분의 성형물질을 깨끗히 닦아내는 공정이다. 상기에서 설명한 성형물질은 다양한 종류가 적용이 되어지나 고장력의 탄성을 갖는 성형물질이 요구되어지며, 본 발명의 가장 대표적인 실시예로서의 성형물질은 실리콘을 들수가 있다. 이때 에칭섀도마스크상의 여분의 실리콘을 닦아 냄에 있어서 가장 이상적인 화학적 연마제는 아세톤과 신나를 혼합한 물질이다. 상기의 연마후에 톨루엔으로서 마무리를 하게 되면 깨끗하게 도전체의 표면이 처리가 될수가 있게 된다.

제 6 도는 마스타를 만드는 제 4 공정의 설명도로서 이는 제 5 도의 제 3 공정에서 에칭섀도마스크(7)를 제거한 것을 나타낸다. 즉 에칭섀도마스크가 제거되어진 상태에서는 도전체(6)상에 에칭섀도마스크의 구멍의 형상으로 성형되어진 성형물질(9)이 접착되어 있는 상태가 된다. 이와 같이 에칭섀도마스크가 제 6 도의 공정 즉 에칭섀도마스크를 제거하는 공정에 있어서, 성형물질에서 에칭섀도마스크이 용이하게 분리가 되도록 하기 위하여서는 이형물질을 에칭섀도마스크의 관통공들의 측면들에 도포시키는 것이 바람직하다. 또한 이형물질(9)이 도전체(6)의 표면에 강력히 접착된 상태가 유지되게 하기 위하여서 접착력을 증가 시키는 작업이 부가되면 또한 보다 바람직하다 하겠다.

제 7 도는 마스타를 만드는 제 5 공정의 설명도이다. 이는 성형되어진 성형물질(9)이 부착된 도전체(6)의 모든 측면과 저면을 절연체(10)로서 절연시키는 것을 설명한다. 제 5 공정의 과정을 마친 것이 바로 전주가공에 의하여 섀도마스크를 생산할수가 있게 되는 마스타(11)가 완성된 것이다. 즉 마스타(11)는 섀도마스크의관통공의 형상이 성형된 성형물질이 부착되어진 상부측에만 도전체가 개방되어져 있으며, 그 외의 부분에는 절연체(10)에 의하여 절연이 되어진 상태이다.

제 8 도는 본 발명의 마스타(11)를 이용하여 전주가공에 의하여 새로운 섀도마스크를 생산하는 과정의 제 1 공정을 설명하는 설명도이다. 큰 탱크(16)속에 용해되어진 액체니켈(13)이 채워져 있으며, 상기 탱크의 좌,우에는 용해되어진 액체니켈이 석출되어질때 그 양만큰 보충하기 위한 고체니켈(12)이 담겨져 있다. 이러한 니켈용액(13)에는 플러스전극(14)을 연결한다. 이와 같이 형성된 액체니켈탱크(16)속에 상기의 마스타(11)를 액체니켈액(13)속에 침지시키고 마이너스 전극(15)을 연결한다.

제 9 도는 마스타를 이용하여 전주가공에 의하여 섀도마스크를 생산하는 과정의 제 2 공정을 설명하는 설명도로서 도전체(6)에 니켈의 석출이 진행되어 지는 공정이다. 양극과 음극에 전기를 공급하기 시작하면 도전체의 표면에 니켈의 석출이 시작되어 진다. 도전체의 표면에 금속니켈이 석출되어지기 시작하면 고체니켈(12)이 녹아 액체니켈(13)로 변하게 된다. 마이너스극(15)이 연결되어진 절연이 되지 아니한 도전체의 표면에는 ,표면부터 니켈이 석출되기 시작하며, 점차 석출이 진행함에 따라 성형된 성형물질의 높이에 까지 석출이 이루어 진다. 이때 성형된 성형물질(9)에는 전류가 흐리지 않아 니켈이 석출되어 지지 아니한다.

제 10 도는 제 9 도의 전주가공에 의하여 섀도마스크를 생산하는 과정의 제 2 공정이 마무리 된 상태의 마스타(11)의 상태의 단면을 보인 설명도이다. 최초의 에칭섀도마스크의 구멍의 형상을 한 성형된 성형물질(9)의 주위로 완전히 새로운금속니켈(17)이 덮어싸고 있는 모습니다.

