KR20010051006A - 초음파 유체 센서를 구비한 화학 제품 송출 장치 - Google Patents
초음파 유체 센서를 구비한 화학 제품 송출 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
알루미늄 trisec-부톡시드 | 보라진 |
사염화탄소 | 트리클로로에탄 |
클로로포름 | 테트라에틸오르토실리케이트 |
디클로로에틸렌 | 트리에틸보레이트 |
디클로로메탄 | 티탄 이소부톡시드 |
디에틸실란 | 티탄 n-부톡시드 |
헥사플루오로아세틸아세토나토-구리(1)트리메틸비닐실란 | 이소프로폭시드 |
사염화규소 | 탄탈륨 에톡시드 |
테트라키스(디에틸아미도)티탄 | 트리에틸보레이트 |
트리메틸포스파이트 | 트리에틸포스페이트 |
사염화티탄 | 트리메틸포스페이트 |
트리메틸오르토실리케이트 | 티탄 에톡시드 |
테트라메틸-시클로-테트라실록산 | 티탄 n-프로폭시드 |
트리스(트리메틸실록시)붕소 | 티탄 이소부톡시드 |
비스-t-부틸아미도 실란 | 1,1,1,5,5,5-헥사플루오르-2, 4-펜탄디온 |
트리스(트리메틸실록시)붕소 | 테트라키스(디메틸아미도)티탄 |
Claims (22)
- 적어도 고순도의 화학 제품을 송출하기 위한 화학 제품 송출 장치로,유체를 담기 위한 하나 이상의 제1 저장소와,상기 유체를 담기 위한 하나 이상의 제2 저장소와,상기 유체를 시간의 경과에 따라 상기 하나 이상의 제1 저장소로부터 상기 하나 이상의 제2 저장소로 이동시키기 위한 제1 도관으로, 금속재로 이루어지고, 상기 하나 이상의 제1 저장소와 연통하는 제1 단부와 상기 하나 이상의 제2 저장소와 연통하는 제2 단부를 구비하며, 상기 유체가 상기 하나 이상의 제1 저장소로부터 상기 하나 이상의 제2 저장소로 이동하여 상기 제1 도관을 통해 상기 제1 단부로부터 상기 제2 단부로 흐르도록 되어 있는 제1 도관과,상기 제1 도관에 인접하게 위치하며, 상기 제1 도관내에 상기 유체의 존재를 검출하고 상기 제1 도관내에 상기 유체의 부재를 검출하도록 되어 있고, 상기 유체의 존재 및 부재를 표시하는 하나 이상의 제1 신호를 발생하는 제1 유체 센서와,상기 제1 도관내에 상기 유체의 존재를 나타내는 하나 이상의 제1 신호를 접수할 때 혹은 상기 제1 도관내에 상기 유체의 존재를 나타내는 하나 이상의 제1 신호를 접수하지 않을 때 상기 하나 이상의 제1 저장소의 빈 상태를 확인하도록 되어 있는 상기 하나 이상의 제1 신호를 수용하기 위한 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 유체의 적어도 일부를 상기 하나 이상의 제2 저장소로부터 제거하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 유체 센서는 상기 제1 도관의 상기 제1 단부에 인접하게 위치하는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 유체는 적어도 고순도의 액체 화학 제품인 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 유체 센서는 초음파 유체 센서인 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 하나 이상의 제1 저장소내에서 상기 액체 화학 제품 위의 제1 헤드스페이스를 가스로 가압하기 위한 수단과,상기 하나 이상의 제2 저장소내에서 상기 액체 화학 제품 위의 제2 헤드스페이스를 상기 가스로 가압하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 가스는 헬륨, 질소, 산소, 수소 및 아르곤으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 액체 화학 제품은 테트라에틸오르토실리케이트, 보라진, 알루미늄 trisec-부톡시드, 사염화탄소, 트리클로로에탄, 클로로포름, 트리메틸포스파이트, 디클로로에틸렌, 트리에틸보레이트, 디클로로메탄, 티탄 n-부톡시드, 디에틸실란, 헥사플루오로아세틸아세토나토-구리(1)트리메틸비닐실란, 이소프로폭시드, 트리에틸포스페이트, 사염화규소, 탄탈륨 에톡시드, 테트라키스(디에틸아미도)티탄, 테트라키스(디메틸아미도)티탄, 비스-t-부틸아미도 실란, 트리에틸보레이트, 사염화티탄, 트리메틸포스페이트, 트리메틸오르토실리케이트, 티탄 에톡시드, 테트라메틸-시클로-테트라실록산, 