JPS61273435A

JPS61273435A - カセツト保持装置

Info

Publication number: JPS61273435A
Application number: JP11215185A
Authority: JP
Inventors: Shinobu Tokushima; 忍徳島; Taro Ototake; 乙武　太朗; Tatsuhiro Tsuda; 樹宏津田
Original assignee: Nippon Kogaku KK
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1985-05-27
Filing date: 1985-05-27
Publication date: 1986-12-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、半導体素子製造用のフ第１・マスク、レチク
ルあるいはウェハー等のカセット保持装置に関し、特に
カセットの位置決め機構に関するものである。

今日半導体素子製造装置においては、生産性及びゴミの
問題を考慮して工程のオートメーション化が進展してい
る。こういった状況下にあって、フォトマスク、レチク
ルあるいはウェハー等（以下基板という）を自動搬送す
る必要性が生じてきた。

−ｍにカセットに収納された基板は、上面に吸着面を有
した搬送用アームの上面に吸着され搬送される、基板を
カセットに収納する際にアンロード側のカセットが正し
い位置に置かれていない場合は、アーム上に乗せられた
基板はカセットの収納溝に正確に挿入されず、カセット
に当たって破損する恐れが生じる。このため、カセット
は正確に位置決めする必要がある。

また、基板サイズの多様化に対応して複数の種類のカセ
ットを同時に位置決めしたいという要請があった。

〔発明の目的〕

本発明は、以上の要請を満たすためなれたもので、数種
類のカセットを精度よく位置決めのできるカセット保持
装置を得ることを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明に係るカセット保持装置は、サイズの異なる基板
を、各基板のサイズに合わせて収納するような異なる大
きさのカセット同志を、交換可能に保持する装置であっ
て；前記具なる大きさのカセットの夫々を所定位置に規
定するための基準部材（２６Ａ〜２６Ｃ）と；前記具な
る大きさのカセットの夫々を、前記基準部材に押圧する
とともに、大きさの異なるカセットの一方に対して、そ
の一部がカセットと当接しないように退避する如く構成
された抑圧部材（５〜９．２２　ａ、　２２　ｂ。

２５）と；を備えたことを特徴とする。そして、このよ
うな構成により、異なった大きさのカセットがそれぞれ
基準部材と押圧部材とによって押圧付勢されて保持され
る。

〔実施例〕

次に、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明の実施例に係るカセット保持装置の正面
図、第２図は第１図のＣ−Ｃ断面図で、当接部材がカセ
ットに当接した状態を図示している。第３図は第１図の
平面図、第４図は第１図のＤ−Ｄ拡大断面図、第５図は
揺動部材のセラ）・・リセット位置を示した説明図で、
第６図は第１図の保持装置の斜視図である。

以下本発明の実施例におけるカセット保持装置のカセッ
ト位置決め機構を第１図〜第６図を参照しながら説明す
る。カセット１にはマスク２を収納する溝が設けられて
おり、矢印入方向よりマスク搬送用アーム３がカセット
１内に侵入し、マスク２を搬出、あるいは搬入する。カ
セット１は支持部材４の上面に載置される。この支持部
材４の上面にはカセット１を位置決めするための位置決
め部材２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｇが設置されており、それ
ぞれ最小、中間、最大サイズマスクの各カセットを位置
決めする（第３図）。支持部材４の下面にば軸５が固定
されており、＃ａＩ動部材６の一方の端部はこの軸５に
回動自在に支持され、揺動部材６はこれを中心軸として
揺動運動が可能なように構成されている。その詳細は後
述する。また、揺動部材６には直線ガイド７を介して移
動部材８が設けられており、移動部材８は矢印Ｂ（第２
図）の方向に可動となっている。また、移動部材８の一
方の側面にはピン１０が突設されており、揺動部材６に
固定されたピン１１と引張バネ９を介して連結され、移
動部材８はカセット１を押圧する方向に力が加えられて
いる。

さらに、移動部材８の他方の側面Ｃζはストッパ１２が
取付けられて（第６図）、揺動部材６に固定された部材
１３と当接し、ストッパの役割を果す。揺動部材６には
、操作用部材１４がその他方の端部に固定されており、
これを操作することにより、揺動部材６を揺動させるこ
とができる。

揺動部材６の操作用部材１４より内側の位置に１対の軸
受１６が固定され、この軸受１６により軸１５が支持さ
れ、更に部材１７は軸１５を回転中心として揺動可能に
（第１図のＣＷ力方向支持されている。そして、この部
材１７は揺動部材６に固定されたピン２０と引張りバネ
２１を介して連結されている。さらに部材エフには＃Ａ
！＠部材６をクリックするための錠止部材１８が設置さ
れており、これが支持部材４に固定された部材１９の段
差部分１９ａ、１９ｂ　（第５図）に落ち込み、揺動部
材６をセット位置あるいはリセット位置に導く。