제 11 도는 마스타(11)를 이용하여 전주가공에 의하여 섀도마스크를 생산하는 과정의 제 3 공정을 설명하는 설명도로서 마스타(11)로부터 새로이 형성이 되어진 니켈조직체(17)를 떼어내어 전주가공에 의한 새로운 섀도마스크를 생산한것을 나타낸다. 이상과 같이 마스타를 액체니켈속에 담구어 니켈을 마스타의 도전체층에 석출시켜서 새로운 전주가공에 의한 섀도마스크의 생산을 반복적으로 행할수가 있게 되는 것이다.

제 12 도는 뿌리형상 마스타를 만들기 위한 제 1 공정 설명도이다. 도전체(18)내부에 성형물질을 이식시키기 위하여 도전체 표면에 뿌리부(19)를 에칭시킨것을 설명하는 설명도이다. 성형물질이 도전체내부에 뿌리를 형성하도록 한 마스타를 편의상 뿌리형상 마스타라 명명한다. 뿌리형상 마스타는 성형물질이 도전체의 표면으로 부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 목적에서 제작이 되어진다.

이는 에칭 섀도마스크의 하부표면의 구멍의 형상과 동일한 형상을 도전체의 상부표면에 에칭기법에 의하여 부식에 의하여 형성시킴으로 작업을 시작한다.

제 13 도는 뿌리형상 마스타를 만들기 위한 제 2 공정설명도이다. 이는 상기 제 12 도의 구멍이 형성되어진 도전체(18)의 상부에 에칭 섀도마스크(19)를 밀착시킨 상태이다.

제 14 도는 뿌리형상 마스타를 만들기 위한 제 3 공정설명도이다. 구멍이 형성된 도전체(18)와 에칭 섀도마스크(19)에 성형물질(20)을 도포시키는 공정이다.

제 15 도는 뿌리형상 마스타를 만들기 위한 제 4 공정설명도이다. 상기 제14 도의 성형물질(20)중 도전체(19)의 표면을 닦아내어 표면을 연마한 상태를 나타낸 설명도이다.

제 16 도는 뿌리형상 마스타를 만들기 위한 제 5 공정설명도이다. 상기 제 15 도에서 에칭 섀도마스크(19)를 제거한 상태이다. 뿌리가 형성된 도전체(18)에 뿌리를 가지는 에칭섀도마스크의 관통구멍의 형상이 성형물질에 의하여 만들어 진 것(21)이 상기 뿌리가 형성된 도전체(18)에 접착된 것이며, 이것이 바로 뿌리형상의 마스타(22)로 명명되어진다.

이상의 제 12 도에서부터 제 16 도까지의 일련의 과정은 상기 제 3 도에서부터 제 6 도까지의 일련의 과정에 대응하는 것으로서 이는 에칭 섀도마스크의 구멍의 형상으로 성형된 성형물질이 도전체로부터 이탈되지 못하도록 하는 데 기술적인 보완을 한 구성이다.

제 17 도는 또다른 형태의 에칭 섀도마스크의 형상을 설명하는 설명도이다. 섀도마스크가 실제적으로 제품상에 설치 되기 위하여서는 평판형태의 섀도마스크가 도움형상의 형태로 다시 형태를 변화시켜야만 한다. 즉 평판형태의 섀도마스크를 프레스에 넣어 도움형상으로 작업을 행하게 되는데 ,작업의 곤란성으로 인하여 도움형상으로 변형시키는데 상당한 경제적 비용이 수반되어 지게 된다. 본 발명에서는 전주가공의 이점을 최대한 살려서 최초에 전주가공에 의한 섀도마스크를 형성할 시점부터 도움형상으로 가공을 할수가 있다. 이하에서는 전주가공에 의한 도움형상의 섀도마스크를 도움형섀도마스크라 명명하겠다.

제 18 도는 전주가공에 의하여 도움형상을 하는 섀도마스크를 제작하기 위한도움(doom)형 마스타쌔도마스크의 설명도이다. 이는 도움형상의 에칭섀도마스크의 내부형상과 동일한 형상으로 도전체(23)의 상부표면을 형성한후, 상기 도전체의 상부표면에 프레스작업에 의하여 도움형상으로 된 에칭섀도마스크를 밀착시킨다. 도움형상의 에칭섀도마스크와 이에 밀착되어진 상기 도전체에 성형물질을 충진시켜서 도움형상의 에칭섀도마스크의 관통공을 성형물질로 충진시후, 상기 성형물질(25)이 굳어진 상태에서 상기의 도움형상으로 된 에칭섀도마스크를 제거한다. 그후 도전체(23)의 하부와 측부에 절연체(24)를 형성한다. 이와 같은 과정은 이미 앞에서 상술하였으므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.

