KR20010067215A

KR20010067215A - 에어쿠션기구가 부착된 리니어 액츄에이터

Info

Publication number: KR20010067215A
Application number: KR1020000055693A
Authority: KR
Inventors: 사토토시오; 우에노요시테루
Original assignee: 다까다 요시유끼; 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 1999-10-01
Filing date: 2000-09-22
Publication date: 2001-07-12
Also published as: DE10047391C2; US6336390B1; TW451031B; DE10047391A1; CN1290820A

Abstract

에어쿠션식 완충기구를 구비한 소형이고 합리적인 설계구조를 갖는 리니어 액츄에이터를 얻는다.

기대(1)에 내장한 2조의 에어실린더기구(4A, 4B)에 의해 기대(1)위의 슬라이드테이블을 직선적으로 왕복동작시키도록 한 리니어 액츄에이터에 있어서, 포트(30a, 30b)와 인접하는 위치에 배기구(34)를 설치하고, 이 배기구(34)와 포트(30a, 30b)와의 사이에 배기의 유량을 제한하는 유량제한기구(35)를 설치하는 동시에, 피스톤(21A)의 외주면에, 상기 피스톤(21A)이 스트로크끝에 도달하기 직전에 배기측 포트의 통공(30c)을 지나 압력실안의 압축공기를 상기 배기구(34)로부터 유량제한기구(35)를 통해 배출시키도록 동작하는 쿠션패킹(43a, 43b)을 설치한다.

Description

에어쿠션기구가 부착된 리니어 액츄에이터{LINEAR ACTUATOR WITH AIR CUSHION MECHANISM}

본 발명은, 기대에 내장한 2조의 에어실린더기구를 동기적으로 동작시켜서 상기 기대위의 슬라이드테이블을 직선적으로 동작시키는 리니어 액츄에이터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 상기 슬라이드테이블을 스트로크끝에 완충적으로 정지시키기 위한 수단을 구비한 리니어 액츄에이터에 관한 것이다.

예를 들면, 일본국 특개평 10-61611호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 기대에 2조의 에어실린더기구를 내장하고, 이들 에어실린더기구를 동기적으로 동작시켜서 상기 기대위의 슬라이드테이블을 직선적으로 왕복동작시키도록 한 리니어 액츄에이터는 이미 공지된 바이다.

이러한 리니어 액츄에이터에 있어서는, 슬라이드테이블을 스트로크끝에 완충적으로 정지시키기 위해, 각종의 완충기구가 부착되어 있다. 예를 들면, 기대의 측면에 스프링으로 탄발된 댐퍼를 설치하고, 이 댐퍼에 슬라이드테이블의 측면에 설치한 접촉자를 스트로크끝에서 접촉시키는 것 등이다.

그러나, 공지의 리니어 액츄에이터에 설치되어 있는 완충기구는 어느것이나, 충격을 기계적으로 흡수하는 방식인 것이므로, 구조가 간단하고 동작도 확실하지만, 충격음이 발생하거나, 완충기구가 측면에 돌출하고 있는 등의 이유에 의해, 용도에 따라서는 사용할 수 없는 경우가 있다.

한편, 통상의 에어실린더장치에 있어서는, 피스톤의 동작시에 배기측 압력실안의 공기를 일시적으로 봉입하여 승압시키고 , 이 배기압으로 피스톤을 감속시켜서 스트로크끝에 완충적으로 정지시키는 에어쿠션식 완충기구가 이용되고 있다.

그러나, 이 에어쿠션식 완충기구는, 피스톤의 적어도 일측에 긴 쿠션링을 설치하는 동시에, 압력실에 상기 쿠션링이 끼워지는 긴 쿠션실을 설치하는 방식이기 때문에, 실린더의 축선방향의 길이가 길어지고, 이것을 그대로 리니어 액츄에이터에 적용해도, 상기 리니어 액츄에이터가 대형화될 뿐이다. 게다가, 2조의 에어실린더기구를 가지고 있으므로, 각각에 에어쿠션을 설치하게 되면, 리니어 액츄에이터가 더욱 대형화된다.