티탄 n-프로폭시드, 트리스(트리메틸실록시)붕소, 티탄 이소부톡시드, 트리스(트리에틸실릴)포스페이트, 1,1,1,5,5,5-헥사플루오르-2, 4-펜탄디온, 테트라메틸실란 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 가스를 상기 제1 헤드스페이스 및 제2 헤드스페이스 중 하나 이상으로부터 배출하기 위한 배출구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제9항에 있어서, 상기 배출구는 배출될 상기 가스의 적어도 일부를 배기시키기 위한 제2 도관과,상기 제2 도관내의 상기 액체 화학 제품의 존재를 검출하도록 되어 있는 제2 유체 센서를 포함하며, 상기 제2 유체 센서는 상기 제2 도관내에 상기 액체 화학 제품의 존재를 표시하는 하나 이상의 제2 신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제10항에 있어서, 상기 컨트롤러는 상기 하나 이상의 제2 신호를 수용하며, 상기 컨트롤러는 상기 하나 이상의 제2 신호를 접수할 때 상기 하나 이상의 제1 저장소 및 상기 하나 이상의 제2 저장소 중 하나 이상으로부터 상기 액체 화학 제품의 오버플로를 확인하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제10항에 있어서, 상기 제1 도관 및 상기 제2 도관 중 하나 이상에 있는 화학 제품의 적어도 일부를 비우기 위해 진공 공급원을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제12항에 있어서, 상기 진공 공급원은 상기 비 액체를 배출하기 위한 제3 도관과,상기 제3 도관내에 상기 액체 화학 제품의 존재를 검출하도록 되어 있는 제3 유체 센서를 포함하며, 상기 제3 유체 센서는 상기 제3 도관내에 상기 액체 화학 제품의 존재를 나타내는 하나 이상의 제3 신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제13항에 있어서, 상기 컨트롤러는 상기 하나 이상의 제3 신호를 수용하며, 상기 컨트롤러는 상기 하나 이상의 제3 신호를 접수 할 때 상기 화학 제품 송출 장치의 오작동을 확인하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 액체를 담고 있는 저장소내의 빈 상태 발생을 검출하는 방법으로, 상기 액체는 적어도 고순도이며 상기 저장소와 연통하는 금속 도관을 통해 상기 저장소로부터 시간의 경과에 따라 유동하며, 상기 저장소는 상기 액체 위에서 가스에 의해 가압된 헤드스페이스를 구비하며, 상기 검출 방법은(a) 상기 금속도관에 인접하게 유체 센서를 제공하는 단계로, 상기 유체 센서는 상기 액체 도관내에 상기 액체의 존재를 검출하고 그것을 나타내는 하나 이상의 제1 신호를 전달하도록 되어 있고, 또 상기 금속 도관내에 상기 가스의 존재를 검출하고 그것을 나타내는 하나 이상의 또 다른 신호를 전달하도록 되어 있는 단계와,(b) 상기 유체 센서를 이용하여 상기 금속 도관내에 상기 액체의 존재를 검출하는 단계로, 상기 유체 센서는 상기 하나 이상의 제1 신호를 전달하도록 되어 있는 단계와,(c) 상기 유체 센서를 이용하여 상기 금속 도관내에서 상기 액체의 부재를 후속하여 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검출 방법.
- 제15항에 있어서, 상기 유체 센서는 초음파 유체 센서인 것을 특징으로 하는 검출 방법.
- 제15항에 있어서, (d) 상기 액체의 부재를 후속하여 확인하는 단계 후 예정된 시간 주기 동안 기다리는 단계와,(e) 상기 유체 센서를 이용하여 상기 금속 도관내에 유체의 존재를 후속하여 감지하는 단계와,(f) 상기 유체 센서를 이용하여 상기 유체가 상기 액체인지 아니면 상기 가스인지를 결정하는 단계와,(g) 상기 유체가 상기 액체라고 결정할 경우 상기 단계 (b) 내지 (f) 를 반복하는 단계와,(h) 상기 유체가 상기 가스라고 결정할 경우 상기 유체 센서로부터 저장소의 빈 상태 발생을 나타내는 하나 이상의 또 다른 신호를 전달하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검출 방법.
- 제17항에 있어서, 상기 예정된 시간 주기는 약 2초인 것을 특징으로 하는 검출 방법.
