KR20010066373A - 웨이퍼 카세트 - Google Patents

Abstract

목적 : 테스트용 웨이퍼와 같은 비표준형 웨이퍼를 수납하기 위해 좌우폭을 조절할 수 있는 웨이퍼 카세트를 제조함으로써 모든 웨이퍼를 수납할 수 있는 웨이퍼 카세트에 대해 개시한다.

구성 : 본 발명은 다수의 웨이퍼를 보관, 관리 및 공정진행을 할 수 있는 웨이퍼 카세트에 관한 것으로, 본 발명의 웨이퍼 카세트는 웨이퍼의 직경, 크기 및 모양에 상관없이 수납할 수 있도록 좌우측으로 분리된 카세트몸체를 제조하고, 좌우 카세트몸체를 좌우폭 조정축으로 연결하여서 이루어진 것을 특징으로 한다.

효과 : 모든 웨이퍼를 수납하여 공정처리함으로써 공정균일도를 향상시킬 수 있고, 낱장처리에 따른 케미컬 노출되는 위험성으로부터 작업자가 벗어날 수 있다.

Description

웨이퍼 카세트{Wafer cassette}

본 발명은 웨이퍼 카세트에 관한 것으로, 특히 테스트용 웨이퍼와 같은 비표준형 웨이퍼를 수납하기 위해 좌우폭을 조절할 수 있는 웨이퍼 카세트를 제조함으로써 모든 웨이퍼를 수납할 수 있는 웨이퍼 카세트에 관한 것이다.

각종 반도체소자가 형성되는 웨이퍼는 운반, 보관 및 공정진행동안 시종일관 최고의 물리적, 화학적 상태를 유지시켜야 한다. 만약 웨이퍼가 제한량 이상의 먼지나 기타 오염물에 노출되면, 반도체소자의 불량율이 높아지게 된다. 따라서, 반도체 제조현장에서는 웨이퍼를 운반, 보관 및 공정진행동안 그 보호를 위해 별도의 웨이퍼 관리장치로서, 웨이퍼를 넣어두는 웨이퍼 카세트와 이를 넣어두는 웨이퍼 카세트박스를 사용하고 있다. 최근에는 상기 웨이퍼 카세트와 웨이퍼 카세트박스가 일체로 형성된 FOUP 웨이퍼 카세트가 많이 사용되고 있는데, 특히 웨이퍼의 크기가 대구경화되고 고집적화되고 있는 추세에서, 12inch 웨이퍼에 대해 오염물은 반도체소자의 생산성과 직결되므로 웨이퍼 카세트에 대한 세심한 관리가 요구되고 있다.

그러면, 종래의 웨이퍼 카세트에 대해 살펴보기로 한다.

기존의 웨이퍼 카세트의 경우 4인치, 5인치, 6인치, 8인치 등으로 구성되어 생산라인에 사용되고 있다.

그러나, 물질(Material) 개발이나 기타 연구 테스트시, 웨트 케미컬 배스(wet chemical bath)에 딥(dip) 처리할 경우에 상기한 표준 크기가 아니면 웨이퍼 카세트를 이용할 수 없다는 단점이 있다. 이 때, 예를들어 테스트 대상이 조각 웨이퍼일 경우에는 집게를 이용하여 작업자가 낱장 처리를 수행해야 했고, 이로 인한 시간 로스(loss)가 발생할 뿐만 아니라 다수 웨이퍼를 처리해야 할 경우에는 테스트 조건이 틀리게 되어 분석연구 테스트시 신뢰성에 커다란 오류를 발생시킨다는 문제점이 있었다.

또한, 작업자가 유독성 케미컬에 노출된다는 위험성 문제도 있었다.

대부분, 공정불량이나 신규물질 개발시, 실공정과 같은 조건의 시뮬레이션 테스트를 실시하는데, 양산적용중인 웨이퍼를 이용하여 테스트를 진행할 경우에는 상당량의 웨이퍼가 필요하게 되어 테스트 비용이 상승하는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 테스트용 웨이퍼와 같은 비표준형 웨이퍼를 수납하기 위해 좌우폭을 조절할 수 있는 웨이퍼 카세트를 제조함으로써 모든 웨이퍼를 수납할 수 있는 웨이퍼 카세트를 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 카세트를 개략적으로 나타낸 평면도,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 카세트를 개략적으로 나타낸 정면도이다.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