본 발명의 기술적 과제는, 에어쿠션식 완충기구를 구비한 소형이고 합리적인 설계구조를 갖는 리니어 액츄에이터를 제공하는 것에 있다.

도 1은 본 발명에 따른 에어쿠션기구가 부착된 리니어 액츄에이터의 일실시예를 나타낸 사시도이다.

도 2는 도 1의 리니어 액츄에이터의 측면도이다.

도 3은 도 2의 A-A선의 단면도이다.

도 4는 도 2의 B-B선의 단면도이다.

도 5는 도 4와는 다른 동작위치를 나타낸 단면도이다.

도 6은 도 4의 주요부분의 확대도이다.

(부호의 설명)

1…기대 3…슬라이드 테이블

4A, 4B…에어실린더기구 5a, 5b…에어쿠션기구

21A, 21B…피스톤 26a, 26b…압력실

27a, 27b…통공 30a, 30b…포트

34…배기구 35…유량제한기구

37…스로틀구멍 38…역지밸브

39…밸브실 43a, 43b…패킹

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 리니어 액츄에이터는, 슬라이딩가능한 피스톤과 상기 피스톤의 양측의 압력실을 구비하고, 서로 동기해서 동작하는 2조의 에어실린더기구;

이들 에어실린더기구를 내장하는 기대;

상기 기대에 슬라이딩가능하게 부착되어 상기 에어실린더기구에 의해 구동되는 슬라이드테이블;

상기 각 에어실린더기구의 압력실에 압축공기를 공급하기 위한 양 에어실린더 기구에 공통의 한 쌍의 포트;

상기 각 에어실린더기구의 피스톤을 정역의 적어도 한 쪽의 스트로크끝에 완충적으로 정지시키기 위한, 양 에어실린더기구에 공통의 에어쿠션기구를 보유하고,

상기 에어쿠션기구가, 적어도 한 쪽의 포트와 인접하는 위치에 설치되어 압력실에 상기 포트보다 압력실끝부근의 위치에서 연이어 통하는 배기구와, 이들 배기구와 포트와의 사이에 접속되어 상기 압력실로부터 배출되는 배기의 유량을 제한하는 유량제한기구와, 상기 피스톤의 외주면에 형성되어 상기 피스톤이 스트로크끝에 도달하기 직전에 배기측의 포트를 지나 압력실안의 압축공기를 상기 배기구로만 배출시키도록 동작하는 쿠션패킹을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 구성을 갖는 본 발명의 리니어 액츄에이터에 있어서, 한 쌍의 포트를 통해 각 에어실린더기구의 압력실에 압축공기를 공급 및 배출하면, 양 에어실린더기구의 피스톤은 동기적으로 동작하여 슬라이드테이블이 기대위를 직선적으로 왕복이동한다.

상기 슬라이드테이블이 스트로크끝에 도달했을 때의 완충적 정지는, 2조의 에어실린더기구의 피스톤을 공통의 에어쿠션기구로 동기적으로 감속시킴으로써 행해진다. 즉, 각 에어실린더기구에 있어서의 피스톤의 슬라이딩시에, 배기측의 각 압력실안의 압축공기는 처음에는 주로 상기 포트를 통해 배출되고 있지만, 상기 피스톤이 스트로크끝에 가까워져서 쿠션패킹이 상기 배기측 포트를 넘으면, 상기 포트와 상기 압력실이 차단되고, 상기 압력실안의 압축공기는 배기구로만 유량제한기구를 통해 제한적으로 배출되게 된다. 이 때문에, 상기 유량제한기구에 의한 유량제한에 의해 상기 압력실안의 압력이 상승하고, 그것이 피스톤 배압으로 되어 피스톤을 감속시키면서 스트로크종단에 도달시킨다.