제 19 도는 전주가공에 의하여 도움형상을 하는 섀도마스크를 제작하기 위한 도움(doom)형 뿌리형상 마스타섀도마스크에 대한 설명도이다. 이는 도움형상으로 상부표면을 형성한 도전체(27)에 에칭에 의하여 뿌리구멍을 형성한뒤, 상기 도전체(27)에 도움형상으로 된 에칭섀도마스크를 밀착시키고 그위에 성형물질(28)을 충진시켜 굳게한 상태에서 상기의 도움형상으로 된 에칭섀도마스크를 제거한뒤, 도전체의 하부와 측부에 절연체(26)를 형성시킨 것을 나타낸다.

제 20 도는 상기의 도움형 뿌리형상 마스타섀도마스크에 의한 도움형 섀도마스크의 제조 공정도이다. 이는 도움형 뿌리형상 마스타를 액체니켈탱크에 침지시켜서 도전체 표면에 니켈을 석출시킴에 의하여 전주가공에 의한 새로운 섀도마스크를 생산하는 것을 설명한다. 니켈의 석출과정에 대한 자세한 설명은 앞에서 설명한 것과 동일하므로 생략하겠다.

제 21 도는 도움형 뿌리형상 마스타섀도마스크에 니켈이 석출된 상태도이다.

제 22 도는 전주가공에 의하여 도움형 뿌리형상 마스타로 생산된 도움형 섀도마스크(28)의 구성도를 나타낸다. 이것은 제 21 도에서 석출되어진 니켈조직들만 분리시킨것으로서, 이것이 도움형 뿌리형상 마스타섀도마스크에 의하여 새로이 형성되어진 도움형 섀도마스크의 제품인 것이다. 이는 섀도마스크를 고정하는 고정테(29)를 가지고 있으며 각 구멍이 중심을 향하여 편향된 형상을 가지며 전체적으로는 도움형상을 하는 구조인다.

제 23 도는 전주가공으로 마스타를 이용하여 섀도마스크를 양산하기 위한 장치의 설명도이다. 도면은 도움형 뿌리형상 마스타섀도마스크를 이용하여 전주가공에 의하여 효율적으로 섀도마스크를 생산하기 위한 장치를 위주로 도시되어져 있으나, 이러한 장치는 본발명의 평판의 마스타 또는 도움형 마스타에 대하여서도 동일하게 적용이 되어진다. 제 23 도는 다각형으로 구성된 회전판상에 도움형 뿌리형상 마스타섀도마스크를 설치하며, 이들 각 도움형 뿌리형상 마스타에 마이너스전극을 연결한 것이다. 이러한 다각형 마스타 설치대(31)는 도움형 뿐만아니라 평판형 마스타를 설치할수 있음은 물론이다. 다각형 마스타 설치대는 액체 니켈에 침지된 상태로 회전, 역회전을 반복 시키어서 균일한 니켈 석출을 유도한다.

제 24 도는 다각형 마스타 설치대 축에 형성되어진 캠홈의 구성을 설명하는 설명도이다. 다각형 마스타 설치대의 중앙에 형성된 축에는 캠홈(30)을 형성하여 축방향으로 전,후 요동운동을 형성함으로서 보다 균일한 니켈 석출조직을 형성시킬 수도 있음을 설명한다.

본 발명을 실현시키는 전주가공에 있어서, 본 발명의 상세한 설명에서는 마스타에 의한 섀도마스크를 만드는 금속소재를 주로 니켈을 위주로 액체니켈, 고체니켈등으로 설명을 전개하였으나, 이는 현재 사용이 되어지고 있는 에칭 섀도마스크의 주된 성분이 니켈임을 감안하여 설명한 것이다. 본 발명을 실시하는 소재는 니켈에만 한정되어 지지않고 전주가공이 가능한 다른 금속에 대하여서도 실시가능함은 물론이다. 또한 소재층을 달리하는 마스타에 의한 섀도마스크를 제조하고자 할때는 전주가공의 실시 도중에 다른 소재로 충진된 탱크속에 장입시켜서 소재층을 달리하는 섀도마스크를 만들수도 있다. 즉 니켈탱크 속에서 니켈에 의하여 섀도마스크의 두께의 절반쯤 전주가공이 실시되었을때, 마스크를 꺼내어 다른 금속이 장입된 탱크속에서 전주가공을 실시하여 섀도마스크의 나머지 절반의 두께를 완성시킬수가 있게 되는 것이다. 이상과 같은 방법으로 다층의 소재층을 가지는 섀도마스크를 제작할수가 있는 본 발명만의 기술적 특징이 있다.