- 제15항에 있어서, 상기 유체 센서를 이용하여 상기 금속 도관내에서 상기 액체의 부재를 후속하여 확인하는 상기 단계 (c)는,(i) 상기 유체 센서로부터 상기 하나 이상의 제1 신호를 수용하는 단계와,(ii) 상기 유체 센서로부터 상기 하나 이상의 제1 신호의 부재를 후속하여 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검출 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 컨트롤러는 마이크로컴퓨터인 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 적어도 고순도의 액체 화학 제품을 송출하기 위한 화학 제품 송출 장치로,상기 액체 화학 제품을 담기 위한 하나 이상의 제1 저장소와,상기 액체 화학 제품을 담기 위한 하나 이상의 제2 저장소와,상기 액체 화학 제품을 시간의 경과에 따라 상기 하나 이상의 제1 저장소로부터 상기 하나 이상의 제2 저장소로 이동시키기 위한 제1 도관으로, 금속재로 이루어지고, 상기 하나 이상의 제1 저장소와 연통하는 제1 단부와 상기 하나 이상의 제2 저장소와 연통하는 제2 단부를 구비하며, 상기 액체 화학 제품이 상기 하나 이상의 제1 저장소로부터 상기 하나 이상의 제2 저장소로 이동하여 상기 제1 도관을 통해 상기 제1 단부로부터 상기 제2 단부로 흐르도록 되어 있는 제1 도관과,상기 제1 도관에 인접하게 위치하며, 상기 액체 화학 제품의 존재를 검출하고 상기 액체 화학 제품의 부재를 검출하도록 되어 있고, 상기 액체 화학 제품의 존재 및 부재를 표시하는 하나 이상의 제1 신호를 발생하는 제1 초음파 유체 센서와,상기 하나 이상의 제2 저장소로부터 상기 액체 화학 제품의 적어도 일부를 제거하기 위한 수단과,상기 하나 이상의 제1 저장소내에서 상기 액체 화학 제품 위의 제1 헤드스페이스를 가스로 가압하기 위한 수단과,상기 하나 이상의 제2 저장소내에서 상기 액체 화학 제품 위의 제2 헤드스페이스를 가스로 가압하기 위한 수단과,상기 제1 헤드스페이스 및 상기 제2 헤드스페이스 중 하나 이상으로부터 상기 가스의 적어도 일부를 배출하기 위한 제2 도관과,상기 제2 도관내의 상기 액체 화학 제품의 존재를 검출하도록 되어 있고, 상기 제2 도관내에 상기 액체 화학 제품의 존재를 표시하는 하나 이상의 제2 신호를 발생하는 제2 초음파 유체 센서와,상기 하나 이상의 제1 저장소 및 상기 하나 이상의 제2 저장소 중 하나 이상에서 비 액체의 적어도 일부를 비우기 위한 제3 도관과,상기 제3 도관내에 상기 액체 화학 제품의 존재를 검출하도록 되어 있고 상기 제3 도관내에 상기 액체 화학 제품의 존재를 나타내는 하나 이상의 제3 신호를 발생하는 제3 초음파 유체 센서와,상기 제1 도관내에 상기 유체의 존재를 나타내는 하나 이상의 제1 신호를 접수할 때 혹은 상기 제1 도관내에 상기 유체의 존재를 나타내는 하나 이상의 제1 신호를 접수하지 않을 때 상기 하나 이상의 제1 저장소의 빈 상태를 확인하도록 되어 있는 상기 하나 이상의 제1 신호를 수용하기 위한 컨트롤러를 포함하며,상기 컨트롤러는 상기 하나 이상의 제2 신호를 수용하며, 상기 하나 이상의 제2 신호를 접수할 때 상기 하나 이상의 제1 저장소 및 상기 하나 이상의 제2 저장소 중 하나 이상으로부터 상기 액체 화학 제품의 오버플로를 확인하도록 되어 있으며, 그리고 상기 컨트롤러는 상기 하나 이상의 제3 신호를 수용하며, 상기 하나 이상의 제3 신호를 접수할 때 상기 화학 제품 송출 장치의 오작동을 확인하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
- 제21항에 있어서, 상기 컨트롤러가 (a) 상기 하나 이상의 제1 저장소 및 하나 이상의 제2 저장소 중 하나 이상으로부터 상기 액체 화학 제품의 오버플로와 (b) 상기 화학 제품 송출 장치의 오작동 중 하나를 확인하였을 때 상기 화학 제품 송출 장치가 작동 중지되는 것을 특징으로 하는 화학 제품 송출 장치.
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