이와 같이 상기 리니어 액츄에이터는, 에어쿠션식 완충기구를 구비하고 있으므로, 기계식 완충기구와 같은 충돌음이 없이 조용한 동시에, 발진의 우려도 없고, 크리닝룸 등에서도 사용할 수 있다. 또, 종래와 같이 기계식 완충기구를 슬라이드테이블의 일측에만 설치하면, 정지시에 상기 슬라이드테이블이 일측에서 지지되므로 축선이 기울어지기 쉬워지지만, 본 발명에서는, 각 에어실린더기구의 피스톤에 그 추력이 발생하는 방향과 동일축선상에서 쿠션효과가 작용하고, 게다가 각 에어실린더기구가 동기적으로 감속되므로, 슬라이드테이블의 기울기는 발생하지 않는다. 또한, 2조의 에어실린더기구에 한 개의 공통의 에어쿠션기구를 설치할 뿐만 아니라, 이 에어쿠션기구가 종래와 같은 긴 쿠션링이나 그것이 끼워지는 긴 쿠션실을 필요로 하지 않으므로, 리니어 액츄에이터를 매우 소형이고 합리적인 설계구조로 할 수 있다.

본 발명의 하나의 구체적인 실시형태에 의하면, 상기 유량제한기구는, 배기구로부터 포트측을 향하는 배기의 유량을 규제하는 스로틀구멍과, 배기구로부터 포트측을 향하는 배기의 흐름은 규제하고 역방향의 압축공기의 흐름은 허용하는 역지밸브로 구성되어 있다.

이 경우, 상기 기대에 배기구와 포트에 통하는 밸브실을 형성하고, 이 밸브실안에 상기 스로틀구멍을 갖는 밸브부재를, 역지밸브를 형성하는 립시일을 끼워서 수용함으로써, 상기 밸브실안에 상기 유량제한기구를 조립하도록 하는 것이 바람직하다.

본 발명의 바람직한 실시형태에 의하면, 상기 2조의 에어실린더기구에 있어서의 대응하는 압력실끼리가 기대에 형성한 통공에 의해 상호 연통되는 동시에, 상기 한 쌍의 포트 및 에어쿠션기구가 어느 한 쪽의 에어실린더기구의 압력실에 연통하도록 형성되고, 또한 상기 에어실린더기구의 피스톤에 상기 쿠션패킹이 설치되어 있다.

본 발명의 바람직한 실시형태를 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

도 1 내지 도 5에 나타낸 실시예의 리니어 액츄에이터는, 편평한 짧은 각기둥상을 한 기대(1)와, 상기 기대(1)의 상면에 설치된 리니어가이드(2)와, 기대(1)의 상면에 상기 리니어가이드(2)를 따라 슬라이딩가능하도록 설치된 슬라이드테이블(3)과, 상기 기대(1)의 내부에 병렬로 내장되고 동기해서 동작하며, 상기 슬라이드테이블(3)을 구동하는 제1 및 제2의 2조의 에어실린더기구(4A, 4B)와, 이들 에어실린더기구(4A, 4B)를 스트로크끝에 완충적으로 정지시키기 위한 에어쿠션기구(5a, 5b)를 구비하고 있다.

상기 리니어가이드(2)는, 기대(1)의 상면 중앙부에 고정된 직사각형의 가이드블록(10)을 보유하고 있고, 이 가이드블록(10)에 걸쳐지도록 상기 슬라이드테이블(3)이 부착되고, 이들 가이드블록(10)의 양 측면의 홈(11)과 슬라이드테이블(3)의 양 가이드벽(3a)내면의 홈(12)사이에 각각, 복수의 볼(13)이 전동가능하게 끼워져 있고, 이들 볼(13)의 전동에 의해 상기 슬라이드테이블(3)이 가이드블록(10)을 따라 직선적으로 왕복이동하도록 되어 있다.

상기 볼(13)은 또, 상기 홈(11)이외에, 가이드블록(10)의 양측끝부근처에홈(11)과 평행하게 형성된 볼구멍(14)안에도 수용되어 있고, 이들 홈(11)안의 볼(13)과 볼구멍(14)안의 볼(13)이 환형의 열을 이루도록 연결되어 있고, 슬라이드테이블(3)의 슬라이딩시에 이들 볼(13)이 상기 홈(11)과 볼구멍(14)을 따라 순환적으로 전동하도록 되어 있다.