본 발명은 전주가공에 의한 섀도마스크를 만드는 기술에 대한 것이다. 종래에는 섀도마스크를 만들기 위하여 에칭기법에 의하여 섀도마스크를 생산하였으므로 종래의 모든 섀도마스크는 반드시 에칭작업을 거치게 되었으나, 본 발명은 마스타를 생산할 경우에만 에칭 작업에 의하여 섀도마스크를 제작하며, 일단 마스타의 제작이 완료된 시점부터는 에칭작업을 행하지 않고 전주가공을 행하게 된다. 즉 액체 상태의 니켈을 마스타에 석출시켜서 섀도마스크를 형성시키게 되므로 보다 신속히 효율적인 양산작업이 가능하다. 또한 에칭기법에 의하여서는 평판의 섀도마스크를 생산한 다음 이를 다시 프레스 작업을 통하여 도움형상의 섀도마스크로 변형하는작업을 반드시 거쳐야만 하였다. 상기 프레스 작업에 그 소요되는 비용은 평판 에칭섀도마스크를 생산하는 데는 드는 비용이상의 경제적 부담을 안아야만 하였으나, 본 발명에 의하면 프레스 작업이 전혀 필요가 없으므로 경제적으로 종래의 방법보다 월등한 이점을 가진다 하겠다.

Claims (21)