第４図に詳細に図示されているように、部材８にはカセ
ットを抑圧するための３つの当接部材が上方に突設され
、このうち当接部材２２ａ、２２ｂは後述するように退
避可能にするため上下方向に移動可能に構成され、常時
圧縮コイルバネ２３により上方に加圧されている。部材
２４ば当接部材２２　ａ、　２２　ｂが飛び出さない様
に、移動部材８に固定きれている。当接部材２５は退避
させろ必要がないので可動にする必要はなく移動部材８
に固定されている。なお、第４図では最大径マスク用の
カセットをセットシた例を示している。

また、当接部材２２　ａ、　２２　ｂ、　２５はカセッ
ト１にモーメントが加わらないように、カセットの中心
を圧接する位置に設置し、操作用部材１４は操作性を考
慮して揺動部材６の自由端に取付けている。

次に、本装置の操作方法について説明する。

最小サイズマスク用のカセット１を支持部材４上に搭載
した後、操作用部材１４をカセット方向（第５図の矢印
Ｅ方向）へ押し出すと、当接部材２２ａがカセット１の
側面に当たる。これが第５図に示す当接位置である。さ
らに、操作用部材１４をカセット方向に錠止部材１８が
部材１９の段差１９ａに落ち込む位置（セット位置）ま
で押すと、当接部材２２ａには引張バネ９が作用して常
時カセット１の側面に圧接されて、カセット１は位置ず
れすることなく位置決めされろ。

次に、例えば中間サイズマスク用のカセットの場合、カ
セット１は当接部材２２ａの上に置かれるが、当接部材
２２ａはカセットの自重で、支持部材４の上面と同じ高
さまで退避し、カセット１ば当接部材２２ｂにより上記
と同様の方式で圧接され、支障なく位置決めされる。さ
らに、最大サイズマスク用カセットの場合も当接部材２
２ｂが退避し、第５図に示すように位置決めされる。

つまり、当接部材２２　ａ、　２２　ｂ、　２５のうち
カセット１のサイズに応じた１つの当接部材がカセット
の側面を押圧するとともに、他の当接部材がカセット１
と当接しないように抑圧方向とは異なる方向（下方向）
に退避できるようになっている。

カセットのリセット時には、部材１７を操作用部材１４
の方向へ動かすことにより錠止部材１８のクリックが解
−除される。そして、操作用部材１４をリセット位置ま
で移動させた後カセットを取り除く。

以上に示した本発明の実施例により次のような効果が得
られる。

まず、当接部材２２　ａ、　２２　ｂがへこむので多種
類のカセッＩ・を１つの機構で位置決めすることが可能
となり、かつそれぞれの当接部材２２ａ。

２２ｂ、２５がカセット１の中央部分を押圧するので、
むだなモーメンｊ−を発生せず効率良く小さな力で済む
。また、複数のカセットの位置決めが共通の操作で行え
る。更に、操作用部材１４が揺動部材Ｇの先端にあるの
で、カセット１８＃圧する力より小さな力で操作が可能
である。このため、クリックの力も減少させることがで
き、クリック部分と操作用部材が近接しているので操作
性が良好である。

なお、本発明に係るカセット保持装置において、基準部
材は上述の実施例に示されたもの２６Ａ〜２５０に限定
されるもので１よなく、その形状及び数は適宜変更し得
るものである。基準部材の数を増減させた場合には、そ
の数に合わせるように変更することは当然である。また
、抑圧部材の構成においても、固定軸５と揺動部材６と
を回転付勢部材で連結し、揺動部材６を常時リセット方
向に付勢することにより操作性を向上させることも可能
である。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明に係るカセット
保持装置は、異なる大きさのカセットの夫々を所定位置
に規定するための基準部材と、前記異なる大きさのカセ
ットの夫々を舵記基準部材に押圧するとともに、大きさ
の異なるカセットのニガに対して、その一部がカセット
と当接しないように退避するように構成された押圧部材
とにより、カセットを保持するようにしたので、大きさ
の異なる複数種のカセットを精度良く位置決めすること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るカセット保持装置の正
・面図、第２図は第１図のＣ−Ｃ断面図、第３図は第１
図の平面図、第４図は第１図のＤ−Ｄ断面図、第５図は
揺動部材のセット・リセット位置を示した説明図、第６
図は第１図の保持装置の斜視図である。１・・・カセット、２・・・マスク、３・・マスク搬送
アーム、４・・・支持部材、６・・揺動部材、９・・・
付勢部材（引張バネ）、１４・・・操作用部材、１８・
・・錠上部材、２２ａ、２２ｂ−＝当接部材、２６Ａ　
〜２６Ｃ・・・位置決め部材代理人　弁理士　佐　藤　正　年第１図第２図第４図

Claims

【特許請求の範囲】サイズの異なる基板を各基板のサイズに合わせて収納す
るような異なる大きさのカセット同志を、交換可能に保
持する装置であつて；前記異なる大きさのカセットの夫々を所定位置に規定す
るための基準部材と；前記異なる大きさのカセットの夫々を前記基準部材に押
圧するとともに、大きさの異なるカセットの一方に対し
て、その一部がカセットと当接しないように退避する如
く構成された押圧部材と；を備えたことを特徴とするカ
セット保持装置。