상기 2조의 에어실린더기구(4A, 4B)는, 도 4 및 도 5에서 설명하듯이, 편평한 기대(1)의 내부에 병렬로 내장되어 있고, 피스톤(21A, 21B)의 구성이 약간 상위한 점이외에는 이하에 서술하듯이 실질적으로 같은 구성을 갖는 것이다. 또, 이하의 설명에 있어서 상기 피스톤(21A, 21B)은 이들을 구별할 때외에는 공통부호(21)로 나타내기로 한다.

즉, 상기 기대(1)의 내부에는, 그 축선방향으로 연장하는 2개의 실린더구멍(20, 20)이 좌우 평행하게 설치되고, 이들 각 실린더구멍(20)안에 상기 피스톤(21)이 슬라이딩가능하게 수용되는 동시에, 상기 피스톤(21)에 연결되어 선단이 실린더구멍(20)의 한 쪽으로부터 돌출하는 피스톤로드(22)가 설치되어 있다. 또, 상기 각 실린더구멍(20)의 헤드측 끝부는 헤드커버(24)에 의해 폐쇄되고, 로드측 끝부에는 로드커버(25)가 부착되고, 이 로드커버(25)를 상기 피스톤로드(22)가 시일부재를 통해 기밀하고 또한 슬라이딩가능하도록 관통하고 있다.

이것에 의해 상기 피스톤(21)의 양측에는, 헤드커버(24)와의 사이에 헤드측 압력실(26a)이 형성되는 동시에, 로드커버(25)와의 사이에 로드측 압력실(26b)이 형성되고, 2조의 에어실린더기구(4A, 4B)의 대응하는 압력실끼리, 즉 헤드측 압력실(26a, 26a)끼리와 로드측 압력실(26b, 26b)끼리가 각각 기대(1)에 설치된통공(27a, 27b)에 의해 서로 연통하고 있다.

그리고, 상기 기대(1)의 제1에어시린더기구(4A)측의 측면에는, 상기 제1에어실린더기구(4A)에 있어서의 한 쌍의 압력실(26a, 26b)에 압축급기를 공급하기 위한 한 쌍의 포트(30a, 30b)가 설치되어 있다. 이들 포트(30a, 30b)는, 2조의 에어실린더기구(4A, 4B)에 공통된 것으로, 이들 포트(30a, 30b)로부터 통공(30c)을 통해 제1에어실린더기구(4A)의 헤드측 압력실(26a)과 로드측 압력실(26b)에 교대로 압축공기를 공급함으로써, 압력실끼리가 연통하는 2조의 에어실린더기구(4A, 4B)의 피스톤(21A, 21B)이 서로 동기해서 슬라이딩하도록 되어 있다.

상기 2조의 에어실린더기구(4A, 4B)에 있어서의 피스톤로드(22)의 선단에는, 공통의 중계플레이트(32)가 부착되어 있고, 이 중계플레이트(32)가 상기 슬라이드테이블(3)에 연결되고, 이 중계플레이트(32)를 통해 슬라이드테이블(3)이 두 개의 에어실린더기구(4A, 4B)에 의해 구동되도록 되어 있다.

또, 상기 에어쿠션기구(5a, 5b)는, 2조의 에어실린더기구(4A, 4B)에 공통된 것으로, 제1에어실린더기구(4A)에 부착함으로써 연쇄적으로 제2에어실린더기구(4B)도 에어쿠션작용을 발생하도록 구성되어 있다. 즉, 이 에어쿠션기구(5a, 5b)는 상기 한 쌍의 포트(30a, 30b)에 인접한 위치에 설치되어 통공(30c, 30c)보다 압력실끝측에 치우친 위치에서 각 압력실(26a, 26b)에 개구하는 배기구(34)와, 이들 배기구(34)와 포트(30a, 30b)와의 사이에 접속되어 상기 압력실(26a, 26b)로부터 배출되는 배기의 유량을 제한하는 유량제한기구(35)를 보유하고 있다.