1. 도전체 위에 에칭섀도마스크를 위치시키는 제 1 공정과, 상기 에칭섀도마스크에 성형물질을 도포하는 제 2 공정과, 상기 성형물질을 닦아내는 제 3 공정과, 에칭섀도마스크를 제거하는 제 4 공정과, 도전체의 측면과 저부를 절연체로 절연을 시키는 제 5 공정을 거쳐 제작하는 것을 특징으로 하는 마스타의 제조방법.
2. 제 1 항에 있어서, 성형물질이 실리콘 인것을 특징으로 하는 마스타의 제조방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 성형물질을 닦아내는 제 3 공정에서 사용이 되어지는 화학적 물질을 신나와 아세톤의 혼합물질로 하는 것을 특징으로 하는 마스타의 제조방법.
4. 도전체에 뿌리부를 형성하는 제 1 공정과, 뿌리부를 형성시킨 도전체 위에 에칭섀도마스크를 위치시키는 제 2 공정과, 상기 에칭섀도마스크에 성형물질을 도포하는 제 3 공정과, 상기 성형물질을 닦아내는 제 4 공정과, 에칭섀도마스크를 제거하는 제 5 공정과, 도전체의 측면과 저부를 절연체로 절연을 시키는 마무리공정을 거쳐 제작하는 것을 특징으로 하는 뿌리형상 마스타의 제조방법.
5. 제 4 항에 있어서, 성형물질이 실리콘 인것을 특징으로 하는 뿌리형상 마스타의 제조방법.
6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, 성형물질을 닦아내는 제 4 공정에서 사용이 되어지는 화학적 물질을 신나와 아세톤의 혼합물질로 하는 것을 특징으로 하는 뿌리형상 마스타의 제조방법.
7. 도움형상의 에칭섀도마스크의 내부형상과 동일한 형상으로 도전체의 상부표면을 형성한후, 상기 도전체의 상부표면에 프레스작업에 의하여 도움형상으로 된 에칭섀도마스크를 밀착시키는 공정과, 도움형상의 에칭섀도마스크와 이에 밀착되어진 상기 도전체에 성형물질을 충진시켜서 도움형상의 에칭섀도마스크의 관통공을 성형물질로 충진시키는 공정과, 상기 성형물질이 굳어진 상태에서 상기의 도움형상으로 된 에칭섀도마스크를 제거하는 공정과, 도전체의 하부와 측부에 절연체를 형성하는 공정을 거쳐 제작하는 것을 특징으로 하는 도움형 마스타의 제조방법.
8. 제 7 항에 있어서, 성형물질이 실리콘 인것을 특징으로 하는 도움형 마스타의 제조방법.
9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 성형물질을 닦아내는 공정에서 사용이 되어지는 화학적 물질을 신나와 아세톤의 혼합물질로 하는 것을 특징으로 하는 도움형마스타의 제조방법.
10. 도움형상으로 상부표면을 형성한 도전체에 에칭에 의하여 뿌리구멍을 형성하는 공정과, 상기 도전체에 도움형상으로 된 에칭섀도마스크를 밀착시키는 공정과,도움형상의 에칭섀도마스크와 이에 밀착되어진 상기 뿌리구멍이 형성된 도전체에 성형물질을 충진시켜서 도움형상의 에칭섀도마스크의 관통공과 도전체의 뿌리구멍을 성형물질로 충진시키는 공정과, 상기 성형물질이 굳어진 상태에서 상기의 도움형상으로 된 에칭섀도마스크를 제거하는 공정과, 도전체의 하부와 측부에 절연체를 형성하는 공정을 거쳐 제작하는 것을 특징으로 하는 도움형 뿌리형상 마스타의 제조방법.
11. 제 10 항에 있어서, 성형물질이 실리콘 인것을 특징으로 하는 도움형 뿌리형상 마스타의 제조방법.
12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서, 성형물질을 닦아내는 공정에서 사용이 되어지는 화학적 물질을 신나와 아세톤의 혼합물질로 하는 것을 특징으로 하는 도움형 뿌리형상 마스타의 제조방법.
13. 큰 탱크속에 용해되어진 액체금속을 채워고, 상기 탱크의 좌,우에는 용해되어진 액체금속이 석출되어질때 그 양만큰 보충하기 위한 고체금속을 채우고, 상기액체금속에는 플러스전극을 연결하고, 상기 액체금속탱크속에 전주가공으로 섀도마스크를 만들기 위한 마스타를 침지시키고, 상기 마스타에 마이너스 전극을 연결하여 전주가공에 의하여 섀도마스크를 만드는 전주가공에 의한 섀도마스크의 제조방법.
14. 제 13 항에 있어서, 액체금속 및 고체금속이 니켈인 것을 특징으로 하는 전주가공에 의한 섀도마스크의 제조방법.
15. 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서, 마스타가 도전체 위에 에칭섀도마스크를 위치시키는 제 1 공정과, 상기 에칭섀도마스크에 성형물질을 도포하는 제 2 공정과, 상기 성형물질을 닦아내는 제 3 공정과, 에칭섀도마스크를 제거하는 제 4 공정과, 도전체의 측면과 저부를 절연체로 절연을 시키는 제 5 공정을 거쳐 제작한 마스타인것을 특징으로 하는 전주가공에 의한 섀도마스크의 제조방법.
16. 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서, 마스타가 도움형 마스타인것을 특징으로 하는 전주가공에 의한 섀도마스크의 제조방법.
17. 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서, 마스타가 도움형 뿌리형상 마스타인것을 특징으로 하는 전주가공에 의한 섀도마스크의 제조방법.
18. 큰 탱크속에 용해되어진 액체금속을 채워고, 상기 탱크의 좌,우에는 용해되어진 액체금속이 석출되어질때 그 양만큰 보충하기 위한 고체금속을 채우고, 상기 액체금속에는 플러스전극을 연결하고, 상기 액체금속탱크속에 전주가공으로 섀도마스크를 만들기 위한 마스타를 침지시키고, 상기 마스타에 마이너스 전극을 연결하여 전주가공에 의하여 섀도마스크를 형성함에 있어서, 섀도마스크를 형성하는 과정에서 상기의 금속이 다른 탱크속에 상기 마스크를 번갈아 침지함에 의하여 이종의 금속층이 형성되게 하는 것을 특징으로 하는 다층소재의 섀도마스크의 제조방법.
19. 탱크속에 용해되어진 액체금속을 채워고, 상기 탱크의 좌,우에는 용해되어진 액체금속이 석출되어질때 그 양만큰 보충하기 위한 고체금속을 채우고, 상기 액체금속에는 플러스전극을 연결하고, 상기 액체금속탱크속에 전주가공으로 섀도마스크를 만들기 위한 마스타를 침지시키고, 상기 마스타에 마이너스 전극을 연결하여 전주가공에 의하여 섀도마스크를 만드는 전주가공에 있어서,상기 마스타에 액체금속이 고루 균일하게 석출이 되도록 하기 위하여 다각형의 마스타 설치대를 형성하며 상기 다각형의 마스타 설치대에 상기 마트타를 다수개 동시에 설치하며, 상기 다각형의 마스타 설치대를 회전축을 중심으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 전주가공에 의한 섀도마스크의 제조방법.
20. 제 19 항에 있어서, 다각형 마스타 설치대의 회전축이 정회전 역회전을 반복하게 구성한 것을 특징으로 하는 전주가공에 의한 섀도마스크의 제조방법.
21. 제 19 항 또는 제 20 항에 있어서, 다각형 마스타 설치대의 회전축에 켐홈을 형성하여 회전축이 축을 중심으로 전후로 왕복운동을 하게 하는 것을 특징으로 하는 전주가공에 의한 섀도마스크의 제조방법.