10 : 좌측 카세트몸체 20 : 우측 카세트몸체

12, 22 : 슬라이드홈 14, 24 : 돌기

16, 26 : 조정축 삽입홈 30 : 좌우폭 조정축

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 다수의 웨이퍼를 보관, 관리 및 공정진행을 할 수 있는 웨이퍼 카세트에 관한 것으로, 본 발명의 웨이퍼 카세트는 상기 웨이퍼의 직경, 크기 및 모양에 상관없이 수납할 수 있도록 좌우측으로 분리된 카세트몸체를 제조하고, 상기 좌우 카세트몸체를 좌우폭 조정축으로 연결하여서 이루어진 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 좌우폭 조정축이 용이하게 슬라이딩될 수 있도록 상기 카세트몸체에 가이드레일을 형성시킨 것이 바람직하다.

또한, 상기 좌우폭 조정축의 단부에는 상기 카세트몸체로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 좌우폭 조정축보다 큰 직경을 갖는 단턱이 형성된 것이 더욱바람직하다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 카세트를 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 카세트를 개략적으로 나타낸 정면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 웨이퍼 카세트는 좌측 카세트몸체(10)와 우측 카세트몸체(20)로 구성되어 있다.

상기 좌측 카세트몸체(10)와 우측 카세트몸체(20)에는 웨이퍼가 슬라이딩될 수 있도록 슬라이드홈(12, 22)을 형성시키거나, 돌기(14, 24)를 형성시켜 웨이퍼를 고정지지할 수 있도록 되어 있다.

한편, 상기 좌측 카세트몸체(10)와 우측 카세트몸체(20)를 결합시키되 슬라이딩될 수 있는 좌우폭 조정축(30)이 상기 각 카세트몸체(10, 20)에 형성된 조정축 삽입홈(16, 26)에 삽입되어 있다. 상기 각 카세트몸체(10, 20)에는 상기 좌우폭 조정축(30)의 슬라이딩이 원활하도록 가이드레일(미도시)을 형성시키고 있다. 또한, 상기 각 카세트몸체(10, 20)가 분리되는 방지하기 위해 상기 좌우폭 조정축(30)의 일단에는 상기 좌우폭 조정축(30)의 직경보다 큰 직경을 갖는 단턱을 형성시키고 있으며, 상기 각 카세트몸체(10, 20)에도 상기 각 조정축 삽입홈(16, 26)보다 작은 직경을 갖는 단턱이 형성되어 있다.

이 때, 좌측 카세트몸체(10)와 우측 카세트몸체(20)가 접촉된 상태에서 가장 작은 웨이퍼를 수납할 수 있도록 좌우폭은 제조자가 임의로 설정하여 제조하는 것이 바람직하다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 웨이퍼의 효과를 간단히 설명한다.

예를들어 웨트 케미컬 배스(wet chemical bath)에 딥(dip) 처리할 경우에, 표준크기가 아닌 조각 웨이퍼나 다른 직경의 웨이퍼를 본 발명의 웨이퍼 카세트에 수납하여 상기 웨트 케미컬 배스에 동시에 담글 수 있으므로 동일한 처리조건에서 공정이 수행됨을 알 수 있다. 이에 따라, 종래의 작업자가 낱장처리하여 낭비되는 시간을 없앨 수 있으며, 케미컬 처리동안에 공정처리장소에서 벗어날 수 있으므로 안전사고 위험을 줄일 수 있는 장점이 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트는, 모든 웨이퍼를 수납하여 공정처리함으로써 공정균일도를 향상시킬 수 있고, 낱장처리에 따른 케미컬 노출되는 위험성으로부터 작업자가 벗어날 수 있다.

본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 많은 변형이 가능함은 명백하다.

Claims (3)

1. 다수의 웨이퍼를 보관, 관리 및 공정진행을 할 수 있는 웨이퍼 카세트에 있어서,

   상기 웨이퍼의 직경, 크기 및 모양에 상관없이 수납할 수 있도록 좌우측으로 분리된 카세트몸체를 제조하고, 상기 좌우 카세트몸체를 좌우폭 조정축으로 연결하여서 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 좌우폭 조정축이 용이하게 슬라이딩될 수 있도록 상기 카세트몸체에 가이드레일을 형성시킨 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 좌우폭 조정축의 단부에는 상기 카세트몸체로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해 상기 좌우폭 조정축보다 큰 직경을 갖는 단턱이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.