상기 유량제한기구(35)는, 도 6에서도 알 수 있듯이, 배기유량을 규제하는스로틀구멍(37)과, 상기 스로틀구멍(37)을 경유하지 않는 배기의 흐름은 저지하는 역지밸브(38)를 병렬로 접속함으로써 구성한 것으로, 기대(1)의 측면에 형성한 밸브실(39)내에 수용되어 있다. 즉, 상기 기대(1)의 측면에는 상기 배기구(34)와 포트(30a, 30b)의 양쪽으로 통하는 상기 밸브실(39)이 형성되고, 상기 밸브실(39)안에 원주상의 밸브부재(40)가 수용되어 있고, 상기 밸브부재(40)에 상기 스로틀구멍(37)이 설치되는 동시에, 상기 밸브부재(40)의 외주면과 밸브실(39)의 내주면사이에 상기 역지밸브(38)를 형성하는 립시일이 끼워져 있다. 도면중 부호 41은 상기 밸브실(39)과 포트(30a, 30b)를 연결하는 유로이다.

상기 스로틀구멍(37)은 배기구(34)와 포트(30a, 30b)를 연결하도록 형성되어 있고, 밸브부재(40)에 설치한 니들(37a)로 개구면적을 조정할 수 있도록 되어 있다. 그러나 스로틀구멍(37)은 이러한 가변 스로틀타입에 한정되지 않고, 상기 니들(37a)이 필요없는 고정 스로틀타입이어도 좋다.

한편, 역지밸브(38)는 피스톤(21)의 스트로크종단측 쿠션 행정에 있어서, 압력실(26a, 26b)로부터의 배기가 상기 스로틀구멍(37)을 통해 포트(30a, 30b)측으로 흐르는 것이외는 저지하고, 피스톤(21)의 구동개시시에는 포트(30a, 30b)로부터의 압축공기를 압력실(26a, 26b)로 자유롭게 유입시킨다.

상기 제1에어실린더기구(4A)에 있어서의 피스톤(21A)의 외주면에는, 두 개의 패킹(43a, 43b)이 부착되어 있다. 이들 패킹(43a, 43b)은 피스톤(21A)양측의 두 개의 압력실(26a, 26b)을 구획하는 피스톤패킹으로서의 기능을 갖는 것은 물론이고, 그 이외에 쿠션패킹으로서의 기능도 겸비하고 있는 것으로, 상기 피스톤(21A)이 스트로크끝에 도달하기 직전에 이동방향 앞측의 패킹(43a) 또는 (43b)이 배기상태에 있는 포트(30a) 또는 (30b)의 통공(30c)을 지나 압력실(26a) 또는 (26b)안의 압축공기를 상기 배기구(34)로만 배출시키도록 동작한다. 이때, 피스톤(21A)의 이동방향 후측의 패킹(43b) 또는 (43a)은 배기측 포트(30b) 또는 (30a)의 통공(30c)을 넘는 일이 없고, 피스톤(21A)이 스트로크끝에 도달했을 때 상기 통공(30c)의 바로앞에 정지한다.

또, 제2에어실린더기구(4B)에 있어서의 피스톤(21B)의 외주면에는 한 개의 패킹(43)만이 부착되고, 이것이 피스톤패킹으로서 기능하도록 되어 있다.

상기 구성을 갖는 리니어 액츄에이터에 있어서, 두 개의 포트(30a, 30b)로부터 2조의 에어실린더기구(4A, 4B)의 압력실(26a, 26b)에 압축공기를 교대로 공급하면, 양 에어실린더기구(4A, 4B)의 피스톤(21A, 21B)이 동기적으로 동작하고, 피스톤로드(22, 22) 및 중계플레이트(32)를 통해 슬라이드테이블(3)이 리니어가이드(2)를 따라 이동한다. 이때, 상기 슬라이드테이블(3)의 스트로크끝에서의 완충적 정지는 2조의 에어실린더기구(4A, 4B)의 피스톤(21A, 21B)을 공통의 에어쿠션기구(5a, 5b)에 의해 감속정지시키는 것에 의해 행해진다. 이점을, 도 4 및 도 5에 의해, 피스톤(21A, 21B)을 헤드측 스트로크끝에 에어쿠션기구(5a)로 완충적으로 정지시키는 경우에 대해서 설명한다.

즉, 도 4에 나타내듯이, 로드측 포트(30b)로부터 에어실린더기구(4A, 4B)의 로드측 압력실(26b)에 압축공기를 공급하면, 피스톤(21A, 21B)은 헤드측을 향해서 도면의 오른쪽방향으로 이동한다. 이때, 배기측인 헤드측 압력실(26a)안의 압축공기는 헤드측 포트(30a)의 통공(30c)과 배기구(34)를 통해 배출되어지지만, 피스톤(21A)이 스트로크끝에 가까워져서 이동방향 앞측의 패킹(43a)이 도 5에 나타내듯이 배기측 포트(30a)의 통공(30c)을 타넘으면, 상기 포트(30a)와 상기 압력실(26a)이 차단되고, 상기 압력실(26a)안의 압축공기는 에어쿠션기구(5a)의 배기구(34)로만 유량제한기구(35)를 통해 제한적으로 배출되도록 된다. 이때문에, 상기 유량제한기구(35)에 의한 유량제한에 의해 상기 압력실(26a)안의 압력이 상승하고, 그것이 피스톤배압으로 되어 두 개의 피스톤(21A, 21B)을 감속시키면서 스트로크종단에 도달시킨다.

상술한 경우와는 반대로, 피스톤(21A, 21B)을 상기 헤드측 스트로크끝에서 로드측을 향해 도면의 왼쪽방향으로 이동시키는 경우에는, 헤드측 포트(30a)에 압축공기를 공급한다. 이때, 상기 포트(30a)의 통공(30c)은 피스톤(21A)상의 두 개의 패킹(43a, 43b)사이에서 폐쇄되어 있지만, 상기 포트(30a)로부터의 압축공기는 유량제한기구(35)에 있어서의 역지밸브(38)를 눌러 개방시켜서 압력실(26a)안으로 자유롭게 유입하므로, 피스톤(21A, 21B)은 소정의 속도로 기동할 수 있다. 그리고, 도 4에 나타내듯이 피스톤(21A)의 이동방향 후측의 패킹(43a)이 상기 포트(30a)의 통공(30c)을 넘으면, 압축공기는 이 포트(30a)를 통해 직접 압력실(26a)로 유입하게 되므로 피스톤(21)은 그 상태로 계속해서 이동한다.

상기 피스톤(21A, 21B)이 로드측 스트로크끝에 도달할 때에는, 로드측 에어쿠션기구(5b)가 기능한다. 즉, 상기 피스톤(21A)이 스트로크끝에 가까워지면, 그 이동방향 앞측에 있는 패킹(43b)이 로드측 압력실(26b)로부터의 배기의 유출경로를, 통공(30c)을 통해 포트(30b)로부터 직접 배출되고 있는 상태로부터 에어쿠션기구(5b)의 배기구(34) 및 유량제한기구(35)를 경유해서 제한적으로 배출되는 상태로 전환한다. 이 때문에 두 개의 피스톤(21A, 21B)은 로드측 스트로크끝에 감속하면서 완충적으로 정지하게 된다.

이와 같이 상기 리니어 액츄에이터는, 에어쿠션식 완충기구를 구비하고 있으므로, 기계식 완충기구와 같은 충돌음이 없이 조용한 동시에, 발진의 우려도 없고, 크리닝룸 등에서도 사용할 수 있다. 또, 종래와 같이 기계식 완충기구를 슬라이드테이블(3)의 한 쪽에만 설치하면, 정지시에 상기 슬라이드테이블(3)이 한 쪽에서 지지되기 때문에 축선이 기울어지기 쉬워지지만, 본 발명에서는, 각 에어실린더기구(4A, 4B)의 피스톤(21)에 그 추력이 발생하는 방향과 동일 축선상에서 쿠션효과가 작용하고, 게다가 이들 에어실린더기구(4A, 4B)가 동기적으로 감속되므로, 슬라이드테이블(3)의 기울기는 발생하지 않는다. 그리고, 2조의 에어실린더기구(4A, 4B)에 공통된 에어쿠션기구(5a, 5b)를 설치하는 것뿐만 아니라, 이 에어쿠션기구(5a, 5b)가 종래와 같은 긴 쿠션링이나 그것이 끼워지는 긴 쿠션실을 필요로 하지 않으므로, 리니어 액츄에이터를 매우 소형이고 합리적인 설계구조로 할 수 있다.

상기 실시예에서는 피스톤(21)을 정역의 양쪽 스트로크끝에서 완충적으로 정지시킬 수 있도록 양 스트로크끝의 위치에 두 개의 에어쿠션기구(5a, 5b)를 설치하고 있지만, 이중 어느 하나의 에어쿠션기구(5a) 또는 (5b)만 설치함으로써, 피스톤(21)을 한 쪽의 스트로크끝에만 완충적으로 정지시키도록 구성할 수도 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 에어쿠션식 완충기구를 구비한 소형이고 합리적인 설계구조를 갖는 리니어 액츄에이터를 얻을 수 있다.

Claims

슬라이딩가능한 피스톤과 상기 피스톤의 양측의 압력실을 각각 보유하고, 서로 평행하게 배치되어 동기적으로 동작하는 2조의 에어실린더기구;

이들 에어실린더기구를 내장하는 기대;

상기 기대에 슬라이딩가능하게 부착되어 상기 에어실린더기구에 의해 구동되는 슬라이드테이블;

상기 2조의 에어실린더기구의 대응하는 압력실끼리를 연결하는 통공;

어느 한 쪽의 에어실린더기구에 있어서의 각 압력실에 압축공기를 공급하기 위한 한 쌍의 포트; 및

상기 2조의 에어실린더기구의 피스톤을 정역의 적어도 한 쪽의 스트로크끝에 완충적으로 정지시키기 위한, 양 에어실린더기구에 공통되는 한 개이상의 에어쿠션기구를 보유하고,

상기 에어쿠션기구가, 적어도 한 쪽의 포트와 인접하는 위치에 설치되어 압력실에 상기 포트보다 압력실끝부근의 위치에서 연통하는 배기구와, 이들 배기구와 포트사이에 접속되어 상기 압력실로부터 배출되는 배기의 유량을 제한하는 유량제한기구와, 한쪽의 피스톤의 외주면에 부착되어 상기 피스톤이 스트로크끝에 도달하기 직전에 배기측의 포트를 지나 압력실안의 압축공기를 상기 배기구로만 배출시키도록 동작하는 쿠션패킹을 갖는 것을 특징으로 하는 에어쿠션기구가 부착된 리니어 액츄에이터.
제1항에 있어서, 상기 유량제한기구가 배기구로부터 포트측을 향하는 배기의 유량을 규제하는 스로틀구멍과, 상기 스로틀구멍을 통해 배기구로부터 포트를 향하는 배기의 흐름이외는 저지하고 역방향의 압축공기의 흐름은 허용하는 역지밸브로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.
제2항에 있어서, 상기 기대에 배기구와 포트에 통하는 밸브실이 형성되고, 이 밸브실안에 스로틀구멍을 갖는 밸브부재를, 역지밸브를 형성하는 립시일을 통해 수용함으로써, 상기 밸브실내에 상기 유량제한기구가 조립되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.
제1항에 있어서, 상기 에어쿠션기구가 2조의 에어실린더기구의 피스톤을 정역의 양 스트로크끝에 완충적으로 정지시키기 위해 두 개의 포트와 대응하는 위치에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.